一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置

技术领域

本申请属于半导体匀气板生产设备领域，具体涉及一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置。

背景技术

匀气板表面有很多小孔和复杂细小的气路通道，进而使得匀气板可以对接收的气体进行匀气工作，但因为匀气板表面需要开设许多小孔的缘故，使得匀气板在生产的过程中，需要使用者运用开孔装置对匀气板表面进行开孔工作，而在开孔装置对匀气板表面进行开孔工作后，通常会产生一定的开孔毛刺，这些开孔毛刺即会影响匀气板的美观性，还会影响匀气板的匀气效率，为此使用者在开孔结束后，通常需要用的开孔毛刺去除装置对开孔毛刺进行去除工作。

根据搜索百度文献可知，目前市场上的开孔毛刺去除装置大多只可以对匀气板中心位置的毛刺进行去除工作，而部分匀气板为应对不同的安装情况，其会对匀气板的外侧进行开孔工作，故使用者在毛刺去除工作后，需要人工对匀气板的外侧进行毛刺去除工作，进而影响了设备的工作效率。

为此本申请提供了一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置。

发明内容

鉴于上述问题，本申请提出了一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，解决了上述所阐述出来的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

一种半导体匀气板，包括匀气板，所述匀气板包括第一匀气层，所述第一匀气层的下方固定连接有第二匀气层，所述第二匀气层的下方固定连接有第三匀气层，所述第三匀气层的下方固定连接有第四匀气层，所述第一匀气层和第二匀气层上方的水平面积相等，所述第三匀气层和第四匀气层上方的水平面积相等，所述第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层上方的中心均开设有匀气槽，所述第三匀气层和第四匀气层的外表面开设有啮齿槽。

上述半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，所述开孔毛刺去除装置包括基板，所述基板前端和后端的上方均固定连接有清理组件，所述基板前端和后端上方的一侧均固定连接有输液组件，所述基板一侧的上方固定连接有翻转装置，所述基板上方的一侧固定连接有移动组件，所述移动组件的上方固定连接有去毛刺组件，所述基板上方的另一侧固定连接有调节组件，所述调节组件靠近翻转装置的一侧固定连接有支撑组件，所述支撑组件上方的一侧固定连接有打磨组件。

优选的，所述基板上方的一侧开设有加工槽，所述加工槽的中心固定连接有过滤板，所述基板内部的另一侧开设有储杂槽，所述储杂槽和加工槽之间开设有通杂槽，所述通杂槽下方的水平高度与过滤板上方的水平高度相等；

所述清理组件包括第一防护板和第二防护板，所述第一防护板和第二防护板分别位于基板的前端和后端，所述第一防护板的内部旋转连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的外表面设有滑动连接的移动清理板和固定连接的第一传动轮，所述第一传动轮的外表面连接有第一传动带，所述第一防护板上方的一侧固定连接有固定板，所述固定板的数量为两个，两个所述固定板之间旋转连接有第一旋转杆，所述第一旋转杆的外表面设有固定连接的第一蜗轮和第二传动轮，所述第二传动轮的外表面与第一传动带上方的内表面相适配，所述第二防护板的内部固定连接有第一限定杆，所述移动清理板前端的内表面与第一限定杆的外表面相适配。

优选的，两个所述输液组件均包括输液泵，所述输液泵的下方固定连接有抽液管，所述抽液管的下方贯穿基板延伸至其内部，所述输液泵的上方固定连接有排液管。

优选的，所述翻转装置包括第一电机，所述第一电机的输出端旋转连接有第二旋转杆，所述第二旋转杆的一侧固定连接有第一活动板，所述第一活动板上方和下方的前端和后端均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端固定连接有第二活动板，所述第二活动板内部的中心固定连接有双头电机，所述双头电机的前端和后端均旋转连接有第三旋转杆，所述第三旋转杆中心的外表面固定连接有第三活动板，所述第三活动板一侧靠近第一活动板的一端固定连接有支撑板，所述支撑板靠近第一活动板中心的一侧固定连接有电动吸盘。

优选的，所述移动组件包括U型板，所述U型板内腔底部的后端旋转连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的外表面与第一蜗轮的外表面相啮合，所述第二螺纹杆外表面的上方固定连接有第三传动轮，所述第二螺纹杆外表面的中心滑动连接有第一移动板，所述第一移动板两侧的内部均固定连接有第一喷液板，两个所述第一喷液板的后端固定连接有第一分流板，所述第一分流板的后端与一个排液管的前端相连接；

所述U型板内腔底部的前端固定连接有第二限定杆，所述第二限定杆的外表面滑动连接有第二移动板，所述第二移动板两侧的内部均固定连接有第二喷液板，两个所述第二喷液板的前端固定连接有第二分流板，所述第二分流板的前端与另一个排液管的后端相连接；

所述第一移动板和第二移动板之间固定连接有第四活动板，所述第四活动板的上方旋转连接有旋转盘，所述旋转盘的下方固定连接有第一毛刺去除头，所述第一毛刺去除头外表面的上方固定连接有第一旋转板，所述第一旋转板的下方设有固定连接的第一行星轮和第二行星轮，所述第四活动板内腔的底部设有固定连接的第一架板和第二架板，所述第一架板的下方设有旋转连接的第二毛刺去除头，所述第二毛刺去除头外表面的上方固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的外表面与第一架板的内表面相啮合，所述第二架板的下方设有旋转连接的第三毛刺去除头，所述第三毛刺去除头外表面的上方固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮的外表面与第二行星轮的内表面相啮合。

优选的，所述去毛刺组件包括第二电机，所述第二电机的输出端旋转连接有第四旋转杆，所述第四旋转杆外表面的上方固定连接有第四传动轮，所述第四传动轮的外表面连接有第二传动带，所述第二传动带后端的内表面与第三传动轮的外表面相适配，所述第四旋转杆外表面的中心固定连接有第五传动轮，所述第五传动轮的外表面连接有第三传动带，所述第四旋转杆的下方固定连接有第二旋转板，所述第二旋转板下方的前端和后端均固定连接有第一伸缩板，所述第一伸缩板的下方与旋转盘的上方相连接。

优选的，所述调节组件包括第三防护板，所述第三防护板内腔的前端和后端均固定连接有第三限定杆，所述第三防护板内腔的中心旋转连接有第三螺纹杆，所述第三螺纹杆外表面的上方固定连接有第六传动轮，所述第六传动轮的外表面与第三传动带另一侧的内表面相适配，所述第三螺纹杆外表面的下方滑动连接有第三移动板，所述第三移动板的一侧固定连接有第二伸缩板；

所述支撑组件包括第三伸缩板，所述第三伸缩板的下方与移动清理板的上方相连接，所述第三伸缩板的上方固定连接有第四移动板，所述第四移动板的另一侧与第二伸缩板的一侧相连接，所述第四移动板下方的两侧均固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧下方的前端和后端均固定连接有第四伸缩板，所述第一弹簧和第四伸缩板的下方固定连接有第三行星轮。

优选的，所述打磨组件包括第三电机和连接板，所述第三电机的输出端旋转连接有第五旋转杆，所述第五旋转杆的下方固定连接有第一打磨板，所述第一打磨板的前端和后端均开设有活动槽，所述活动槽的一侧开设有第一移动槽，所述第一移动槽的内部旋转连接有双头螺纹杆，所述双头螺纹杆中心的外表面固定连接有第二蜗轮，所述双头螺纹杆外表面的前端和后端均滑动连接有第一移动块，所述第一移动块靠近第一打磨板中心的一侧固定连接有第二打磨板；

所述第二打磨板远离第一打磨板中心的一侧开设有安装槽，所述安装槽远离第一打磨板中心的一侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧靠近第一打磨板中心的一侧固定连接有安装板，所述安装板内部的两侧开设有卡接槽，所述卡接槽的底部固定连接有卡接板；

所述连接板上方的两侧开设有第二移动槽，所述第二移动槽的内部固定连接有第四限定杆，所述第四限定杆的外表面滑动连接有第二移动块，所述第二移动块远离安装板中心一侧的上方固定连接有连接块，所述连接块的中心开设有卡扣槽，所述卡扣槽的内表面与卡接板的外表面相适配，所述第二移动槽远离连接板中心的一侧固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧靠近连接板中心的一侧与第二移动块相连接，所述连接板的下方固定连接有打磨块；

所述活动槽另一侧的前端和后端均开设有第三移动槽，所述第三移动槽的内部固定连接有第五限定杆，所述第五限定杆的外表面滑动连接有第三移动块，所述第三移动块靠近第一打磨板中心的一侧与第二打磨板相连接；

所述第一打磨板内部的一侧开设有调控槽，所述第一打磨板内部的另一侧开设有调节槽，所述调控槽和调节槽远离第一打磨板中心一侧的前端和后端均固定连接有第六限定杆，所述第六限定杆的外表面滑动连接有第四移动块，所述第四移动块上方的中心固定连接有顶杆，所述顶杆的上方与第三行星轮的下方相接触，所述第四移动块下方的中心固定连接有调节杆，所述第四移动块上方的前端和后端均固定连接有第四弹簧，所述第四弹簧的上方与调控槽的上方相接触，所述调控槽的一侧与第一移动槽相通，所述调控槽的底部旋转连接有蜗杆，所述蜗杆上方的外表面固定连接有第三齿轮，所述第三齿轮的外表面与第三行星轮的内表面相啮合。

上述半导体匀气板的开孔毛刺去除装置所使用的一种半导体匀气板的生产工艺，所述生产工艺包括如下步骤：

步骤一、运用压铸设备将金属溶液成型成圆形金属件；

步骤二、将圆形金属件放置在固定设备处，然后将固定设备输送至切割设备处，然后运行切割设备，继而使得切割设备将圆形金属件切割成指定厚度的圆形金属盘；

步骤三、将切割后的圆形金属盘放置在开孔设备处，然后运行开孔设备，使得开孔设备可以对圆形金属盘进行开孔工作，从而使得圆形金属盘变成第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层的形状；

步骤四、将第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层形状的圆形金属盘放置在开孔毛刺去除装置处，继而使得开孔毛刺去除装置对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层形状的圆形金属盘进行开孔毛刺去除工作，其中，开孔毛刺去除工作包括如下工作过程；

S1、先根据第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层的大小正反运行第三电机，使得第五旋转杆可以带动第一打磨板进行正反旋转工作，进而使得第三齿轮可以绕着第三行星轮进行正反圆周移动，然后通过第三行星轮和第三齿轮的啮合，使得第三齿轮可以带动蜗杆进行正反旋转工作，继而驱使第二蜗轮进行正反旋转，进而使得双头螺纹杆进行正反旋转，从而使得第二打磨板可以进行内外移动工作；

S2、根据第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层的厚度和第三匀气层或第四匀气层啮齿槽的大小选用相对应的打磨块，然后对第二移动块施加向内移动的力，进而使得第二移动块进行向内移动，然后对打磨块施加一个向上的力，从而使得第二移动块可以插入安装板的内部，然后通过第三弹簧的反作用力，使得第二移动块可以带动连接块进行向外移动，然后使得连接块可以插入卡接槽处，然后向下移动打磨块，使得连接块可以通过卡扣槽与卡接板进行连接；

S3、运行上方的电动伸缩杆，使得第二活动板可以带动双头电机进行向上移动，然后运行上方的双头电机，继而使得第三旋转杆可以带动第三活动板进行旋转，进而可以将上方的支撑板和电动吸盘移动至第一电机的上方，然后将第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层放置在下方支撑板和电动吸盘的上方；

S4、运行第二电机，使得第四旋转杆可以带动第四传动轮、第五传动轮和第二旋转板进行旋转工作，其中第二旋转板的旋转，可以驱使第一伸缩板带动旋转盘进行旋转，继而使得第一毛刺去除头可以带动第一旋转板进行旋转，进而使得第一行星轮和第二行星轮可以进行旋转，继而使得第一齿轮和第二齿轮可以进行旋转，从而可以驱使第二毛刺去除头和第三毛刺去除头进行旋转工作，而第四传动轮的旋转，使得第二传动带可以驱使第三传动轮进行旋转工作，继而使得第二螺纹杆进行旋转工作，从而使得第四活动板可以进行向下移动，从而使得第一毛刺去除头、第二毛刺去除头和第三毛刺去除头可以移动至第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层中心所开设的槽口处，进而可以配合第一毛刺去除头、第二毛刺去除头和第三毛刺去除头的旋转，使得第一毛刺去除头、第二毛刺去除头和第三毛刺去除头可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层中心所开设的槽口进行毛刺去除工作，然后可以通过第二螺纹杆的旋转，使得第一蜗轮可以带动第一旋转杆进行旋转，继而使得第二传动轮进行旋转，从而使得第一传动带可以驱使第一传动轮进行旋转，最后可以运行输液泵，使得抽液管可以对基板内部的液体进行抽取工作，然后通过排液管将液体传输至第一分流板和第二分流板的内部，从而可以通过第一喷液板和第二喷液板对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层进行喷洗工作，而第一传动轮的旋转，使得第一螺纹杆可以进行旋转，进而使得移动清理板可以带动支撑组件和打磨组件进行移动，且第五传动轮的旋转，使得第三传动带可以驱使第六传动轮进行旋转，进而使得第三螺纹杆可以进行旋转，从而使得第三移动板可以带动第二伸缩板进行向上移动；

S5、反向运行第二电机，使得第四旋转杆可以带动第四传动轮、第五传动轮和第二旋转板进行反向旋转工作，其中第四传动轮的反向旋转，既使得第二螺纹杆可以进行反向旋转工作，继而使得第一蜗轮可以带动第一旋转杆进行反向旋转，进而使得移动清理板可以带动支撑组件和打磨组件进行反向移动，从而使得第一打磨板和第二打磨板可以移动至第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层的上方，还使得第四活动板可以进行向上移动，从而使得第一毛刺去除头、第二毛刺去除头和第三毛刺去除头可以离开第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层，而第五传动轮的反向旋转，使得第三移动板可以带动第二伸缩板进行向下移动，继而使得第一打磨板和第二打磨板的下方可以与第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层进行接触，进而使得调节杆可以带动第四移动块和顶杆进行向上移动，从而使得顶杆可以带动第三行星轮进行向上移动；

S6、再次运行第三电机，使得第五旋转杆可以带动第一打磨板进行旋转工作，进而使得第一打磨板、第二打磨板和打磨块进行旋转工作，从而使得设备可以对第一匀气层或第二匀气层的上方进行打磨工作，若设备对第三匀气层或第四匀气层的上方进行打磨时，可以通过第二弹簧的反作用力，使得打磨块在移动至第三匀气层或第四匀气层的啮齿槽处时，可以对安装板产生向内移动的力，进而使得打磨块可以对第三匀气层或第四匀气层的啮齿槽进行打磨工作；

S7、正向运行第二电机，使得第四旋转杆可以带动第四传动轮、第五传动轮和第二旋转板进行正向旋转工作，使得第四活动板可以进行向上移动，当第四活动板移动至U型板的中心位置时，则支撑组件会移动至基板的中心位置处；

S8、反向运行上方的双头电机，使得上方的支撑板和电动吸盘可以移动至第一电机的上方，然后反向运行电动伸缩杆，使得上方的支撑板和电动吸盘可以配合下方的支撑板和电动吸盘对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层进行固定工作；

S9、运行第一电机，进而使得第二旋转杆可以带动第一活动板进行旋转工作，进而可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层进行翻面工作，然后运行上方的电动伸缩杆，使得第二活动板可以带动双头电机进行向上移动，然后运行上方的双头电机，继而使得第三旋转杆可以带动第三活动板进行旋转，进而可以将上方的支撑板和电动吸盘移动至第一电机的上方，最后运行步骤S5和S6，继而使得第一打磨板、第二打磨板和打磨块可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层的另一侧进行打磨工作；

步骤五、通过焊接装置对去完毛刺后的第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层进行焊接工作，进而将第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层或第四匀气层合并成匀气板。

与现有技术对比，本发明具备以下有益效果：

1、该半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，通过清理组件、移动组件、去毛刺组件和调节组件的配合使用，使得设备可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层进行开孔毛刺去除和打磨工作，进而可以提高设备的功能性，而通过第一传动轮、第一传动带、第一蜗轮、第二传动轮、第二螺纹杆、第四传动轮、第二传动带、第二旋转板、第三传动带、第二旋转板、第一伸缩板和第六传动轮的配合使用，使得设备在进行开孔毛刺去除和打磨工作的过程中，无需添加其他设备，从而可以提高设备的节能性。

2、该半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，通过翻转装置、第一打磨板、第二打磨板和打磨块的配合使用，使得设备既可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层进行翻转打磨工作，还可以对第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层的外表面进行旋转打磨工作，进而可以提高设备的打磨效率。

3、该半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，通过第三行星轮、双头螺纹杆、第二蜗轮、蜗杆和第三齿轮的配合使用，使得设备可以根据第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层的大小对打磨块进行调节工作，从而可以提高设备的适用范围，而通过双头螺纹杆、第四限定杆、第二移动块、连接块和第三弹簧的配合使用，使得打磨块可以进行更换工作，这使得设备既可以根据第一匀气层、第二匀气层、第三匀气层和第四匀气层的厚度，选用相适配高度的打磨块，还使得设备可以根据第三匀气层和第四匀气层所开设啮齿槽的大小，选用相适配大小的打磨块，从而可以进一步提高设备的适用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明开孔毛刺去除装置结构主体图；

图2为本发明结构至第一电机中心正面剖视图；

图3为本发明结构至连接板中心正面剖视图；

图4为本发明结构至固定板中心正面剖视图；

图5为本发明结构至第三防护板中心侧剖视图；

图6为本发明结构至第三伸缩板中心侧剖视图；

图7为本发明结构至U型板中心侧剖视图；

图8为本发明结构至第六限定杆中心侧剖视图；

图9为本发明结构至第二活动板中心侧剖视图；

图10为本发明结构至第一防护板中心俯剖视图；

图11为本发明结构至第一打磨板中心俯剖视图；

图12为图2的A处放大图；

图13为图2的B处放大图；

图14为图3的C处放大图；

图15为图11的D处放大图；

图16为图8的E处放大图；

图17为本发明匀气板结构主体图；

图18为本发明匀气板结构爆炸图。

图中：1、匀气板；2、第一匀气层；3、第二匀气层；4、第三匀气层；5、第四匀气层；6、基板；7、清理组件；8、输液组件；9、翻转装置；10、移动组件；11、去毛刺组件；12、调节组件；13、支撑组件；14、打磨组件；15、第一防护板；16、第二防护板；17、第一螺纹杆；18、移动清理板；19、第一传动轮；20、第一传动带；21、固定板；22、第一旋转杆；23、第一蜗轮；24、第二传动轮；25、第一限定杆；26、输液泵；27、抽液管；28、排液管；29、第一电机；30、第二旋转杆；31、第一活动板；32、电动伸缩杆；33、第二活动板；34、双头电机；35、第三旋转杆；36、第三活动板；37、支撑板；38、电动吸盘；39、U型板；40、第二螺纹杆；41、第三传动轮；42、第一移动板；43、第一喷液板；44、第一分流板；45、第二限定杆；46、第二移动板；47、第二喷液板；48、第二分流板；49、第四活动板；50、旋转盘；51、第一毛刺去除头；52、第一旋转板；53、第一行星轮；54、第二行星轮；55、第一架板；56、第二毛刺去除头；57、第一齿轮；58、第二架板；59、第三毛刺去除头；60、第二齿轮；61、第二电机；62、第四旋转杆；63、第四传动轮；64、第二传动带；65、第五传动轮；66、第三传动带；67、第二旋转板；68、第一伸缩板；69、第三防护板；70、第三限定杆；71、第三螺纹杆；72、第六传动轮；73、第三移动板；74、第二伸缩板；75、第三伸缩板；76、第四移动板；77、第一弹簧；78、第四伸缩板；79、第三行星轮；80、第三电机；81、第五旋转杆；82、第一打磨板；83、双头螺纹杆；84、第二蜗轮；85、第一移动块；86、第二打磨板；87、第二弹簧；88、安装板；89、卡接板；90、连接板；91、第四限定杆；92、第二移动块；93、连接块；94、第三弹簧；95、打磨块；96、第五限定杆；97、第三移动块；98、第六限定杆；99、第四移动块；100、顶杆；101、调节杆；102、第四弹簧；103、蜗杆；104、第三齿轮。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图17和图18，一种半导体匀气板，包括匀气板1，匀气板1包括第一匀气层2，第一匀气层2的下方固定连接有第二匀气层3，第二匀气层3的下方固定连接有第三匀气层4，第三匀气层4的下方固定连接有第四匀气层5，第一匀气层2和第二匀气层3上方的水平面积相等，第三匀气层4和第四匀气层5上方的水平面积相等，第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4和第四匀气层5上方的中心均开设有匀气槽，第三匀气层4和第四匀气层5的外表面开设有啮齿槽，啮齿槽的开设，使得合并后的匀气板1可以与镀膜装置进行卡接工作，继而可以对匀气板1进行限定工作，从而在镀膜装置工作的过程中，可以防止匀气板1出现偏移现象。

请参阅图1，开孔毛刺去除装置包括基板6，基板6前端和后端的上方均固定连接有清理组件7，基板6前端和后端上方的一侧均固定连接有输液组件8，基板6一侧的上方固定连接有翻转装置9，基板6上方的一侧固定连接有移动组件10，移动组件10的上方固定连接有去毛刺组件11，基板6上方的另一侧固定连接有调节组件12，调节组件12靠近翻转装置9的一侧固定连接有支撑组件13，支撑组件13上方的一侧固定连接有打磨组件14。

如图4和图10所示，清理组件7包括第一防护板15和第二防护板16，第一防护板15和第二防护板16分别位于基板6的前端和后端，第一防护板15的内部旋转连接有第一螺纹杆17，第一螺纹杆17的外表面设有滑动连接的移动清理板18和固定连接的第一传动轮19，第一传动轮19的旋转，使得第一螺纹杆17进行旋转工作，进而使得移动清理板18可以进行移动，从而使得移动清理板18可以对过滤板上的杂质排至储杂槽的内部，第一传动轮19的外表面连接有第一传动带20，第一防护板15上方的一侧固定连接有固定板21，固定板21的数量为两个，两个固定板21之间旋转连接有第一旋转杆22，第一旋转杆22的外表面设有固定连接的第一蜗轮23和第二传动轮24，第一蜗轮23的旋转，使得第一旋转杆22可以带动第二传动轮24进行旋转工作，进而可以通过第一传动带20驱使第一传动轮19进行旋转工作，第二传动轮24的外表面与第一传动带20上方的内表面相适配，第二防护板16的内部固定连接有第一限定杆25，第一限定杆25的使用，可以对移动清理板18进行限定工作，进而可以防止移动清理板18出现偏移现象，移动清理板18前端的内表面与第一限定杆25的外表面相适配。

如图7所示，两个输液组件8均包括输液泵26，输液泵26的运行，使得抽液管27可以对加工槽内部的液体进行抽取工作，然后可以通过排液管28将液体排至第一分流板44和第二分流板48的内部，从而使得第一喷液板43和第二喷液板47对去完毛刺的杂质进行清洗工作，输液泵26的下方固定连接有抽液管27，抽液管27的下方贯穿基板6延伸至其内部，输液泵26的上方固定连接有排液管28。

如图2和图9所示，基板6上方的一侧开设有加工槽，加工槽的中心固定连接有过滤板，过滤板的使用，可以对去完毛刺的杂质进行过滤工作，基板6内部的另一侧开设有储杂槽，储杂槽和加工槽之间开设有通杂槽，通杂槽下方的水平高度与过滤板上方的水平高度相等。

其中翻转装置9包括第一电机29，第一电机29的运行，使得第二旋转杆30可以带动第一活动板31进行旋转工作，进而在两个支撑板37对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行翻转工作，第一电机29的输出端旋转连接有第二旋转杆30，第二旋转杆30的一侧固定连接有第一活动板31，第一活动板31上方和下方的前端和后端均固定连接有电动伸缩杆32，电动伸缩杆32的运行，使得第二活动板33可以进行上下移动工作，电动伸缩杆32的输出端固定连接有第二活动板33，第二活动板33内部的中心固定连接有双头电机34，双头电机34的运行，使得第三旋转杆35可以带动第三活动板36进行旋转工作，进而使得支撑板37和电动吸盘38可以进行弧形移动，当上方的支撑板37和电动吸盘38进行弧形移动时，使得下方支撑板37和电动吸盘38的上方没有其他物体，从而可以让使用者将第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5放置在下方的支撑板37和电动吸盘38处，双头电机34的前端和后端均旋转连接有第三旋转杆35，第三旋转杆35中心的外表面固定连接有第三活动板36，第三活动板36一侧靠近第一活动板31的一端固定连接有支撑板37，支撑板37靠近第一活动板31中心的一侧固定连接有电动吸盘38。

其中去毛刺组件11包括第二电机61，第二电机61的运行，使得第四旋转杆62可以带动第四传动轮63、第五传动轮65和第二旋转板67进行旋转工作，第二电机61的输出端旋转连接有第四旋转杆62，第四旋转杆62外表面的上方固定连接有第四传动轮63，第四传动轮63的旋转，使得第二传动带64可以驱使第三传动轮41进行旋转工作，第四传动轮63的外表面连接有第二传动带64，第二传动带64后端的内表面与第三传动轮41的外表面相适配，第四旋转杆62外表面的中心固定连接有第五传动轮65，第五传动轮65的旋转，使得第三传动带66可以驱使第六传动轮72进行旋转工作，第五传动轮65的外表面连接有第三传动带66，第四旋转杆62的下方固定连接有第二旋转板67，第二旋转板67的旋转，使得第一伸缩板68可以带动旋转盘50进行旋转工作，第二旋转板67下方的前端和后端均固定连接有第一伸缩板68，第一伸缩板68的下方与旋转盘50的上方相连接。

如图2、图7和图12所示，移动组件10包括U型板39，U型板39内腔底部的后端旋转连接有第二螺纹杆40，第二螺纹杆40的旋转，既使得第一移动板42可以带动第四活动板49进行上下移动，还使得第一蜗轮23可以进行旋转工作，第二螺纹杆40的外表面与第一蜗轮23的外表面相啮合，第二螺纹杆40外表面的上方固定连接有第三传动轮41，第三传动轮41的旋转，使得第二螺纹杆40可以进行旋转工作，第二螺纹杆40外表面的中心滑动连接有第一移动板42，第一移动板42两侧的内部均固定连接有第一喷液板43，两个第一喷液板43的后端固定连接有第一分流板44，第一分流板44的后端与一个排液管28的前端相连接；

U型板39内腔底部的前端固定连接有第二限定杆45，第二限定杆45的使用，可以通过第二移动板46对第四活动板49的一侧进行限定工作，继而可以防止第四活动板49出现偏移现象，第二限定杆45的外表面滑动连接有第二移动板46，第二移动板46两侧的内部均固定连接有第二喷液板47，两个第二喷液板47的前端固定连接有第二分流板48，第二分流板48的前端与另一个排液管28的后端相连接；

第一移动板42和第二移动板46之间固定连接有第四活动板49，第四活动板49的上方旋转连接有旋转盘50，旋转盘50的旋转，使得第一毛刺去除头51可以带动第一旋转板52进行旋转工作，旋转盘50的下方固定连接有第一毛刺去除头51，第一毛刺去除头51外表面的上方固定连接有第一旋转板52，第一旋转板52的旋转，使得第一行星轮53和第二行星轮54可以进行旋转工作，进而可以驱使第一齿轮57和第二齿轮60进行旋转工作，进而使得第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59可以进行旋转工作，第一旋转板52的下方设有固定连接的第一行星轮53和第二行星轮54，第四活动板49内腔的底部设有固定连接的第一架板55和第二架板58，第一架板55的下方设有旋转连接的第二毛刺去除头56，第二毛刺去除头56外表面的上方固定连接有第一齿轮57，第一齿轮57的外表面与第一架板55的内表面相啮合，第二架板58的下方设有旋转连接的第三毛刺去除头59，第三毛刺去除头59外表面的上方固定连接有第二齿轮60，第二齿轮60的外表面与第二行星轮54的内表面相啮合。

如图5所示，调节组件12包括第三防护板69，第三防护板69内腔的前端和后端均固定连接有第三限定杆70，第三防护板69内腔的中心旋转连接有第三螺纹杆71，第三螺纹杆71外表面的上方固定连接有第六传动轮72，第六传动轮72的旋转，可以使得第三螺纹杆71进行旋转工作，进而可以驱使第三移动板73带动第二伸缩板74进行上下移动，从而使得第四移动板76可以进行上下移动，第六传动轮72的外表面与第三传动带66另一侧的内表面相适配，第三螺纹杆71外表面的下方滑动连接有第三移动板73，第三移动板73的一侧固定连接有第二伸缩板74。

如图2、图3、图6、图8、图11、图13、图14、图15和图16所示，支撑组件13包括第三伸缩板75，第三伸缩板75的伸缩性，使得第四移动板76具备上下移动的能力，第三伸缩板75的下方与移动清理板18的上方相连接，第三伸缩板75的上方固定连接有第四移动板76，第四移动板76的另一侧与第二伸缩板74的一侧相连接，第四移动板76下方的两侧均固定连接有第一弹簧77，第一弹簧77的弹性和第四伸缩板78的伸缩性，使得第三行星轮79具备上下移动的能力，第一弹簧77下方的前端和后端均固定连接有第四伸缩板78，第一弹簧77和第四伸缩板78的下方固定连接有第三行星轮79。

其中打磨组件14包括第三电机80和连接板90，第三电机80的运行，使得第五旋转杆81可以带动第一打磨板82进行旋转工作以及第三齿轮104进行圆周移动工作，进而使得第一打磨板82、第二打磨板86和打磨块95可以对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行打磨工作，第三电机80的输出端旋转连接有第五旋转杆81，第五旋转杆81的下方固定连接有第一打磨板82，第一打磨板82的前端和后端均开设有活动槽，活动槽的一侧开设有第一移动槽，第一移动槽的内部旋转连接有双头螺纹杆83，双头螺纹杆83中心的外表面固定连接有第二蜗轮84，第二蜗轮84的旋转，使得双头螺纹杆83可以进行旋转，进而使得第一移动块85可以带动第二打磨板86进行内外移动，从而可以调节两个打磨块95之间的距离，双头螺纹杆83外表面的前端和后端均滑动连接有第一移动块85，第一移动块85靠近第一打磨板82中心的一侧固定连接有第二打磨板86；

第二打磨板86远离第一打磨板82中心的一侧开设有安装槽，安装槽远离第一打磨板82中心的一侧固定连接有第二弹簧87，第二弹簧87的弹性，使得安装板88具备内外移动的能力，第二弹簧87靠近第一打磨板82中心的一侧固定连接有安装板88，安装板88内部的两侧开设有卡接槽，卡接槽的底部固定连接有卡接板89，卡接板89在与连接块93相卡接后，使得卡接板89可以对第二移动块92进行固定工作；

连接板90上方的两侧开设有第二移动槽，第二移动槽的内部固定连接有第四限定杆91，第四限定杆91的外表面滑动连接有第二移动块92，第二移动块92在受到向内移动的使用，使得第二移动块92可以带动连接块93进行向内移动，从而可以让使用者将第二移动块92和连接块93插入安装板88的内部，然后可以通过第三弹簧94的反作用力，使得第二移动块92可以进行复位工作，然后可以对打磨块95施加向下移动的力，使得连接块93可以与卡接板89进行卡接工作，第二移动块92远离安装板88中心一侧的上方固定连接有连接块93，连接块93的中心开设有卡扣槽，卡扣槽的内表面与卡接板89的外表面相适配，第二移动槽远离连接板90中心的一侧固定连接有第三弹簧94，第三弹簧94靠近连接板90中心的一侧与第二移动块92相连接，连接板90的下方固定连接有打磨块95；

活动槽另一侧的前端和后端均开设有第三移动槽，第三移动槽的内部固定连接有第五限定杆96，第五限定杆96的外表面滑动连接有第三移动块97，第三移动块97靠近第一打磨板82中心的一侧与第二打磨板86相连接；

第一打磨板82内部的一侧开设有调控槽，第一打磨板82内部的另一侧开设有调节槽，调控槽和调节槽远离第一打磨板82中心一侧的前端和后端均固定连接有第六限定杆98，第六限定杆98的外表面滑动连接有第四移动块99，第四移动块99上方的中心固定连接有顶杆100，顶杆100的上方与第三行星轮79的下方相接触，第四移动块99下方的中心固定连接有调节杆101，调节杆101在与第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行接触后，可以对第四移动块99施加向上移动的力，进而使得顶杆100可以驱使第三行星轮79进行向上移动，第四移动块99上方的前端和后端均固定连接有第四弹簧102，第四弹簧102的上方与调控槽的上方相接触，调控槽的一侧与第一移动槽相通，调控槽的底部旋转连接有蜗杆103，蜗杆103上方的外表面固定连接有第三齿轮104，第三齿轮104在进行圆周移动时，可以通过第三行星轮79的使用，使得第三齿轮104进行旋转工作，继而使得蜗杆103可以进行旋转工作，从而使得第二蜗轮84可以进行旋转工作，第三齿轮104的外表面与第三行星轮79的内表面相啮合。

上述半导体匀气板的开孔毛刺去除装置所使用的一种半导体匀气板的生产工艺，生产工艺包括如下步骤：

步骤一、运用压铸设备将金属溶液成型成圆形金属件；

步骤二、将圆形金属件放置在固定设备处，然后将固定设备输送至切割设备处，然后运行切割设备，继而使得切割设备将圆形金属件切割成指定厚度的圆形金属盘；

步骤三、将切割后的圆形金属盘放置在开孔设备处，然后运行开孔设备，使得开孔设备可以对圆形金属盘进行开孔工作，从而使得圆形金属盘变成第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5的形状；

步骤四、将第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5形状的圆形金属盘放置在开孔毛刺去除装置处，继而使得开孔毛刺去除装置对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5形状的圆形金属盘进行开孔毛刺去除工作，其中，开孔毛刺去除工作包括如下工作过程；

S1、先根据第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5的大小正反运行第三电机80，使得第五旋转杆81可以带动第一打磨板82进行正反旋转工作，进而使得第三齿轮104可以绕着第三行星轮79进行正反圆周移动，然后通过第三行星轮79和第三齿轮104的啮合，使得第三齿轮104可以带动蜗杆103进行正反旋转工作，继而驱使第二蜗轮84进行正反旋转，进而使得双头螺纹杆83进行正反旋转，从而使得第二打磨板86可以进行内外移动工作；

S2、根据第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5的厚度和第三匀气层4或第四匀气层5啮齿槽的大小选用相对应的打磨块95，然后对第二移动块92施加向内移动的力，进而使得第二移动块92进行向内移动，然后对打磨块95施加一个向上的力，从而使得第二移动块92可以插入安装板88的内部，然后通过第三弹簧94的反作用力，使得第二移动块92可以带动连接块93进行向外移动，然后使得连接块93可以插入卡接槽处，然后向下移动打磨块95，使得连接块93可以通过卡扣槽与卡接板89进行连接；

S3、运行上方的电动伸缩杆32，使得第二活动板33可以带动双头电机34进行向上移动，然后运行上方的双头电机34，继而使得第三旋转杆35可以带动第三活动板36进行旋转，进而可以将上方的支撑板37和电动吸盘38移动至第一电机29的上方，然后将第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5放置在下方支撑板37和电动吸盘38的上方；

S4、运行第二电机61，使得第四旋转杆62可以带动第四传动轮63、第五传动轮65和第二旋转板67进行旋转工作，其中第二旋转板67的旋转，可以驱使第一伸缩板68带动旋转盘50进行旋转，继而使得第一毛刺去除头51可以带动第一旋转板52进行旋转，进而使得第一行星轮53和第二行星轮54可以进行旋转，继而使得第一齿轮57和第二齿轮60可以进行旋转，从而可以驱使第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59进行旋转工作，而第四传动轮63的旋转，使得第二传动带64可以驱使第三传动轮41进行旋转工作，继而使得第二螺纹杆40进行旋转工作，从而使得第四活动板49可以进行向下移动，从而使得第一毛刺去除头51、第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59可以移动至第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5中心所开设的槽口处，进而可以配合第一毛刺去除头51、第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59的旋转，使得第一毛刺去除头51、第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59可以对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5中心所开设的槽口进行毛刺去除工作，然后可以通过第二螺纹杆40的旋转，使得第一蜗轮23可以带动第一旋转杆22进行旋转，继而使得第二传动轮24进行旋转，从而使得第一传动带20可以驱使第一传动轮19进行旋转，最后可以运行输液泵26，使得抽液管27可以对基板6内部的液体进行抽取工作，然后通过排液管28将液体传输至第一分流板44和第二分流板48的内部，从而可以通过第一喷液板43和第二喷液板47对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行喷洗工作，而第一传动轮19的旋转，使得第一螺纹杆17可以进行旋转，进而使得移动清理板18可以带动支撑组件13和打磨组件14进行移动，且第五传动轮65的旋转，使得第三传动带66可以驱使第六传动轮72进行旋转，进而使得第三螺纹杆71可以进行旋转，从而使得第三移动板73可以带动第二伸缩板74进行向上移动；

S5、反向运行第二电机61，使得第四旋转杆62可以带动第四传动轮63、第五传动轮65和第二旋转板67进行反向旋转工作，其中第四传动轮63的反向旋转，既使得第二螺纹杆40可以进行反向旋转工作，继而使得第一蜗轮23可以带动第一旋转杆22进行反向旋转，进而使得移动清理板18可以带动支撑组件13和打磨组件14进行反向移动，从而使得第一打磨板82和第二打磨板86可以移动至第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5的上方，还使得第四活动板49可以进行向上移动，从而使得第一毛刺去除头51、第二毛刺去除头56和第三毛刺去除头59可以离开第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5，而第五传动轮65的反向旋转，使得第三移动板73可以带动第二伸缩板74进行向下移动，继而使得第一打磨板82和第二打磨板86的下方可以与第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行接触，进而使得调节杆101可以带动第四移动块99和顶杆100进行向上移动，从而使得顶杆100可以带动第三行星轮79进行向上移动；

S6、再次运行第三电机80，使得第五旋转杆81可以带动第一打磨板82进行旋转工作，进而使得第一打磨板82、第二打磨板86和打磨块95进行旋转工作，从而使得设备可以对第一匀气层2或第二匀气层3的上方进行打磨工作，若设备对第三匀气层4或第四匀气层5的上方进行打磨时，可以通过第二弹簧87的反作用力，使得打磨块95在移动至第三匀气层4或第四匀气层5的啮齿槽处时，可以对安装板88产生向内移动的力，进而使得打磨块95可以对第三匀气层4或第四匀气层5的啮齿槽进行打磨工作；

S7、正向运行第二电机61，使得第四旋转杆62可以带动第四传动轮63、第五传动轮65和第二旋转板67进行正向旋转工作，使得第四活动板49可以进行向上移动，当第四活动板49移动至U型板39的中心位置时，则支撑组件13会移动至基板6的中心位置处；

S8、反向运行上方的双头电机34，使得上方的支撑板37和电动吸盘38可以移动至第一电机29的上方，然后反向运行电动伸缩杆32，使得上方的支撑板37和电动吸盘38可以配合下方的支撑板37和电动吸盘38对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行固定工作；

S9、运行第一电机29，进而使得第二旋转杆30可以带动第一活动板31进行旋转工作，进而可以对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行翻面工作，然后运行上方的电动伸缩杆32，使得第二活动板33可以带动双头电机34进行向上移动，然后运行上方的双头电机34，继而使得第三旋转杆35可以带动第三活动板36进行旋转，进而可以将上方的支撑板37和电动吸盘38移动至第一电机29的上方，最后运行步骤S5和S6，继而使得第一打磨板82、第二打磨板86和打磨块95可以对第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5的另一侧进行打磨工作；

步骤五、通过焊接装置对去完毛刺后的第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5进行焊接工作，进而将第一匀气层2、第二匀气层3、第三匀气层4或第四匀气层5合并成匀气板1。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不驱使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。