一种电子通讯设备生产用晶圆抛光设备

技术领域

本发明涉及电子设备生产的技术领域，特别是涉及一种电子通讯设备生产用晶圆抛光设备。

背景技术

在集成电路制造，为了降低器件热阻、提高工作散热及冷却能力、便于封装，在硅晶圆正面制作完集成电路后，需要进行背面减薄，但是晶圆研磨会使其表面完整性变差，此时需要使用化学机械方法进行晶圆抛光使其至少一面光滑如镜；

现有的晶圆抛光设备在使用过程中，大多每次只能抛光一组晶圆，严重影响晶圆的抛光效率，造成晶圆生产的时间浪费。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种能够同时对两组晶圆进行均匀抛光，提升抛光效率，节省加工时间的电子通讯设备生产用晶圆抛光设备。

本发明的一种电子通讯设备生产用晶圆抛光设备，包括：

抛光箱和载片板，所述抛光箱内部中空，两组所述载片板对称且滑动安装在抛光箱内部，并且所述抛光箱前端贯穿设置有供两组载片板出入的上料口，所述载片板上贯穿设置有用于放置晶圆的阶梯槽；

所述抛光箱内部安装有蜗状线旋转机构，所述蜗状线旋转机构位于两组载片板之间，所述蜗状线旋转机构上对称安装有两组抛光机，所述蜗状线旋转机构用于驱动两组抛光机同步做蜗状线旋转运动；

顶紧装置，两组所述顶紧装置分别安装在抛光箱的两组侧壁上，用于在晶圆抛光时，抵住晶圆。

进一步地，还包括固定安装在抛光箱内部的若干组气缸，每组所述载片板的顶端和底端均设置有滑块，所述抛光箱内部对应若干组滑块设置有若干组滑轨，两组所述载片板依靠滑块滑动安装在滑轨上，所述气缸的输出进给方向与滑轨延长线平行；

若干组所述气缸的输出端固定安装有挡板，并且所述挡板与两组载片板均固定连接，所述挡板用于在抛光时，密封嵌入至上料口内。

进一步地，所述蜗状线旋转机构包括固定安装在抛光箱内部的支撑架和转动安装在支撑架上的主轴，所述主轴上对称设置有两组往复升降装置，两组所述抛光机分别安装在两组往复升降装置上，所述往复升降装置用于驱动两组抛光机在沿主轴轴线旋转的同时，并且沿主轴的径向方向往复移动，所述支撑架上设置有动力装置，所述动力装置用于驱动主轴沿自身轴线旋转。

进一步地，所述主轴上对称且固定设置有两组连接轴，每组所述往复升降装置包括转动安装在连接轴上的丝杠，所述丝杠轴线延长线与主轴轴线垂直且相交，所述丝杠上螺装套设有丝杠螺母；

所述主轴的圆周外壁上还对称设置有两组导杆，所述丝杠与导杆的顶端通过顶板固定连接，所述导杆上滑动安装有连接臂，所述连接臂的一端与丝杠螺母固定连接，所述连接臂的另一端固定安装有抛光机；

所述丝杠靠近主轴的外壁上固定套设有第二锥型齿轮，所述支撑架上对称且固定安装有两组固定杆，两组所述固定杆上均固定安装有第一锥型齿轮，所述第一锥型齿轮同轴线套设在主轴的外部，并且所述同一侧的第一锥型齿轮与第二锥型齿轮啮合。

进一步地，所述动力装置包括固定安装支撑架上的电机和固定套设在主轴上的从动齿轮，所述电机的输出端固定设置有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

进一步地，每组所述载片板远离蜗状线旋转机构的一端均设置有若干组安装槽，每组所述安装槽内部均固定安装在第一气缸，每组所述第一气缸的输出端均固定设置有挡板，用于对放置在阶梯槽内部的晶圆进行自动固定。

进一步地，每组所述顶紧装置包括活动穿过抛光箱侧壁的连杆、一端转动安装在抛光箱侧壁上的调节板和固定安装在抛光箱侧壁上的第二气缸，所述连杆位于抛光箱内部的一端固定设置有压盘，用于对阶梯槽内部的晶圆进行顶紧，所述连杆的外壁上套设有弹簧，所述弹簧位于压盘与抛光箱侧壁之间；

所述连杆位于抛光箱外部的一端固定设置有圆顶，所述调节板上贯穿设置有条形槽，所述条形槽用于套设在连杆上，所述调节板的另一端设置有斜面，所述第二气缸的输出端设置有楔形块，所述楔形块的斜面与斜面贴紧。

进一步地，所述抛光箱上固定安装有连通抛光箱内部的吸尘泵，所述吸尘泵的输出端通过传输管道与外界集尘设备连接。

与现有技术相比本发明的有益效果为：通过将两组载片板拉出至抛光箱外部，并且将需要进行抛光的两组晶圆分别安装在两组阶梯槽内，使两组晶圆需要抛光的一端相对，之后将两组载片板推入至抛光箱内部，并且使两组顶紧装置分别抵住两组晶圆，同时启动蜗状线旋转机构，使蜗状线旋转机构带动两组抛光机沿晶圆圆心做蜗状线运动，同时启动两组抛光机，使两组抛光机对晶圆表面进行抛光，能够同时对两组晶圆进行均匀抛光，提升抛光效率，节省加工时间。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的轴测示意图；

图3是本发明的剖视图；

图4是滑轨与滑块等结构连接的放大示意图；

图5是支撑架与主轴等结构连接的放大示意图；

图6是丝杠与丝杠螺母等结构连接的放大示意图；

图7是第一气缸与挡板等结构连接的放大示意图；

图8是图2中A部的放大示意图；

附图中标记：1、抛光箱；2、载片板；3、阶梯槽；4、抛光机；5、顶紧装置；6、滑轨；7、滑块；8、气缸；9、挡板；10、支撑架；11、主轴；12、连接轴；13、丝杠；14、丝杠螺母；15、导杆；16、顶板；17、连接臂；18、固定杆；19、第一锥型齿轮；20、第二锥型齿轮；21、电机；22、主动齿轮；23、从动齿轮；24、安装槽；25、第一气缸；26、挡板；27、连杆；28、压盘；29、弹簧；30、调节板；31、条形槽；32、圆顶；33、第二气缸；34、楔形块；35、斜面；36、吸尘泵；37、传输管道。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。本实施例采用递进的方式撰写。

如图1至图4所示，本发明的一种电子通讯设备生产用晶圆抛光设备，包括：

抛光箱1和载片板2，抛光箱1内部中空，两组载片板2对称且滑动安装在抛光箱1内部，并且抛光箱1前端贯穿设置有供两组载片板2出入的上料口，载片板2上贯穿设置有用于放置晶圆的阶梯槽3；

抛光箱1内部安装有蜗状线旋转机构，蜗状线旋转机构位于两组载片板2之间，蜗状线旋转机构上对称安装有两组抛光机4，蜗状线旋转机构用于驱动两组抛光机4同步做蜗状线旋转运动；

顶紧装置5，两组顶紧装置5分别安装在抛光箱1的两组侧壁上，用于在晶圆抛光时，抵住晶圆；

在本实施例中，通过将两组载片板2拉出至抛光箱1外部，并且将需要进行抛光的两组晶圆分别安装在两组阶梯槽3内，使两组晶圆需要抛光的一端相对，之后将两组载片板2推入至抛光箱1内部，并且使两组顶紧装置5分别抵住两组晶圆，同时启动蜗状线旋转机构，使蜗状线旋转机构带动两组抛光机4沿晶圆圆心做蜗状线运动，同时启动两组抛光机4，使两组抛光机4对晶圆表面进行抛光，能够同时对两组晶圆进行均匀抛光，提升抛光效率，节省加工时间。

作为上述技术方案的优选，如图1至图4所示，还包括固定安装在抛光箱1内部的若干组气缸8，每组载片板2的顶端和底端均设置有滑块7，抛光箱1内部对应若干组滑块7设置有若干组滑轨6，两组载片板2依靠滑块7滑动安装在滑轨6上，气缸8的输出进给方向与滑轨6延长线平行；

若干组气缸8的输出端固定安装有挡板9，并且挡板9与两组载片板2均固定连接，挡板9用于在抛光时，密封嵌入至上料口内；

在本实施例中，通过同步启动若干组气缸8，便于控制两组载片板2的进出，提升设备的自动化程度和运行稳定性。

作为上述技术方案的优选，如图5至图6所示，蜗状线旋转机构包括固定安装在抛光箱1内部的支撑架10和转动安装在支撑架10上的主轴11，主轴11上对称设置有两组往复升降装置，两组抛光机4分别安装在两组往复升降装置上，往复升降装置用于驱动两组抛光机4在沿主轴11轴线旋转的同时，并且沿主轴11的径向方向往复移动，支撑架10上设置有动力装置，动力装置用于驱动主轴11沿自身轴线旋转；

在本实施例中，通过上述设置，便于同步控制两组抛光机4沿晶圆轴线旋转。

作为上述技术方案的优选，如图5至图6所示，主轴11上对称且固定设置有两组连接轴12，每组往复升降装置包括转动安装在连接轴12上的丝杠13，丝杠13轴线延长线与主轴11轴线垂直且相交，丝杠13上螺装套设有丝杠螺母14；

主轴11的圆周外壁上还对称设置有两组导杆15，丝杠13与导杆15的顶端通过顶板16固定连接，导杆15上滑动安装有连接臂17，连接臂17的一端与丝杠螺母14固定连接，连接臂17的另一端固定安装有抛光机4；

丝杠13靠近主轴11的外壁上固定套设有第二锥型齿轮20，支撑架10上对称且固定安装有两组固定杆18，两组固定杆18上均固定安装有第一锥型齿轮19，第一锥型齿轮19同轴线套设在主轴11的外部，并且同一侧的第一锥型齿轮19与第二锥型齿轮20啮合；

在本实施例中，通过上述设置，便于控制抛光机4在沿晶圆轴线旋转的同时，沿主轴11的径向延长线往复移动。

作为上述技术方案的优选，如图5所示，动力装置包括固定安装支撑架10上的电机21和固定套设在主轴11上的从动齿轮23，电机21的输出端固定设置有主动齿轮22，主动齿轮22与从动齿轮23啮合。

作为上述技术方案的优选，如图7所示，每组载片板2远离蜗状线旋转机构的一端均设置有若干组安装槽24，每组安装槽24内部均固定安装在第一气缸25，每组第一气缸25的输出端均固定设置有挡板26，用于对放置在阶梯槽3内部的晶圆进行自动固定；

在本实施例中，通过上述设置，便于对位于阶梯槽3内部的晶圆进行预夹紧，防止晶圆在随载片板2进出过程中，滑落的情况发生。

作为上述技术方案的优选，如图4和图8所示，每组顶紧装置5包括活动穿过抛光箱1侧壁的连杆27、一端转动安装在抛光箱1侧壁上的调节板30和固定安装在抛光箱1侧壁上的第二气缸33，连杆27位于抛光箱1内部的一端固定设置有压盘28，用于对阶梯槽3内部的晶圆进行顶紧，连杆27的外壁上套设有弹簧29，弹簧29位于压盘28与抛光箱1侧壁之间；

连杆27位于抛光箱1外部的一端固定设置有圆顶32，调节板30上贯穿设置有条形槽31，条形槽31用于套设在连杆27上，调节板30的另一端设置有斜面35，第二气缸33的输出端设置有楔形块34，楔形块34的斜面与斜面35贴紧；

在本实施例中，通过上述设置，通过第二气缸33控制楔形块34对斜面35进行滑动挤压，使调节板30沿调节板30与抛光箱1连接点转动，从而使条形槽31配合圆顶32对连杆27进行移动控制，便于控制压盘28移动。

作为上述技术方案的优选，如图1至图3所示，抛光箱1上固定安装有连通抛光箱1内部的吸尘泵36，吸尘泵36的输出端通过传输管道37与外界集尘设备连接；

在本实施例中，通过上述设置，有利于收集抛光产生的灰尘。

本发明的一种电子通讯设备生产用晶圆抛光设备，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。