一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统

技术领域

本发明涉及金凸块电镀领域，尤其涉及一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统。

背景技术

芯片属于半导体元件产品的统称，在电子学中是一种将电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路，另有一种厚膜集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。

在半导体封装制造业中，金凸块制造工艺广泛用于液晶面板驱动芯片的封装，常规工艺下，制备金凸块需要经过电镀金操作，在电镀槽中，通常以白金钛网作为阳极，晶圆作为阴极，在通电后，使得晶圆外部形成一层金镀层。

相关技术中，在电镀时，会有部分光阻溶解于电镀液中，若电镀液中有机物含量过高则可能引起烧焦或凹洞异常，故需要定期对电镀液进行活性炭过滤清洗，然而，在活性炭滤芯将电镀液过滤完成后，需要人工手动将开启其上的导出管阀门，并使用容器将内部过滤完成的电镀液收集起来，然后再次倒入电镀槽中，使得电镀液回收利用过程需要过多的人工操作，且在操作过程中可能会导致电镀液浪费，同时花费时间较长，操作起来不够方便，整个电镀液过滤清洗过程效率较低。

因此，有必要提供一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统解决上述技术问题。

发明内容

本发明提供一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，解决了金凸块电镀系统在对电镀液过滤清理时，花费时间较长，操作起来不够方便的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，包括：

电镀槽、PP滤芯、活性炭滤芯、通气设备和吸泵；

其中，所述通气设备通过进气管与所述活性炭滤芯连通，所述进气管上设置有第一阀门，所述活性炭滤芯的一侧设置有排出管，所述排出管上设置有第二阀门；

所述电镀槽外槽与所述活性炭滤芯通过出液管连通，所述出液管上设置有第三阀门，且所述吸泵与所述出液管连接，所述电镀槽内槽与所述PP滤芯通过进液管连通，所述出液管的外部与所述PP滤芯通过连接管连接，所述连接管上设置有第四阀门，所述连接管外部与所述活性炭滤芯通过导出管连接，所述导出管上设置有第五阀门。

优选的，所述电镀槽中阳极设置为晶圆，阴极设置为白金钛网，所述电镀槽内部装有电镀液。

优选的，所述通气设备用于将外部空气输送至所述进气管中，且空气通过所述进气管进入到所述活性炭滤芯内。

优选的，所述活性炭滤芯用于对电镀液中的有机物杂质吸附过滤，所述导出管用于对所述活性炭滤芯中过滤处理后的电镀液导出。

优选的，所述PP滤芯用于对电镀液中颗粒状杂质进行过滤，所述进液管用于将所述PP滤芯过滤完成的电镀液输送至所述电镀槽内槽中。

优选的，所述出液管用于将所述电镀槽外槽的电镀液导出，通过所述吸泵将所述出液管内部的电镀液输送至所述连接管中。

优选的，所述第三阀门、第四阀门和第五阀门均设置有电子阀门，所述第一阀门与第二阀门均设置为手动阀门。

优选的，所述活性炭滤芯底部设置有支撑座，所述支撑座的内部设置有固定结构，所述固定结构包括螺纹转件、移动块和固定卡轴，所述移动块螺纹连接于所述螺纹转件的外部，所述固定卡轴固定于所述移动块的一侧。

优选的，所述移动块与所述固定卡轴的数量均设置有两个，且两个所述移动块分别位于所述螺纹转件外部的左侧与右侧，所述支撑座内部的两侧均开设有活动槽，所述移动块位于所述活动槽内，且所述螺纹转件转动于所述支撑座内。

优选的，所述支撑座的底部设置有支撑结构，所述支撑结构包括底盘、连接柱和支撑弹簧，所述连接柱固定于所述底盘的顶部，所述支撑弹簧套接于所述连接柱的外部，所述连接柱滑动于所述支撑座内，所述支撑座的顶部开设有安装槽，所述活性炭滤芯的两侧均开设有固定孔，所述活性炭滤芯的底部卡接于所述安装槽内。

与相关技术相比较，本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统具有如下有益效果：

本发明提供一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，通过设置电镀系统，除了具备基本的电镀功能之外，还具备对电镀液自动循环过滤以及自动清洗过滤、自动回流功能，在清洗电镀液时，只需控制吸泵、以及各阀门开启关闭即可，无需工作人员进行过多的手动操作，在对电镀液清洗过滤之后，通过通气设备向活性炭滤芯内部通入空气，利用内部压强将内部残留电镀液快速推动至电镀槽中，进而实现电镀液的快速回流，改变了传统人工手动回收电镀液方式，并有效的减少电镀液的浪费，同时大大加快了对电镀液的清洗作业，有效的缩短工作时间，减少工作量，更好的满足人们的使用需求。

附图说明

图1为本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统的结构示意图；

图2为本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统第二实施例的结构示意图；

图3为图2所示的支撑座内部的结构示意图。

图中标号

1、电镀槽，2、PP滤芯，3、活性炭滤芯，4、通气设备，5、吸泵；

6、进气管，7、第一阀门；

8、排出管，9、第二阀门；

10、出液管，11、第三阀门；

12、进液管，13、连接管，14、第四阀门；

15、导出管，16、第五阀门；

17、支撑座；

18、固定结构；

181、螺纹转件，182、移动块，183、固定卡轴；

19、活动槽；

20、支撑结构；

201、底盘，202、连接柱，203、支撑弹簧；

21、安装槽，22、固定孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。

第一实施例

请结合参阅图1，其中，图1为本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统的结构示意图。可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，包括：

电镀槽1、PP滤芯2、活性炭滤芯3、通气设备4和吸泵5；

其中，所述通气设备4通过进气管6与所述活性炭滤芯3连通，所述进气管6上设置有第一阀门7，所述活性炭滤芯3的一侧设置有排出管8，所述排出管8上设置有第二阀门9；

所述电镀槽1外槽与所述活性炭滤芯3通过出液管10连通，所述出液管10上设置有第三阀门11，且所述吸泵5与所述出液管10连接，所述电镀槽1内槽与所述PP滤芯2通过进液管12连通，所述出液管10的外部与所述PP滤芯2通过连接管13连接，所述连接管13上设置有第四阀门14，所述连接管13外部与所述活性炭滤芯3通过导出管15连接，所述导出管15上设置有第五阀门16。

电镀槽1、PP滤芯2、活性炭滤芯3、通气设备4和吸泵5作为电镀系统主要组成部分，其中电镀槽1分为内槽和外槽，作为电镀时发生化学反应的位置，在电镀时，以白金钛网作为阳极，晶圆即芯片作为阴极，而芯片悬挂在挂架上，其外部浸没在电镀液中，而PP滤芯2用于对电镀液中颗粒状杂质进行过滤，在电镀过程中，通过出液管10将电镀槽1外槽电镀液导出，然后经过吸泵5，将电镀液输送至连接管13中，最后由连接管13进入到PP滤芯2中，而完成过滤后，通过进液管12将电镀液输送至电镀液内槽中，进而实现电镀液的内循环流动，在电镀的同时对电镀液进行持续过滤处理，将其内部的产生的颗粒状杂质过滤干净，对电镀液进行净化处理，始终保持电镀液处于相对纯净的状态，进而在电镀时不会受到影响，可以长时间完成电镀作业，省去了人工定时过滤处理，节省了一定的时间，进而提高工作效率，通气设备4可以为鼓风机、风机等可以快速带动外部空气流动的机械设备，能够将外部空气快速通入进气管6中，在需要对活性炭滤芯内部过滤完成的电镀液进行检测时，可以通过开启排出管8上的阀门，将内部电镀液导出，然后使用容器收集，再开始对电镀液进行检测，判断电镀液是否清洗干净，方便人们实际了解电镀液清洗情况，在电镀正常进行时，第一阀门7、第二阀门9、第三阀门11处于关闭状态，而第四阀门14开启，此时活性炭滤芯3不参与电镀液的循环，活性炭滤芯3电镀液中的有机物杂质吸附过滤处理，完成对电镀液的清洗操作，在需要对电镀液进行清洗过滤时，开启第三阀门11和第五阀门16，并关闭第四阀门14，此时在吸泵5的作用下，将电镀槽1外槽的电镀液通过出液管10输送至活性炭滤芯3中，此时通过活性炭滤芯3对电镀液进行过滤处理，将电镀液中溶解的光阻等有机物杂质过滤掉，然后过滤好的电镀液经过导出管15进入到PP滤芯2中，将其内部的颗粒杂质进行过滤，进一步对电镀液进行过滤处理，过滤完成的电镀液经过进液管12，最终流入电镀槽1内槽中，完成电镀液的清洗和循环流动，直至电镀液被全部清洗完成，此时关闭吸泵5、第三阀门11，并开启第一阀门7和通气设备4，使得外部空气快速进入到进气管6中，此时活性炭滤芯3内部气压增加，进而对内部残留的电镀液进行挤压，使得电镀液快速经过导入管15、PP滤芯2最终回流至电镀槽1内，持续3-5分钟后，关闭通气设备4和第一阀门7，此时活性炭滤芯3以及导出管15内部残留的电镀液均回流至电镀槽1中，实现电镀液1快速回流，通过设置该电镀系统，除了具备基本的电镀功能之外，还具备对电镀液自动循环过滤以及自动清洗过滤、自动回流功能，在清洗电镀液时，只需控制吸泵5、以及各阀门开启关闭即可，无需工作人员进行过多的手动操作，在对电镀液清洗过滤之后，通过通气设备4向活性炭滤芯3内部通入空气，利用内部压强将内部残留电镀液快速推动至电镀槽1中，进而实现电镀液的快速回流，改变了传统人工手动回收电镀液方式，并有效的减少电镀液的浪费，同时大大加快了对电镀液的清洗作业，有效的缩短工作时间，减少工作量，更好的满足人们的使用需求。

所述电镀槽1中阳极设置为晶圆，阴极设置为白金钛网，所述电镀槽1内部装有电镀液。

所述通气设备4用于将外部空气输送至所述进气管6中，且空气通过所述进气管6进入到所述活性炭滤芯3内。

所述活性炭滤芯3用于对电镀液中的有机物杂质吸附过滤，所述导出管15用于对所述活性炭滤芯3中过滤处理后的电镀液导出。

所述PP滤芯2用于对电镀液中颗粒状杂质进行过滤，所述进液管12用于将所述PP滤芯2过滤完成的电镀液输送至所述电镀槽1内槽中。

所述出液管10用于将所述电镀槽1外槽的电镀液导出，通过所述吸泵5将所述出液管10内部的电镀液输送至所述连接管13中。

所述第三阀门11、第四阀门14和第五阀门16均设置有电子阀门，所述第一阀门7与第二阀门9均设置为手动阀门。

第三阀门11、第四阀门14和第五阀门16通过外部控制面板控制自动开启或关闭。

本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统的工作原理如下：

在需要对电镀液进行清洗过滤时，开启第三阀门11和第五阀门16，并关闭第四阀门14，此时在吸泵5的作用下，将电镀槽1外槽的电镀液通过出液管10输送至活性炭滤芯3中，此时通过活性炭滤芯3对电镀液进行过滤处理，将电镀液中溶解的光阻等有机物杂质过滤掉，然后过滤好的电镀液经过导出管15进入到PP滤芯2中，将其内部的颗粒杂质进行过滤，进一步对电镀液进行过滤处理，过滤完成的电镀液经过进液管12，最终流入电镀槽1内槽中，完成电镀液的清洗和循环流动，直至电镀液被全部清洗完成，此时关闭吸泵5、第三阀门11，并开启第一阀门7和通气设备4，使得外部空气快速进入到进气管6中，此时活性炭滤芯3内部气压增加，进而对内部残留的电镀液进行挤压，使得电镀液快速经过导入管15、PP滤芯2最终回流至电镀槽1内，持续3-5分钟后，关闭通气设备4和第一阀门7，此时活性炭滤芯3以及导出管15内部残留的电镀液均回流至电镀槽1中，实现电镀液1快速回流。

与相关技术相比较，本发明提供的可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统具有如下有益效果：

通过设置该电镀系统，除了具备基本的电镀功能之外，还具备对电镀液自动循环过滤以及自动清洗过滤、自动回流功能，在清洗电镀液时，只需控制吸泵5、以及各阀门开启关闭即可，无需工作人员进行过多的手动操作，在对电镀液清洗过滤之后，通过通气设备4向活性炭滤芯3内部通入空气，利用内部压强将内部残留电镀液快速推动至电镀槽1中，进而实现电镀液的快速回流，改变了传统人工手动回收电镀液方式，并有效的减少电镀液的浪费，同时大大加快了对电镀液的清洗作业，有效的缩短工作时间，减少工作量，更好的满足人们的使用需求。

第二实施例

请结合参阅图2和图3，基于本发明的第一实施例一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，本发明的第二实施例提供另一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统，其中，第二实施例并不会妨碍第一实施例的技术方案的独立实施。

具体的，本发明的提供另一种可快速清洗电镀液的金凸块电镀系统不同之处在于：

所述活性炭滤芯3底部设置有支撑座17，所述支撑座17的内部设置有固定结构18，所述固定结构18包括螺纹转件181、移动块182和固定卡轴183，所述移动块182螺纹连接于所述螺纹转件181的外部，所述固定卡轴183固定于所述移动块182的一侧。

所述移动块182与所述固定卡轴183的数量均设置有两个，且两个所述移动块182分别位于所述螺纹转件181外部的左侧与右侧，所述支撑座17内部的两侧均开设有活动槽19，所述移动块182位于所述活动槽19内，且所述螺纹转件181转动于所述支撑座17内。

支撑座17主要为活性炭滤芯3提供支撑，固定结构18则使得活性炭滤芯3与支撑座17保持稳定连接，螺纹转件181可以在支撑座17内部转动，其右端与右侧的活动槽19内表面转动连接，左端则由支撑座17内部延伸至支撑座17的左侧，是由螺纹杆和旋钮组成，移动块182内部设置有与螺纹转件181适配的螺纹槽，且螺纹转件181外表面两侧设置的螺纹方向相反，在螺纹转件181转动时，同时在活动槽19的限制作用下，使得两个移动块182同时向相反的方向移动，即同时靠近或远离，固定卡轴183由活动槽19内部延伸至安装槽21内，与固定孔22内部卡接，通过两者配合卡接，使得活性炭滤芯3左右两侧的底部能够稳定安装在安装槽21中，进而使得活性炭滤芯3能够与支撑座17保持稳定连接，该固定结构18主要用于对活性炭滤芯3进行固定，使其能够稳定安装在支撑座17上，同时能够实现活性炭滤芯3与支撑座17之间的快速安装与拆卸，在需要对活性炭滤芯3进行维修或是更换时，通过转动螺纹转件181，即可使得移动块182带动固定卡轴183与固定孔22分离，此时活性炭滤芯3不再受到限位作用，便可以将其从支撑座17上拆卸下来，在使用时十分方便、灵活，使得支撑座17不仅能为其提供稳定支撑，还能够实现两者自由拆卸。

所述支撑座17的底部设置有支撑结构20，所述支撑结构20包括底盘201、连接柱202和支撑弹簧203，所述连接柱202固定于所述底盘201的顶部，所述支撑弹簧203套接于所述连接柱202的外部，所述连接柱202滑动于所述支撑座17内，所述支撑座17的顶部开设有安装槽21，所述活性炭滤芯3的两侧均开设有固定孔22，所述活性炭滤芯3的底部卡接于所述安装槽21内。

支撑结构20共设置有四个，分别位于支撑座17底部的左右两侧，通过与放置位置接触，为支撑座17提供支撑，同时在支撑座17的底部设置有与连接柱202适配的槽，使得连接柱202能够在其内部竖直方向移动，支撑弹簧203位于底盘201与支撑座17底部之间，为支撑座17的底部提供支撑，对其起到一定缓冲减震作用，通过设置该支撑结构20，主要为支撑座17底部提供支撑，同时具备一定的缓冲减震效果，在使用时，能够使得支撑座17保持相对稳定状态，进而使得其上的活性炭滤芯3同时保持稳定，避免受到外部环境影响，在使用时更加安全可靠。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。