用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法

技术领域

本发明涉及硅片加工工艺技术领域，具体涉及一种用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法。

背景技术

硅片倒角工序离不开树脂砂轮的使用，但树脂砂轮使用过程中出现磨损需要进行整形。但在12寸硅片倒角工序树脂砂轮整形过程会存在以下现状缺点：

1）因过程繁琐,导致经常12吋硅片倒角工序树脂砂轮整形失败；

2）公司人员流动频繁,有经验人员流失,以致传承断层,引发浪费工时和物料；

3）缺乏系统化整理,浪费培训时间,收效不明显；

4）没有统一作业流程,造成现场操作混乱。

发明内容

本发明主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法，其具有操作便捷和效果好的特点。将操作步骤系统化，让操作者有明确逻辑操作机台，有效操作树脂砂轮整形步骤，避免过于繁琐而导致误操作，从而造成人力、物力及时间浪费。

本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法，包括如下操作步骤：

第一步：进行对沟处理，先找到基础外周砂轮和 Notch砂轮高度，将硅片放在研削台上，依次对硅片进行外周粗研800号、外周精研3000号、Notch粗研800号、Notch精研1500号沟槽。

第二步：进行挡片试磨处理，找外周砂轮和Notch砂轮中心，先对试磨挡片进行外周粗研和Notch粗研，在进行挡片试磨过程中，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um，再次进行外周精研和Notch精研，通过挡片试磨过程寻找外周砂轮和 Notch砂轮中心，为树脂砂轮整形奠定札实根基。

第三步：进行树脂砂轮整形，采用测试片对修整槽测试，接着用整形片对修整槽测试，然后用开槽程序研磨整形片，最后用测试片试磨。

第四步：整形后的树脂砂轮用研磨程序试磨,根据规格选择一次成型或二次成型，接着用研磨程序试磨挡片，试磨符合要求后进行硅片倒角加工生产。

作为优选，当在对沟过程中，未进行沟槽研削时，根据高度输入Z轴数据,调整研削台高度。

作为优选，在用测试片对修整槽测试时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um。

作为优选，在用整形片对修整槽测试时，当【上宽幅 -下宽幅】＞30 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦30 um。

作为优选，在用开槽程序研磨整形片时，当【上宽幅 -下宽幅】＞50 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦50 um。

作为优选，在用测试片试磨时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um。

作为优选，在树脂砂轮整形后用研磨程序试磨挡片时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um。

本发明能够达到如下效果：

本发明提供了一种用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法，与现有技术相比较，具有操作便捷和效果好的特点。将操作步骤系统化，让操作者有明确逻辑操作机台，有效操作树脂砂轮整形步骤，避免过于繁琐而导致误操作，从而造成人力、物力及时间浪费。

具体实施方式

下面通过实施例，对发明的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：一种用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法，包括如下操作步骤：

第一步：进行对沟处理，先找到基础外周砂轮和 Notch砂轮高度，将硅片放在研削台上，依次对硅片进行外周粗研800号、外周精研3000号、Notch粗研800号、Notch精研1500号沟槽。当在对沟过程中，未进行沟槽研削时，根据高度输入Z轴数据,调整研削台高度。

第二步：进行挡片试磨处理，找外周砂轮和Notch砂轮中心，先对试磨挡片进行外周粗研和Notch粗研，在进行挡片试磨过程中，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um，再次进行外周精研和Notch精研，通过挡片试磨过程寻找外周砂轮和 Notch砂轮中心，为树脂砂轮整形奠定札实根基。

第三步：进行树脂砂轮整形，采用测试片对修整槽测试，在用测试片对修整槽测试时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um。接着用整形片对修整槽测试，在用整形片对修整槽测试时，当【上宽幅 -下宽幅】＞30 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦30 um。然后用开槽程序研磨整形片，在用开槽程序研磨整形片时，当【上宽幅 -下宽幅】＞50 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦50 um。最后用测试片试磨，在用测试片试磨时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅-下宽幅】≦20 um。

第四步：整形后的树脂砂轮用研磨程序试磨,根据规格选择一次成型或二次成型，接着用研磨程序试磨挡片，在树脂砂轮整形后用研磨程序试磨挡片时，当【上宽幅 -下宽幅】＞20 um，则到补正界面,让【上宽幅 -下宽幅】≦20 um。试磨符合要求后进行硅片倒角加工生产。

综上所述，该用于12寸硅片倒角工序的树脂砂轮整形步骤的改善方法，具有操作便捷和效果好的特点。将操作步骤系统化，让操作者有明确逻辑操作机台，有效操作树脂砂轮整形步骤，避免过于繁琐而导致误操作，从而造成人力、物力及时间浪费。

以上所述仅为本发明的具体实施例，但本发明的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本发明的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围之中。