一种高精度异形玻璃激光切割系统

技术领域

本发明涉及玻璃激光切割技术领域，具体涉及一种高精度异形玻璃激光切割系统。

背景技术

玻璃是一种广泛应用于建筑、医疗、汽车等领域的重要工程材料，具有透明、美观、耐用等特点。随着玻璃技术的发展，玻璃的形状和功能也越来越多样化，需要对玻璃进行精确、灵活和高效的切割和加工，目前，玻璃切割的主要方法有机械切割、热切割和激光切割。机械切割是利用刀具或砂轮等硬质材料对玻璃进行划痕或磨削，然后通过外力或内应力使玻璃沿划痕断裂的方法。热切割是利用火焰、电弧或等离子等高温热源对玻璃进行加热，使玻璃产生热应力和热裂纹，然后通过冷却或外力使玻璃断裂的方法。激光切割是利用激光束对玻璃进行照射，使玻璃产生局部熔化、汽化或改变微观结构，然后通过外力或内应力使玻璃断裂的方法。

在相关技术中，现有的激光切割对于较薄的玻璃有很好的效果，但是对于较厚的玻璃，激光切割的速度会降低，而且可能会产生更大的热影响区和热变形，影响切割的质量和精度，激光切割的设备和维护的成本较高，需要投入较大的资金和人力，而且激光器的寿命受到使用频率和环境因素的影响，需要定期更换和校准，激光切割的过程中会产生有害的紫外线辐射，可能会导致皮肤癌和眼睛损伤，而且激光切割的烟雾也可能对人体健康有害，需要采取有效的防护和排风措施，为此，我们提出一种高精度异形玻璃激光切割系统。

本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种高精度异形玻璃激光切割系统以解决上述背景技术中提出的现有的激光切割对于较薄的玻璃有很好的效果，但是对于较厚的玻璃，激光切割的速度会降低，而且可能会产生更大的热影响区和热变形，影响切割的质量和精度，激光切割的设备和维护的成本较高，需要投入较大的资金和人力，而且激光器的寿命受到使用频率和环境因素的影响，需要定期更换和校准，激光切割的过程中会产生有害的紫外线辐射，可能会导致皮肤癌和眼睛损伤，而且激光切割的烟雾也可能对人体健康有害，需要采取有效的防护和排风措施的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高精度异形玻璃激光切割系统，系统包括以下部分：

超短脉冲高功率飞秒激光器，用于产生高质量的激光束，所述激光器的波长、脉宽、重复频率和平均功率可以根据不同的玻璃材料和厚度进行调节；

光学系统，用于对激光束进行聚焦、偏转和扫描，该光学系统包括一个高数值孔径的聚焦透镜、一个二维振镜、一个三维平台和一个光学传感器，所述光学系统实现对玻璃的二维和三维的切割和钻孔；

控制系统，用于对激光器和光学系统进行协调和控制，所述控制系统包括一个激光控制器，一个振镜控制器，一个平台控制器和一个图形用户界面，该控制系统可以根据用户输入的切割和钻孔的参数和图形，生成相应的激光和光学系统的控制信号；

冷却系统，用于对激光器和光学系统进行冷却，所述冷却系统包括一个水冷机和一个风扇，所述冷却系统可以保证激光器和光学系统的稳定工作；

防护系统，用于对激光切割过程中产生的有害辐射和烟雾进行防护和排除，所述防护系统包括一个激光防护罩，一个烟雾排风装置和一个激光防护眼镜，所述防护系统可以保护操作人员和环境的安全。

作为一种优化的技术方案，所述超短脉冲高功率飞秒激光器是利用光纤技术和啁啾脉冲放大技术(CPA)实现的全光纤激光系统，由以下几个部分组成：

一个种子激光器，用于产生初始的飞秒激光脉冲，通常是一个锁模光纤激光器，可以产生波长为800-1100nm，脉宽为几百飞秒，重复频率为几十兆赫兹，平均功率为几百毫瓦的激光脉冲；

一个拉伸器，用于对种子激光脉冲进行时间上的拉伸，以降低其峰值功率，防止在后续的放大过程中产生非线性效应，是一个啁啾光纤布拉格光栅(CFBG)，可以将脉宽从几百飞秒拉伸到几纳秒，同时保持其频谱宽度不变；

一个放大器，用于对拉伸后的激光脉冲进行功率上的放大，是一个掺杂了钇离子的光纤放大器(YDFA)，可以利用泵浦光源对激光脉冲进行多级放大，同时保持其线性偏振和高光束质量；

一个压缩器，用于对放大后的激光脉冲进行时间上的压缩，以恢复其原始的飞秒脉宽，同时提高其峰值功率，是一个啁啾光纤布拉格光栅(CFBG)，可以将脉宽从几纳秒压缩到几百飞秒，甚至几十飞秒，同时补偿其高阶色散，提高其压缩效率。

作为一种优化的技术方案，所述光学系统是一个用于对激光束进行聚焦、偏转和扫描的光学系统，由以下几个部分组成：

一个高数值孔径的聚焦透镜，用于将从激光器传输过来的激光脉冲聚焦到玻璃表面或内部，形成一个高密度的激光斑点，所述聚焦透镜的数值孔径越大，聚焦的激光斑点越小，切割的精度越高；

一个二维振镜，用于对聚焦后的激光斑点进行快速的偏转和扫描，实现对玻璃的二维切割，所述二维振镜由两个电动驱动的旋转镜组成，分别控制激光斑点在水平和垂直方向上的移动，该二维振镜的扫描速度和范围可以根据用户的需求进行调节；

一个三维平台，用于对玻璃进行精确的定位和移动，实现对玻璃的三维切割和钻孔，所述三维平台由三个电动驱动的滑台组成，分别控制玻璃在X、Y、Z三个方向上的移动，所述三维平台的移动速度和范围也可以根据用户的需求进行调节；

一个光学传感器，用于对玻璃的厚度和形状进行实时的检测和反馈，实现对玻璃的自适应切割和钻孔，所述光学传感器由一个光源和一个光电探测器组成，通过测量激光斑点在玻璃上的反射和透射信号，计算出玻璃的厚度和曲率，然后将这些信息发送给控制系统，调整激光和光学系统的参数，保证切割和钻孔的质量和精度。

作为一种优化的技术方案，所述控制系统是一个用于对激光器和光学系统进行协调和控制的控制系统，由以下几个部件组成：

一个激光控制器，用于对激光器的波长、脉宽、重复频率和平均功率进行设置和调节，以适应不同的玻璃材料和厚度，所述激光控制器可以通过光纤传输线与激光器进行通信，发送和接收激光器的工作状态和参数；

一个振镜控制器，用于对二维振镜的水平和垂直方向的旋转角度进行设置和调节，以实现对激光斑点的快速偏转和扫描，所述振镜控制器可以通过电缆与二维振镜进行通信，发送和接收振镜的工作状态和参数；

一个平台控制器，用于对三维平台的X、Y、Z三个方向的移动距离和速度进行设置和调节，以实现对玻璃的精确定位和移动，所述平台控制器可以通过电缆与三维平台进行通信，发送和接收平台的工作状态和参数；

一个图形用户界面，用于对用户输入的切割和钻孔的参数和图形进行显示和处理，以生成相应的激光和光学系统的控制信号，所述图形用户界面可以通过电脑或触摸屏与用户进行交互，提供友好的操作界面和指示。

作为一种优化的技术方案，所述冷却系统的结构组成是一个水冷机和一个风扇，水冷机用于对激光器进行冷却，风扇用于对光学系统进行冷却；所述冷却系统与系统之间的连接方式是通过水管和电缆，水管将水冷机的冷却水输送到激光器的水冷接口，电缆将风扇的电源连接到光学系统的风扇接口；所述冷却系统利用水和空气的热交换，将激光器和光学系统产生的热量带走，保持激光器和光学系统的温度在合适的范围内，防止过热或损坏。

作为一种优化的技术方案，所述防护系统的结构组成是一个激光防护罩，一个烟雾排风装置和激光防护眼镜，所述激光防护罩是一个用透明的激光防护材料制成的罩子，可以遮挡住激光切割过程中产生的有害辐射，防止激光束或其反射光伤害操作人员或周围的物体，所述烟雾排风装置是一个用于吸收和排除激光切割过程中产生的烟雾和粉尘的装置，可以保持切割区域的清洁和通风，防止烟雾和粉尘对操作人员或环境造成污染，所述激光防护眼镜是一种用于保护操作人员的眼睛的眼镜，可以过滤掉激光切割过程中产生的特定波长的光线，防止激光束或其反射光刺伤操作人员的眼睛。

作为一种优化的技术方案，所述切割系统的工作步骤为；

S1：用户通过图形用户界面输入或选择需要切割或钻孔的玻璃的类型、厚度、形状和图案，以及其他相关的参数，如激光功率、扫描速度、重复次数等；

S2：控制系统根据用户输入的参数和图形，生成相应的激光和光学系统的控制信号，并发送给激光器和光学系统；

S3：激光器根据控制信号，产生高质量的激光束，并通过光纤传输给光学系统；

S4：光学系统根据控制信号，对激光束进行聚焦、偏转和扫描，使激光束在玻璃表面或内部形成高密度的激光点阵，从而在玻璃中产生微观的熔化、汽化或改变结构的区域，称为激光诱导的改变区域(LIMA)；

S5：激光诱导的改变区域沿着用户输入的图形分布，形成切割或钻孔的轮廓，然后通过外力或内应力使玻璃沿着轮廓断裂，从而实现对玻璃的切割或钻孔；

S6：防护系统对激光切割过程中产生的有害辐射和烟雾进行防护和排除，保护操作人员和环境的安全；

S7：冷却系统对激光器和光学系统进行冷却，保证激光器和光学系统的稳定工作。

作为一种优化的技术方案，所述系统中激光器的平均功率P与激光脉冲的波长λ、脉宽τ、重复频率f和峰值功率P

其中，E是激光脉冲的能量，h是普朗克常数，c是光速；

激光斑点的直径d与聚焦透镜的数值孔径NA、激光脉冲的波长λ和聚焦距离f之间的关系为：

二维振镜的旋转角度θ

x＝f×tanθ

y＝f×tanθ

其中，f是聚焦透镜的聚焦距离；

三维平台的移动距离和速度Sx、Sy和Sz与激光斑点在玻璃上的切割深度和速度D和V之间的关系为：

D＝S

三维平台的Z方向的移动距离决定激光斑点在玻璃上的切割深度，而三维平台的X和Y方向的移动速度决定激光斑点在玻璃上的切割速度。

本发明所具有的有益效果是：

可以实现对各种类型和厚度的玻璃的高精度异形切割和钻孔，包括强化玻璃、非强化玻璃、钠钙玻璃等脆性材料，也可以切割2D和3D的曲面玻璃；可以实现对玻璃的快速、精确和灵活的切割和钻孔，不需要更换刀具，也不需要后续处理，切割和钻孔的速度和精度可以根据用户的需求进行调节；可以保证切割和钻孔的质量和重复性，切口平整、光滑、无毛刺，只有很小的热影响区，不会影响玻璃的性能和外观，切割和钻孔的重复性可以达到±0.05mm；可以减少材料的损耗和废料的处理，激光切割的切口宽度很小，可以提高材料的利用率，而且激光切割的烟雾可以通过防护系统进行排除，不会造成环境污染；可以提高生产效率和降低成本，激光切割的速度比传统的机械切割和热切割快得多，尤其是对于复杂的切割，可以大幅提高生产效率，而且激光切割的刀具消耗和能耗较低，可以降低成本。

附图说明

图1是本发明提供的一种高精度异形玻璃激光切割系统的系统连接框图；

图2是本发明提供的一种高精度异形玻璃激光切割系统的工作流程图。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1：

本实施例中的一种高精度异形玻璃激光切割系统，系统包括以下部分：

超短脉冲高功率飞秒激光器，用于产生高质量的激光束，激光器的波长、脉宽、重复频率和平均功率可以根据不同的玻璃材料和厚度进行调节；

光学系统，用于对激光束进行聚焦、偏转和扫描，光学系统包括一个高数值孔径的聚焦透镜、一个二维振镜、一个三维平台和一个光学传感器，所述光学系统实现对玻璃的二维和三维的切割和钻孔；

控制系统，用于对激光器和光学系统进行协调和控制，控制系统包括一个激光控制器，一个振镜控制器，一个平台控制器和一个图形用户界面，该控制系统可以根据用户输入的切割和钻孔的参数和图形，生成相应的激光和光学系统的控制信号；

冷却系统，用于对激光器和光学系统进行冷却，冷却系统包括一个水冷机和一个风扇，冷却系统可以保证激光器和光学系统的稳定工作；

防护系统，用于对激光切割过程中产生的有害辐射和烟雾进行防护和排除，防护系统包括一个激光防护罩，一个烟雾排风装置和一个激光防护眼镜，所述防护系统可以保护操作人员和环境的安全。

作为一种优化的技术方案，超短脉冲高功率飞秒激光器是利用光纤技术和啁啾脉冲放大技术(CPA)实现的全光纤激光系统，由以下几个部分组成：

一个种子激光器，用于产生初始的飞秒激光脉冲，种子激光器是一个锁模光纤激光器，可以产生波长为800-1100nm，脉宽为几百飞秒，重复频率为几十兆赫兹，平均功率为几百毫瓦的激光脉冲；

一个拉伸器，用于对种子激光脉冲进行时间上的拉伸，以降低其峰值功率，防止在后续的放大过程中产生非线性效应，拉伸器是一个啁啾光纤布拉格光栅(CFBG)，可以将脉宽从几百飞秒拉伸到几纳秒，同时保持其频谱宽度不变；

一个放大器，用于对拉伸后的激光脉冲进行功率上的放大，放大器是一个掺杂了钇离子的光纤放大器(YDFA)，可以利用泵浦光源对激光脉冲进行多级放大，同时保持其线性偏振和高光束质量；

一个压缩器，用于对放大后的激光脉冲进行时间上的压缩，以恢复其原始的飞秒脉宽，同时提高其峰值功率，压缩器是一个啁啾光纤布拉格光栅(CFBG)，可以将脉宽从几纳秒压缩到几百飞秒，甚至几十飞秒，同时补偿其高阶色散，提高其压缩效率；

该激光器的工作原理是利用光纤技术和啁啾脉冲放大技术(CPA)实现的全光纤激光系统，它的核心思想是先拉伸后放大再压缩，即先将初始的飞秒激光脉冲在时间上拉伸，降低其峰值功率，然后在光纤放大器中进行功率上的放大，最后在压缩器中将放大后的激光脉冲在时间上压缩，恢复其飞秒脉宽，从而实现高功率高峰值功率的飞秒激光脉冲的产生，这种方法可以克服传统的固体激光器在产生高功率飞秒激光脉冲时遇到的非线性效应、热效应、损耗等问题，同时也可以利用光纤的灵活性、稳定性、可靠性等优点，实现全光纤化、集成化、模块化的激光系统设计。

作为一种优化的技术方案，所述光学系统是一个用于对激光束进行聚焦、偏转和扫描的光学系统，由以下几个部分组成：

一个高数值孔径的聚焦透镜，用于将从激光器传输过来的激光脉冲聚焦到玻璃表面或内部，形成一个高密度的激光斑点，聚焦透镜的数值孔径越大，聚焦的激光斑点越小，切割的精度越高；

一个二维振镜，用于对聚焦后的激光斑点进行快速的偏转和扫描，实现对玻璃的二维切割，二维振镜由两个电动驱动的旋转镜组成，分别控制激光斑点在水平和垂直方向上的移动，该二维振镜的扫描速度和范围可以根据用户的需求进行调节；

一个三维平台，用于对玻璃进行精确的定位和移动，实现对玻璃的三维切割和钻孔，三维平台由三个电动驱动的滑台组成，分别控制玻璃在X、Y、Z三个方向上的移动，三维平台的移动速度和范围也可以根据用户的需求进行调节；

一个光学传感器，用于对玻璃的厚度和形状进行实时的检测和反馈，实现对玻璃的自适应切割和钻孔，光学传感器由一个光源和一个光电探测器组成，通过测量激光斑点在玻璃上的反射和透射信号，计算出玻璃的厚度和曲率，然后将这些信息发送给控制系统，调整激光和光学系统的参数，保证切割和钻孔的质量和精度；

该光学系统的工作原理是利用激光束的聚焦、偏转和扫描，实现对玻璃的二维和三维的切割和钻孔，通过控制激光斑点在玻璃上的位置和移动，形成切割和钻孔的轮廓，然后通过外力或内应力使玻璃沿着轮廓断裂，从而实现对玻璃的切割和钻孔，这种方法可以克服传统的机械切割和热切割在切割玻璃时遇到的磨损、热影响、精度低等问题，同时也可以利用激光的灵活性、精确性、高效性等优点，实现对玻璃的高精度异形切割和钻孔。

作为一种优化的技术方案，控制系统是一个用于对激光器和光学系统进行协调和控制的控制系统，由以下几个部件组成：

一个激光控制器，用于对激光器的波长、脉宽、重复频率和平均功率进行设置和调节，以适应不同的玻璃材料和厚度，激光控制器可以通过光纤传输线与激光器进行通信，发送和接收激光器的工作状态和参数；

一个振镜控制器，用于对二维振镜的水平和垂直方向的旋转角度进行设置和调节，以实现对激光斑点的快速偏转和扫描，振镜控制器可以通过电缆与二维振镜进行通信，发送和接收振镜的工作状态和参数；

一个平台控制器，用于对三维平台的X、Y、Z三个方向的移动距离和速度进行设置和调节，以实现对玻璃的精确定位和移动，平台控制器可以通过电缆与三维平台进行通信，发送和接收平台的工作状态和参数；

一个图形用户界面，用于对用户输入的切割和钻孔的参数和图形进行显示和处理，以生成相应的激光和光学系统的控制信号，图形用户界面可以通过电脑或触摸屏与用户进行交互，提供友好的操作界面和指示；

该控制系统的工作原理是利用图形用户界面对用户输入的切割和钻孔的参数和图形进行显示和处理，然后根据这些信息，生成相应的激光和光学系统的控制信号，分别通过光纤传输线和电缆，发送给激光控制器、振镜控制器和平台控制器，从而对激光器和光学系统进行协调和控制，实现对玻璃的高精度异形切割和钻孔，可以克服传统的手动或半自动控制方式在切割玻璃时遇到的误差、低效、不稳等问题，同时也可以利用图形用户界面的灵活性、易用性、智能性等优点，实现对激光器和光学系统的精确和快速的控制。

在本实施例中，冷却系统的结构组成是一个水冷机和一个风扇，水冷机用于对激光器进行冷却，风扇用于对光学系统进行冷却；冷却系统与系统之间的连接方式是通过水管和电缆，水管将水冷机的冷却水输送到激光器的水冷接口，电缆将风扇的电源连接到光学系统的风扇接口；冷却系统利用水和空气的热交换，将激光器和光学系统产生的热量带走，保持激光器和光学系统的温度在合适的范围内，防止过热或损坏；

防护系统的结构组成是一个激光防护罩，一个烟雾排风装置和激光防护眼镜，所述激光防护罩是一个用透明的激光防护材料制成的罩子，可以遮挡住激光切割过程中产生的有害辐射，防止激光束或其反射光伤害操作人员或周围的物体，烟雾排风装置是一个用于吸收和排除激光切割过程中产生的烟雾和粉尘的装置，可以保持切割区域的清洁和通风，防止烟雾和粉尘对操作人员或环境造成污染，激光防护眼镜是一种用于保护操作人员的眼睛的眼镜，可以过滤掉激光切割过程中产生的特定波长的光线，防止激光束或其反射光刺伤操作人员的眼睛。

实施例2：

在本实施例中，切割系统的工作步骤为；

S1：用户通过图形用户界面输入或选择需要切割或钻孔的玻璃的类型、厚度、形状和图案，以及其他相关的参数，如激光功率、扫描速度、重复次数等；

S2：控制系统根据用户输入的参数和图形，生成相应的激光和光学系统的控制信号，并发送给激光器和光学系统；

S3：激光器根据控制信号，产生高质量的激光束，并通过光纤传输给光学系统；

S4：光学系统根据控制信号，对激光束进行聚焦、偏转和扫描，使激光束在玻璃表面或内部形成高密度的激光点阵，从而在玻璃中产生微观的熔化、汽化或改变结构的区域，称为激光诱导的改变区域(LIMA)；

S5：激光诱导的改变区域沿着用户输入的图形分布，形成切割或钻孔的轮廓，然后通过外力或内应力使玻璃沿着轮廓断裂，从而实现对玻璃的切割或钻孔；

S6：防护系统对激光切割过程中产生的有害辐射和烟雾进行防护和排除，保护操作人员和环境的安全；

S7：冷却系统对激光器和光学系统进行冷却，保证激光器和光学系统的稳定工作。

具体的，所述系统中激光器的平均功率P与激光脉冲的波长λ、脉宽τ、重复频率f和峰值功率P

其中，E是激光脉冲的能量，h是普朗克常数，c是光速，这个表达式说明，激光器的平均功率可以通过调节激光脉冲的波长、脉宽或重复频率来改变，而峰值功率则与波长和脉宽成反比，与重复频率无关；

激光斑点的直径d与聚焦透镜的数值孔径NA、激光脉冲的波长λ和聚焦距离f之间的关系为：

这个表达式说明，激光斑点的直径与聚焦透镜的数值孔径成反比，与激光脉冲的波长和聚焦距离成正比。因此，为了获得更小的激光斑点，可以选择更大的数值孔径，更短的波长或更近的聚焦距离；

二维振镜的旋转角度θ

x＝f×tanθ

y＝f×tanθ

其中，f是聚焦透镜的聚焦距离，这些表达式说明，二维振镜的旋转角度与激光斑点的位移成正比，而且旋转角度越大，位移越大，因此，为了实现对激光斑点的快速偏转和扫描，可以选择更大的旋转角度，或者更小的聚焦距离；

三维平台的移动距离和速度Sx、Sy和Sz与激光斑点在玻璃上的切割深度和速度D和V之间的关系为：

D＝S

三维平台的Z方向的移动距离决定激光斑点在玻璃上的切割深度，而三维平台的X和Y方向的移动速度决定激光斑点在玻璃上的切割速度，因此，为了实现对玻璃的精确定位和移动，可以根据用户输入的切割深度和速度，调节三维平台的移动距离和速度；

假设用户想要用激光切割系统对一块厚度为5mm的钠钙玻璃进行切割，切割的图形是一个直径为10mm的圆孔，切割的深度为5mm，切割的速度为10mm/s。那么根据玻璃的类型和厚度，选择合适的激光器的波长、脉宽、重复频率和平均功率，以实现对玻璃的有效切割，同时避免过度加热或损伤玻璃。假设选择的激光器的波长为1064nm，脉宽为500fs，重复频率为100kHz，平均功率为100W。那么，控制系统需要向激光控制器发送以下的控制信号：

波长：1064nm

脉宽：500fs

重复频率：100kHz

平均功率：100W

根据切割的图形，计算出二维振镜的水平和垂直方向的旋转角度的变化规律，以实现对激光斑点的快速偏转和扫描，形成圆孔的轮廓。假设聚焦透镜的聚焦距离为100mm，那么，根据之前的数学表达式，可以得到激光斑点的直径为：

为了保证切割的质量和精度，激光斑点的直径应该小于圆孔的直径的10％，即d<1mm，所以这个条件是满足的。然后，根据圆孔的直径，可以得到二维振镜的最大旋转角度为：

为了保证切割的均匀性和连续性，激光斑点的移动距离应该小于激光斑点的直径的50％，即Δx<0.5d，所以二维振镜的旋转角度的变化量应该满足：

因此，控制系统需要向振镜控制器发送以下的控制信号，使二维振镜的水平和垂直方向的旋转角度在-θ

水平方向的旋转角度：θ

垂直方向的旋转角度：θ

其中，ω是圆周运动的角速度，可以根据切割的速度和圆孔的半径计算出，即：

根据切割的深度和速度，计算出三维平台的X、Y、Z三个方向的移动距离和速度的变化规律，以实现对玻璃的精确定位和移动，形成圆孔的深度。假设三维平台的初始位置为(0,0,0)，那么，根据之前的数学表达式，可以得到三维平台的移动距离和速度为：

X方向的移动距离：S

X方向的移动速度：S

Y方向的移动距离：S

Y方向的移动速度：S

Z方向的移动距离：S

Z方向的移动速度：S

因此，控制系统需要向平台控制器发送以下的控制信号，使三维平台的X、Y、Z三个方向按照上述的移动距离和速度进行移动，从而实现对玻璃的精确定位和移动，形成圆孔的深度：

X方向的移动距离：0mm

X方向的移动速度：0mm/s

Y方向的移动距离：0mm

Y方向的移动速度：0mm/s

Z方向的移动距离：-5mm

Z方向的移动速度：-10mm/s。

上述实施方式仅为本发明的优选实施方式，不能依次来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员对本发明的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。