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技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种沉积组件及半导体装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业,半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上,例如太阳能电池片,将片状材料送入反应腔室中,在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来给片状材料镀膜,因此需要用到PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学的气相沉积)加工设备。

沉积组件作为PECVD加工设备的主要部分,通过绝缘杆在反应腔室内部对片状材料进行间隔、支撑,通过向沉积组件的相对设置的电极板加载电力进行电离以形成等离子体,等离子体参与反应后生成薄膜(如具备导电性的氮化硅),薄膜附着于待镀膜的产品上。此时,如果薄膜附着于绝缘杆上,导致相对设置电极板连通就会出现电极板短接的现象,则可能会导致等离子体形成不良现象,例如薄膜在片状材料部分区域形成彩虹片、膜厚相差大等不良附着效果。

发明内容

本发明的第一个目的在于提出一种沉积组件,该沉积组件能够较好地避免相对设置的电极板导通的现象发生,避免电极板短路的现象发生,从而确保等离子稳定生产以确保产品镀膜效果。

本发明的第二个目的在于提出一种半导体装置,该半导体装置的工作可靠性较好,能够较好地避免沉积组件出现电极板短路的现象,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率。

为实现上述技术效果,本发明的技术方案如下:

本发明公开了一种沉积组件,包括:绝缘支撑件;电极板,所述电极板为至少两个,所述电极板套设在所述绝缘支撑件上,且至少两个所述电极板间隔设置;绝缘间隔套,所述绝缘间隔套套设在所述绝缘支撑件上,且所述绝缘间隔套的两端分别止抵在相邻的两个所述电极板上,所述绝缘间隔套的外周壁上设有沉积槽。

在一些实施例中,所述绝缘间隔套包括套设在所述绝缘支撑件上的绝缘螺纹件,所述绝缘螺纹件的外周面具有外螺纹,所述外螺纹构成所述沉积槽。

在一些实施例中,所述绝缘间隔套包括:第一调节套,所述第一调节套套设在所述绝缘支撑件上;第二调节套,所述第二调节套与所述第一调节套螺纹配合,且所述第二调节套能够止抵在所述电极板上。

在一些具体的实施例中,所述第二调节套具有开口,所述第一调节套能够从所述开口插入所述第二调节套内。

在一些具体的实施例中,所述第二调节套上设有锁紧孔,所述第二调节套通过穿设在所述锁紧孔内的锁紧件锁死在所述第一调节套上。

在一些具体的实施例中,所述第二调节套的一端止抵在所述电极板上,另一端与所述第一调节套配合,所述第二调节套上与所述第一调节套配合的一端设有环绕所述第一调节套设置的环形槽。

在一些实施例中,所述沉积槽形成为螺纹槽,且所述螺纹槽的波峰斜面垂直于所述螺纹槽的波谷底面。

在一些实施例中,所述沉积组件还包括限位件,所述限位件成对设置,至少两个所述电极板设在成对设置的两个限位件之间。

本发明还公开了一种半导体装置,包括前文所述的沉积组件。

本发明的沉积组件的有益效果:在实际工作过程中,由于绝缘间隔套的外周壁上设有沉积槽,在沉积组件实际工作过程中,沉积物会沉积到沉积槽的波谷(最低处),避免了绝缘间隔套上出现连续沉积镀膜导致两个电极板导通的现象发生,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率;且还能够通过调整绝缘间隔套,实现根据实际需要调整两个电极板之间的间距,提升沉积组件的兼容性,并给能够沿绝缘支撑件的径向方向安装绝缘间隔套,提升安装效率;当绝缘间隔套包括第一调节套和第二调节套时,第二调节套能够通过开口实现快速拆换,不需要将整个沉积组件拆散,且第二调节套还能够较好地保护第一调节套,延长第一调节套的使用寿命。

本发明的半导体装置的有益效果:由于具有前文所述的沉积组件,该半导体装置的工作可靠性较好,能够较好地避免沉积组件出现电极板短路的现象,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是本发明实施例的沉积组件的剖面结构示意图;

图2是本发明实施例的第一种绝缘间隔套的结构示意图;

图3是本发明实施例的第二种绝缘间隔套的分解结构示意图;

图4是图3所示的绝缘间隔套的第二种第二调节套的结构示意图;

图5是图3所示的绝缘间隔套的第三种第二调节套的结构示意图;

图6是图3所示的绝缘间隔套的第四种第二调节套的结构示意图;

图7是本发明实施例的第三种绝缘间隔套的分解结构示意图;

图8是图7所示的绝缘间隔套的第二种第二调节套的结构示意图;

图9是图7所示的绝缘间隔套的第三种第二调节套的结构示意图;

图10是图7所示的绝缘间隔套的第四种第二调节套的结构示意图;

图11是本发明实施例的第四种绝缘间隔套的分解结构示意图;

图12是本发明实施例的第五种绝缘间隔套的分解结构示意图;

图13是本发明实施例的第六种绝缘间隔套的分解结构示意图。

附图标记:

1、绝缘支撑件;

2、电极板;

3、绝缘间隔套;301、沉积槽;31、绝缘螺纹件;32、第一调节套;33、第二调节套;331、开口;332、锁紧孔;333、环形槽。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。

此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征,用于区别描述特征,无顺序之分,无轻重之分。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图13描述本发明实施例的沉积组件的具体结构。

本发明公开了一种沉积组件,如图1所示,本实施例的沉积组件包括绝缘支撑件1、电极板2和绝缘间隔套3,电极板2为至少两个,电极板2套设在绝缘支撑件1上,且至少两个电极板2间隔设置,绝缘间隔套3套设在绝缘支撑件1上,且绝缘间隔套3的两端分别止抵在相邻的两个电极板2上,绝缘间隔套3的外周壁上设有沉积槽301。可以理解的是,在实际工作过程中,由于绝缘间隔套3的外周壁上设有沉积槽301,在沉积组件实际工作过程中,沉积物会沉积到沉积槽301的波谷(最低处),避免了绝缘间隔套3上出现连续沉积镀膜导致两个电极板2导通的现象发生,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率。

在一些实施例中,如图1-图2所示,绝缘间隔套3包括套设在绝缘支撑件1上的绝缘螺纹件31,绝缘螺纹件31的外周面具有外螺纹,外螺纹构成沉积槽301。可以理解的是,绝缘螺纹件31可以直接采用绝缘螺母,使得绝缘螺纹件31可以直接外购,降低了沉积组件的制造成本。

可选的,外螺纹的波峰斜面垂直于外螺纹的波谷底面。由此,能够使得外螺纹的螺纹槽内能够沉积更厚的膜层,从而延长绝缘螺纹件31的清洁或者更换周期,提升用户使用满意度。

在一些实施例中,如图1、图3、图7、图11-图13所示,绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上,第二调节套33套设在第一调节套32上,且第二调节套33能够止抵在电极板2上。第一调节套32和/或第二调节套33的外侧壁设有沉积槽301。

首先需要说明的是,在有的实施例中,如图3及图12所示,仅第一调节套32的外侧壁设有沉积槽301;在有的实施例中,如图7所示,仅第二调节套33的外侧壁设有沉积槽301;在有的实施例中,如图11及图13所示,第一调节套32的外侧壁以及第二调节套33的外侧壁均设有沉积槽301。

可以理解的是,如果选用一个绝缘螺纹件31作为绝缘间隔套3,那么在绝缘螺纹件31安装完毕之后,两个电极板2之间的间距就不能够再调整,从而降低了沉积组件的兼容性。而在本实施例中,绝缘间隔套3包括套设的第一调节套32和第二调节套33,在实际安装完成后,第二调节套33的一端止抵在电极板2上,另一端与第一调节套32的一端配合,第一调节套32的另一端止抵在电极板2上,这样如果需要调整两个电极板2之间的间距时,只需要调节第二调节套33使得第二调节套33相对第一调节套32的位置发生变化,不仅操作方便,还能够根据实际需要调整两个电极板2之间的间距,提升沉积组件的兼容性。

在一些具体的实施例中,如图5-图6及图9-图10所示,第二调节套33具有开口331,第一调节套32能够从开口331插入第二调节套33内。可以理解的是,在第二调节套33上增设一个开口331,一方面,第二调节套33可以沿绝缘支撑件1的径向安装,无需在绝缘支撑件1的轴向进行拆装,便于安装和更换;另一方面,清洗时,可通过第一调节套32和第二调节套33相互摩擦清以清除附着的薄膜,薄膜脱落后从开口331排出,无需拆卸即可清洗,便于清洗。此外,第二调节套33还能够较好地保护第一调节套32,延长第一调节套32的使用寿命。在本实施例中,开口331的形状可以根据实际需要选择,在此不对开口331的形状做出限定。

在一些具体的实施例中,如图12-图13所示,第二调节套33与第一调节套32螺纹配合。由此,在实际调过程中只需要转动第二调节套33即可,调节非常方便。

在一些具体的实施例中,如图3、图7以及图11所示,第二调节套33上设有锁紧孔332,第二调节套33通过穿设在锁紧孔332内的锁紧件锁死在第一调节套32上。可以理解的是,在调整完成第二调节套33和第一调节套32的相对位置后可以采用锁紧件穿过锁紧孔332将第二调节套33和第一调节套32锁死,避免在实际工作过程中,第二调节套33相对第一调节套32运动导致两个电极板2之间的间距发生变化的现象发生,确保了沉积组件的工作可靠性。

在一些具体的实施例中,如图4、图6、图8及图10所示,第二调节套33的一端止抵在电极板2上,另一端与第一调节套32配合,第二调节套33上与第一调节套32配合的一端设有环绕第一调节套32设置的环形槽333。可以理解的是,增设的环形槽333能够避免在第一调节套32和第二调节套33的端面上沉积过多的沉积物,从而避免两个电极板2之间导通的现象发生。

在一些具体的实施例中,如图7、图11及图13所示,第二调节套33的外周面设有沉积槽301。可以理解的是,在沉积组件实际工作过程中,沉积物会沉积到沉积槽301的波谷(最低处),避免了绝缘间隔套3上出现连续沉积镀膜导致两个电极板2导通的现象发生,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率。

在一些更具体的实施例中,沉积槽301的波峰斜面垂直于沉积槽301的波谷底面。由此,能够使得沉积槽301的螺纹槽内能够沉积更厚的膜层,从而延长绝缘螺纹件31的清洁或者更换周期,提升用户使用满意度。

在一些实施例中,沉积组件还包括限位件(图未示出),限位件成对设置,至少两个电极板2设在成对设置的两个限位件之间。由此,能够确保组装完成后的多个电极板2以及绝缘间隔套3不会沿绝缘支撑件1的轴向发生窜动,确保沉积组件的使用可靠性。

实施例:

如图1所示,本实施例的沉积组件包括绝缘支撑件1、八个电极板2和六个绝缘间隔套3,绝缘间隔套3套设在绝缘支撑件1上,且绝缘间隔套3的两端分别止抵在相邻的两个电极板2上。本实施例的六个绝缘间隔套3的结构如下:

第一种:沿绝缘支撑件1的轴向方向,第一个绝缘间隔套3包括套设在绝缘支撑件1上的绝缘螺纹件31,绝缘螺纹件31的外周面具有外螺纹,外螺纹构成沉积槽301。

第二种:如图1及图3所示,沿绝缘支撑件1的轴向方向,第二个绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上,且第一调节套32的外侧具有沉积槽301。第二调节套33套设在第一调节套32上,且第二调节套33能够止抵在电极板2上,第二调节套33上设有锁紧孔332,第一调节套32和第二调节套33能够通过穿设在锁紧孔332上的锁紧件锁紧。进一步地,该绝缘间隔套3的第二调节套33又形成为其他三种结构,如图4所示,第二调节套33上设置环形槽333,环形槽333设在第二调节套33上与第一调节套32配合的一端并环绕第一调节套32设置;如图5所示,第二调节套33、具有开口331,第二调节套33通过开口331插入绝缘支撑件1中,并且套设在第一调节套32上;如图6所示,第二调节套33上同时具有环形槽333和开口331。

第三种:如图1及图7所示,沿绝缘支撑件1的轴向方向,第三个绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上。第二调节套33套设在第一调节套32上,且第二调节套33能够止抵在电极板2上,第二调节套33上设有锁紧孔332,第一调节套32和第二调节套33能够通过穿设在锁紧孔332上的锁紧件锁紧。且第二调节套33的外侧具有沉积槽301。进一步地,该绝缘间隔套3的第二调节套33又可以形成为其他三种结构。如图8所示,第二调节套33上设置环形槽333,环形槽333设在第二调节套33上与第一调节套32配合的一端并环绕第一调节套32设置;如图9所示,第二调节套33、具有开口331,第二调节套33通过开口331插入绝缘支撑件1中,并且套设在第一调节套32上;如图10所示,第二调节套33上同时具有环形槽333和开口331。

第四种:如图1及图11所示,沿绝缘支撑件1的轴向方向,第四个绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上。第二调节套33套设在第一调节套32上,且第二调节套33能够止抵在电极板2上,第二调节套33上设有锁紧孔332,第一调节套32和第二调节套33能够通过穿设在锁紧孔332上的锁紧件锁紧。且第一调节套32以及第二调节套33的外侧均具有沉积槽301。进一步的,本实施例的绝缘间隔套3的第二调节套33又可以形成为其他三种结构,这三种结构与图8-图10所示的结构相同,在此不再赘述。

第五种:如图12所示,沿绝缘支撑件1的轴向方向,第五个绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上。第二调节套33与第一调节套32螺纹连接,第一调节套32的螺纹构成沉积槽301。具体来说,该绝缘间隔套3的第二调节套33还具有其他七种结构,具体如下:第一:第二调节套33上还设有环形槽333,环形槽333设在第二调节套33上与第一调节套32配合的一端并环绕第一调节套32设置;第二:第二调节套33上设置锁紧孔332,第二调节套33通过穿设在锁紧孔332内的锁紧件锁死在第一调节套32;第三:第二调节套33上设有开口331,第二调节套33通过开口331插入绝缘支撑件1中,并且套设在第一调节套32上;第四:第二调节套33上设置环形槽333和锁紧孔332;第五:第二调节套33上设置环形槽333和开口331;第六:第二调节套33上设有锁紧孔332和开口331;第七:第二调节套33上设置环形槽333、开口331和锁紧孔332。

第六种:如图13所示,沿绝缘支撑件1的轴向方向,第六个绝缘间隔套3包括第一调节套32和第二调节套33,第一调节套32套设在绝缘支撑件1上。第二调节套33与第一调节套32螺纹连接,第一调节套32的螺纹构成沉积槽301,且第二调节套33的外侧壁上设有沉积槽301;具体来说,该绝缘间隔套3的第二调节套33还具有其他七种结构,具体如下:第一:第二调节套33上还设有环形槽333,环形槽333设在第二调节套33上与第一调节套32配合的一端并环绕第一调节套32设置;第二:第二调节套33上设置锁紧孔332,第二调节套33通过穿设在锁紧孔332内的锁紧件锁死在第一调节套32;第三:第二调节套33上设有开口331,第二调节套33通过开口331插入绝缘支撑件1中,并且套设在第一调节套32上;第四:第二调节套33上设置环形槽333和锁紧孔332;第五:第二调节套33上设置环形槽333和开口331;第六:第二调节套33上设有锁紧孔332和开口331;第七:第二调节套33上设置环形槽333、开口331和锁紧孔332。

本发明还公开了一种半导体装置,包括前文所述的沉积组件。

本发明的半导体装置,由于具有前文所述的沉积组件,该半导体装置的工作可靠性较好,能够较好地避免沉积组件出现电极板2短路的现象,从而确保产品镀膜效果,提升产品制造良率。

在本说明书的描述中,参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本发明的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

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