一种红外反射光谱测量仪

技术领域

本发明涉及光学测量仪器技术领域，尤其涉及一种红外反射光谱测量仪。

背景技术

在半导体芯片的生产及检测中，需要采用光谱测量仪对芯片表面结构进行探测。使用时，采用可调节聚光源照射样品，由光学设备将被检测样品反射或者吸收的红外光谱进行分离，聚焦至照射仪的检测部分，检测到的红外光谱通过红外光探测仪进行测量并被数据处理系统进行识别并输出数据。

随着半导体芯片技术的发展要求，对芯片的加工检测要求也随之增加。现有的红外反射光谱仪采用检测用悬臂梁检测装置检测来自样品反射的红外光，并根据反射的红外光强弱而将不同波段的红外光传输至数据处理系统。在此过程中，如何适应现有芯片不断变化的外形，并根据芯片表面的沟槽深宽比等进行合理调整测试样品位置，成为红外反射光谱测量仪检测用悬臂梁检测装置的设计改进重点。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本发明提供一种红外反射光谱测量仪，对检测用悬臂梁检测装置进行改进设计，使之在有效夹持样品后可根据芯片表面沟槽位置进行按需调整，保证检测精度。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种红外反射光谱测量仪，具有聚光照射仪、红外光探测仪和数据处理系统，所述的红外光探测仪包括底座、检测用悬臂梁和调整样品架；所述的检测用悬臂梁固定在底座上，调整样品架可调设置在底座上，待检测样品由调整样品架夹持后由检测用悬臂梁检测样品反射光；所述的调整样品架包括对称设置的两个调整支架，所述的底座上对应每个调整支架均一一对应开设有调整滑槽，两调整滑槽在水平方向为平行设置，两调整滑槽在高度方向上也为平行设置；所述的调整样品架还包括调节螺杆，所述的调节螺杆带动调整支架沿调整滑槽滑移调节。

进一步的，为了便于调整支架有效支撑，所述的调整支架为工字钢，工字钢包括纵向部和由纵向部连接成一体的两个横向部，工字钢其中一侧横向部配合滑动设置在调整滑槽内。

更进一步的，两个调整支架之间通过连接杆连接固定，所述的连接杆上贯穿开设有螺纹孔，所述的调节螺杆与螺纹孔螺纹连接；调整支架与连接杆整体俯视呈工字型结构，调整支架与连接杆整体侧视也呈工字型结构。通过几个工字型的结构设计，可在调节后支撑可靠稳固，减少测量误差。

在调整时，通过转动调节螺杆实现调整支架与检测用悬臂梁之间的位置调整，所述的底座上转动连接有连接套，所述的调节螺杆一端具有光柱，该光柱部分与连接套通过轴承转动配合，调节螺杆另一端则与螺纹孔螺纹配合。

优选的，所述的调节螺杆对应与螺纹孔配合的外侧端部则固定有手拧把手，通过手拧把手的设计，可按需调整连接杆与调节螺杆之间的相对位置。

优选的，所述的调整支架顶部可调连接有夹持组件，所述的夹持组件与样品接触部位贴附有硅胶条。

更进一步的，所述的调整支架顶部具有供夹持组件滑移的夹持滑槽，所述的夹持滑槽槽体一侧端面与夹持组件之间通过弹簧弹性连接。

本发明的有益效果是，本发明提供的一种红外反射光谱测量仪，结构设计合理，对调整样品架进行合理的改进升级，可根据芯片表面沟槽位置，对样品位置按需调整，调整过程方便快捷，且调整过程稳定可靠，有效保证检测精度，同时调整样品架的位置可为检测用悬臂梁提供让位，便于针对不同结构芯片样品的不同沟槽结构进行针对性的光谱检测和数据收集。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明最优实施例中红外光探测仪的结构示意图。

图2是本发明最优实施例中调整样品架位置处的主视图。

图3是图2中A-A的剖视图。

图中 1、悬臂梁 2、调整支架 3、底座 4、连接杆 5、硅胶条 6、夹持组件 7、弹簧8、夹持滑槽 9、调整滑槽 10、调节螺杆 11、手拧把手。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。

本发明的最优实施例提供了一种红外反射光谱测量仪。该红外反射光谱测量仪具有聚光照射仪、红外光探测仪和数据处理系统。其中，红外光探测仪包括底座3、检测用悬臂梁1和调整样品架。检测用悬臂梁1固定在底座3上，调整样品架可调设置在底座3上，待检测样品由调整样品架夹持后由检测用悬臂梁1检测样品反射光。在实际生产设计中，聚光照射仪、数据处理系统以及红外光探测仪的检测用悬臂梁1均为现有技术，具体结构在此不做累述。

如图1所示的红外光探测仪中，调整样品架包括调节螺杆10和对称设置的两个调整支架2。底座3上对应每个调整支架2均一一对应开设有调整滑槽9，两调整滑槽9在水平方向为平行设置，两调整滑槽9在高度方向上也为平行设置。两个调整支架2之间通过连接杆4连接固定，连接杆4上贯穿开设有螺纹孔。调节螺杆10一端具有光柱，底座3上则转动连接有连接套，该光柱部分与连接套通过轴承转动配合，实现调节螺杆10在该侧端部的定位和灵活转动，而调节螺杆10的另一端则与螺纹孔螺纹连接，且调节螺杆10对应与螺纹孔配合的外侧端部则固定有手拧把手11。使用时，可通过转动手拧把手11，带动调节螺杆10转动，调节螺杆10转动时则带动与之螺纹连接的连接杆4相对于调节螺杆10轴向发生位移，从而带动两侧的调整支架2在调整滑槽9内滑移，实现调整样品架与检测用悬臂梁1之间的位置调节。在实际设计中，调节螺杆10调整到位后的固定结构，则可通过在手拧把手11与底座3之间设计卡扣式的快拆结构进行，该部分结构可采用市售的快拆杆等结构实现，在此不做累述。

如图2和图3所示，为了便于调整支架2有效支撑，在本实施例中，调整支架2为工字钢，工字钢包括纵向部和由纵向部连接成一体的两个横向部，工字钢其中一侧横向部配合滑动设置在调整滑槽9内。调整支架2与连接杆4整体俯视呈工字型结构，调整支架2与连接杆4整体侧视也呈工字型结构。通过几个工字型的结构设计，可在调节后支撑可靠稳固，减少测量误差。

相应的，为了有效夹持样品，保证样品夹持过程中的稳定，在调整支架2顶部设计有夹持滑槽8，夹持滑槽8槽体的一侧端面固定有弹簧7，弹簧7另一端则固定有夹持组件6，该夹持组件6在弹簧7弹力作用下可沿夹持滑槽8滑移。两个调整支架2的夹持组件6方向相对，每个夹持组件6与样品接触部位贴附有硅胶条5。

在放置样品时，先行挤压弹簧7，使得夹持组件6后退，而后将样品悬空放置在两个夹持组件6之间，松开一侧夹持组件6，使得该侧夹持组件6硅胶条5与样品压接，再松开另一侧的夹持组件6，两侧弹簧7受力平衡后，样品被定位在两个调整支架2之间。而后根据不同样品的检测位置不同，通过转动手拧把手11带动调节螺杆10，对悬臂梁1与调整支架2之间的距离进行调整。调整到位后，可正常进行测量操作，此时，由于两侧的调整支架2为工字钢，调整支架2与连接杆4形成了工字型结构，即在样品位置下方，工字型的镂空位置(横向部与纵向部之间)存在多个空间，该空间可为检测用悬臂梁1提供让位，便于针对不同结构芯片样品的不同沟槽结构进行针对性的光谱检测和数据收集。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。