一般机械振动的发生或传递
-
一种直接施加在试验轴承上完整周期激振力的结构
一种直接施加在试验轴承上完整周期激振力的结构,驱动轴组件通过联轴器带动陪试轴承及支撑组件,带动试验轴承,液压缸通过X向恒定力加载杠杆连接力加载杆,力加载杆的另一端连接陪试轴承及支撑组件,X向激振器的轴芯穿过加载杆与陪试轴承及支撑组件连接;试验轴承的左压盖压紧试验轴承内圈,陪试转轴的一端连接锥套以提供试验所需转速;X向激振杆穿过力加载杆连接在左端盖的螺纹孔内,力加载杆压在左端盖的左端面,左端盖的右端面和轴承座螺纹连接,试验轴承下半部分设置在轴承座内,其上半部分安装在锥套上;Y向激振器的激振杆与轴承座螺纹连接。直接在试验轴承上施加两个方向完整周期的激振力,精确控制振动激励的方向、周期、频率、幅值。
2023-03-21 -
曲面换能器、超声设备、曲面压电组件及制备方法
本发明涉及一种曲面换能器、超声设备、曲面压电组件及制备方法,曲面压电组件包括:在厚度方向依次层叠设置的导电匹配层和压电阵列层,所述压电阵列层包括若干个阵元,若干个所述阵元排列为弧面型;相邻的所述阵元之间由间隔槽隔开;所述压电阵列层的上表面设有相互独立的正极导电层,所述压电阵列层的下表面相互电导通。在压电阵列层的下表面直接层叠导电匹配层,相邻阵元之间由间隔槽隔开,可以保证在压制成型时,制造稳定性高,导电匹配层不易开裂,提高制造效率,良品率高。
2023-03-14 -
一种结合形状记忆聚合物特性的往复运动机构
本发明公开了一种结合形状记忆聚合物特性的往复运动机构。机架内设有导轨,导轨上滑动安装有移动滑台,移动滑台上固定安装连接板,连接板的两侧分别经一个形状记忆件和机架内部的两侧连接;每个形状记忆件均主要由形状记忆聚合物和加热模块构成,形状记忆聚合物呈S形布置,形状记忆聚合物S形的半圆弧弯曲拐点处内部设有加热模块,形状记忆聚合物的两端分别连接到连接板侧部和机架的内侧部。本发明装置能够在不需要复杂控制组件的条件下,利用形状记忆聚合物形状的动态循环往复变化来实现机构的往复移动。本发明装置能够克服传统往复运动机构控制较难、控制组件较多等缺点。
2023-03-14 -
力觉组件以及触觉装置
提供能够防止振动特性受损的力觉组件以及触觉装置。一个方式所涉及的力觉组件具有:力觉产生装置,其通过非对称的振动而产生虚拟力觉;以及支撑部,其配置于所述力觉产生装置与供所述力觉产生装置安装的对象部之间,将所述力觉产生装置支撑为能够相对于所述对象部振动。
2023-03-13 -
测量设备用超声波振子
本发明旨在提供一种能够在抑制制造成本的同时,增加适于超声波收发频段的测量设备用超声波振子。本发明的测量设备用超声波振子41包括兼作声匹配层的近似圆板状的基材42以及与基材42接合的近似圆板状的压电元件43。在压电元件上43以相互不交叉的方式形成有多个沿面方向延伸的槽部K1,隔着槽部K1配设有多个带状的振动部90。距压电元件43的中心O1的距离越远,振动部90的长度越短。另外,压电元件43在第一频段沿厚度方向振动,并且在比第一频段低的第二频段沿径向振动。
2023-03-12 -
可用于MEMS主动冷却装置中的经设计的促动器
描述一种可用于冷却系统中的促动器。促动器包括锚固区和悬臂。悬臂从锚固区向外延伸。悬臂包括台阶区、延伸区和外部区。台阶区从锚固区向外延伸且具有台阶厚度。延伸区从台阶区向外延伸且具有小于台阶厚度的延伸厚度。外部区从延伸区向外延伸且具有大于延伸厚度的外部厚度。
2023-03-12 -
一种单轴式对置凹面阵列六通道分区驱动控制装置
本发明涉及了一种单轴式对置凹面阵列六通道分区驱动控制装置,所述控制装置包括:控制模块、驱动模块、电源模块和六分区处理的单轴式对置凹面阵列;所述电源模块分别与所述控制模块和所述驱动模块的电源输入端连接;所述控制模块的信号输出端与所述驱动模块的信号输入端连接;所述驱动模块的六路输出端口分别与单轴式对置凹面阵列的六个扇区连接,所述驱动模块用于将六路脉冲调制信号进行放大,并将放大后的六路脉冲调制信号分别输出给单轴式对置凹面阵列的六个扇区。本发明通过控制六路可控的脉冲调制信号相位,经放大后驱动单轴式对置凹面阵列的六个扇区,实现对悬浮物体在水平方向上的运动控制。
2023-03-12 -
一种超声波换能器的控制方法
本发明公开了一种超声波换能器的控制方法,包括:换能器壳体,所述换能器壳体的底部设置有变幅杆体,所述换能器壳体的内部活动插接有连接杆,所述连接杆的底端与变幅杆体的顶部螺纹连接,所述连接杆的顶端活动套接有端头;所述换能器壳体与端头之间设置有四个压电陶瓷片、两个正极片和两个负极片,两个所述正极片之间固定连接有正极连接片,两个所述负极片之间固定连接有负极连接片;所述两个正极片的两侧均设置有保护壳,且两个保护壳装配有移动组件。本发明的有益效果是:在对正极连接片、负极连接片和电线进行保护的同时对不影响正常通电。
2023-03-10 -
晶圆键合压头超声波发生器频率追踪电路及追踪方法
本发明涉及一种晶圆键合压头超声波发生器频率追踪电路,涉及半导体键合技术领域,包括超声波反馈回路和频率追踪电路;所述超声波反馈回路包括:高频交流不平衡电桥和变压器,所述变压器输出同相端与电感L的一端连接,电感L的另一端与交流不平衡电桥的一端连接,高频交流不平衡电桥的另一端与变压器的反相端连接,所述交流不平衡电桥包括参比桥臂和测量桥臂自动频率追踪电路晶圆压头的的工作频率,高频脉冲互感器CT1、高频脉冲互感器CT2、高频脉冲互感器CT3;避免了每次更换压头要重新调整机器的工作频率的麻烦,电路自动补偿功率与振幅,精度高、功率稳定,使用方便,而且故障率低,维护成本大幅减少,使用寿命更长。
2023-03-10 -
一种圆柱形大功率超声波破碎换能器
本发明适用于超声波技术领域,提供了一种圆柱形大功率超声波破碎换能器,包括:多组陶瓷环,所述陶瓷环并联连接;其中,所述陶瓷环包括:陶瓷片,若干个陶瓷片拼环构成圆柱形结构,所述陶瓷片相互并联连接,且极化方向相反;电极,相邻陶瓷片之间设有电极,所述陶瓷片和电极粘接相连;玻璃丝,所述玻璃丝绕丝固定在拼环成圆柱形结构的陶瓷片的外层,用于固定圆柱形结构增加预紧力。本发明解决了传统换能器辐射面小的问题,结构简单、可靠、工艺易实现,容易保证振动单元的一致性,实现了大功率破碎。
2023-03-10 -
轴向弯曲和横向振动合成型压电换能器及清洗装置和方法
本发明属于换能器技术领域,涉及一种轴向弯曲和横向振动合成型压电换能器及超声清洗装置和方法,换能器包括置于液体介质内的振动辐射罩以及置于液体介质外的振动柱,所述振动辐射罩是上下两端封闭的空心筒状结构;所述振动柱设置在振动辐射罩底部外且与振动辐射罩同轴设置,振动柱产生的振动传递给振动辐射罩,通过振动辐射罩辐射出纵向轴对称弯曲振动和沿径向横振动交替而成的合成振动。本发明产生纵向和横向两种交替合成振动模型,且产生横向振动和弯曲振动合成后的稳定辐射声场,超声场没有死角,清洗彻底,超声清洗效率高;且结构简单,体积小,应用前景广阔。
2023-03-10 -
一种直接施加在试验轴承上完整周期激振力的结构
一种直接施加在试验轴承上完整周期激振力的结构,驱动轴组件通过联轴器带动陪试轴承及支撑组件,带动试验轴承,液压缸通过X向恒定力加载杠杆连接力加载杆,力加载杆的另一端连接陪试轴承及支撑组件,X向激振器的轴芯穿过加载杆与陪试轴承及支撑组件连接;试验轴承的左压盖压紧试验轴承内圈,陪试转轴的一端连接锥套以提供试验所需转速;X向激振杆穿过力加载杆连接在左端盖的螺纹孔内,力加载杆压在左端盖的左端面,左端盖的右端面和轴承座螺纹连接,试验轴承下半部分设置在轴承座内,其上半部分安装在锥套上;Y向激振器的激振杆与轴承座螺纹连接。直接在试验轴承上施加两个方向完整周期的激振力,精确控制振动激励的方向、周期、频率、幅值。
2023-03-09 -
具有行和列寻址的超声成像设备
本说明书涉及一种超声成像设备,其包括按行和按列布置的多个超声换能器(101),每个换能器(101)包括下部电极(E1)和上部电极(E2),其中:*‑在每一行中,该行的任何两个相邻换能器(101)分别使它们的下部电极(E1)和它们的上部电极(E2)相互连接,或者使它们的上部电极(E2)和它们的下部电极(E1)相互连接;以及*‑在每一列中,该列中的任何两个相邻换能器(101)分别使它们的下部电极(E1)和它们的上部电极(E2)相互连接,或者使它们的上部电极(E2)和它们的下部电极(E1)相互连接。
2023-03-08 -
振动装置及电子设备
本发明公开了一种振动装置及电子设备。其中,振动装置包括:金属件、第一压电件、第二压电件、永磁体、电磁体、控制模块。控制模块生成第一控制信号、第二控制信号,第一压电件根据第一控制信号进行收缩操作,第二压电件根据第一控制信号进行伸张操作,以使金属件朝第一方向弯曲;第一压电件根据第二控制信号进行伸张操作,第二压电件根据第二控制信号进行收缩操作,以此控制金属件朝第二方向弯曲。控制模块还生成电磁控制信号,电磁体根据电磁控制信号生成电磁场,永磁体根据该电磁场控制金属件的弯曲程度,从而实现振幅的提高。本实施例的振动装置能够可控的提高振幅,从而使金属件能够应用于振幅和力需求大的电子设备。
2023-03-07 -
磁调谐压电微机械超声换能器及其制作方法
本发明公开了一种磁调谐压电微机械超声换能器及其制作方法,所述磁调谐压电微机械超声换能器包括依次层叠设置的下电极、压电层以及上电极,其中,所述上电极和/或所述下电极为具有磁致伸缩效应的压磁层。本发明的磁调谐压电微机械超声换能器,其能够利用磁致伸缩效应来调谐PMUT的工作特性,并同时具备磁传感性能。
2023-03-07 -
一种重型活塞式振动器
本发明涉及振动器技术领域,尤其为一种重型活塞式振动器,包括振动器,所述振动器的底部连接有固定结构,所述固定结构的底部连接有衔接板,所述衔接板的端面上设置有多组衔接孔,所述振动器的端面上连接有润滑油添加结构,所述固定结构包括固定连接板,所述固定连接板连接在振动器的底部,本发明通过在重型活塞式振动器中设置固定结构,从而利用固定结构中的固定卡块经过传动结构使得振动器快速固定的设计,从而使得重型活塞式振动器安装和拆卸的时候非常的方便,同时也能更换不同种类的衔接板,使得在于其他部件连接时更加的方便,从而解决了不方便安装和拆卸的问题。
2023-03-05 -
一种品字形低频宽带换能器
本发明属于水声信号探测技术领域,具体涉及一种品字形低频宽带换能器,包括换能器本体,所述换能器本体包括支撑环、连接器、骨架、连接线、水密胶、支撑板、压电陶瓷、焊片、螺钉和硫化橡胶层,骨架安装在支撑环内,所述支撑板安装在骨架的圆环内,所述压电陶瓷安装在支撑板上,压电陶瓷与支撑板合称为弯曲振子,所述连接器对称设置在支撑环两侧的直线段处,所述硫化橡胶层设置在支撑环内侧顶部,所述水密胶填充在多个弯曲振子与硫化橡胶层之间的缝隙处,本发明通过三个弯曲振子由一个硫化橡胶层进行水密,极大简化了振子间的接线形式,同时减小了换能器最大外形尺寸,通过利用振子间声场耦合效应,较常规弯曲圆盘换能器明显拓展了工作带宽。
2023-03-04 -
显示装置
振动元件(50)使触摸面板(200)产生振动。在显示装置(1000)中存在三个方向,所述三个方向包含沿着显示面(100a)的x轴方向及y轴方向、与该显示面(100a)正交的z轴方向。多个支承体(7)构成为:在该三个方向所包含的作为两个方向的x轴方向及z轴方向上触摸面板(200)不运动。该三个方向中的该两个方向以外的方向与作为振动元件(50)产生的振动的方向的振动方向一致。以触摸面板(200)能够在该振动方向上运动的方式构成该触摸面板(200)。
2023-03-03 -
超声波复合振动装置及半导体装置的制造装置
超声波复合振动装置(50)中,具有产生纵向振动及扭转振动的振子(58)的基端部(52)、具有比所述基端部(52)大的截面积的扩大部(54)、及具有比所述扩大部(54)小的截面积的前端部(56),从基端侧朝向前端侧呈直线状地排列,所述扭转振动的波节位于所述扩大部(54),所述纵向振动的波腹及所述扭转振动的波腹位于所述超声波复合振动装置(50)的基端面及前端面,所述扩大部(54)的轴向位置及轴向尺寸W被设定为所述纵向振动的共振频率Fa与所述扭转振动的共振频率Fb大致相同的位置及尺寸。
2023-03-02 -
超声波焊头及半导体装置的制造装置
超声波焊头(50)包括:振动源部(53),安装有超声波振子(58);前端部(56),安装有毛细管(18);以及中间部(54),介隔存在于所述前端部(56)与所述振动源部(53)之间,使由所述超声波振子(58)产生的振动传递至所述前端部(56);在所述中间部(54)形成有在超声波焊头(50)的径向上贯通的孔、即随着沿周向行进而沿轴向行进的单一的螺旋孔(68)。
2023-03-02 -
一种复频同相位平面阵定向发射声波装置
本公开提供的复频同相位平面阵定向发射声波装置,包括气缸;驱动部件,安装于气缸内,驱动部件的输出端与一中心轴连接;固定盘,套设在中心轴上,并与气缸的上口固定连接成为气缸的上封口,固定盘上沿径向等间距打孔、并在等差直径的圆周上均匀分布形成若干通气孔;旋转盘,套设在中心轴且位于固定盘之上,并由驱动部件驱动旋转,旋转盘上设有若干在径向上与通气孔相对应的喷气孔,各圆周上的喷气孔数量与通气孔数量不同以产生复频;压盖,套设在中心轴且位于旋转盘之上,并与气缸的上口固定连接。本装置声波按平面阵列的形式直接发射;保证了声波的相位相同,复频声波声学参量阵极大地提高了声波的指向性,可实现声波的大能量远距离定向传输。
2023-03-02 -
用于微加工超声换能器的电接触布置
本公开涉及用于微加工超声换能器的电接触布置。片上超声装置具有包括多个换能器单元的超声换能器基板和电基板。对于每个换能器单元,一个或更多个导电结合连接设置在超声换能器基板与电基板之间。电基板的示例包括CMOS芯片、包括模拟电路的集成电路、中介层和印刷电路板。
2023-03-02 -
一种振动组件、车载触觉执行器及其制作方法
本发明涉及用户与计算机交互技术领域,尤其涉及一种振动组件、车载触觉执行器及其制作方法,该振动组件包括弹片、固定在弹片上的托架、设置在托架内的振动质子和设置在振动质子上的磁钢;弹片包括支撑壁以及与支撑壁两端垂直连接的弹性臂,弹性臂的自由端经两次90度折弯后形成固定壁;托架包括底板和与底板侧边垂直的侧板,其中一个侧板与支撑壁贴合固定;振动质子固定在底板上,磁钢与底板平行的面上同时包含了N极和S极。本发明通过一体成型的单弹片结构替代了现有技术中的双弹片结构,只需冲切后折弯,并且采用激光焊接工艺将托架固定在弹片内,振动质子和磁钢固定在托架内,与现有技术相比,结构简单,安装方便,降低了加工难度。
2023-03-01 -
一种单激励二维超声椭圆振动加工平台装置及其使用方法
本发明提供了一种单激励二维超声椭圆振动加工平台装置及其使用方法,包括超声电源、超声换能器、单激励二维超声椭圆振动平台和夹具;所述超声电源连接所述超声换能器并产生超声频率电信号;所述超声换能器包括端盖、压电陶瓷及电极片,将超声频率电信号转换成超声振动;所述单激励二维超声椭圆振动平台上放置有工件;所述单激励二维超声椭圆振动平台将一维超声振动转换成超声椭圆振动,带动工件产生超声椭圆振动;所述夹具对单激励二维超声椭圆振动平台进行夹持。应用本技术方案可实现能够用于硬脆难加工材料加工行业,能够明显提高硬脆材料加工质量及极高地提升其加工效率。
2023-02-28 -
全数字化超声波发生器控制系统及方法
本发明公开一种全数字化超声波发生器控制系统及方法,控制系统包括有换能器、第一模数转换器芯片、第二模数转换器芯片、数字信号处理器芯片以及功率放大器;该数字信号处理器芯片包括有第一数字滤波器、第二数字滤波器、第一FFT频谱分析模块、第二FFT频谱分析模块、幅相处理电路、逻辑处理电路、频率功率联合处理电路、DDS波形产生器和PWM产生器;通过配合利用各个芯片,可对电流和电压进行全数字化处理,可靠性高,并可实现智能化处理,无需工作前的参数设置,无需扫频等操作来确定工作参数,在工作频率范围内可智能分析负载特性,做到即插即用,本控制系统可应对不同的应用场景,使用非常的方便。
2023-02-28 -
振动装置
本发明提供一种能够在不导致构造的复杂化的情况下提高端子与振动板的接合的可靠性以及电连接的可靠性的振动装置。振动装置(1)具备:第1振动板(6),具有长度方向,且具有长度方向一端侧的第1端部(6a)和另一端侧的第2端部(6b);第1压电元件(11),设置于第1振动板(6);第1导体布线(13),在长度方向上,在比第1振动板(6)的中央靠第1端部(6a)侧与第1压电元件(11)接合;第1固定构件(17),与第1导体布线(13)连接;以及壳体构件(4),固定有第1固定构件(17),第2端部(6b)设为自由端,第1导体布线(13)具有弯曲部。
2023-02-28 -
一种振动器及其制备方法
本发明公开了一种振动器及其制备方法,包括壳体、隔套和活塞,隔套固定安装于壳体内并与壳体配合形成密封腔室,活塞与密封腔室的腔壁滑动配合并将密封腔室分隔成隔离设置的上腔室和下腔室,活塞的外周壁设有上下隔离设置的上通气槽和下通气槽,上通气槽和下通气槽均包括上下间隔设置的环状凹槽和连通环状凹槽的螺旋槽组,活塞内部设有相互隔离的上气道和下气道,上气道一端连通上腔室,另一端连通下通气槽,下气道一端连通下腔室,另一端连通上通气槽,壳体设有工作孔Ⅰ和工作孔Ⅱ,隔套设有与工作孔Ⅰ连通的上扩口和与工作孔Ⅱ连通的下扩口,在保证足够的气体能通入上气道和下气道的前提下,增加了活塞与隔套的接触面积,使得活塞运行更加平稳。
2023-02-27 -
一种用于超声换能器的Z型弹性法兰结构及其应用
本发明公开了一种Z型弹性法兰结构及其应用,它可减少超声换能器工作时,超声能量从法兰处向外界的渗漏,提升超声换能器振动性能及稳定性。该结构包括平面法兰部分和弹性圆柱环部分,平面法兰部分与弹性圆柱环部分组合在一起,截面形成Z型;平面法兰部分具有第一径向长度h1和第一厚度w1,弹性圆柱环部分具有第二径向长度h2、第二厚度w2、第三厚度w3和圆柱环长度l;其能够减轻纵向耦合和径向耦合,对超声换能器的端面振幅产生较大提升,无论超声换能器是否以谐振状态工作,Z型弹性法兰结构均可以显著提升超声换能器的振幅。与传统面法兰相比,在共振时,Z型弹性法兰结构可以将振幅提高15.3%,且不损失超声换能器承受外力作用的刚度。
2023-02-25 -
电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置及制造方法
本发明题为电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置及制造方法。本发明提供了一种形成电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置的方法,该方法包括将CMUT衬底结合到绝缘体上硅(SOI)衬底。CMUT衬底具有第一厚度,并且SOI衬底包括操作件、掩埋氧化物层和装置层。CMUT衬底或SOI衬底中的至少一者包括图案化介电层。装置层结合到图案化介电层以形成多个密封腔,并且装置层形成该多个腔的隔膜。该方法还包括将CMUT衬底的第一厚度减小至第二厚度,以及从CMUT衬底的与第一表面相对的第二表面形成多个硅通孔。
2023-02-25 -
电容式微机械超声换能器及其制造方法
本发明涉及一种电容式微机械超声换能器,包括下电极、上电极和附接到上电极并位于下电极和上电极之间的膜。锚连接到膜和下电极,使得在下电极和膜之间限定出空腔。一个或多个柱位于空腔内,该柱部分地埋设在膜内并朝着下电极延伸。一种生产电容式微机械超声换能器的方法,包括在未掺杂硅制成的器件层上形成氧化物生长层,并去除氧化物生长层的部分,以形成延伸超出器件层外表面的锚以及部分地埋设在器件层中的柱孔内并延伸超出器件层的外表面的柱。
2023-02-25 -
用于可调谐声阻尼的纳米空隙聚合物
声学元件包括纳米空隙聚合物层,该纳米空隙聚合物层在未致动状态中具有第一纳米空隙拓扑结构,并且在致动状态中具有与第一纳米空隙拓扑结构不同的第二纳米空隙拓扑结构。例如,纳米空隙聚合物层的电容致动可以被用于可逆地控制在聚合物层内纳米空隙的大小和形状,并因此例如在声学元件的操作期间调谐其声音阻尼特性或声音转导行为。声学元件可以被配置用于被动或主动声音衰减。还公开了多种其它装置、系统、材料和方法。
2023-02-25 -
输入装置
本发明涉及一种输入装置,其具备:操作部(10),是接受操作的操作部,并具备具有磁性的磁性部件(15);载荷检测部(25),是检测针对操作部(10)的载荷的至少一个载荷检测部,并根据一对导体之间的静电电容而检测载荷;基板(30),配置有载荷检测部(25)的一对导体中的一个亦即电极(31);以及驱动部(40),具备产生驱动磁性部件(15)的磁场的线圈(35),基板(30)构成为配置有线圈(35)。
2023-02-24 -
超声换能器振幅恒定控制方法与设备
本发明公开了一种超声换能器振幅恒定控制方法与设备,该控制方法包括:S1、根据超声辅助加工过程的加工工况,设置标定电流;S2、控制超声电源按照设定频率输出电信号;S3、获取加工过程中超声换能器的实时电流有效值与实时电压电流相位差;S4、计算所述实时电流有效值与所述标定电流之间的误差,并判断所述误差是否在一预设范围内,若是,则跳转至步骤S6;若否,则进入步骤S5;S5、根据所述实时电压电流相位差调整超声电源输出电信号的频率,并返回步骤S2;S6、完成超声换能器振幅恒定控制。
2023-02-24 -
一种电磁结构及电磁换能器
本发明提供一种电磁结构及电磁换能器。电磁结构包括第一励磁结构、第一结构、第一永磁体。所述第一励磁结构包括K个第一励磁段、第二励磁段,K个第一励磁段在第二方向上依次间隔设置且分别与第二励磁段对应固定连接;在第一方向上,各个第一永磁体均位于驱动线圈与第一结构之间,或均位于驱动线圈与第二励磁段之间,或均位于第二励磁段的远离第一结构一侧;所述第一励磁结构中具有M个充满有相对磁导率小于1.2的介质间隔区域;方形轨迹至少穿过一个间隔区域;间隔区域的间隔尺寸不大于第一长度的1/3且不大于初始位置的气隙尺寸的2倍。本发明使得电磁换能器达到目标声源级所需交流电流的幅值减小,大幅度提高换能效率。
2023-02-22 -
压电微机械超声换能器及其制作方法
本发明提供一种压电微机械超声换能器及其制作方法,所述压电微机械超声换能器包括:衬底;设置于衬底上支撑层,其形成有至少一个开口朝向衬底的空腔,空腔侧壁、空腔顶壁与衬底围设形成真空密闭腔;设置于支撑层上的压电薄膜,其至少位于空腔上方,并直接受空腔顶壁支承,保留部分支撑层不蚀刻形成的空腔顶壁直接起到支承压电薄膜的作用,省略常规PMUT结构中的沉积形成的薄膜支撑层等结构,能够显著降低PMUT的制造成本。
2023-02-21 -
谐振装置
本申请提供了一种谐振装置,包括谐振单元和驱动单元,其中谐振单元包括安装架、动子和定子,动子位于安装架的自由段,定子位于安装架的固定段,自由段和固定段之间的连接区域设置有折弯部;驱动单元包括弹性电路板和连接杆。驱动单元通过连接杆固定设置在折弯部内,且驱动单元的两端均与折弯部内壁抵接。连接杆一端与弹性电路板连接,另一端与安装架连接。自由段振动时,折弯部的内壁压迫驱动单元带动弹性电路板产生形变。谐振装置中的压电传感器和驱动电路集成在弹性电路板上,压电传感器可以根据弹性电路板的形变幅度、相位感测到谐振单元的振动幅度、频率,不需要将压电传感器部署在动子上,使得谐振装置的整体线路布设的复杂度大幅度降低。
2023-02-20 -
一种检知器及超声波探头结构
本发明涉及一种检知器及超声波探头结构,其中,检知器包括壳体以及设置在壳体上的第一换能器和第二换能器,所述第一换能器用于发射或接收超声波,所述第二换能器用于发射或接收超声波;所述第一换能器和第二换能器之间存在间距。本发明在检知器端对超声波探头进行改进,使得该超声波探头能够同时发射和接收超声波,有效解决了近距离盲区的问题,实现了全距离的检测。
2023-02-20 -
一种三维空间超声椭圆振动车削装置
本发明公开了一种三维空间超声椭圆振动车削装置,包括壳体单元、压电超声振动换能器、三维空间椭圆振动模态转换器和刀具。所述的壳体单元包括上盖板、安装座、外套筒和下盖板;所述的压电超声振动换能器包括螺栓及依次套设在螺栓上的后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板,后盖板和前盖板通过螺栓将后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板联接压紧;所述的三维空间椭圆振动模态转换器设置在前盖板的前端,为纵弯梁和弯矩质量块的复合结构,该三维空间椭圆振动模态转换器可以将压电超声振动换能器产生的一维纵向超声振动转换为刀具的三维空间椭圆振动。
2023-02-18 -
带互锁连接的超声焊接系统
本发明涉及一种具有超声振动单元的超声焊接设备,该超声振动单元具有超声焊极和转换器。其中,超声焊极和转换器沿着纵向轴线彼此相邻布置,并且能够使超声振动单元在纵向轴线的方向上以波长λ利用超声振动而进入共振状态,其中能够提供布置在超声焊极和转换器之间的振幅变换器。本发明的目的是提供一种超声焊接系统,该系统允许简单地替换超声焊极并且能够以高精度的方式快速且简单地调节。根据本发明,这通过以下方式实现:经由型式装配连接将超声焊极连接到转换器,和/或将振幅变换器连接到转换器,和/或将振幅变换器连接到超声焊极,型式装配连接在垂直于纵向轴线的平面的所有方向上提供型式装配锁定。
2023-02-16 -
一种双面叉指换能器的兰姆波器件及其制备方法
本发明属于兰姆波器件技术领域,尤其涉及一种双面叉指换能器的兰姆波器件及其制备方法,该兰姆波器件包括压电基底以及对称设置于所述压电基底正反两面的叉指换能器;所述叉指换能器包括设置于所述压电基底一侧的激发叉指换能器和设置于所述压电基底另一侧的接收叉指换能器;所述激发叉指换能器输入交流电信号,经所述压电基底的逆压电效应激发兰姆波并传播出去,且最终传播至所述接收叉指换能器区域时,经所述压电基底的压电效应,所述接收叉指换能器将所述兰姆波转换成交流电信号输出,这样更好匹配兰姆波传播条件;另一方面,根据计算可以获得更大的机电耦合系数,提高声波转换效率。
2023-02-16