掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

一种电子束设备用的六硼化物阴极座及其制作方法

文献发布时间:2024-04-18 19:58:26


一种电子束设备用的六硼化物阴极座及其制作方法

技术领域

本发明涉及一种电子束设备用的六硼化物阴极座及其制作方法,属于物理电子领域。

背景技术

阴极作为电子源用来产生电子束,是电子束设备的核心部件之一。随着电子源在各个领域的应用愈加广泛,对电子源提出了更高的要求。六硼化物(ReB

应用于电子束设备的高性能单晶ReB

发明内容

为了克服现有技术存在的问题,本发明提出一种电子束设备用的六硼化物阴极座及其制作方法,阴极材料为六硼化物(ReB

本发明采用以下技术方案:

一种电子束设备用的六硼化物阴极座,所述六硼化物为ReB6,Re包括La、Ce、Pr、Gd、Sm和Nd中的一种或多种;

所阴极座包括:

(1)阴极座框架:

不锈钢阴极座框架起到支撑发射主体部分,调节ReB6阴极在电子枪对中和高度的作用;所述不锈钢阴极座框架采用圆环形结构的不锈钢阴极座,在不锈钢阴极座安装发射体的圆环侧面设置了3个顶丝,将ReB6阴极圆形陶瓷座放入不锈钢阴极座圆环内后,将整个阴极座放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝,来调节ReB6阴极圆形陶瓷座在阴极座中的位置,确保其位于栅极正中心,由于圆环形结构是中心对称结构,保证发射体和电子枪处于同一中心轴;通过在不锈钢基座圆环上添加不同厚度的金属片,能够调整ReB6阴极陶瓷座高度;所述不锈钢材料选用304、316或316L奥氏体不锈钢,阴极座框架需要选用无磁材料,保证不影响阴极的电子发射和电子运动;

(2)导电连接部件:包括连接板、螺栓、冠簧和弹簧片;

所述导电连接部件用于连接电源和阴极,给阴极提供加热电流,用弹性冠簧连接连接板和阴极支架,利用冠簧的弹性,阴极支架可以插入;连接板和螺栓选用紫铜或黄铜;冠簧选用铍铜合金;将阴极座尾部的弹簧片弯曲成弧度,使弹簧片高于螺栓头的高度,在阴极座安装到电子枪上时,弹簧片将与电子枪供电部分连接,弹簧片材质选用黄铜、铜铬合金;

(3)绝缘部件:绝缘部件包括陶瓷柱,所述陶瓷柱对铜连接板进行支撑,起到绝缘作用,陶瓷柱材料选择氧化铝或氧化锆陶瓷。

具体地,所述阴极座包括:

(1)不锈钢阴极座框架:

主要起到支撑发射主体部分,调节ReB

(2)导电连接部件:由连接板、螺栓、冠簧和弹簧片组成。

导电连接部件主要是作用是连接电源和阴极,给阴极提供加热电流,此外,用弹性冠簧连接铜板和阴极支架,利用冠簧的弹性,阴极支架可以轻松插入,并且连接牢固,导电性好,这种插拔式阴极安装方便,仅需要拧开支撑基座侧面的不锈钢顶丝,阴极插入后再次拧紧顶丝即可,操作简单方便,安装效率高。连接板和螺栓选用紫铜、黄铜,具有高导电性,电阻小,电流稳定,发热小,加工性能好。冠簧选用铍铜合金,具有高强度和良好的弹性,可以多次插拔,连接牢固,导电性好。将阴极座尾部的弹簧片弯曲成一定弧度,使其高于紧固螺钉的高度,在阴极座安装到电子枪上时,弹簧片将与电子枪供电部分紧密连接,获得良好的电接触,弹簧片材质选用黄铜、铜铬合金,具有高强度和高导电性,电阻小,电流稳定,发热小。

(3)陶瓷绝缘柱:

电子束焊接电压高到60kv,对绝缘性要求很高,陶瓷柱,对铜连接板进行支撑,主要起到绝缘作用,陶瓷柱材料选择氧化铝(Al

本发明还提供如上所述的阴极做的制作方法,包括如下步骤:

(1)安装铜连接板,将冠簧插入连接板内孔中,用机械挤压夹住冠簧;

(2)安装阴极座,先分别将弹簧片、铜连接板和下陶瓷柱依次套入铜螺钉,将铜螺栓穿过不锈钢阴极座的底孔,再将上陶瓷柱和上铜连接板套入螺栓,上铜连接板通过螺纹与螺栓紧固;

(3)安装阴极,上铜连接板都安装好以后,放入步骤(1)安装的阴极,先拧松铜螺栓,阴极支架插入冠簧中后,保持位置不变,拧紧铜螺栓;

(4)调节对中,然后调节对中,不锈钢底座内孔和阴极陶瓷片之间有0.5mm的缝隙,在不锈钢底座侧面设置了顶丝,将ReB

具体地,ReB

(1)安装铜连接板,将冠簧插入连接板内孔中,用机械挤压夹紧冠簧,确保高温高电压下与铜板的良好接触。但挤压力不能过大,使冠簧变形失效。与焊接相比,可以避免高温下冠簧失去弹性。

(2)安装阴极座。先分别将下弹簧片、铜连接板和下陶瓷柱依次套入铜螺钉,将铜螺栓穿过不锈钢阴极座的底孔,再将上陶瓷柱和上铜连接板套入螺栓,上铜连接板通过螺纹与螺栓紧固。

(3)安装阴极,2个上铜连接板都安装好以后,放入步骤(1)安装的阴极,先拧松4个铜螺栓,阴极支架插入冠簧中后,保持位置不变,慢慢拧紧铜螺栓。

(4)调节对中。然后调节对中,不锈钢底座内孔和阴极陶瓷片之间有大约0.5mm的缝隙,在不锈钢底座侧面设置了3个顶丝。将ReB

本发明采用的技术方案,具有如下优点:

1.不锈钢阴极座呈圆环形结构,不锈钢底座内孔和阴极陶瓷片之间有较小的缝隙,在不锈钢底座侧面设置了3个顶丝。将ReB

2.采用铜板、冠簧、铜螺栓、弹簧片连接,插拔式连接,更换方便,简单高效;导电性好,阴极加热电流稳定,发热小。铜板与冠簧采用机械挤压得方法夹紧,确保高温高电压下与铜板的良好接触,与焊接相比,可以避免高温下冠簧失去弹性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

附图标记说明:

1-六硼化物阴极,2-高温合金支架,3-陶瓷片,4-第一不锈钢底座,5-顶丝,6-冠簧,7-上铜连接板,8-第二不锈钢底座,9-上陶瓷柱,10-铜螺栓,11-第三不锈钢底座,12-下陶瓷柱,13-下铜连接板,14-螺栓头,15-弹簧片。

具体实施方式

下面结合附图以及实施案例对本发明作进一步的详细描述。显然,所描述的实施例仅仅是本发明的典型实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例1

一种电子束设备用六硼化物阴极座及制作方法

本发明提出一种新的电子束设备用的六硼化物(ReB6)阴极座,其中Re包括La、Ce、Pr、Gd、Sm、或Nd中的一种或多种。所述硼化物(ReB6)阴极座包括以下3个主要部分:

(1)不锈钢阴极座框架:

电子束设备用的六硼化物阴极座主要起到支撑发射主体部分和调节LaB

不锈钢阴极座框架起到支撑发射主体部分,调节ReB6阴极在电子枪对中和高度的作用;所述不锈钢阴极座框架采用圆环形结构的不锈钢阴极座,在不锈钢阴极座安装发射体的圆环侧面设置了3个顶丝5,将ReB6阴极圆形陶瓷座放入不锈钢阴极座圆环内后,将整个阴极座放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节ReB6阴极圆形陶瓷座在阴极座中的位置,确保其位于栅极正中心,由于圆环形结构是中心对称结构,保证发射体和电子枪处于同一中心轴;通过在不锈钢阴极座框架圆环上添加不同厚度的金属片,能够调整ReB6阴极陶瓷座高度;所述不锈钢材料选用304、316或316L奥氏体不锈钢,避免磁性影响阴极发射性能,耐腐蚀,高温强度高,高温放气少,加工性能好。顶丝5为不锈钢顶丝。

(2)导电连接部件:由高温合金支架2、上铜连接板7、下铜连接板13、铜螺栓10、冠簧6和弹簧片15组成。弹簧片15为下弹簧片。

主要是作用是连接设备电源和LaB

此外,用弹性冠簧6连接上下铜连接板和阴极支架,利用冠簧的弹性,阴极支架可以插入,并且连接牢固,导电性好,这种插拔式阴极安装方便,仅需要拧开支撑基座侧面的不锈钢顶丝,阴极插入后再次拧紧顶丝即可,操作简单方便,安装效率高;上下铜连接板和铜螺栓选用紫铜或黄铜,具有高导电性,电阻小,电流稳定,发热小,加工性能好。冠簧选用铍铜合金,具有高强度和良好的弹性,可以多次插拔,连接牢固,导电性好。将阴极座尾部的弹簧片15弯曲成一定弧度,使其高于紧固螺钉的高度,在阴极座安装到电子枪上时,弹簧片15将与电子枪供电部分紧密连接,获得良好的电接触,弹簧片材质选用黄铜、铜铬合金,具有高强度和高导电性,电阻小,电流稳定,发热小。

(3)绝缘部件:由陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12组成:

通过陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,隔开上述不锈钢底座(即第一不锈钢底座4、第二不锈钢底座8和第三不锈钢底座11)和导电连接部件,主要起到绝缘作用,保证工作高电压下设备操作的安全。陶瓷片3位于第一不锈钢底座4中心,陶瓷片3内部设置孔道用于固定连接高温合金支架2。上陶瓷柱9位于上铜连接板7下方、第三不锈钢底座11上方;下陶瓷柱12位于下铜连接板13上方、第三不锈钢底座11下方。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12内部为通孔,所述通孔为中心孔道,铜螺栓10由中心孔道穿过上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,通过铜螺栓10和上铜连接板7内螺纹配合,压紧上铜连接板7、下铜连接板13、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12均为陶瓷绝缘柱。电子束焊接电压高到60kv,对绝缘性要求很高,陶瓷柱,对铜连接板进行支撑,主要起到绝缘作用,陶瓷柱材料选择氧化铝(Al2O3)或氧化锆陶瓷。

LaB6阴极座的制作方法,包括如下步骤:(1)连接冠簧6和上铜连接板7,将冠簧6插入上铜连接板7内孔中,用机械挤压夹紧冠簧6,确保高温高电压下与铜连接板7的良好接触。但挤压力不能过大,使冠簧变形失效。与焊接相比,可以避免高温下冠簧失去弹性。

(2)安装阴极座。先分别将弹簧片15、下铜连接板13和下陶瓷柱12依次套入铜螺栓10,将铜螺栓10穿过第三不锈钢底座11的底孔,再将上陶瓷柱9和上铜连接板8套入铜螺栓10,上铜连接板7通过内螺纹与铜螺栓10连接,上紧铜螺栓10。

(3)安装陶瓷片和阴极,预先将高温合金支架2和陶瓷片3焊接在一起形成ReB6阴极圆形陶瓷座,再放入步骤(1)安装的六硼化物阴极1后,利用高温合金支架2的弹性夹紧所述阴极1。将陶瓷片3放入第一不锈钢底座4中,先拧松4个铜螺栓10,高温合金支架2插入冠簧6中后,再慢慢拧紧铜螺栓10。

(4)调节对中。第一不锈钢底座4内孔和阴极陶瓷片3之间有大约0.5mm的缝隙,在第一不锈钢底座4侧面设置了3个顶丝5。将六硼化物阴极1放入阴极座后,将阴极座整体放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节六硼化物阴极1的位置,确保其位于栅极正中心。即完成阴极座的制作。

本发明制备的阴极座可以直接放入现有的电子束设备中,代替原有的钨阴极及阴极座。使用时电子束设备通过弹簧片、上下铜连接板、铜螺栓、冠簧、高温合金支架给LaB

本发明未详细阐述部分属于本领域技术人员的公知技术。以上所述的实施例仅是对本发明的优选实施方式进行描述,优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

实施例2

一种电子束设备用六硼化物阴极座及制作方法

本发明提出一种新的电子束设备用的六硼化物(ReB6)阴极座,其中Re包括La、Ce、Pr、Gd、Sm、或Nd中的一种或多种。所述硼化物(ReB6)阴极座包括以下3个主要部分:

(1)无磁高温合金阴极座框架:

电子束设备用的六硼化物阴极座主要起到支撑发射主体部分和调节LaB

无磁高温合金阴极座框架起到支撑发射主体部分,调节ReB6阴极在电子枪对中和高度的作用;所述无磁高温合金阴极座框架采用圆环形结构的无磁高温合金阴极座,在无磁高温合金阴极座安装发射体的圆环侧面设置了3个顶丝5,将ReB6阴极圆形陶瓷座放入无磁高温合金阴极座圆环内后,将整个阴极座放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节ReB6阴极圆形陶瓷座在阴极座中的位置,确保其位于栅极正中心,由于圆环形结构是中心对称结构,保证发射体和电子枪处于同一中心轴;通过在无磁高温合金阴极座框架圆环上添加不同厚度的金属片,能够调整ReB6阴极陶瓷座高度;所述无磁高温合金材料选用304、316或316L奥氏体无磁高温合金,避免磁性影响阴极发射性能,耐腐蚀,高温强度高,高温放气少,加工性能好。顶丝5为不锈钢顶丝。

(2)导电连接部件:由高温合金支架2、上铜连接板7、下铜连接板13、铜螺栓10、冠簧6和弹簧片15组成。弹簧片15为下弹簧片。

主要是作用是连接设备电源和LaB

此外,用弹性冠簧6连接上下铜连接板和阴极支架,利用冠簧的弹性,阴极支架可以插入,并且连接牢固,导电性好,这种插拔式阴极安装方便,仅需要拧开支撑基座侧面的无磁高温合金顶丝,阴极插入后再次拧紧顶丝即可,操作简单方便,安装效率高;上下铜连接板和铜螺栓选用紫铜或黄铜,具有高导电性,电阻小,电流稳定,发热小,加工性能好。冠簧选用铍铜合金,具有高强度和良好的弹性,可以多次插拔,连接牢固,导电性好。将阴极座尾部的弹簧片15弯曲成一定弧度,使其高于紧固螺钉的高度,在阴极座安装到电子枪上时,弹簧片15将与电子枪供电部分紧密连接,获得良好的电接触,弹簧片材质选用黄铜、铜铬合金,具有高强度和高导电性,电阻小,电流稳定,发热小。

(3)绝缘部件:由陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12组成:

通过陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,隔开上述无磁高温合金底座(即第一无磁高温合金底座4、第二无磁高温合金底座8和第三无磁高温合金底座11)和导电连接部件,主要起到绝缘作用,保证工作高电压下设备操作的安全。陶瓷片3位于第一无磁高温合金底座4中心,陶瓷片3内部设置孔道用于固定连接高温合金支架2。上陶瓷柱9位于上铜连接板7下方、第三无磁高温合金底座11上方;下陶瓷柱12位于下铜连接板13上方、第三无磁高温合金底座11下方。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12内部为通孔,所述通孔为中心孔道,铜螺栓10由中心孔道穿过上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,通过铜螺栓10和上铜连接板7内螺纹配合,压紧上铜连接板7、下铜连接板13、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12均为陶瓷绝缘柱。电子束焊接电压高到60kv,对绝缘性要求很高,陶瓷柱,对铜连接板进行支撑,主要起到绝缘作用,陶瓷柱材料选择氧化铝(Al2O3)或氧化锆陶瓷。

LaB6阴极座的制作方法,包括如下步骤:(1)连接冠簧6和上铜连接板7,将冠簧6插入上铜连接板7内孔中,用机械挤压夹紧冠簧6,确保高温高电压下与铜连接板7的良好接触。但挤压力不能过大,使冠簧变形失效。与焊接相比,可以避免高温下冠簧失去弹性。

(2)安装阴极座。先分别将弹簧片15、下铜连接板13和下陶瓷柱12依次套入铜螺栓10,将铜螺栓10穿过第三无磁高温合金底座11的底孔,再将上陶瓷柱9和上铜连接板8套入铜螺栓10,上铜连接板7通过内螺纹与铜螺栓10连接,上紧铜螺栓10。

(3)安装陶瓷片和阴极,预先将高温合金支架2和陶瓷片3焊接在一起形成ReB6阴极圆形陶瓷座,再放入步骤(1)安装的六硼化物阴极1后,利用高温合金支架2的弹性夹紧所述阴极1。将陶瓷片3放入第一无磁高温合金底座4中,先拧松4个铜螺栓10,高温合金支架2插入冠簧6中后,再慢慢拧紧铜螺栓10。

(4)调节对中。第一无磁高温合金底座4内孔和阴极陶瓷片3之间有大约0.5mm的缝隙,在第一无磁高温合金底座4侧面设置了3个顶丝5。将六硼化物阴极1放入阴极座后,将阴极座整体放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节六硼化物阴极1的位置,确保其位于栅极正中心。即完成阴极座的制作。

本发明制备的阴极座可以直接放入现有的电子束设备中,代替原有的钨阴极及阴极座。使用时电子束设备通过弹簧片、上下铜连接板、铜螺栓、冠簧、高温合金支架给LaB

本发明未详细阐述部分属于本领域技术人员的公知技术。以上所述的实施例仅是对本发明的优选实施方式进行描述,优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

实施例3

一种电子束设备用六硼化物阴极座及制作方法

本发明提出一种新的电子束设备用的六硼化物(ReB6)阴极座,其中Re包括La、Ce、Pr、Gd、Sm、或Nd中的一种或多种。所述硼化物(ReB6)阴极座包括以下3个主要部分:

(1)钛合金阴极座框架:

电子束设备用的六硼化物阴极座主要起到支撑发射主体部分和调节LaB

钛合金阴极座框架起到支撑发射主体部分,调节ReB6阴极在电子枪对中和高度的作用;所述钛合金阴极座框架采用圆环形结构的钛合金阴极座,在钛合金阴极座安装发射体的圆环侧面设置了3个顶丝5,将ReB6阴极圆形陶瓷座放入钛合金阴极座圆环内后,将整个阴极座放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节ReB6阴极圆形陶瓷座在阴极座中的位置,确保其位于栅极正中心,由于圆环形结构是中心对称结构,保证发射体和电子枪处于同一中心轴;通过在钛合金阴极座框架圆环上添加不同厚度的金属片,能够调整ReB6阴极陶瓷座高度;所述钛合金材料选用304、316或316L奥氏体钛合金,避免磁性影响阴极发射性能,耐腐蚀,高温强度高,高温放气少,加工性能好。顶丝5为不锈钢顶丝。

(2)导电连接部件:由高温合金支架2、上铜连接板7、下铜连接板13、铜螺栓10、冠簧6和弹簧片15组成。弹簧片15为下弹簧片。

主要是作用是连接设备电源和LaB

此外,用弹性冠簧6连接上下铜连接板和阴极支架,利用冠簧的弹性,阴极支架可以插入,并且连接牢固,导电性好,这种插拔式阴极安装方便,仅需要拧开支撑基座侧面的钛合金顶丝,阴极插入后再次拧紧顶丝即可,操作简单方便,安装效率高;上下铜连接板和铜螺栓选用紫铜或黄铜,具有高导电性,电阻小,电流稳定,发热小,加工性能好。冠簧选用铍铜合金,具有高强度和良好的弹性,可以多次插拔,连接牢固,导电性好。将阴极座尾部的弹簧片15弯曲成一定弧度,使其高于紧固螺钉的高度,在阴极座安装到电子枪上时,弹簧片15将与电子枪供电部分紧密连接,获得良好的电接触,弹簧片材质选用黄铜、铜铬合金,具有高强度和高导电性,电阻小,电流稳定,发热小。

(3)绝缘部件:由陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12组成:

通过陶瓷片3、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,隔开上述钛合金底座(即第一钛合金底座4、第二钛合金底座8和第三钛合金底座11)和导电连接部件,主要起到绝缘作用,保证工作高电压下设备操作的安全。陶瓷片3位于第一钛合金底座4中心,陶瓷片3内部设置孔道用于固定连接高温合金支架2。上陶瓷柱9位于上铜连接板7下方、第三钛合金底座11上方;下陶瓷柱12位于下铜连接板13上方、第三钛合金底座11下方。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12内部为通孔,所述通孔为中心孔道,铜螺栓10由中心孔道穿过上陶瓷柱9和下陶瓷柱12,通过铜螺栓10和上铜连接板7内螺纹配合,压紧上铜连接板7、下铜连接板13、上陶瓷柱9和下陶瓷柱12。上陶瓷柱9和下陶瓷柱12均为陶瓷绝缘柱。电子束焊接电压高到60kv,对绝缘性要求很高,陶瓷柱,对铜连接板进行支撑,主要起到绝缘作用,陶瓷柱材料选择氧化铝(Al2O3)或氧化锆陶瓷。

LaB6阴极座的制作方法,包括如下步骤:(1)连接冠簧6和上铜连接板7,将冠簧6插入上铜连接板7内孔中,用机械挤压夹紧冠簧6,确保高温高电压下与铜连接板7的良好接触。但挤压力不能过大,使冠簧变形失效。与焊接相比,可以避免高温下冠簧失去弹性。

(2)安装阴极座。先分别将弹簧片15、下铜连接板13和下陶瓷柱12依次套入铜螺栓10,将铜螺栓10穿过第三钛合金底座11的底孔,再将上陶瓷柱9和上铜连接板8套入铜螺栓10,上铜连接板7通过内螺纹与铜螺栓10连接,上紧铜螺栓10。

(3)安装陶瓷片和阴极,预先将高温合金支架2和陶瓷片3焊接在一起形成ReB6阴极圆形陶瓷座,再放入步骤(1)安装的六硼化物阴极1后,利用高温合金支架2的弹性夹紧所述阴极1。将陶瓷片3放入第一钛合金底座4中,先拧松4个铜螺栓10,高温合金支架2插入冠簧6中后,再慢慢拧紧铜螺栓10。

(4)调节对中。第一钛合金底座4内孔和阴极陶瓷片3之间有大约0.5mm的缝隙,在第一钛合金底座4侧面设置了3个顶丝5。将六硼化物阴极1放入阴极座后,将阴极座整体放入栅帽中,在显微镜下,通过调节顶丝5,来调节六硼化物阴极1的位置,确保其位于栅极正中心。即完成阴极座的制作。

本发明制备的阴极座可以直接放入现有的电子束设备中,代替原有的钨阴极及阴极座。使用时电子束设备通过弹簧片、上下铜连接板、铜螺栓、冠簧、高温合金支架给LaB

本发明未详细阐述部分属于本领域技术人员的公知技术。以上所述的实施例仅是对本发明的优选实施方式进行描述,优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

相关技术
  • 空心阴极旁热式六硼化镧电子束枪
  • 空心阴极旁热式六硼化镧电子束枪
技术分类

06120116494654