一种光刻机对接接口模块的调节装置

技术领域：

本发明属于一种光刻机接口模块相关结构技术领域，特别涉及一种光刻机对接接口模块的调节装置。

背景技术：

光刻机是通过曝光将精细的图形印刻在硅片上，使现在硅片生产必要的设备之一，在光刻机印刻结束后需要将硅片输送至现影装置上进行现影操作，一般光刻机都是通过接口模块将硅片从光刻机送进现影机上的。

现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻机对接接口模块的调节装置，通过升降结构和调节装置，能够有效的解决上述的现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差的技术问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：一种光刻机对接接口模块的调节装置，包括升降结构，所述升降结构设立有顶柱，所述顶柱的顶部侧壁固定连接有顶板，所述顶板远离顶柱的一侧侧壁四角处均设立有调节装置，所述调节装置内设立有从动柱，所述调节装置上转动连接有旋钮，所述从动柱顶部转动连接有对接板，所述对接板相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪，所述对接板的两侧分别设立有显影机和光刻机。

作为优选，所述顶柱内部设立有顶槽，所述顶槽内顶部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有伸缩杆，所述伸缩杆的输出端通过螺丝拆卸连接有活动柱，所述活动柱的顶端伸缩活动连接在顶槽内，所述升降结构设立有四个且分别固定连接在顶板的底部侧壁四角处，所述活动柱远离顶柱的一端固定连接有滚轮。

作为优选，所述调节装置设立有四个，所述调节装置包括底柱，所述底柱固定连接在顶板顶部侧壁四角处，所述从动柱顶端内转动连接有转珠，所述转珠为圆形结构，所述转珠转动连接在对接板的底部四角处，所述旋钮设立在底柱顶部侧壁上，所述底柱顶端侧壁内开设有转槽，所述转槽内转动连接有转柱，所述转柱位于转槽内的一端转动连接有滚动柱。

作为优选，所述从动柱螺纹连接在旋钮内，所述底柱内部中间开设有底槽，所述从动柱的一端延伸进底槽内，所述底槽内底部侧壁固定连接有两个限位柱，所述从动柱通过底端与限位柱滑动连接。

作为优选，所述转柱为环形结构，且滚动柱的一侧与转槽内底部侧壁接触，所述转柱通过顶部侧壁固定连接在旋钮的底部侧壁。

作为优选，所述对接板的顶部侧壁与显影机和光刻机的工作区处于同一水平高度，所述管状水准仪为液体水平仪，所述管状水准仪通过固定板与对接板的侧壁连接。

作为优选，所述滚轮为带有刹车结构的静音轮，所述顶柱和活动柱均为矩形结构。

本发明的有益效果：通过固定连接在对接板两侧侧壁上的管状水准仪，能够对对接板的水平度进行有效的调节整，不仅使调整的更加快捷，且精度更准确，通过旋钮的转动能够使其与从动柱产生螺纹连接的特性，从而使从动柱能够进行升降操作，设立有限位柱，能够使从动柱升降的更加稳定，通过伸缩杆能够控制调节对接板的水平高度，使其能够根据实际需要进行灵活的调整，增加设备应用的灵活性和实用性，从动柱被驱动进行升降运动时，能够顺利的带动对接板进行多方位的调整，通过上述的流程能够有效的解决背景技术提出的现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差的问题；

本发明设置有限位柱，设立有限位柱，能够使从动柱升降的更加稳定，有效的避免出现负面影响。

附图说明：

为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的平面结构示意图；

图3为本发明的升降立体内部结构示意图；

图4为本发明的调节装置平面结构示意图；

图5为本发明的调节装置内部结构示意图。

图中：1、升降结构；11、顶柱；12、活动柱；13、滚轮；14、顶槽；15、伸缩杆；2、顶板；3、调节装置；31、底柱；32、旋钮；33、从动柱；34、转槽；35、转柱；36、转珠；37、底槽；4、对接板；5、管状水准仪；6、显影机；7、光刻机。

具体实施方式：

如图1-5所示，本具体实施方式采用以下技术方案：一种光刻机对接接口模块的调节装置，包括升降结构1，升降结构1设立有顶柱11，顶柱11的顶部侧壁固定连接有顶板2，顶板2远离顶柱11的一侧侧壁四角处均设立有调节装置3，调节装置3内设立有从动柱33，调节装置3上转动连接有旋钮32，从动柱33顶部转动连接有对接板4，对接板4相邻的两侧侧壁中间均固定连接有管状水准仪5，对接板4的两侧分别设立有显影机6和光刻机7。

其中，顶柱11内部设立有顶槽14，顶槽14内顶部侧壁中间通过螺丝拆卸连接有伸缩杆15，通过伸缩杆15能够控制调节对接板4的水平高度，使其能够根据实际需要进行灵活的调整，增加设备应用的灵活性和实用性，伸缩杆15的输出端通过螺丝拆卸连接有活动柱12，活动柱12的顶端伸缩活动连接在顶槽14内，升降结构1设立有四个且分别固定连接在顶板2的底部侧壁四角处，活动柱12远离顶柱11的一端固定连接有滚轮13，滚轮13为带有刹车结构的静音轮，顶柱11和活动柱12均为矩形结构。

其中，调节装置3设立有四个，调节装置3包括底柱31，底柱31固定连接在顶板2顶部侧壁四角处，从动柱33顶端内转动连接有转珠36，转珠36为圆形结构，转珠36转动连接在对接板4的底部四角处，旋钮32设立在底柱31顶部侧壁上，底柱31顶端侧壁内开设有转槽34，转槽34内转动连接有转柱35，转柱35位于转槽34内的一端转动连接有滚动柱，转柱35为环形结构，且滚动柱的一侧与转槽34内底部侧壁接触，转柱35通过顶部侧壁固定连接在旋钮32的底部侧壁，从动柱33螺纹连接在旋钮32内，通过旋钮32的转动能够使其与从动柱33产生螺纹连接的特性，从而使从动柱33能够进行升降操作，因此从动柱33被驱动进行升降运动时，能够顺利的带动对接板4进行多方位的调整，底柱31内部中间开设有底槽37，从动柱33的一端延伸进底槽37内，底槽37内底部侧壁固定连接有两个限位柱，设立有限位柱，能够使从动柱33升降的更加稳定，有效的避免出现负面影响，从动柱33通过底端与限位柱滑动连接。

其中，对接板4的顶部侧壁与显影机6和光刻机7的工作区处于同一水平高度，管状水准仪5为液体水平仪，管状水准仪5通过固定板与对接板4的侧壁连接，通过固定连接在对接板4两侧侧壁上的管状水准仪5，能够对对接板4的水平度进行有效的调节整，不仅使调整的更加快捷，且精度更准确。

具体的：一种光刻机对接接口模块的调节装置，使用时，首先将设备置于显影机6和光刻机7之间，在顶槽14内顶部通过螺丝连接有伸缩杆15，伸缩杆15的输出端通过螺丝拆卸连接在活动柱12的顶端上，且活动柱12通过伸缩杆15伸缩活动连接在顶槽14内，通过伸缩杆15能够控制调节对接板4的水平高度，使其能够根据实际需要进行灵活的调整，增加设备应用的灵活性和实用性，在顶柱11顶部侧壁固定连接有顶板2，调节装置3通过底柱31固定连接在顶板2的顶部侧壁上，而从动柱33顶端则通过转珠36转动连接在对接板4底部侧壁上，从动柱33与旋钮32螺纹连接，旋钮32底端侧壁固定连接有环形的转柱35，转柱35转动连接在转槽34内，使旋钮32能够进行顺畅的转动，转柱35位于转槽34内底端的侧壁转动连接有滚动柱，通过滚动柱能够使转柱35和旋钮32转动的更加顺畅，通过旋钮32的转动能够使其与从动柱33产生螺纹连接的特性，从而使从动柱33能够进行升降操作，设立有限位柱，能够使从动柱33升降的更加稳定，有效的避免出现负面影响，因为设立四个调节装置3，且从动柱33都通过转珠36转动连接在对接板4的四角处，因此在从动柱33被驱动进行升降运动时，能够顺利的带动对接板4进行多方位的调整，在通过固定连接在对接板4两侧侧壁上的管状水准仪5，能够对对接板4的水平度进行有效的调节整，不仅使调整的更加快捷，且精度更准确，通过上述的工作原理和流程的介绍能够有效的解决背景技术提出的现在的接口模块的水平调节比较繁琐，且没有对应检测设备，导致水平的调节不够便捷，精准度也会下降，其次对现在接口模块自身水平高度的调节也比较麻烦，导致接口模块自身的实用性较低，且应用灵活性较差的问题。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。