一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备

技术领域

本发明属于硅拋光片冷却设备技术领域，具体涉及一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备。

背景技术

硅材料拋光片指的是硅抛光片，主要用在半导体行业，而这种硅材料拋光片在生产过程中，需要经过多道工序，同时在不同的工序也需要用到不同的设备，其中在硅材料拋光片加工过程中，其表面会携带一定的热量，因此需要用到专用的快速冷却设备来对带热的硅材料拋光片进行快速冷却，如公开号为“CN216577344U”的现有专利中所公开的“一种用于硅材料抛光片生产过程中使用的快速冷却设备，包括设备主体，设备主体内壁底部固定安装有振动机，振动机顶部固定安装有物料板，物料板一侧固定安装有滑块，设备主体内壁设置有滑槽，设备主体内部固定安装有横杆，横杆顶部固定安装有电机设备……”，该专利中的快速冷却设备就是一种硅材料抛光片生产过程中的常见冷却设备，可实现硅材料抛光片生产过程中的快速冷却；

但上述专利中的快速冷却设备在实际使用时，因冷却风扇直接通过横梁固定在机体内部，导致冷却风扇的高度无法根据不同的加工需求进行对应的调节，也使得冷却风扇和电机不易拆下进行检修和维护，降低了该快速冷却设备的使用灵活性，为此本发明需要对现有的快速冷却设备进行改进，来解决此问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备，以解决上述背景技术中提出的现有快速冷却设备中冷却机构高度不可调，且不易拆下进行维护的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备，包括机体以及设置在机体内部的可调式冷却机构和托料板，所述托料板位于可调式冷却机构的下方，所述机体包括机壳，所述机壳的两侧表面分别设置有进料口和出风口，所述可调式冷却机构包括撑板、冷却电机、冷却风扇和滑动限位组件，所述撑板的两端通过滑动限位组件与机壳的两侧内壁相连接，所述冷却电机安装在撑板的顶部，且冷却电机的输出轴贯穿至撑板的底部，并安装有冷却风扇；

所述滑动限位组件包括T形侧轨和T形套口，所述T形侧轨固定在机壳的内壁，所述撑板的端部通过T形套口滑动套设在T形侧轨上，所述撑板的两端表面均滑动安装有活动块，所述活动块的两端均固定有限位杆，所述T形侧轨的表面均匀开设有多个限位孔，且限位杆的一端插入至其中一个限位孔中，所述滑动限位组件还包括开设在撑板表面的活动缺口，所述活动缺口中固定有支撑导杆，所述活动块通过活动缺口贯穿撑板，且活动块滑动套设在支撑导杆上，所述滑动限位组件还包括定位结构，所述定位结构设置在限位杆和撑板之间，所述定位结构包括固定在撑板表面的橡胶座，所述橡胶座的表面设有一体式的弧形凸起，所述限位杆的表面开设有两个圆形卡槽，所述弧形凸起嵌入至其中一个圆形卡槽中。

优选的，所述机壳的顶部表面固定有顶盖，所述T形侧轨的底端表面安装有防脱挡块，所述托料板的底部安装有振动电机，所述托料板的表面开设有多个透风孔。

优选的，所述机壳的内侧底端设置有收集机构，且收集机构位于托料板的底部，所述收集机构包括滑动设置在机壳内侧底端的集料盒，所述集料盒和机壳之间设置有滑动结构，所述收集机构还包括辅助结构，所述辅助结构包括固定在机壳底端内壁的矩形底座，所述矩形底座的顶部设有一体式的半球形橡胶块，所述集料盒的底部表面开设有底卡槽，且半球形橡胶块卡入至底卡槽中。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过对现有硅材料拋光片生产的快速冷却设备进行改进，设计滑动限位组件，使得冷却风扇的高度可根据不同的生产需求进行对应的调节，大幅度提高了设备整体的使用灵活性和通用性，同时也使得冷却电机和冷却风扇后期可直接从机壳的顶端拆下进行检修维护，保证了设备后期的维护便捷性。

附图说明

图1为本发明的剖视图；

图2为本发明图1中滑动限位组件的局部放大图；

图3为本发明图2中定位结构的局部放大图；

图4为本发明图1中A区域的局部放大图；

图5为本发明图4中辅助结构的局部放大图；

图中：1、机体；11、机壳；12、顶盖；2、进料口；3、出风口；4、托料板；41、透风孔；42、振动电机；5、可调式冷却机构；51、撑板；52、冷却电机；53、冷却风扇；54、滑动限位组件；541、T形侧轨；542、T形套口；543、活动块；544、限位杆；545、限位孔；546、活动缺口；547、支撑导杆；548、定位结构；5481、橡胶座；5482、弧形凸起；5483、圆形卡槽；6、收集机构；61、集料盒；62、滑动结构；621、条形滑块；622、U形滑套；63、辅助结构；631、矩形底座；632、半球形橡胶块；633、底卡槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1至图3，为本发明第一个实施例，该实施例提供了一种技术方案：一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备，包括机体1以及设置在机体1内部的可调式冷却机构5和托料板4，托料板4位于可调式冷却机构5的下方，其顶部表面可放置硅材料拋光片，机体1包括机壳11，机壳11的两侧表面分别设置有进料口2和出风口3，进料口2用于硅材料拋光片的进料，而出风口3则用于可调式冷却机构5运行时的空气排出，可调式冷却机构5包括撑板51、冷却电机52、冷却风扇53和滑动限位组件54，撑板51的两端通过滑动限位组件54与机壳11的两侧内壁相连接，使得撑板51可以上下滑动进行高度调节，改变冷却风扇53的高度，冷却风扇53离托料板4越远，对托料板4上硅材料拋光片所产生的风力越小，反之则越大，达到调节冷却风作用力的目的，冷却电机52通过螺栓安装在撑板51的顶部，且冷却电机52的输出轴贯穿至撑板51的底部，并安装有冷却风扇53，冷却电机52运行后可驱动冷却风扇53转动，从而对放在托料板4上方的硅材料拋光片进行风冷却；

滑动限位组件54包括T形侧轨541和T形套口542，T形侧轨541通过螺栓固定在机壳11的内壁，撑板51的端部通过T形套口542滑动套设在T形侧轨541上，撑板51的两端表面均滑动安装有活动块543，活动块543的两端均焊接有限位杆544，可随着活动块543的滑动而滑动，T形侧轨541的表面均匀开设有多个与限位杆544相对应的限位孔545，且限位杆544的一端插入至其中一个限位孔545中，实现撑板51上下滑动后的稳定限位，后续若要再次调节撑板51的高度时，只需将活动块543滑动，使得限位杆544的端部移出限位孔545，即可解除对撑板51的限位，然后将撑板51上下滑动后，再将活动块543回推，致使限位杆544的端部插入其他位置的限位孔545内即可，滑动限位组件54还包括开设在撑板51表面的活动缺口546，活动缺口546中焊接固定有支撑导杆547，活动块543通过活动缺口546贯穿撑板51，且活动块543滑动套设在支撑导杆547上，活动块543在活动缺口546内滑动时，可以得到支撑导杆547的稳定支撑，滑动限位组件54还包括定位结构548，定位结构548设置在限位杆544和撑板51之间，用于限位杆544滑动后的定位，定位结构548包括胶接固定在撑板51表面的橡胶座5481，橡胶座5481的表面设有一体式的弧形凸起5482，橡胶座5481和弧形凸起5482均为橡胶材质制成，受到挤压时会发生弹性形变，限位杆544的表面开设有两个与弧形凸起5482相对应的圆形卡槽5483，弧形凸起5482嵌入至其中一个圆形卡槽5483中，使得限位杆544可以得到弧形凸起5482的限位，机壳11的顶部表面通过螺栓固定有顶盖12，后期可将顶盖12拆下，然后将撑板51持续上滑直接从机壳11的顶部拆下，从而将冷却电机52和冷却风扇53的从机壳11内拆下进行检修维护，T形侧轨541的底端表面通过螺栓安装有防脱挡块，可防止撑板51下滑时直接从T形侧轨541的底端滑落。

其中，托料板4的底部通过螺栓安装有振动电机42，启动后可对托料板4以及托料板4顶部硅材料拋光片进行震动，方便硅材料拋光片之间的散开，托料板4的表面开设有多个透风孔41，供空气的流通，使得风吹在托料板4的顶部时，可通过透风孔41进入机壳11的底端处，并增加托料板4底部的空气流动，使得硅材料拋光片底面的温度也可以得到一定的散发，增加冷却效率。

实施例2

请参阅图1至图5，为本发明第二个实施例，该实施例基于上一个实施例，不同的是，可通过收集机构6，在日常冷却加工时，对硅材料拋光片上残留的一些残渣和废屑进行收集，便于后续的清理。

具体的，机壳11的内侧底端设置有收集机构6，且收集机构6位于托料板4的底部，收集机构6包括滑动设置在机壳11内侧底端的集料盒61，可对冷却过程中硅材料拋光片表面掉落的一些废屑进行收集，方便后期清理，集料盒61和机壳11之间设置有滑动结构62，供集料盒61的前后滑动，方便集料盒61的滑动拆装，滑动结构62包括通过螺栓固定在机壳11底端内壁的条形滑块621，集料盒61的底部表面焊接固定有与条形滑块621相对应的U形滑套622，且U形滑套622滑动套设在条形滑块621表面，使得集料盒61可前后抽拉进行滑动拆装，收集机构6还包括辅助结构63，辅助结构63包括胶接固定在机壳11底端内壁的矩形底座631，矩形底座631的顶部设有一体式的半球形橡胶块632，矩形底座631和半球形橡胶块632均由橡胶材质制成，具有一定的弹性，集料盒61的底部表面开设有与半球形橡胶块632相对应的底卡槽633，且半球形橡胶块632卡入至底卡槽633中，使得集料盒61被推入机壳11的内侧底端后，可以被半球形橡胶块632辅助限位。

本发明中冷却电机52的型号为YPH-50-0.75-2。

本发明中振动电机42的型号为YZS-2.5-2 0.22KW 2级。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例(详见上述详尽的描述)，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。