摄影术、电影术、利用了光波以外其他波的类似技术、电记录术、全息摄影术

本发明属于灯光投影技术领域，具体地说是一种灯光投影系统，通过将灯光投影本体放置于箱体内部，使得箱体对灯光投影本体实现保护，一方面避免了因为蚊虫从灯光投影系统的散热口进入到灯光投影系统内部后，会导致灯光投影系统内部损坏的现象，另一方面可以实现对灯光投影本体的防尘和防水；同时通过箱体内部的散热组件，一方面使得箱体在对灯光投影本体实现保护的同时，也可以实现对灯光投影本体的散热效果，一方面通过散热组件可以实现灯光投影系统在使用时，可以驱赶灯泡表面的蚊虫，进而避免了灯光投影系统会受到蚊虫干扰，导致灯光投影效果降低的现象。

本申请提供一种掩膜组件以及曝光显影方法，掩膜组件包括至少一个掩膜板，掩膜板具有沿第一方向并排设置的拼接区和非重叠曝光区，掩膜板包括遮挡部和透光部；遮挡部包括位于拼接区的第一遮挡部和位于非重叠曝光区的第二遮挡部，第一遮挡部和第二遮挡部用于遮挡光线；透光部连接于遮挡部并用于曝光显影，透光部包括位于拼接区的第一透光部和位于非重叠曝光区的第二透光部，第一遮挡部位于第一透光部背离非重叠曝光区的一侧，其中，第一透光部的透光率大于零，且小于第二透光部的透光率。本申请提供的掩膜组件能够降低基板上本该被保留的图案被刻蚀掉的风险，降低基板上形成的图案的线宽变细或者断线的风险。

本发明提供一种显影盒、硒鼓架和电子成像设备，电子成像设备包括显影盒和硒鼓架，显影盒包括包括盒体和端盖，盒体上用于设置有显影辊、送粉辊和搅拌架，搅拌架上设置有旋转轴，显影辊的轴向、送粉辊的轴向和旋转轴的轴向相互平行，端盖可拆卸地设置在盒体上，端盖位于旋转轴的轴向方向上，端盖朝向盒体的一侧上设置有定位凸起，硒鼓架上设置有弹性组件，弹性组件包括弹簧和抵接块，弹簧连接在硒鼓架与抵接块之间，弹簧驱动抵接块与定位凸起邻接；采用以上结构，当显影盒与鼓架不适配时，可拆卸更换端盖上的定位凸起或者拆卸更换端盖，无需要对盒体上的其他部件进行拆卸更换盒体后重新安装，有效提高显影盒安装效率。

本发明公开了一种充气柔光箱，属于摄影摄像直播器材，现有柔光布包裹于支撑框架外部构成的柔光箱重量较重，收拢后依然具有较大体积，不便携带和运输，本发明的充气柔光箱，箱体内部为密闭充气腔，箱体包括透光密封件和可充气鼓起的气囊，通过气嘴向密闭充气腔充气或者对密闭充气腔排气，充气后气囊鼓起用于柔和光线，排气后气囊空瘪便于折叠收纳。由于该充气柔光箱的气囊依靠充气、排气实现其形态变化，气囊质量轻，不含支撑框架，重量轻；收拢后体积小，方便携带和运输；减轻对灯具的卡口和支撑灯具的三脚架的压力，避免造成灯具卡口损坏；不太会造成使用时整个打光设备的重心偏移，打光设备不易倾倒。

本发明涉及打印机技术领域，尤其涉及一种用于长时间使用的打印机系统，包括机体，机体内设有工作腔，工作腔内转动设有感光鼓，工作腔右壁固定设有墨粉移动箱，墨粉移动箱上侧设有能左右移动的移动变径板，感光鼓右侧转动设有显影筒，本发明能够通过左侧的冷却系统对打印完成的纸张进行冷却，加速墨粉的凝固，从而提升打印效率，也能一定程度保护工作人员不被纸张表面温度烫伤,本发明能够通过右侧的端盖较为简易的更换墨粉筒，省去了繁琐的步骤，同时通过调整移动变径板与显影筒外圆面之间的间隙调整打印成色的深度，从而大幅度提升加工效率，同时也能大幅度加快加工时间，以满足长时间使用。

本发明提供一种对楔形误差进行补偿的装置，装置包括：主体单元，主体单元包括固定下部、浮动上部，且固定下部和浮动上部通过柔性单元连接，柔性单元允许浮动上部相对固定下部可RX旋转、RY旋转和Z平移；承载单元，浮动上部的表面设有承载晶圆平面，晶圆与掩膜版之间的位置设置有一组球形误差补偿结构，球形误差补偿结构可在Z向上产生预定范围内的运动，从而控制掩模版与晶圆之间的相对距离；楔形误差补偿单元，楔形误差补偿单元包括楔形块、作用于楔形块的上行动力装置和作用于主体单元的下拉动力装置，且下拉动力装置提供比上行动力装置更大的作用力，从而允许楔形块自锁。本发明还提供相应的减少楔形误差的方法，及其装置的用途。

本发明涉及一种加热均匀且安全的激光打印机陶瓷加热条，包括陶瓷基板、电极、发热丝、玻璃釉，发热丝上设置熔断点；熔断点的厚度小于其它非熔断点位置的厚度；采用发热丝变薄局部设计，使得陶瓷加热条在加热到一定温度时自熔断，可有效避免温度过高引起的起火现象或其他情况；在熔断点设计的背面可焊接测温点，由于测温点会带走局部热量，可有效平衡熔断点设计处的温度过高问题，规避打印过程中局部过热引起的打印色差现象；同时为了解决发热丝长度方向上的印刷均匀度问题，采用两次翻转印刷，解决印刷均匀度问题，改善发热效果。

本申请公开了一种掩膜版缺陷的修复方法、掩膜版的制备方法及掩膜版，涉及半导体制造技术领域，本申请的掩膜版缺陷的修复方法，包括依据预设图案对掩膜版的遮光层进行缺陷识别，得到遮光层上的遮光缺陷区；对遮光缺陷区制冷处理；采用激光镭射遮光缺陷区，使得遮光缺陷区的材料分解形成残渣；对掩膜版进行清洗以去除残渣。本申请提供的掩膜版缺陷的修复方法、掩膜版的制备方法及掩膜版，能够提高掩膜版的修复效率。

本发明涉及了一种体检报告自助打印装订一体机及其系统，包括机架、触摸屏、至少两个激光打印组件、至少两个自动排版组件、无针自动打印组件、有针自动打印组件、控制器和出纸框。通过对输入电子文档的页码识别和分类处理，实现单页码文档不装订、少页码文档无针自动打印，以及多页码文档有针式自动打印等三类处理。而且，针对多页码文档可进行两个激光打印组件的并行打印处理、顺序叠齐和打印输出，提高了打印效率，也节约了使用成本。

一种散热结构和投影设备，散热结构用于对投影组件进行散热，投影组件包括光源和空间光调制器，散热结构包括散热组件和风扇，光源和空间光调制器均与散热组件连接，散热组件设置在风扇的进风口或出风口处；该散热结构可以同时对光源和空间光调制器进行散热，具备该散热结构的投影设备设计紧凑，还可以最大程度的利用风扇工作时所形成的气流密度分布对散热组件进行降温，进一步提高空气流动的利用率，增强散热结构的散热能力。

本发明涉及一种投影设备，包括：壳体以及设置于壳体内的投影光学模组、第一风扇和第一散热装置；壳体上设有进风孔和出风孔，进风孔位于投影光学模组上方，出风孔位于壳体的侧壁，第一风扇位于投影光学模组下方，第一风扇具有朝向投影光学模组的第一吸风口以及朝向出风孔的第一排风口，投影光学模组包括依次连接的光源、光机和投影镜头，第一散热装置的一端连接光源，另一端位于第一排风口和出风孔之间；其中，第一风扇用于使进风孔和第一吸风口之间形成的气流流经光机和投影镜头，并使第一排风口和出风孔之间形成的气流流经第一散热装置。该方案能够同时对光源、光机和投影镜头进行散热，散热效率高，散热效果好。

本发明公开了一种新型补光灯，包括基座，该基座中空且具有供柔性基材出入的敞口、安装在基座内用于收卷柔性基材的收卷轴、安装在收卷轴端部用于驱动收卷轴转动的弹性驱动件、所述柔性基材一端连接收卷轴另一端连接设置在基座外的横杆，所述柔性基材面上设置有若干LED灯珠，分别活动连接于横杆两侧的上撑杆，以及分别活动连接于基座两侧的下撑杆，一侧所述的上撑杆与下撑杆通过铰接件铰接在一起形成第一伸缩杆，另一侧所述的上撑杆与下撑杆通过铰接件铰接在一起形成第二伸缩杆，还包括一连接在两铰接件之间用于撑开和收折第一、二伸缩杆的伸缩机构；这种新型补光灯，它不仅可以提供不同场景拍摄时对光线的需要，其使用方便、耐用且便携。

本发明公开了一种不含钾离子的彩膜显影液及其制备方法，该显影液是由碱性化合物、非离子表面活性剂和超纯水组成。碱性化合物为不含金属离子的有机碱，如四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵以及四丙基氢氧化铵等一种或多种，阴离子表面活性剂选自醇醚羧酸盐、酚醚硫酸酯盐、醇醚磷酸盐、椰子油脂肪酸单乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和苯乙烯苯酚中的至少一种。显影液主要用于液晶面板制程中显影工序，可以对基板面内光阻进行显影。本发明的彩膜显影液使用寿命长，不含金属钾离子，具有良好的显影效果，显影呈现出的图像无其他残渣，图形边缘整齐清晰，符合目前液晶显示制程中高分辨率高画质的要求。

本发明涉及监控设备技术领域，尤其涉及一种用于冷链集装箱的监控设备。其技术方案包括：防护件，所述防护件包括对称设置的两个防护外壳，防护外壳的下端固定有防护底壳，且两个所述防护底壳对称设置，两个所述防护外壳内均开设有U型槽，两个所述防护外壳之间设有连接件，两个所述防护外壳的上侧共同设有对其进行定位的锁紧机构a，两个所述防护外壳的下侧共同设有对其进行定位的锁紧机构b，两个所述防护外壳周边共同设有对监控摄像头镜面进行清理的清理机构。本发明通过对监控设备进行保护设置，使得监控设备具有保温和镜片清理等功能，不仅避免了监控设备冻坏的情况发生，同时也避免了监控设备镜片雾化而影响监控。

本发明涉及一种直射式穹顶光源，包括底座、灯座板和灯管；所述底座上开设有通光孔，端部设有侧板；所述灯座板为圆弧形，包括两组，对称布置成穹顶形式；所述灯座板下端连接在底座上，上端连接在侧板上；所述灯管包括若干根，等分为两组，分别安装在两组灯座板上。所述侧板上设有两个竖向布置的第二条腰型孔，灯座板上端通过第二螺栓螺母连接件与对应侧的第二条腰型孔配合连接。所述底座上设有第一条腰型孔，方向与灯座板平行，灯座板的下端通过第一螺栓螺母连接件与第一条腰型孔配合连接。本发明设计的光源结构简单，成本低；方便拆卸，维修简单；开放式机构，不用专门散热机构；可以对光源光路进行微调；改反射为直射，能源利用率高。

本发明是关于一种激光投影设备，属于激光投影显示领域。激光投影设备包括：激光光源，以及与激光光源连接的激光光源的驱动装置，激光光源包括封装有三色激光发光芯片的激光器组件，激光光源的驱动装置包括：显示控制电路，数模转换器，选择电路，激光器驱动电路。激光器驱动电路包括驱动芯片和外接子电路。显示控制电路通过数模转换器、选择电路将每个PWM信号传输和使能信号传输至对应的激光器驱动电路。每个激光器驱动电路用于在接收到的使能信号为有效电位时，将驱动电压或驱动电流加载至对应颜色的激光发光芯片的引脚上。本发明实现了对具有较多激光器的激光光源的驱动。

本公开的实施例涉及使屏幕振动的方法和系统。可以通过可由信号驱动的振动器使屏幕振动。每个振动器可以在位置上邻近可由与关联于该振动器的驱动信号不同类型的驱动信号驱动的其他振动器。驱动信号的数目可以等于或小于振动器的数目。振动器的振动器组件可以包括挡板和耦合到挡板的换能器。换能器可以使屏幕的至少一部分振动。振动的屏幕可以由传感器和分析器单元监测，其可以分析被投影到屏幕上的图像的捕获图像中的图像斑点和屏幕位移伪影，并且输出分析的结果。

本发明提供一种投影光机，投影光机包括本体和三棱镜，本体上设置有卡槽和第一定位面，三棱镜包括首尾相接的第一侧边、第二侧边和斜边，第二侧边与斜边形成斜角端，第一侧边与第一定位面贴合设置，斜角端卡接于卡槽，本体位于三棱镜底面的位置设置有通孔，通孔内填充有粘接胶，粘接胶与三棱镜粘接，通孔的尺寸自靠近三棱镜的一侧向远离三棱镜的一侧呈渐扩设置。该投影光机避免了三棱镜受粘接胶热膨胀的作用而对三棱镜底部产生力的作用，也就避免了三棱镜的偏移，消除了热虚焦现象。

本申请属于摄影设备技术领域，提供一种照明装置、光效附件及照明设备，照明装置包括前壳及设于前壳的第一锁定机构，前壳的外壁面设有用于与光效附件的第一卡扣卡接的第一卡槽，第一锁定机构具有驱动组件和锁定件，驱动组件能够带动锁定件运动，以使锁定件将第一卡扣锁定在第一卡槽内或使锁定件解除对第一卡扣的锁定。本申请提供的照明装置与光效附件之间具有较强的结合力，且拆卸光效附件的操作简单，能够兼顾与光效附件连接的紧固性及更换光效附件的便捷性。

本发明公开了一种基于纳米压印的二维层状硒化铋纳米片制备方法，采用聚二甲基硅氧烷将硒化铋片附着于衬底上，然后将其整体放置于纳米压印机的工作台上，在不高于80℃以及在20～30bar压力下进行压印，得到硒化铋纳米片。本发明通过纳米压印对层间结合力强的硒化铋材料进行剥离制备，采用与硒化铋材料结合力好的衬底，在聚二甲基硅氧烷热释放温度以下以及稳定的压力氛围中，促使硒化铋厚片层与层之间的分离，从而获得厚度为十几纳米的硒化铋片。

一种相机镜头保养装置，所述装置包括有第一盒体，第一盒体内套设有第二盒体，第一盒体内壁和第二盒体外壁之间形成放置干燥剂的夹层，第二盒体顶面开设有卡设相机的凹槽，凹槽内开设有供相机镜头伸入第二盒体内的第一开口；所述第二盒体内设置有清理镜头的清洁单元，清洁单元一侧还设置有镜头储存单元；所述清洁单元包括有储存镜头纸的卷轴组件和抽取镜头纸的擦拭组件。本发明可以在封闭状态下进完成镜头清洁和镜头更换，避免过多灰尘落入机身内，清洁单元可从中间撕裂镜头纸，利用纸张断裂纤维进行清洁镜头，充分保护镜头表面镀层。

本发明提供一种投影幕布。所述投影幕布至少包括着色层、扩散层、菲涅尔透镜层中的一层、以及反射层；其中，菲涅尔透镜层为球面菲涅尔透镜层或非球面菲涅尔透镜层，菲涅尔透镜层包括沿着一平面突起的若干环状凸起，所述若干环状凸起以环带排列，且沿着垂直于所述平面的截面，每个环状凸起的截面形状为三角形或多台阶形或自由面形，每个截面形状平行于所述平面的边宽度渐变，截面形状及其宽度的渐变，决定球面菲涅尔透镜层或非球面菲涅尔透镜层的聚光特性；每个环状凸起表面具有散点微结构，反射层为金属层或金属合金层，且其采用电镀、蒸镀、溅射或涂布工艺制备。本发明提供的投影幕布表现出比现有投影幕布具有更高的亮度、以及更大的视角。

本发明涉及一种晶圆载物台、工件台、光刻机和晶圆检查设备，包括：载物台，多个支撑件，所述多个支撑件设置在所述载物台上，以支撑所述晶圆；其中，所述载物台上设置有与所述多个支撑件配合的多个槽孔，所述多个支撑件以可拆卸的方式相应地配合于所述多个槽孔。相较于现有技术中的具有一体化支撑销的载物台，通过在载物台上使用可拆卸支撑件作为支撑销，使支撑件在磨损后，能够只更换磨损的支撑件，而不是更换整个晶圆载物台，从而降低成本，并且安装拆卸方便，能够提高载物台的利用效率。

本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种防止半导体侧壁损坏的方法，通过将透光带固定在透光夹具的一面上，并将多个半导体间隔固定在所述透光带的另一面上，先在多个所述半导体远离所述透光带的一面上形成负干膜，再从所述透光夹具往所述负干膜的方向对所述负干膜进行曝光，使得光线通过透光夹具、透光带，并穿过相邻两个半导体之间的间隔之后，到达负干膜，由于边界效应，使得光线还能够到达半导体上方的一部分区域，从而完成曝光，本发明实施例无需在相邻两个半导体的间隔中采用填充材料，避免了现有技术由于在光刻工艺中采用填充材料导致半导体侧壁损坏的问题。

本申请公开了一种照明设备，属于照明装置技术领域，该照明设备包括：支架；至少两个位移装置，位移装置设置于支架上，位移装置包括相互连接的驱动装置和直线运动机构，驱动装置驱动直线运动机构，使直线运动机构的移动部沿直线移动；各移动部的移动方向相同，在垂直于移动方向的方向上，各移动部对齐；同步装置，同步装置连接驱动装置，各驱动装置通过同步装置同步转动；出光部件，出光部件与移动部连接。该照明设备能够有效减少调焦过程出现跑偏的可能性，减少卡死现象，降低调焦的噪音，使得对灯光的光斑以及照度的调节更加精准。

本发明提供一种光学邻近矫正方法及系统、掩模版、设备与存储介质，所述光学临近矫正的方法包括：本发明提供一种光学临近矫正模型的方法、光学临近矫正系统以及掩膜板，所述光学临近矫正方法包括：提供光学临近矫正模型，所述光学临近矫正模型采用标准测试图形数据库进行模拟仿真，选取所述测试图形库中的部分测试图形作为基础测试图形，选取所述真实芯片图形数据库中的真实芯片图形；计算所述基础测试图形和真实芯片图形特征向量之间的多级差异；基于多级差异从小到大对备用测试图形进行排序，将排序后小于预设排名的备用测试图形添加到基础测试图形中。

本发明公开了一种收费站用补光灯装置，包括防护固定件、节能补光装置和散热装置，所述防护固定件呈中空腔体设置，且所述防护固定件的顶部设有呈折L形设置的上斜板，所述防护固定件的侧端设有折光口，所述折光口设于上斜板的底部下方，所述节能补光装置设于防护固定件内，所述散热装置设于防护固定件内且与节能补光装置连接。本发明涉及高速公路用设备技术领域，具体是提供了一种LED灯板发出的强光经由多个折光板的反射，最后光照从反背光板反射到光扩散板上，经扩散板扩散使得光在较强的同时具有不晃眼的效果，上斜板的倾斜角度使得光路不受阻挡更加节能也产热更低的收费站用补光灯装置。

本申请实施例提供一种投影设备的校准方法和投影设备，涉及投影定位技术领域，能够实现投影设备的偏移定位，从而为投影设备的位置校准提供参考。该投影设备包括：校准光源、柱状透镜、线阵模块和处理器；校准光源被配置为：发射光束并将该光束投影到投影屏幕下边缘处的反光镜上；柱状透镜被配置为：将经过反光镜反射的光线进行聚焦处理；线阵模块被配置为：采集经过聚焦处理的光线形成的第一成像区域内每个像素点对应的光电辐值；处理器被配置为：根据光电辐值确定特征像素点的光电辐值，并根据特征像素点的光电辐值确定投影设备的偏移参数。

本公开涉及一种光学图像生成系统和生成光学图像的方法，光学图像成成系统包括：空间光调制器SLM，被配置为接收输入的准直激光束并对所述激光束的波前进行调制；一个或多个光学元件，被配置为将调制后的激光束投射到焦平面上；第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜位于所述焦平面处，所述第一反射镜的边缘与所述第二反射镜的边缘相邻，所述第一反射镜被配置为沿第一方向反射调制后的激光束的第一部分，所述第二反射镜被配置为沿第二方向反射调制后的激光束的第二部分；以及镜筒透镜和物镜，被配置为将所述第一部分和所述第二部分投影成组合图像；其中，零阶衍射在所述焦平面的中心被阻挡或抑制。

一种平稳防背流的显影装置，包括晶圆吸附结构、挡板、风道结构、供气通道、护圈导轨、护圈、距离传感器；所述晶圆吸附结构安装在电机轴上；所述挡板固定在底座上方；所述风道结构安装在负压腔内，风道结构的底部设有供气通道；所述护圈导轨安装在挡板顶端凹槽内；所述护圈与护圈导轨的上表面连接；所述距离传感器位于晶圆的上方。本发明有益效果如下：采用滚轮对真空吸头定位，同时采用环形扁平的风口吹出显影液，保障了工艺的稳定和安全；水平补偿机制可以保证在吹出显影液的同时稳定晶圆水平状态，提高工艺质量；可全程自动实时调节背流显影液的吹出过程，使调节更加精确可靠；采用风道和带斜面护圈的双层保护，增强了背流显影液的去除效果。

一种可防止显影液背流的显影装置，包括真空吸头、挡板、引流结构、负压管、护圈导轨、护圈、推杆、距离传感器；所述真空吸头安装在电机轴上；电机与所述挡板均固定在底座上方；所述引流结构安装在挡板上表面；所述负压管后端与挡板上方开孔处连接；所述护圈导轨安装在挡板顶端凹槽内；所述护圈与护圈导轨的上表面连接；所述距离传感器位于晶圆上方。本发明有益效果如下：巧妙利用设备原有真空吸头的负压吸力，对多余显影液进行引流并收集，防止显影液流入晶圆背面，保障了工艺安全性；可全程自动实时调节显影液的引流过程，使调节更加精确可靠；采用引流结构和带斜面护圈的双层保护，增强了显影液的引流效果，从而更好保障了设备安全。

本申请公开了一种光源系统以及投影系统，该光源系统包括：第一发光组件与匀光系统，第一发光组件用于产生第一光束；匀光系统设置于第一发光组件的出射光路上，用于对第一光束进行匀光；其中，第一光束的快轴方向与匀光系统的第一方向对应，第一光束的慢轴方向与匀光系统的第二方向对应，第一方向为匀光系统的光学扩展量大于预设光学扩展量的方向，第二方向为匀光系统的光学扩展量小于或等于预设光学扩展量的方向。通过上述方式，本申请能够消除3D设备产生的条纹。

一种光学设备包括第一发射器阵列，其设置在基板上并且被配置为在垂直于基板的方向上发射光学辐射的相应光束。第二微透镜阵列被定位在基板上与发射器的相应光束对准，具有在基板的区域上变化的相应垂度轮廓。第二阵列至少包括在基板的中心区域中的第一微透镜和在基板的周边区域中的第二微透镜，使得第一微透镜具有相应的第一焦度，而第二微透镜具有相应的第二焦度，第二焦度小于第一焦度。

本申请涉及红外激光源装置、照明装置和机动车辆。红外激光源装置(10)设置有外部壳体(11)，所述外部壳体(11)包括：光输出界面(12)，其布置在外部壳体(11)的前部(F)中；至少一个红外激光源(14)，其布置在外部壳体(11)的后部(R)中并且被配置为发射IR激光束(B)，该IR激光束(B)在光输出界面(12)处提供第一发射区域(C1)；以及第一光分布元件(15)，其被配置为在光输出界面(12)处发散光，其中，所述红外激光源装置还包括与第一光分布元件(15)分离的第二光分布元件(16)，第二光分布元件在光输出界面(12)处提供大于第一发射区域(C1)的第二发射区域(C2)。

本公开涉及在增强现实显示器中利用激光束扫描的多平面投影。一种图像投影系统，包括第一发射器，被配置为生成第一光束；第一准直透镜，被配置为接收第一光束并且生成待被投影到眼睛上的第一准直光束，以渲染在第一投影平面处感知的第一投影图像；第二发射器，被配置为生成第二光束；第二准直透镜，被配置为接收第二光束并且生成待被投影到眼睛上的第二准直光束，以渲染在第二投影平面处感知的第二投影图像；第一光束组合器，被配置为在组合传输路径上传输第一准直光束和第二准直光束；以及扫描器，被配置为根据扫描图案使第一准直光束和第二准直光束转向，以将第一投影图像和第二投影图像渲染到眼睛上。

提供了一种辐射源设备及其使用方法。方法包括：将第一液滴产生器组装到容器的接口上；将靶液滴从第一液滴产生器喷射到在收集器前方的激发区域；朝向激发区域发射激光，使得靶液滴由激光加热以产生极紫外(EUV)辐射；停止喷射靶液滴；在停止喷射靶液滴之后，从容器的接口拆卸第一液滴产生器；在从容器的接口拆卸第一液滴产生器之后，将清洗装置穿过接口插入容器中；以及通过使用清洗装置来清洗收集器。

一种波长转换模块，包括一波长转换轮、一驱动器以及一配重件。波长转换轮包括一转盘，且转盘具有彼此相对的一第一侧与一第二侧。驱动器连接转盘的第一侧，并驱动转盘以驱动器的一转轴为一轴心旋转。配重件贴合于转盘的第二侧上，且配重件以转轴为轴心与转盘同步旋转。转盘区分为一隔热区域以及一散热区域。隔热区域与散热区域彼此不重叠。隔热区域区分为一第一隔热区域以及一第二隔热区域。第一隔热区域位于转盘的第一侧且对应驱动器的连接位置。第二隔热区域位于转盘的第二侧且对应配重件的连接位置。本发明具有波长转换模块的投影机具有较高的可靠度与较长的使用寿命。

本发明涉及照明设备和对应的操作方法。可以例如用于展示和娱乐领域中的照明设备包括：光源，被配置为沿光束从负透镜到正透镜的传播路径通过远焦投影光学器件发射光束。照明设备包括：另一负透镜，插入光束从负透镜到正透镜的传播路径并沿传播路径移动；以及光学元件，插入在负透镜和另一负透镜之间的光束的传播路径中。光学元件可以选自柱面透镜、棱镜和轴棱镜，这些元件可选地安装在诸如机动化的效果轮的移动支承构件上，从而使得能够从一个光学元件切换到另一个不同的光学元件，以便借助于远焦投影系统实施与能够借助于遮光片获得的光学效应类似的各种光学效应。

本申请提供了一种镜头模组，包括电路板，还包括镜头组件、滤光片和安装架，所述镜头组件设置在所述电路板一侧，所述安装架设置在所述镜头组件和所述电路板之间；所述安装架开设有贯穿所述安装架的通孔，所述安装架内侧壁朝向所述通孔的中心轴延伸形成了凸缘，所述滤光片安装于所述凸缘上；所述滤光片远离所述电路板一面的边缘处设置有第一阻挡层，所述滤光片与所述安装架内侧壁之间设有第二阻挡层，所述第二阻挡层远离所述电路板的表面高于所述第一阻挡层。本申请提供的镜头模组中第一阻挡层和第二阻挡层能够更有效地遮挡一些特定的强光，提升了拍摄画面成像的品质。本申请还提供一种应用所述镜头模组的电子装置。

本申请提供一种投影玻璃。所述投影玻璃包括透明基底、位于所述透明基底上的散射层及位于所述散射层背离所述透明基底一侧的透明盖板。所述散射层包括介质材料及分散在所述介质材料中的多个微纳颗粒，所述微纳颗粒包括光子晶体颗粒、具有核壳结构的颗粒或具有多重散射的无序介质颗粒中的至少一种。本申请提供的投影玻璃的散射层对光的散射强度及反射强度较高，可有效提升投影到投影玻璃上的图像质量，有助于提升用户的使用体验。

本发明属于电子材料技术领域。本发明公开了一种感光干膜抗蚀剂层压体，其包括：支撑层，包括第一面和第二面；抗蚀剂层，设于支撑层的第一面，抗蚀剂层包括抗蚀剂；第一面与抗蚀剂层之间具有第一剥离强度，第二面与抗蚀剂层之间具有第二剥离强度，第一剥离强度大于第二剥离强度；支撑层满足，第二面与抗蚀剂层剥离后，第二面上抗蚀剂的残留量小于等于0.01wt%。本发明采用不包含保护层的感光干膜抗蚀剂层压体，解决了保护层缺陷引起的抗蚀剂层质量问题，并且可以降低成本，缩减覆盖保护层工艺；本发明对支撑层远离抗蚀剂层的一面进行改性，使感光干膜抗蚀剂层压体进行收卷时抗蚀剂层不会发生粘连损坏，轻易地将抗蚀剂层从卷中释放开进行贴膜。

本发明涉及压力响应性颗粒、粘接材料、印刷品、印刷品制造用片以及相关制造装置和制造方法。压力响应性颗粒具有由包含树脂A的海部及包含树脂B1和树脂B2的岛部构成的海岛结构，上述树脂B1的100℃粘度小于上述树脂B2的100℃粘度。

一种清洁极紫外线遮罩的系统和方法，极紫外(EUV)微影系统包含扫描器。微影系统用扫描器中的倍缩光罩执行EUV微影制程。扫描器包含倍缩光罩储存腔室、倍缩光罩背侧检查腔室及倍缩光罩清洁腔室。倍缩光罩清洁腔室对扫描器中的倍缩光罩的背侧的碎屑进行清洁。

本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设在移动架内，内管固定设在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设有螺旋叶片，吸尘扁嘴等距设在外管外侧；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊设在移动架内，清洁带设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设在升降辊和张力辊间，伺服电机设在移动架外，本申请通过旋转式吸尘机构可对工作台形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，通过带式清洁机构去除工作台粘着性异物。

本申请公开一种激光光源及激光投影装置，涉及投影装置技术领域，用于解决现有技术中激光投影设备的荧光轮散热效果差的问题。本申请的激光光源包括用于提供照明光源的激光器、内部形成有安装腔的安装壳体、设置在安装壳体的内壁上的导风结构以及设置在安装腔内的荧光轮，安装壳体上开设有与安装腔连通的入光口；荧光轮设置在安装腔内，荧光轮上靠近外边沿的区域设有荧光激光区，激光器发出的照明光束通过入光口入射至荧光轮的荧光激光区上，荧光轮的中心区域设有多个叶片，多个叶片沿荧光轮的周向间隔分布、且用于将荧光轮附近的散热气流导向导风结构，导风结构用于将散热气流导回荧光激光区。本申请的激光光源用于出射光束。

本申请公开一种激光光源及激光投影装置，涉及投影装置技术领域，用于解决现有技术中激光投影设备的荧光轮散热效果差的问题。本申请激光光源，包括：激光器，所述激光器用于提供照明光束；安装壳体，所述安装壳体内形成有安装腔，且所述安装壳体上开设有与所述安装腔均连通的入光口；荧光轮，所述荧光轮设置在所述安装腔内，所述激光器发出的照明光束通过所述入光口入射至所述荧光轮的轮面上；第一散热装置，所述第一散热装置设置在所述安装壳体外、且用于与所述安装壳体以热传导方式换热；第二散热装置，第二散热装置与所述安装壳体的安装腔连通，且用于将空气导向所述荧光轮的轮面进行散热。本申请的激光光源用于出射光束。

压力响应性粒子、盒、印刷物、片材的制造装置及方法。压力响应性粒子含有：压力响应性母粒子，含有苯乙烯系树脂和(甲基)丙烯酸酯系树脂，苯乙烯系树脂含有苯乙烯及其他乙烯基单体作为聚合成分，(甲基)丙烯酸酯系树脂含有至少两种(甲基)丙烯酸酯作为聚合成分且(甲基)丙烯酸酯在聚合成分占90质量％以上；及二氧化硅粒子，具有至少两个玻璃化转变温度，最低与最高的温度差为30℃以上，被施加第一应力后的二氧化硅粒子覆盖的表面被覆率Cs2与施加前的表面被覆率Cs1之比满足0.4≤Cs2/Cs1≤0.8，第一应力：20℃且相对湿度50％下，将压力响应性粒子和树脂包覆铁氧体粒子放入混合机中以40转/分运行20分钟。

本申请提供一种布灯支架和照明设备，布灯支架包括底座、多个支撑件和固定件，多个支撑件围绕底座布置，支撑件与底座转动连接，支撑件可相对底座在第一位置和第二位置之间转动，第二位置相比第一位置，与底座的夹角更小，其中，当多个支撑件转动至第一位置，多个支撑件处于以底座为中心收拢的状态，当多个支撑件转动至第二位置，多个支撑件处于以底座为中心打开的状态；固定件与底座连接，多个支撑件围绕固定件布置，固定件用以在支撑件转动至第二位置时，同时将多个支撑件靠近底座的一端，固定于底座上。克服了现有的布灯支架存在安装拆卸操作不便、易脱落的问题，具有方便收纳、操作简单、使用可靠的优点。

本发明公开一种干涉夹角连续可调的曝光装置，其包括用于发出两束S偏振光的激光发射光路，干涉夹角调节光路以及用于放置样平台的直线导轨，所述样平台可沿所述直线导轨移动，所述干涉夹角调节光路包括设置在所述直线导轨一侧并依次排列的第一导光镜、第一点光源、第一准直镜、第一角度可调节反射镜，以及对称设置在所述直线导轨另一侧并依次排列的第二导光镜、第二点光源、第二准直镜、第二角度可调节反射镜，所述第一角度可调节反射镜和第二角度可调节反射镜将所述两束S偏振光分别反射到所述样平台上。本发明通过调节所述第一角度可调反射镜和第二角度可调节反射镜的角度以及样平台在直线导轨上的移动位置，可实现实际使用状态下干涉夹角6°‑89°的连续调节。

本公开实施例提供一种半导体基板台。半导体基板台用于承载基板，半导体基板台包括基层、磁屏蔽层、承载层以及接收器。磁屏蔽层设置于基层上。承载层设置于磁屏蔽层上。接收器设置于承载层上。接收器是配置以接收来自与接收器电性隔离的信号源的微波信号，并且微波信号是用于控制半导体基板台的移动。