一种激光干涉仪灰尘抑制装置

技术领域

本发明涉及测量技术领域，具体为一种激光干涉仪灰尘抑制装置。

背景技术

激光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，利用激光光束的干涉原理来测量光程差或表面形貌，其主要组成部分包括激光发射器、分束器、反射镜和检测器，工作原理是将激光光束分为两束，经过样品后再合并，根据干涉现象得出表面高度差或其他参数，通过检测器将干涉信号转换为电信号，再经过数据处理得到测量结果，激光干涉仪具有高精度、非接触式、快速测量等优点，广泛应用于光学、机械加工、电子制造等领域，用于测量表面形貌、薄膜厚度、位移等参数，为工业生产和科研提供了重要的技术支持。

现有公开号为CN218424364U的中国专利，一种激光干涉仪除尘装置，涉及测量技术领域，该激光干涉仪除尘装置，包括底座和活动安装在底座底端表面的若干个脚架，若干个所述脚架均匀分布在底座的底端表面，所述底座的顶端表面开设有安装槽，所述安装槽的底端表面开设有环形槽，所述安装槽的内壁活动安装有传动机构，所述底座的底端表面安装有固定机构，所述底座的一侧表面安装有动力传输机构。本实用新型由被动齿轮移动，被动齿轮在移动时会带动其顶端表面活动安装转动杆移动，转动杆在移动时通过连接块带动限位柱进行移动，这时限位柱上安装的连接布会沿着安装槽围绕着激光干涉仪旋转，再由连接布一侧表面安装的毛刷与激光干涉仪进行接触，达到清洁的效果，然而该专利所提出的除尘装置在除尘过程中虽然可以通过擦拭将灰尘擦除，但除尘过程中灰尘始终会附着在毛刷上，在长期使用过程汇总灰尘会附着的越来越严重，最终影响除尘效果，另外该激光干涉仪工作过程中光路中的灰尘无法抑制，为减少微小的灰尘或杂质对光路产生影响，导致测量误差，对空气中灰尘的抑制也非常重要。

针对上述问题，为此，提出一种激光干涉仪灰尘抑制装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光干涉仪灰尘抑制装置，采用本装置进行工作，从而解决了对激光干涉仪进行除尘操作时，灰尘不易彻底去除以及收集，并且不便对空气中的灰尘进行降尘的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光干涉仪灰尘抑制装置，包括支撑机构，支撑机构上方设置有支撑柱，支撑柱上方设置有激光干涉仪主体，激光干涉仪主体外侧设置用于抑尘的抑尘机构；

抑尘机构包括隔尘架，隔尘架内部设置有用于清洁激光干涉仪主体的清洁部件，所述清洁部件包括固定连接在隔尘架内壁的电动伸缩杆，电动伸缩杆一端固定连接有清洁板，清洁板一侧固定连接有清洁毛刷，隔尘架内壁开设有滑槽，清洁板滑动连接于滑槽内部，清洁板上表面固定连接有连接软管，电动伸缩杆底面固定连接有气压杆，气压杆底面与连接软管一端固定连接，电动伸缩杆下方设置有用于收集灰尘的集尘部件，所述集尘部件包括固定连接在电动伸缩杆底面的集尘盒，集尘盒一侧滑动连接有集尘板，集尘板一侧固定连接有弹簧，弹簧一端与集尘盒内壁固定连接，集尘板上表面开设有集尘槽，集尘盒一侧固定连接有通气管，通气管一端与气压杆内部相连通，集尘盒一侧固定连接有顶板，顶板一侧固定连接有刷梳。

优选的，集尘盒一侧固定连接有缓冲垫，缓冲垫一侧固定连接有闭合板，缓冲垫与闭合板对应设置。

优选的，隔尘架上表面固定连接有注水口，隔尘架内部设置有储液室，隔尘架一侧开设有连通槽，隔尘架一侧固定连接有储液板，储液板一侧固定连接有雾化喷头，储液板内部设置有小型水泵。

优选的，隔尘架一侧开设有鼓气槽，隔尘架内部设置有风机，风机与鼓气槽对应设置。

优选的，抑尘机构还包括安装部件，所述安装部件包括底板，底板上表面固定连接有限位板，限位板一侧开设有限位板，隔尘架底面开设有卡槽，限位板与卡槽对应设置，隔尘架一侧螺纹连接有螺栓，螺栓与螺纹槽B对应设置。

优选的，隔尘架一侧转动连接有活动板，活动板一侧开设有螺纹槽C，隔尘架内壁固定连接有鼓气泵，底板上表面开设有贯穿底板的漏尘槽，底板一侧开设有安装槽，底板一侧开设有螺纹槽A，螺纹槽A与螺纹槽C对应设置。

优选的，支撑机构包括支撑盘，支撑盘上表面转动连接有转盘，转盘上表面与支撑柱固定连接，支撑柱上表面固定连接有连接盘，连接盘上表面与底板底面固定连接。

优选的，支撑盘外侧固定连接有固定板，所述固定板共设置有六组，六组所述固定板两两组合对应设置，两组所述固定板之间固定连接有转轴，转轴外侧转动连接有支架伸缩柱，支架伸缩柱外侧开设有限位孔，支架伸缩柱外侧开设有收缩孔，收缩孔内壁固定连接有弹簧，弹簧一端固定连接有限位凸块，限位凸块与限位孔对应设置，支架伸缩柱一端固定连接有底盘。

优选的，底盘底面固定连接有缓冲底垫。

优选的，支撑盘底面固定连接有底柱，底柱外侧套接有套环，底柱底面固定连接有底限位盘，套环外侧转动连接有连接短杆，连接短杆一端与支架伸缩柱一侧转动连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

本发明提出的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，通过支撑机构、抑尘机构、清洁部件以及集尘部件的设置，实现了对激光干涉仪除尘时保证基本的清洁效果的同时，可以对清洁毛刷进行实时刮除，防止灰尘附着，并且对刮下的灰尘进行收集，另外通过雾化喷涂配合风机进行喷水鼓气，从而对光路范围进行降尘，达到了对激光干涉仪周围进行全面的抑尘效果的目的。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的安装部件结构示意图；

图3为本发明的隔尘架结构示意图A；

图4为本发明的隔尘架结构示意图B；

图5为本发明的清洁部件结构示意图；

图6为本发明的集尘部件结构示意图；

图7为本发明的活动板结构示意图；

图8为本发明的鼓气泵结构示意图；

图9为本发明的支撑机构结构示意图。

图中：1、支撑机构；11、支撑盘；12、转盘；13、固定板；131、转轴；14、支架伸缩柱；141、限位孔；142、限位凸块；15、底盘；151、缓冲底垫；16、底柱；17、套环；18、连接短杆；19、底限位盘；2、支撑柱；21、连接盘；3、抑尘机构；31、安装部件；311、底板；312、螺纹槽A；313、限位板；314、螺纹槽B；315、安装槽；316、漏尘槽；32、隔尘架；321、滑槽；322、鼓气槽；323、卡槽；324、螺栓；325、连通槽；326、活动板；327、螺纹槽C；328、鼓气泵；33、注水口；34、储液板；341、雾化喷头；35、清洁部件；351、电动伸缩杆；352、清洁板；353、清洁毛刷；354、连接软管；355、气压杆；36、集尘部件；361、集尘盒；362、通气管；363、缓冲垫；364、集尘板；365、集尘槽；366、闭合板；367、顶板；368、刷梳；4、激光干涉仪主体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为进一步了解本发明的内容，结合附图对本发明作详细描述。

结合图1以及图3-图6，一种激光干涉仪灰尘抑制装置，包括支撑机构1，支撑机构1上方设置有支撑柱2，支撑柱2上方设置有激光干涉仪主体4，激光干涉仪主体4外侧设置用于抑尘的抑尘机构3；

抑尘机构3包括隔尘架32，隔尘架32内部设置有用于清洁激光干涉仪主体4的清洁部件35，所述清洁部件35包括固定连接在隔尘架32内壁的电动伸缩杆351，电动伸缩杆351一端固定连接有清洁板352，清洁板352一侧固定连接有清洁毛刷353，隔尘架32内壁开设有滑槽321，清洁板352滑动连接于滑槽321内部，清洁板352上表面固定连接有连接软管354，电动伸缩杆351底面固定连接有气压杆355，气压杆355底面与连接软管354一端固定连接，电动伸缩杆351下方设置有用于收集灰尘的集尘部件36，所述集尘部件36包括固定连接在电动伸缩杆351底面的集尘盒361，集尘盒361一侧滑动连接有集尘板364，集尘板364一侧固定连接有弹簧，弹簧一端与集尘盒361内壁固定连接，集尘板364上表面开设有集尘槽365，集尘盒361一侧固定连接有通气管362，通气管362一端与气压杆355内部相连通，集尘盒361一侧固定连接有顶板367，顶板367一侧固定连接有刷梳368，通过隔尘架32、滑槽321、电动伸缩杆351、清洁板352、清洁毛刷353、连接软管354、气压杆355、集尘盒361、通气管362、集尘板364、集尘槽365、顶板367以及刷梳368的设置，可以在激光干涉仪主体4工作过程中开启电动伸缩杆351，电动伸缩杆351带动清洁板352移动，利用清洁毛刷353对激光干涉仪主体4外侧进行清理灰尘的工作，连接软管354随着清洁板352移动而拉伸，在清理完成后清洁板352向上收缩，清洁毛刷353在经过刷梳368时将灰尘刮下，同时气压杆355受到挤压，将挤压产生的气体通过通气管362通入集尘盒361内部，通过气体挤压将集尘板364从集尘盒361中推出，将清洁毛刷353通过刷梳368刮下的灰尘收集于集尘槽365中，在清洁板352复位后在弹簧的作用下集尘板364收缩回集尘盒361内部，实现了在清理好激光干涉仪主体4的同时将清理附着的灰尘进行刮除收集的目的。

下面结合实施例对本发明作进一步的描述。

请参阅图2-图8，集尘盒361一侧固定连接有缓冲垫363，缓冲垫363一侧固定连接有闭合板366，缓冲垫363与闭合板366对应设置，通过缓冲垫363以及闭合板366的设置，可以在灰尘收集过程中利用闭合板366与集尘盒361贴合进行封闭，防止灰尘扩散，缓冲垫363起到了在闭合板366收缩时进行缓冲的效果。

隔尘架32上表面固定连接有注水口33，隔尘架32内部设置有储液室，隔尘架32一侧开设有连通槽325，隔尘架32一侧固定连接有储液板34，储液板34一侧固定连接有雾化喷头341，储液板34内部设置有小型水泵，通过连通槽325、注水口33、储液板34以及雾化喷头341的设置，可以开启注水口33为隔尘架32内部的储液室填充水，并通过储液板34内部的小型水泵将储液室内部的水抽出，利用雾化喷头341将水成水雾态喷出，从而对空气中的灰尘中起到降尘效果。

隔尘架32一侧开设有鼓气槽322，隔尘架32内部设置有风机，风机与鼓气槽322对应设置，通过鼓气槽322的设置，与雾化喷头341喷出的水雾配合工作，从而去除空气中的灰尘。

抑尘机构3还包括安装部件31，所述安装部件31包括底板311，底板311上表面固定连接有限位板313，限位板313一侧开设有限位板313，隔尘架32底面开设有卡槽323，限位板313与卡槽323对应设置，隔尘架32一侧螺纹连接有螺栓324，螺栓324与螺纹槽B314对应设置，通过底板311、限位板313、螺纹槽B314、卡槽323以及螺栓324的设置，隔尘架32利用卡槽323与限位板313对齐，并推动隔尘架32，将隔尘架32安装于底板311上表面，安装结束后，使用螺栓324对齐螺纹槽B314进行连接，最终对隔尘架32进行固定。

隔尘架32一侧转动连接有活动板326，活动板326一侧开设有螺纹槽C327，隔尘架32内壁固定连接有鼓气泵328，底板311上表面开设有贯穿底板311的漏尘槽316，底板311一侧开设有安装槽315，底板311一侧开设有螺纹槽A312，螺纹槽A312与螺纹槽C327对应设置，通过活动板326、螺纹槽C327、鼓气泵328、安装槽315以及漏尘槽316的设置，利用鼓气泵328以及漏尘槽316配合，在吹去激光干涉仪主体4外侧的灰尘的同时，为激光干涉仪主体4的工作起到降温效果，漏尘槽316用于通风并排去灰尘，通过活动板326的转动，便于对鼓气泵328的安装和清理，在正常使用过程中，使用固定件穿过螺纹槽C327以及螺纹槽A312对活动板326进行固定。

请参阅图9，支撑机构1包括支撑盘11，支撑盘11上表面转动连接有转盘12，转盘12上表面与支撑柱2固定连接，支撑柱2上表面固定连接有连接盘21，连接盘21上表面与底板311底面固定连接，通过支撑盘11、转盘12、支撑柱2以及连接盘21的设置，起到了将下方支撑的支撑机构1与上方的抑尘机构3进行连接固定，保证工作过程中的稳定性，转盘12起到角度调节效果。

支撑盘11外侧固定连接有固定板13，所述固定板13共设置有六组，六组所述固定板13两两组合对应设置，两组所述固定板13之间固定连接有转轴131，转轴131外侧转动连接有支架伸缩柱14，支架伸缩柱14外侧开设有限位孔141，支架伸缩柱14外侧开设有收缩孔，收缩孔内壁固定连接有弹簧，弹簧一端固定连接有限位凸块142，限位凸块142与限位孔141对应设置，支架伸缩柱14一端固定连接有底盘15，通过固定板13、转轴131、支架伸缩柱14、限位孔141、限位凸块142以及底盘15的设置，利用固定板13、转轴131以及支架伸缩柱14的配合，对支架伸缩柱14支撑的角度进行调节，通过限位孔141以及限位凸块142对支架伸缩柱14的长度进行调节，利用限位凸块142对限位孔141进行卡合固定，底盘15用于对底部进行支撑。

底盘15底面固定连接有缓冲底垫151，通过缓冲底垫151的设置，起到了便于调节水平以及减震效果。

支撑盘11底面固定连接有底柱16，底柱16外侧套接有套环17，底柱16底面固定连接有底限位盘19，套环17外侧转动连接有连接短杆18，连接短杆18一端与支架伸缩柱14一侧转动连接，通过底柱16、套环17、连接短杆18以及底限位盘19的设置，在调节支架伸缩柱14时带动连接短杆18转动，进而带动套环17上下移动，底限位盘19起到了对套环17的限位效果。

具体的，在工作过程中，开启电动伸缩杆351，电动伸缩杆351带动清洁板352向下移动，利用清洁毛刷353对激光干涉仪主体4进行外侧的清理灰尘的工作，连接软管354因清洁板352向下移动而拉伸，在清洁板352移动到底端后由电动伸缩杆351控制清洁板352向上收缩，清洁毛刷353在经过刷梳368时将灰尘刮下，同时气压杆355因清洁板352上升受到挤压，将挤压产生的气体通过通气管362通入集尘盒361内部，通过气体挤压将集尘板364从集尘盒361中推出，将刷梳368刮落的灰尘收集于集尘槽365中，清洁板352复位后在弹簧的作用下集尘板364收缩回集尘盒361内部，实现了清理激光干涉仪主体4的同时将清理附着的灰尘进行刮除收集的目的，同时在激光干涉仪主体4工作前开启储液板34内部的小型水泵，将储液室内部的水抽出，利用雾化喷头341将水成水雾态喷出，平时开启隔尘架32内部的风机，通过鼓气槽322调整风向，实现对空气中灰尘的降尘工作，最终实现了对激光干涉仪除尘并收集灰尘的同时，对光路范围进行降尘，达到了对激光干涉仪周围进行全面的抑尘效果的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。