一种真空蒸镀机的易冷却探头结构

技术领域

本发明涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的易冷却探头结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，为了检测被镀膜工件表面的镀层的厚度，需要在镀膜的过程中通过探头结构检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，探头结构包括探头和晶振片，但是，在检测的过程中，探头和晶振片会收到高温的影响，导致检测不稳定，检测的精度降低。因此，现有技术采用冷却水管与探头的表面直接接触，但是冷却水管与探头的接触面积较小，冷却效果依然不理想。

有鉴于此，本发明提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，冷却效果显著提高，明显提高了探头检测被镀膜工件的镀层厚度的检测精度，并且成本低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，冷却效果显著提高，明显提高了探头检测被镀膜工件的镀层厚度的检测精度，并且成本低。

本申请的真空蒸镀机的易冷却探头结构，在探头固定件1内设置有冷却液流道，冷却液流道分布在探头的周围，增加了冷却液与探头的接触面积，从而提升冷却效果，并且，冷却液直接与探头固定件直接接触，现有技术的冷却液在冷却水管内，通过冷却水管与探头固定件接触，本申请比现有技术温度的传导性更优，从而从两方面提升冷却效果，冷却效果显著提高，明显提高了探头检测被镀膜工件的镀层厚度的检测精度。进一步的，本申请的真空蒸镀机的易冷却探头结构，探头可以为一个或者多个，根据探头的数量能够适应性的设计探头固定件的形状及其冷却液流道的形状。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件1、冷却水管2和腔体固定件3，所述冷却水管2与探头固定件1连接，所述腔体固定件3用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件1具有一个或多个凹槽11，凹槽11的底面具有一个通孔111，晶振片4设置在凹槽11的底面上，探头5设置在晶振片4的上方并且探头5的下端在凹槽11的内部，所述探头固定件1将晶振片4和探头5固定在凹槽11相对应的位置，所述探头固定件1的内部还具有冷却液流道12，冷却水管2由进水管21和出水管22组成，所述冷却液流道12的一端与所述进水管21连接、另一端与所述出水管22连接。

在一些实施方式中，所述凹槽11的深度小于探头固定件1的厚度，所述通孔111的宽度小于凹槽11的宽度，通孔111位于凹槽11的中部。

进一步的，凹槽11为正方形、长方形、圆形、不规则形状中的一种，所述通孔111的形状与凹槽11的形状相同。

进一步优选的，所述凹槽11和通孔111均为圆形，凹槽11的直径小于探头固定件1的宽度，通孔111的直径小于凹槽11的直径。

在一些实施方式中，所述探头固定件1为正方体、长方体、圆柱体中的一种，一个或多个凹槽11均匀分布在探头固定件1内，凹槽11的数量与晶振片4和探头5的数量相同，一个凹槽11内设置有一个晶振片4和一个探头5。

进一步的，所述凹槽11有多个，冷却液流道12的形状与凹槽11的数量有关，凹槽11的数量不同则冷却液流道12的形状或/和尺寸不同。

进一步的，所述凹槽11有两个，冷却液流道12为在两个凹槽11的外围设置的椭圆形流道。

进一步的，所述凹槽11有三个，冷却液流道12为在三个凹槽11的外围设置的圆形流道，或者冷却液流道12为在三个凹槽11的内围和外围设置的圆形流道并且具有将两个圆形流道连接的流道。

进一步的，所述凹槽11有四个，冷却液流道12为“十”字形或者“田”字形，或者冷却液流道12为在四个凹槽11的内围设置的圆形流道和外围设置的椭圆形流道并且具有将内外流道连接的流道。

进一步的，所述凹槽11有五个，冷却液流道12为在五个凹槽11的外围设置的波浪形流道，或者冷却液流道12为在五个凹槽11的内围设置的圆形流道和外围设置的椭圆形流道并且具有将内外流道连接的流道。

进一步的，所述凹槽11有六个，冷却液流道12为在六个凹槽11的外围设置的波浪形流道，或者冷却液流道12为在六个凹槽11的内围和外围设置的圆形流道并且具有将两个圆形流道连接的流道。

在一些实施方式中，所述冷却水管2有一个或者多个，所述冷却水管2的进水管21及出水管22分布与探头固定件1的任一表面固定。

进一步优选的，所述进水管21和出水管22均与探头固定件1的上表面连接，或者进水管21和出水管22一个与探头固定件1的上表面连接、另一个与探头固定件1的下表面连接，或者进水管21和出水管22一个与探头固定件1的左侧面连接、另一个与探头固定件1的右侧面连接，或者进水管21和出水管22一个与探头固定件1的前侧面连接、另一个与探头固定件1的右侧面连接。

在一些实施方式中，所述探头固定件1能够旋转或者不能够旋转。

进一步的，所述探头固定件1的凹槽11有一个或者两个时，探头固定件1部不能够旋转，所述探头固定件1的凹槽11大于等于三个时，探头固定件1部能够旋转。

在一些实施方式中，腔体固定件3与冷却水管2或者探头固定件1连接，腔体固定件3与真空蒸镀机的主腔体板固定并且密封。

附图说明

结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。

图1为本申请实施例1的真空蒸镀机的易冷却探头结构的一种结构示意图。

图2为本申请实施例1的真空蒸镀机的易冷却探头结构的探头固定件的剖视图。

图3为本申请实施例2的真空蒸镀机的易冷却探头结构的探头固定件的结构示意图。

图4为本申请的图3的爆炸图。

图5为本申请实施例2的真空蒸镀机的易冷却探头结构的探头固定件的凹槽和冷却液流道的结构示意图。

主要元件符号说明：

探头固定件1、冷却水管2、腔体固定件3、晶振片4、探头5、凹槽11、通孔111、冷却液流道12、进水管21、出水管22。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

实施例1：

一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，如图1-图2所示，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件1、冷却水管2和腔体固定件3，所述冷却水管2与探头固定件1连接，所述腔体固定件3用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件1具有两个凹槽11，凹槽11的底面具有一个通孔111，晶振片4设置在凹槽11的底面上，探头5设置在晶振片4的上方并且探头5的下端在凹槽11的内部，所述探头固定件1将晶振片4和探头5固定在凹槽11相对应的位置，所述探头固定件1的内部还具有冷却液流道12，冷却水管2由进水管21和出水管22组成，所述冷却液流道12的一端与所述进水管21连接、另一端与所述出水管22连接。

所述凹槽11的深度小于探头固定件1的厚度，所述通孔111的宽度小于凹槽11的宽度，通孔111位于凹槽11的中部。所述凹槽11和通孔111均为圆形，凹槽11的直径小于探头固定件1的宽度，通孔111的直径小于凹槽11的直径。所述探头固定件1为长方体，两个凹槽11均匀分布在探头固定件1内。所述凹槽11有两个，冷却液流道12为在两个凹槽11的外围设置的椭圆形流道。所述冷却水管2有一个，所述进水管21和出水管22均与探头固定件1的上表面连接。所述探头固定件1不能够旋转。腔体固定件3与冷却水管2固定，腔体固定件3与真空蒸镀机的主腔体板固定并且密封。

实施例2：

一种真空蒸镀机的易冷却探头结构，如图3-图5所示，所述易冷却探头结构用于检测被镀膜工件的镀膜膜层的厚度，所述易冷却探头结构包括探头固定件1、冷却水管2和腔体固定件3，所述冷却水管2与探头固定件1连接，所述腔体固定件3用于将所述易冷却探头结构与真空蒸镀机的主腔体板固定，所述探头固定件1具有六个凹槽11，凹槽11的底面具有一个通孔111，晶振片4设置在凹槽11的底面上，探头5设置在晶振片4的上方并且探头5的下端在凹槽11的内部，所述探头固定件1将晶振片4和探头5固定在凹槽11相对应的位置，所述探头固定件1的内部还具有冷却液流道12，冷却水管2由进水管21和出水管22组成，所述冷却液流道12的一端与所述进水管21连接、另一端与所述出水管22连接。

所述凹槽11的深度小于探头固定件1的厚度，所述通孔111的宽度小于凹槽11的宽度，通孔111位于凹槽11的中部。所述凹槽11和通孔111均为圆形，凹槽11的直径小于探头固定件1的宽度，通孔111的直径小于凹槽11的直径。所述探头固定件1为圆柱体，六个凹槽11均匀分布在探头固定件1内。所述凹槽11有六个，冷却液流道12为在六个凹槽11的内围和外围设置的圆形流道并且具有将两个圆形流道连接的三个支流道。所述冷却水管2有一个，进水管21和出水管22一个与探头固定件1的上表面连接、另一个与探头固定件1的下表面连接。所述探头固定件1能够旋转，腔体固定件3通过连接部件与探头固定件1连接，腔体固定件3与真空蒸镀机的主腔体板固定并且密封。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。