具有气体流道的电流体动力泵头组合

技术领域

本发明涉及一种电流体动力泵头组合，尤其涉及一种对黏性溶液施加电位差并通过喷嘴分配黏性溶液的具有气体流道的电-流体动力(Electro Hydro Dynamic，EHD)泵头组合。

背景技术

以高速定量对黏性溶液进行分配的泵广泛用于包括半导体制程等的各种技术领域中。

如上所述，分配黏性溶液的泵使用螺旋(Auger)泵、气压泵、压电(piezo)泵、喷墨(inkjet)泵等各种形态与结构的泵。

为了更加精巧地调整黏性溶液的分配容量且将微细线宽的图案分配至材料，亦存在使用电流体动力(Electro Hydro Dynamic，EHD)泵的情况。

电流体动力泵为利用由对存储于存储部的黏性溶液施加高电压产生的电场带来的能量、通过喷嘴喷出黏性溶液的泵。

如上所述的电流体动力泵可以微细容量喷出黏性溶液，但存在分配特性因溶液的黏性或周边环境、电极的形状等重要原因而受到很大影响的缺点。

因此，为了有效地用于半导体制程等各种领域，需要以下结构的具有气体流道的电流体动力泵头组合：亦可容易分配较高黏度的黏性溶液，且可较容易地控制黏性溶液的喷出形状、图案、流量等，同时可保持稳定的分配特性。

发明内容

发明所欲解决之课题

本发明是为了解决如上所述的问题点而提出，目的在于提供一种具有分配黏性溶液的性能优异且亦可稳定地保持分配特性、且容易调整分配特性的结构的具有气体流道的电流体动力泵头组合。

解决课题之手段

用于解决如上所述的目的的本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合的特征在于包括：存储部，存储黏性溶液；绝缘喷嘴，为绝缘材质，连接至所述存储部并以在长度方向上延伸的方式形成，以喷出所述黏性溶液；内电极，配置于将存储于所述存储部的所述黏性溶液传递至所述绝缘喷嘴的路径上；以及外电极，以包围所述绝缘喷嘴的至少一部分的方式形成且以向上下延伸的方式形成。

发明的效果

本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有可使EHD泵容易对分配黏性溶液的条件进行调整，从而提高分配品质的效果。

本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有可稳定地保持分配黏性溶液的具有气体流道的电流体动力泵头组合的分配品质的效果。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合的立体图。

图2及图3是如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的正面图。

图4及图5分别是如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的VI-VI线剖面图与局部放大图。

图6是针对如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的一部分的正面图。

图7是将如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的一部分放大的剖面图。

图8是用于说明将如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合安装至分配器来使用的状态的图。

图9示出关于如图1所示的电流体动力泵头组合的外电极的另一结构。

具体实施方式

以下，参照附图，对根据本发明的一实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合进行说明。

本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合用于将黏性溶液涂布至配置于基底上的材料。在接地的基底上配置有材料的状态下，若对黏性溶液施加电压，则因基底与黏性溶液之间的电位差而使黏性溶液通过喷嘴喷出至材料上。

图1是根据本发明的一实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合的立体图，图2及图3是如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的正面图，图4及图5分别是如图1所示的具有气体流道的电流体动力泵头组合的VI-VI线剖面图与局部放大图。

参照图1至图5，根据本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合包括存储部(110)、内电极(310)、绝缘喷嘴(330)以及外电极(350)而形成。

存储部(110)为存储用于通过绝缘喷嘴(330)喷出的黏性溶液的构成。存储部(110)可以可存储黏性溶液的各种形态构成。亦可使用通过如管(tube)般的管道对存储于另外的容器中的黏性溶液进行传递的形态的存储部。在本实施例中，如图1至图5所示，以使用由圆筒形盒(cartridge)形态的容器结构形成的存储部(110)的情况为例进行说明。可在如上所述般的存储部(110)连接可对存储于内部的黏性溶液施加压力的气压调节器(regulator)来使用。

如图4及图5所示，在存储部(110)的下端设置有内电极(310)。内电极(310)由导电材质形成，以使得可对存储于存储部(110)的黏性溶液施加电压。本实施例的内电极(310)以沿长度方向内径与厚度固定地形成的金属管道形态形成。通过如上所述的结构，内电极(310)可对存储于存储部(110)的黏性溶液施加电压，同时将黏性溶液传递至绝缘喷嘴(330)。

如图4、图5及图7所示，绝缘喷嘴(330)以在长度方向上延伸的方式形成。绝缘喷嘴(330)以至少一部分越向下侧内径越减小的方式形成的情况为佳。于本实施例的情况，如图7所示，绝缘喷嘴(330)的上部以沿长度方向内径固定的方式形成，且下部以越向下侧内径越减小的管道形态形成。

绝缘喷嘴(330)由如玻璃般的绝缘材质形成。于本实施例的情况，绝缘喷嘴(330)通过对玻璃材质的管道进行拉制加工的方法制作。如上所述的绝缘喷嘴(330)与内电极(310)同样地组装至存储部(110)的下端。

于本实施例的情况，如图7所示，绝缘喷嘴(330)以内电极(310)插入至内部的状态组装至存储部(110)。较佳为绝缘喷嘴(330)以与螺母形态的合成树脂材质结构物结合的状态通过螺合方式组装至存储部(110)。此时，以向存储部(110)的下端突出的方式设置的内电极(310)插入至绝缘喷嘴(330)的状态将绝缘喷嘴(330)连接至存储部(110)。通过如上所述的结构，内电极(310)可对黏性溶液施加电压，同时直接对绝缘喷嘴(330)供应黏性溶液。于本实施例的情况，如图7所示，内电极(310)以仅插入至绝缘喷嘴(330)的内径固定地形成的上部的方式形成。通过如上所述的结构，内电极(310)可将黏性溶液传递至与绝缘喷嘴(330)的出口(outlet)非常近的位置并对该黏性溶液施加电压。

绝缘喷嘴(330)的内径与内电极(310)的外径之间的间隔尽可能窄的情况为佳。若使绝缘喷嘴(330)的内径与内电极(310)的外径之间的间隔变窄，则可减小传递至绝缘喷嘴(330)的压力损失与电磁力的损失并通过绝缘喷嘴(330)有效地喷出黏性溶液。

较佳为绝缘喷嘴(330)的内径与内电极(310)的外径之间的间隔为0.05mm至0.1mm的情况为佳。若绝缘喷嘴(330)的内径与内电极(310)的外径之间的间隔小于0.05mm，则难以对绝缘喷嘴(330)与内电极(310)进行组装，于绝缘喷嘴(330)的内径与内电极(310)的外径之间的间隔大于0.1mm的情况下，黏性溶液可能流至绝缘喷嘴(330)与内电极(310)之间，或者在绝缘喷嘴(330)的内壁与内电极(310)的外壁之间形成气泡，或者该气泡通过绝缘喷嘴(330)与黏性溶液一同排出。

绝缘喷嘴(330)、内电极(310)与存储部(110)组装至上部主体(210)。上部主体(210)为结合存储部(110)、内电极(310)与绝缘喷嘴(330)的组合并支撑的构成。如上所述的上部主体(210)与下部主体(230)组装使用。

如图4及图5所示，下部主体(230)具有以向上下延伸的方式形成的组装槽(231)。上部主体(210)具有以与组装槽(231)对应的形状形成的组装延伸部(211)。通过上部主体(210)的组装延伸部(211)插入至下部主体(230)的组装槽(231)的方法来将上部主体(210)与下部主体(230)彼此进行组装。

在下部主体(230)固定有外电极(350)。即，外电极(350)设置并支撑在下部主体(230)。本实施例的外电极(350)以向上下延伸的管道形态形成。于本发明的情况，以由沿上下方向内径与厚度固定地形成的结构形成的外电极(350)为例进行说明，但外电极(350)的结构与形状可进行各种变形。例如，亦可形成为外电极的内径沿上下方向增加或减小的管道形态的结构。另外，如图9所示，亦可使用由沿圆周方向以固定角度间隔排列且在长度方向上延伸的结构的多个外电极元件(361)形成的外电极(360)。

若组装延伸部(211)插入至组装槽(231)以将上部主体(210)与下部主体(230)彼此组装，则外电极(350)以不接触状态包围绝缘喷嘴(330)的至少一部分的外周。于本实施例的情况，如图5所示，绝缘喷嘴(330)的末端部分呈插入至外电极(350)的状态。此时，呈插入至绝缘喷嘴(330)的内部的状态的内电极(310)亦呈插入至外电极(350)的内部的状态。

在如上所述的状态下，上部主体(210)以可相对于下部主体(230)升降的方式设置。于本实施例的情况，上部主体(210)以可沿设置于下部主体(230)的导引轨道相对于下部主体(230)向上下升降的方式设置。本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合以如下方式构成：在手动调整上部主体(210)的高度后，使用另外的固定部件(250)对上部主体(210)的高度进行固定。视情况，亦可以以下方式构成具有气体流道的电流体动力泵头组合：设置可通过控制信号调整上部主体(210)的高度的如线性马达般的形态的升降部件，从而使上部主体(210)相对于下部主体(230)自动升降。若通过如上所述的升降部件调整上部主体(210)的高度，最终绝缘喷嘴(330)相对于外电极(350)的高度得到调整。

本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有连接在绝缘喷嘴(330)与外电极(350)之间的气体流道(410)。如上所述的气体流道(410)连接在绝缘喷嘴(330)与外电极(350)之间，以在绝缘喷嘴(330)与外电极(350)之间传递正压气体或负压气体。

如上所述的气体流道(410)在绝缘喷嘴(330)与外电极(350)之间经由下部主体(230)的内部连接至外部气压装置。于本实施例的情况，气体流道(410)经由上部主体(210)的组装延伸部(211)与下部主体(230)的组装槽(231)之间的路径。

组装槽(231)形成为圆筒形，且组装延伸部(211)以外径与组装槽(231)完全相配的圆柱形态形成。在组装延伸部(211)的外表面形成沿圆周方向以相同间隔(90度间隔)向上下延伸的槽形态的部分流道(213)。在部分流道(213)的上端部形成并连接有沿组装延伸部(211)的外径以环形态形成的环形槽(211)。气体流道(410)沿通过如上所述的部分流道(213)与环形槽(211)形成的路径连接在组装延伸部(211)与组装槽(231)之间。气体流道(410)以自环形槽(211)向下部主体(230)的侧方向相连的方式延伸。气体流道(410)通过如上所述的路径连接至外部气压装置。

若使外部气压装置产生正压，则将压缩气体分散至外电极(350)与绝缘喷嘴(330)之间。反之，若使外部气压装置产生负压，则降低外电极(350)与绝缘喷嘴(330)之间的压力，并通过气体流道(410)吸入绝缘喷嘴(330)周围的空气。

另一方面，所述绝缘喷嘴(330)相对于外电极(350)的相对位置通过将上部主体(210)的组装延伸部(211)插入至下部主体(230)的组装槽(231)自动对准。若以使组装延伸部(211)与组装槽(231)之间的公差非常小的方式进行加工，则在组装延伸部(211)插入至组装槽(231)后，绝缘喷嘴(330)的水平方向位移固定。因此，若组装延伸部(211)插入至组装槽(231)且被组装槽(231)导引同时进行滑动，则绝缘喷嘴(330)容易进入至外电极(350)的内部。利用如上所述的方法可防止绝缘喷嘴(330)的损坏。由于绝缘喷嘴(330)由非常脆的玻璃材质形成得非常细且长，因此即使受到小的冲击亦容易损坏。如上所述，因组装槽(231)与组装延伸部(211)的形状与结构，绝缘喷嘴(330)容易进入至外电极(350)的内部。在将绝缘喷嘴(330)相对于外电极(350)的水平方向位置对准的状态下，若将上部主体(210)与下部主体(230)进行组装，则防止绝缘喷嘴(330)的损坏且使绝缘喷嘴(330)容易进入至外电极(350)的内部。

为此，绝缘喷嘴(330)向上部主体(210)的下侧突出的长度较组装槽(231)的深度短的情况为佳。若如上所述般构成，则于绝缘喷嘴(330)与组装槽(231)的底部接触之前，组装延伸部(211)开始插入至组装槽(231)。组装延伸部(211)通过组装槽(231)进行位置对准的同时亦自动对准绝缘喷嘴(330)的位置。

如上所说明，由于组装槽(231)与组装延伸部(211)之间以公差非常小的方式形成，因此除气体流道(410)之外的剩余部分的组装槽(231)与组装延伸部(211)之间是气密的。视需要亦可在组装延伸部(211)或组装槽(231)设置如O形环等密封部件，从而更加切实地将组装槽(231)与组装延伸部(211)之间进行气体密封。

另一方面，在下部主体(230)设置有绝缘材质的绝缘盖(233)。绝缘盖(233)形成有以沿上下贯通的方式形成的电极孔。绝缘盖(233)以可于电极孔的内部配置外电极(350)的状态结合至下部主体(230)。绝缘盖(233)起到将外电极(350)固定至下部主体(230)的作用与保护作业人员免受施加至外电极(350)的高电压的影响的作用。

以下，对如上所述构成的具有气体流道的电流体动力泵头组合的操作进行说明。

首先，对根据本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合的组装顺序进行说明。

参照图1、图2及图4，将外电极(350)组装至下部主体(230)。如上所说明，利用绝缘盖(233)将外电极(350)固定至下部主体(230)的下部。此时，外电极(350)经由绝缘盖(233)的电极孔暴露于下侧。

外电极(350)通过下部主体(230)电性连接至电源供应装置。电源供应装置以在控制部设定的电压对外电极(350)施加直流电压。

接着，参照图1、图2及图7，于存储部(110)组装内电极(310)与绝缘喷嘴(330)。存储于存储部(110)的黏性溶液呈可通过内电极(310)排出至外部的状态。另外，如图7所示，对存储部(110)组装绝缘喷嘴(330)，以使得内电极(310)呈插入至绝缘喷嘴(330)的内径固定地形成的部分的状态。若呈如上所述般的状态，则存储于存储部(110)的黏性溶液可通过内电极(310)直接传递至绝缘喷嘴(330)。在存储部(110)连接气压调节器。气压调节器可以在控制部中设定的压力对存储于存储部(110)的黏性溶液施加压力。

在如上所述的状态下，如图1及图2所示，将存储部(110)、内电极(310)与绝缘喷嘴(330)的组合安装至上部主体(210)。如图1及图2所示，在使上部主体(210)为相对于下部主体(230)上升的状态下，将存储部(110)及其周边构成安装至上部主体(210)。如上所述，在上部主体(210)为上升的状态下，内电极(310)与绝缘喷嘴(330)可不卡合在下部主体(230)且容易安装至上部主体(210)。

内电极(310)通过上部主体(210)连接至电源供应装置。电源供应装置对内电极(310)施加在控制部中设定的直流电压。

在使上部主体(210)向下侧滑动时，如图3及图5所示，组装延伸部(211)插入至组装槽(231)，且将上部主体(210)与下部主体(230)彼此组装。此时，绝缘喷嘴(330)亦插入至外电极(350)的内部。如上所述的过程亦可手动执行，亦可通过根据控制部的信号进行作动的升降部件执行。上部主体(210)与下部主体(230)之间的相对位置可根据作业条件或黏性溶液的特性等各种参数来调整。

如上所说明，若绝缘喷嘴(330)向上部主体(210)的下侧突出的长度较组装槽(231)的深度短地形成，则具有可降低组装槽(231)的损坏危险的优点。由于在绝缘喷嘴(330)与组装槽(231)的底部接触或进入至外电极(350)的内部之前，组装延伸部(211)开始插入至组装槽(231)，因此在组装延伸部(211)的位置通过组装槽(231)对准的同时亦自动对准绝缘喷嘴(330)的位置。因此，绝缘喷嘴(330)在准确的位置处进入至外电极(350)的内部。另外，在绝缘喷嘴(330)进入的过程中，绝缘喷嘴(330)不与外电极(350)接触。

完成上部主体(210)与下部主体(230)的组装时，如图6所示，绝缘喷嘴(330)的末端部分向外电极(350)的下部暴露出。视情况对上部主体(210)的高度进行调整，从而亦可在绝缘喷嘴(330)的末端部分不向外电极(350)的下部暴露出的状态下实施分配作业。

按照如上所述般的顺序进行组装使用的本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合可以如图8所示般的状态使用。如图8所示，本实施例的电流体动力泵在与照相机、传感器等其他构成一起设置于支撑面板的状态下设置于另外的移送装置来使用。通过移送装置向垂直方向与水平方向移送且利用各种方法对配置于底部的材料分配黏性溶液。

如上所述，若将材料配置于接地的基底(底部)，且利用电源供应装置对内电极(310)与外电极(350)施加直流电压，则通过由内电极(310)及外电极(350)产生的针对基底的电位差将绝缘喷嘴(330)内部的黏性溶液朝向下侧喷出。于本实施例的情况，对内电极(310)施加固定的直流电压，对外电极(350)施加各种图案与频率的脉冲电压，从而通过绝缘喷嘴(330)喷出黏性溶液。视情况亦可相反地利用对外电极(350)施加固定的直流电压、对内电极(310)施加特定频率的脉冲电压的方法构成具有气体流道的电流体动力泵头组合。

如图7所示，由于内电极(310)进入至绝缘喷嘴(330)的内部，因此可更有效地施加直流电压以喷出黏性溶液。通过如上所述的结构可提高黏性溶液的分配性能。另外，由于本实施例的内电极(310)以管道形态形成，因此形成电位差的同时执行将黏性溶液供应至绝缘喷嘴(330)的功能，从而可进一步提高分配性能。

因如上所述的内电极(310)与绝缘喷嘴(330)之间的结构，可使将存储于存储部(110)的黏性溶液供应至绝缘喷嘴(330)的部分与自绝缘喷嘴(330)喷出黏性溶液的部分之间的距离变得非常近。通过此种结构，可显著降低在分配过程中产生气泡的可能性。另外，由于因如上所述的结构在与绝缘喷嘴(330)的喷出口非常近的位置处利用内电极(310)对黏性溶液施加电压，因此使得本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有优异的分配性能。另外，如上所述的结构具有非常容易直接控制分配特性的优点。

另外，由于外电极(350)亦可在与内电极(310)及绝缘喷嘴(330)非常近的位置处施加直流电压，因此本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有更优异的分配性能。特别是，本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合的外电极(350)以管道形态形成，从而形成包围绝缘喷嘴(330)的外周且向上下延伸的空间。在如上所述的状态下，由于对外电极(350)施加直流电压，因此本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合可减少由外部环境或噪音的干涉带来的影响。结果，本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有更稳定地分配黏性溶液的性能。

另外，于内电极(310)与外电极(350)二者以圆筒形形成的情况下，通过进一步增大在内电极(310)与外电极(350)之间产生电位差的面积与空间，从而使得本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有可对黏性溶液更有效地传递电磁力的结构。

接着，对气体流道(410)的作用进行说明。连接至外部气压泵的气体流道(410)利用形成于组装延伸部(211)的环形槽(211)与部分流道(213)连至上部主体(210)及下部主体(230)的下部。在部分流道(213)的下端部，气体流道(410)再次以放射状沿半径方向延伸，且连至外电极(350)的内侧空间为止。结果，气体流道(410)的末端部分连接至外电极(350)与绝缘喷嘴(330)之间的空间。根据外部气压泵的作动，气体流道(410)向外电极(350)与绝缘喷嘴(330)之间供应正压气体或负压气体。

通常而言，分配黏性溶液的泵在开始作业的步骤中去除内部气泡或在执行校正(calibration)的过程中执行吹扫(purge)作业的情形是普遍的。在执行如上所述般的吹扫作业时，若通过气体流道(410)产生正压，则起到有助于通过绝缘喷嘴(330)喷出黏性溶液的作用。另外，若不仅在开始吹扫作业的情况下、而且在针对产品的分配作业的情况下，亦通过气体流道(410)在绝缘喷嘴(330)的周围产生固定压力的气体流动，产生可缩短形成用于喷出的稳定的弯液面(meniscus)的时间的效果。

若对通过气体流道(410)传递的气体压力的大小或气体的流量进行调整，则亦可使本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合以喷雾形态分配黏性溶液的方式作动，而并非以液滴(droplet)单位喷出黏性溶液。

另一方面，亦可使具有气体流道的电流体动力泵头组合作动，以通过气体流道(410)传递负压以在绝缘喷嘴(330)的周围形成真空。若在执行如上所述般的吹扫作业期间在气体流道(410)中产生负压，则通过绝缘喷嘴(330)吹扫的黏性溶液被抽吸(suction)并通过气体流道(410)排出至外部。即，通过在对具有气体流道的电流体动力泵头组合进行校正或进行作业准备的步骤中使黏性溶液不向绝缘喷嘴(330)的下侧下落，且通过气体流道(410)排出至外部，从而可防止由黏性溶液引起的作业空间的污染。另外，如上所述，即使在以喷雾形态分配黏性溶液的情况下，亦可在不对材料分配黏性溶液期间对气体流道(410)施加负压，以通过气体流道(410)抽吸黏性溶液的微细粒子并排出至外部。

由于本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合以外电极(350)以不接触状态包围绝缘喷嘴(330)的方式配置，因此具有容易将气体流道(410)连接至绝缘喷嘴(330)与外电极(350)之间的结构上的优点。由于通过如上所述般的结构可使气体流道(410)接近距绝缘喷嘴(330)非常近的位置，因此具有可提高由气体流道(410)所传递的正压或负压的气体压力带来的作用效果的优点。

另一方面，如本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合般的分配泵将喷嘴的高度保持为设定的值是非常重要的。于本发明的情况，可使用如下所述的方法来对外电极(350)及绝缘喷嘴(330)的高度进行校正(calibration)及控制。

如图1、图2及图4所示，在使上部主体(210)为相对于下部主体(230)上升的状态下，使如图7般的整体结构物下降来对外电极(350)的高度进行测定。于使用线性可变位移传感器(Linear Variable Displacement Transducer，LVDT)的情况下，使外电极(350)下降至外电极(350)与LVDT传感器接触时为止，从而把握外电极(350)的基准高度。通过上部主体(210)与下部主体(230)之间的相对位移，可容易地对内电极(310)或绝缘喷嘴(330)相对于外电极(350)的相对位移进行测定或调整。因此，若利用如上所述般的方法直接测定外电极(350)的高度，且利用间接的方法测定内电极(310)或绝缘喷嘴(330)的高度，则既可防止内电极(310)或绝缘喷嘴(330)损坏，亦可准确地掌握并调整主要构成的高度。利用如上所述般的方法可容易调整与主要构成的高度相关的因素，从而控制黏性溶液的分配特性。

另一方面，如上所述，本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合为可将容器形态的存储部(110)与内电极(310)及绝缘喷嘴(330)作为一组安装至上部主体(210)的结构，因此具有使用上的便利与性能上的优异性。先前，经常使用将黏性溶液存储于如小玻璃瓶(vial)般的容器并通过管将黏性溶液传递至喷嘴的结构，但于本发明的情况，使用将容器形态的存储部(110)与内电极(310)及绝缘喷嘴(330)直接短距离连接的结构。因此，可将连接至存储部(110)的调节器压力的损失最小化同时传递至内电极(310)。另外，由于不使用中间连接管，因此本实施例的具有气体流道的电流体动力泵头组合具有可将结构简单化且亦可使大小构成得小的优点。

如上所述般的本发明的结构可保持如上所述般的优点且进行各种变形。在上文中，说明了存储部(110)与内电极(310)及绝缘喷嘴(330)以组装为一组的状态安装至上部主体(210)的情形，但如上所述般的结构可视需要进行变形。例如，亦可以如下方式构成：在内电极(310)与绝缘喷嘴(330)组装于上部主体(210)的状态下，可以可装卸的方式将存储部(110)结合至上部主体(210)，从而与内电极(310)及绝缘喷嘴(330)结合。

以上，以较佳的例子为例对本发明进行了说明，但本发明的范围并非限定于上文中说明并示出的形态。

例如，内电极(310)、绝缘喷嘴(330)及外电极(350)的结构除圆筒形的结构之外，可分别变形为其他各种结构，且外径及内径的大小亦可视需要进行各种变形。另外，如图9所示，外电极(360)亦可以如下方式进行变形：通过在圆周方向上排列的多个外电极元件(361)构成具有与圆筒形相似的结构的外电极(360)。内电极(310)的结构亦可变形为如上所述般的结构来使用。

另外，与在上文中参照附图说明的结构不同，亦可以可相对于另一者对内电极与绝缘喷嘴中的任一者进行高度调整的方式构成本发明的具有气体流道的电流体动力泵头组合。如上所述，通过对内电极与绝缘喷嘴之间的高度进行调整，从而可对黏性溶液的分配特性进行调整。

另外，在上文中说明了内电极(310)插入至绝缘喷嘴(330)的内部的情形，但视情况亦可以内电极不插入至绝缘喷嘴的形态构成具有气体流道的电流体动力泵头组合。视情况亦可使用并非管道形态的内电极。

另外，对内电极(310)与绝缘喷嘴(330)直接连接至容器形态的存储部(110)的情形进行了说明并示出，但亦可构成使容器形态的存储部通过如管般的中间结构物与内电极及绝缘喷嘴连接的结构的具有气体流道的电流体动力泵头组合。

另外，在上文中以上部主体(210)以可相对于下部主体(230)升降的方式设置的结构为例进行了说明，但亦可变更为下部主体以可相对于上部主体升降的方式设置的结构。于此情况，升降部件使下部主体相对于上部主体进行升降。

另外，上部主体与下部主体的组装结构亦可不是相互滑动的方式，而多样地变形为相互螺合的结构、扣合的结构等。亦可构成不是彼此分离成上部主体与下部主体的结构，而是具有形成为一体的主体部的具有气体流道的电流体动力泵头组合。

另外，在上文中以具有气体流道(410)的结构的具有气体流道的电流体动力泵头组合为例进行了说明，但气体流道的结构可进行各种变形，且亦可构成不具有气体流道的结构的具有气体流道的电流体动力泵头组合。除在上文中说明的环形槽(211)与部分流道(213)的结构之外，气体流道的结构亦可变形为其他各种形态。