一种连接装置

技术领域

本说明书涉及晶体生长技术领域，特别涉及一种液相法生长晶体所用的连接装置。

背景技术

液相法是生长晶体(例如，碳化硅单晶)的方法之一。使用液相法生长晶体时，需要使用连接装置连接籽晶，并带动籽晶进行旋转以生长晶体。为了保证晶体正常生长，要求连接装置连接牢固，以避免其在带动籽晶旋转的过程中脱落。因此，有必要提供一种牢固的连接装置，以稳定地带动籽晶旋转，从而保证晶体的正常生长。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种连接装置，所述装置包括：至少一个连接杆和籽晶托，其中，所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接点的数量大于等于2且所述连接点与所述籽晶托的旋转中心不重合。

在一些实施例中，所述连接点沿所述籽晶托周向均匀分布。

在一些实施例中，所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为卡槽连接。

在一些实施例中，所述卡槽连接包括彼此适配的连接块和连接槽，其中，所述连接槽设置于所述连接杆上，所述连接块设置于所述籽晶托上。

在一些实施例中，所述装置还包括连接环，所述连接环与设置有所述连接槽的所述连接杆通过螺纹连接。

在一些实施例中，所述籽晶托与所述至少一个连接杆的连接方式为螺纹连接。

在一些实施例中，所述籽晶托与至少两个所述连接杆相连接。

在一些实施例中，所述籽晶托通过至少两个连接引脚与一个所述连接杆相连接。

在一些实施例中，所述连接引脚包括连接槽和连接环，其中，所述连接槽与设置于所述籽晶托上的连接块相互适配，所述连接环与所述连接引脚外壁通过螺纹连接。

在一些实施例中，所述至少一个连接杆包括多个连接段，多个所述连接段彼此之间的连接点与旋转中心不重合。

附图说明

本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接装置的侧视图；

图2A-2C是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接点的分布示意图；

图3A-3B是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与至少一个连接杆通过卡槽连接方式连接的结构示意图；

图4A-4F是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接块的结构示意图；

图5是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与连接杆通过卡槽连接方式连接的连接过程示意图；

图6是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与连接杆通过螺纹连接方式连接的连接过程示意图；

图7是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与至少两个连接杆相连接的结构示意图；

图8是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托通过至少两个连接引脚与一个连接杆相连接的结构示意图。

图中，100为连接装置，110为连接杆，111为连接槽，120为籽晶托，121为连接块，130为连接点，140为旋转中心，150为连接环，160为传动连接件，170为连接引脚。

具体实施方式

为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。

应当理解，本文使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换所述词语。

如本说明书和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。

图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接装置的侧视图。

在一些实施例中，连接装置100可以用于连接籽晶，并将籽晶置于原料熔体中，通过带动籽晶旋转以生长晶体(例如，碳化硅)。以下将结合附图对说明书中实施例所涉及的连接装置100进行详细说明。值得注意的是，以下实施例仅用以解释本说明书，并不构成对本说明书的限定。

如图1所示，连接装置100可以包括至少一个连接杆110和籽晶托120。

至少一个连接杆110的一端可以连接籽晶托120。籽晶托120可以用于粘附籽晶。在一些实施例中，至少一个连接杆110的另一端可以连接传动组件(图中未示出)。传动组件可以带动至少一个连接杆110旋转，以进一步带动籽晶托120(及其上粘附的籽晶)旋转。

在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110可以通过多种方式进行连接。

在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110的连接方式可以为卡槽连接。在一些实施例中，卡槽连接可以包括彼此适配的连接块和连接槽，以使籽晶托120与至少一个连接杆110连接紧固。关于卡槽连接的相关描述可以参见本说明书其他部分(例如，图3A-图5及其描述)，在此不再赘述。

在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110的连接方式可以为螺纹连接。关于螺纹连接的相关描述可以参见本说明书其他部分(例如，图6及其描述)，在此不再赘述。

在一些实施例中，籽晶托120可以与至少两个连接杆110相连接。关于籽晶托120与至少两个连接杆110相连接的相关描述可以参见本说明书其他部分(例如，图7及其描述)，在此不再赘述。

在一些实施例中，籽晶托120可以通过至少两个连接引脚与一个连接杆110相连接。关于籽晶托120通过至少两个连接引脚与一个连接杆110相连接的相关描述可以参见本说明书其他部分(例如，图8及其描述)，在此不再赘述。

在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110的连接点的数量大于等于2且不与籽晶托120的旋转中心重合。

在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110的连接点可以指至少一个连接杆110与籽晶托120直接连接相接触的位置。在一些实施例中，籽晶托120与至少一个连接杆110的连接点可以指至少一个连接杆110通过连接媒介(例如，连接引脚)与籽晶托120间接连接时，连接媒介与籽晶托120相接触的位置。

在一些实施例中，籽晶托120的旋转中心可以指籽晶托120进行旋转的定点。在一些实施例中，籽晶托120的旋转中心可以位于其重心、中心或其他位置。

通过将连接点设置为不与籽晶托120的旋转中心重合，可以使得当传动组件带动至少一个连接杆110旋转进而带动籽晶托120旋转时，籽晶托120的旋转不会导致至少一个连接杆110与籽晶托120之间的连接出现松动现象。而将连接点的数量设置为大于等于2可以保证籽晶的稳定且稳固的连接，进而保证晶体的正常生长。

在一些实施例中，连接点可以均匀分布于籽晶托120上。

在一些实施例中，连接点可以沿籽晶托120周向均匀分布，以保证至少一个连接杆110与籽晶托120之间的连接稳定，使籽晶托120处于平稳状态，进而保证晶体正常生长。关于连接点的分布的相关描述可以参见本说明书其他部分(例如，图2A-2C及其描述)，在此不再赘述。

在一些实施例中，至少一个连接杆110可以是一体成型的。

在一些实施例中，至少一个连接杆110可以包括多个连接段，多个连接段彼此连接形成连接杆110。通过多个连接段的彼此连接，可以更方便灵活地调节连接杆110的整体长度，从而适用于各种应用场景。在一些实施例中，多个连接段彼此连接形成连接杆110的连接方式和籽晶托120与至少一个连接杆110的连接方式可以相同或不同。

在一些实施例中，多个连接段彼此之间的连接点可以指相邻两个连接段连接相接触的位置。在一些实施例中，多个连接段彼此之间的连接点可以与籽晶托120的旋转中心不重合。当传动组件带动至少一个连接杆110旋转进而带动籽晶托120旋转时，由于多个连接段彼此之间的连接点与旋转中心不重合，籽晶托120的旋转不会导致多个连接段之间的连接出现松动现象，相应可以保证籽晶的稳固连接，进而保证晶体正常生长。

应当注意的是，上述有关连接装置100的描述仅仅是为了示例和说明，而不限定本申请的适用范围。对于本领域技术人员来说，在本申请的指导下可以对连接装置100进行各种修正和改变。然而，这些修正和改变仍在本申请的范围之内。例如，当籽晶托120和至少一个连接杆110之间的连接方式为卡槽连接时，由于卡槽连接方式相对稳固，也可以不必限制连接点不与籽晶托120的旋转中心重合且连接点数量大于等于2。也就是说，当籽晶托120和至少一个连接杆110之间的连接方式为卡槽连接时，连接点可以只有一个且位于籽晶托120的旋转中心。

图2A-2C是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接点的分布示意图。为方便描述，图2A-2C中籽晶托120的形状示例性描述为圆形，籽晶托120的形状也可以是其他形状，例如，长方形、正方形、三角形等，本说明书对此不做限制。

如图2A-2C所示，籽晶托120为圆形，其旋转中心140可以位于其圆心(或中心)。如图2A所示，连接点130的数量为2，且对称分布于籽晶托120的旋转中心140两侧。如图2B所示，连接点130的数量为3，且绕籽晶托120的旋转中心140均匀分布(即三个连接点130与籽晶托120的旋转中心140的连接线之间的夹角均为120°)。如图2C所示，连接点130的数量为4个，且绕籽晶托120的旋转中心140均匀分布(即四个连接点130与籽晶托120的旋转中心140的连接线之间的夹角均为90°)。

通过将连接点的分布设置为沿籽晶托120周向均匀分布，可以保证连接杆110与籽晶托120之间的连接稳定，使旋转过程中籽晶托120可以处于平稳状态，进而保证晶体的正常生长。

应当注意的是，上述有关连接点的分布的描述仅仅是为了示例和说明，而不限定本申请的适用范围。对于本领域技术人员来说，在本申请的指导下可以对连接点的分布进行各种修正和改变。然而，这些修正和改变仍在本申请的范围之内。

图3A和3B是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与至少一个连接杆通过卡槽连接方式连接的结构示意图。如图3A所示，连接杆110上设有连接槽111，籽晶托120上设有连接块121，连接槽111与连接块121相适配，从而实现连接杆110和籽晶托120的固定连接。在一些实施例中，如图3B所示，连接块121可以沿籽晶托120周向均匀分布(例如，三个连接块121与籽晶托120的旋转中心的连接线之间的夹角均为120°)。

在一些实施例中，如图3A和3B所示，连接块121可以为T型块，相应地，连接槽111可以是与T型块相适配的T型槽。在一些实施例中，当籽晶托120与至少两个连接杆110(例如，图3A所示的三个连接杆110)连接时，可以先将每个连接槽111分别与对应的连接块121相对应，再将连接块121(例如，图3A所示的三个连接块121)从至少两个连接杆110的侧边插入连接槽111(如图3A中箭头所示)。

在一些实施例中，连接块121还可以是其他任意形状。图4A-4F是根据本说明书一些实施例所示的示例性连接块的结构示意图。在一些实施例中，如图4A所示，连接块121卡入连接杆110的一端可以是圆球体、椭圆球体或类球体。在一些实施例中，如图4B所示，连接块121卡入连接杆110的一端可以是多面体。在一些实施例中，如图4C和4D所示，连接块121卡入连接杆110的一端可以是棱台(例如，四棱台)。在一些实施例中，如图4E所示，连接块121卡入连接杆110的一端可以是棱锥(例如，三棱锥、四棱锥)。在一些实施例中，如图4F所示，连接块121卡入连接杆110的一端可以是具有部分星形的规则体或不规则体。

在一些实施例中，连接块121与籽晶托120相连接的一端可以是任意形状(例如，圆柱体)，本说明书对连接块121与籽晶托120相连接的一端不作任何限定，只需连接块121与籽晶托120连接牢固即可。

为方便描述，图4A-4F仅示出了籽晶托120上设有一个连接块的示意图。结合上文所述，连接块121的数量大于等于2。在一些实施例中，籽晶托120上的多个连接块121的形状可以相同，也可以不同。

应当注意的是，上述有关连接块的描述仅仅是为了示例和说明，而不限定本申请的适用范围。对于本领域技术人员来说，在本申请的指导下可以对连接块进行各种修正和改变。然而，这些修正和改变仍在本申请的范围之内。

在一些实施例中，连接装置100还可以包括连接环(例如，如图5所示的连接环150)。在一些实施例中，连接环可以与设置有连接槽111的连接杆110通过螺纹连接，以固定插入连接槽111内的连接块121，进一步使连接杆110与籽晶托120连接牢固。例如，连接环内部可以设有内螺纹，连接杆110外周可以设有与内螺纹相匹配的外螺纹。

图5是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与连接杆通过卡槽连接方式连接的连接过程示意图。如图5所示，籽晶托120与连接杆110连接时，可以先将连接槽111与连接块121相对应，再将连接块121从连接杆110的侧边插入连接槽111。然后通过旋转连接环150，使其旋进至连接杆110外周设有外螺纹的一端，以将连接块121固定在连接杆110内，实现籽晶托120与连接杆110的牢固连接。

图6是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与连接杆通过螺纹连接方式连接的连接过程示意图。如图6所示，籽晶托120上可以设有连接块121。连接块121外周可以设有外螺纹，连接杆110连接籽晶托120的一端外周可以设有外螺纹。连接环150内可以设有内螺纹。如图6所示，籽晶托120与连接杆110连接时，可以先将连接杆110设有外螺纹的一端与连接块121相对应，然后通过旋转连接环150，使其旋进至连接杆110外周设有外螺纹的一端，以对连接杆110和连接块121进行连接，进一步实现籽晶托120与连接杆110的牢固连接。

在一些实施例中，连接装置100可以不包括连接环。在一些实施例中，连接块121可以设有外螺纹(或内螺纹)，连接杆110连接籽晶托120(或连接块121)的一端可以设有内螺纹(或外螺纹)。连接块121上的外螺纹(或内螺纹)与连接杆110上的内螺纹(或外螺纹)可以相配合。连接时，将连接杆110旋进连接块121内部，或者将连接块121旋进连接杆110内部，可以实现籽晶托120与连接杆110的牢固连接。

图7是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托与至少两个连接杆相连接的结构示意图。

如图7所示，连接装置100包括三个连接杆110、籽晶托120和连接环150。

籽晶托120与三个连接杆110连接，连接点的数量为3，且连接点与籽晶托120的旋转中心不重合，连接点的分布可以如图2B所示。

结合图5所述，籽晶托120与连接杆110的连接方式为卡槽连接。籽晶托120上设置有连接块121，连接杆110连接籽晶托120的一端设置有连接槽(图7中未示出)。连接杆110与连接环150通过螺纹连接。

连接装置100还可以包括传动连接件160，用于连接连接杆110和传动组件(图7中未示出)。在一些实施例中，传动连接件160与连接杆110的连接方式可以为卡槽连接，也可以为螺纹连接。传动连接件160与连接杆110的连接方式和连接杆110与籽晶托120的连接方式可以相同，也可以不同。

图8是根据本说明书一些实施例所示的籽晶托通过至少两个连接引脚与一个连接杆相连接的结构示意图。

如图8所示，连接装置100包括一个连接杆110、籽晶托120和三个连接引脚170。一个连接杆110可以通过三个连接引脚170与籽晶托120间接连接。一个连接杆110与三个连接引脚170可以一体成型，也可以通过其他方式(例如，卡槽连接、螺纹连接)进行连接。

籽晶托120与一个连接杆110的连接点可以表示为籽晶托120与三个连接引脚170的连接点。连接点的数量为3，且连接点与籽晶托120的旋转中心不重合，连接点的分布可以如图2B所示。

结合图5所述，籽晶托120与连接引脚170的连接方式为卡槽连接。籽晶托120上设置有连接块121，连接引脚170连接籽晶托120的一端可以设置有连接槽(图8中未示出)。连接引脚170外部设有外螺纹，连接环150内部设有内螺纹，连接引脚170与连接环150可以通过螺纹连接。

应当注意的是，上述有关连接装置的描述仅仅是为了示例和说明，而不限定本申请的适用范围。对于本领域技术人员来说，在本申请的指导下可以对连接装置进行各种修正和改变。然而，这些修正和改变仍在本申请的范围之内。

本说明书实施例可能带来的有益效果包括但不限于：(1)籽晶托与至少一个连接杆的连接点不与籽晶托的旋转中心重合，当传动组件带动至少一个连接杆旋转进而带动籽晶托旋转时，籽晶托的旋转不会导致至少一个连接杆与籽晶托之间的连接出现松动现象；连接点的数量大于等于2，可以保证籽晶托的稳定且稳固的连接，进而保证晶体的正常生长；(2)籽晶托与至少一个连接杆的连接点沿籽晶托周向均匀分布，可以保证至少一个连接杆与籽晶托之间的连接稳定，使籽晶托处于平稳状态，进而保证晶体正常生长。需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

同时，本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本说明书披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本说明书实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本说明书对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明，“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有±20％的变化。相应地，在一些实施例中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本说明书一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。

针对本说明书引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本说明书作为参考。与本说明书内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本说明书权利要求最广范围有限制的文件(当前或之后附加于本说明书中的)也除外。需要说明的是，如果本说明书附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本说明书所述内容有不一致或冲突的地方，以本说明书的描述、定义和/或术语的使用为准。

最后，应当理解的是，本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此，作为示例而非限制，本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地，本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。