吸附固定用片

技术领域

本发明涉及通过配置于吸附装置的吸附面从而防止吸附对象物与吸附面的接触的吸附固定用片。

背景技术

对金属箔、塑料薄膜、及陶瓷电容器的制造中使用的陶瓷生片等薄且轻量的片状体进行加工的工序中，进行了如下操作：使这些片状体吸附于吸附装置的吸附面并进行固定或输送。此时，通常将具有透气性的吸附固定用片配置于吸附面。通过吸附固定用片对吸附面的配置，可以防止作为吸附对象物的片状体与吸附面的直接接触。由此，可以防止吸附时的吸附对象物的损伤、吸附面的划痕、和吸附对象物中所含的成分所导致的吸附面的污染等。吸附面的划痕和污染可能成为之后要吸附的吸附对象物的不良发生的因素。

专利文献1中公开了将热熔粘合剂配置于单面的、由超高分子量聚乙烯的多孔片形成的吸附固定用片。专利文献1的吸附固定用片通过热熔粘合剂而被固定于吸附装置的吸附面来使用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-22935号公报

发明内容

在吸附状态下对吸附对象物进行加压的吸附加压工序中，有时吸附固定用片被暴露于高的加工温度下，预想出于提高加工效率等的目的而升高加工温度。根据本发明人等的研究清楚了：对于配置有热熔粘合剂的专利文献1的吸附固定用片，在升高加工温度的情况下有吸附对象物的加工精度降低的倾向。

本发明的目的在于提供，即使在高温下使用的情况下，也能够抑制吸附对象物的加工精度的降低的吸附固定用片。

本发明提供一种吸附固定用片，其为通过配置于吸附装置的吸附面从而防止吸附对象物与前述吸附面的接触的吸附固定用片，

所述吸附固定用片具备：多孔片，其在厚度方向上具有透气性；和粘合层，其配置于前述多孔片的一个面且在厚度方向上具有透气性，

前述粘合层包含交联后的粘合剂，

将片面积设为100cm

其中，前述被吸附力为下述值：在借助前述粘合层将前述吸附固定用片固定于规定的吸附固定台、并且将无透气性的测定用片层叠于前述吸附固定用片的前述多孔片侧的面上的状态下，使前述吸附固定台产生吸附力时，根据在该吸附固定台产生的真空到达压(kPa)，通过式：真空到达压(kPa)×片面积100cm

根据本发明人等的研究清楚了：对于配置有热熔粘合剂的专利文献1的吸附固定用片，热熔粘合剂在高温下流动，由此，在吸附面上的吸附固定用片上产生褶皱、浮起，从而有吸附对象物的加工精度降低的倾向。另一方面，本发明的吸附固定用片中，粘合层中包含的粘合剂进行了交联。因此，吸附面上的吸附固定用片中的、由粘合层的流动引起的高温下的褶皱、浮起的产生得以抑制。

另外，本发明人等对除专利文献1中公开的热熔粘合剂以外的粘合剂的使用进行了研究，状况依然是发生吸附对象物的加工精度的降低。针对该现象进行了进一步的研究，结果清楚了：(I)与能进行熔融状态下的吹喷涂布的热熔粘合剂不同，不能充分确保粘合剂对多孔片表面的凹凸的追随性，有在多孔片与配置于该片上的粘合剂之间产生间隙的的倾向；(II)起因于该间隙，吸附时的吸附固定用片的面内方向的透气变大；及(III)由于上述面内方向的透气，吸附固定片对吸附面的被吸附力降低，变得容易在吸附面上的吸附固定片上产生位置偏移，从而吸附对象物的加工精度降低。另一方面，对于本发明的吸附固定用片，通过使粘合层中包含的粘合剂为交联后的粘合剂，并且规定面积的被吸附力为规定的值以上，从而可抑制吸附面上的吸附固定用片中的位置偏移的产生。

因此，利用本发明，可实现即使在高温下使用的情况下也能够抑制吸附对象物的加工精度的降低的吸附固定用片。

附图说明

图1为示意性示出本发明的吸附固定用片的一例的截面图。

图2为用于对吸附固定用片的被吸附力的测定方法进行说明的示意图。

图3为示意性地示出本发明的吸附固定用片作为吸附层可具备的双面粘合片的一例的截面图。

图4为对本发明的吸附固定用片作为吸附层可具备的双面粘合片示意性地示出贯穿孔的配置的一例的俯视图。

图5为对本发明的吸附固定用片作为吸附层可具备的双面粘合片示意性地示出贯穿孔的配置的另一例的俯视图。

图6A为示意性示出本发明的吸附固定用片的另一例的俯视图

图6B为示出图6A的吸附固定用片的截面B-B的示意图。

图7A为示意性地示出本发明的吸附固定用片的又一例的俯视图。

图7B为示出图7A的吸附固定用片的截面B-B的示意图。

图8为示意性示出使用本发明的吸附固定用片将吸附对象物吸附于吸附装置的吸附面上的工序的截面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。本发明不限定于以下所示的实施方式。

[吸附固定用片]

将本发明的吸附固定用片的一例示于图1。图1的吸附固定用片1具备：多孔片2，其在厚度方向上具有透气性；和粘合层3，其在厚度方向上具有透气性。粘合层3配置于多孔片2的一个面。吸附固定用片1具有厚度方向的透气性，通过配置于吸附装置的吸附面，从而可用作防止吸附对象物与吸附面的接触的吸附固定用片。吸附固定用片1以粘合层3与吸附面接触的方式被配置并固定于吸附装置的吸附面。需要说明的是，本说明书中，片或层的“厚度方向”是指将该片或层的一个面与另一个面连接的任意方向。例如，图3所示的例子中，成为作为粘合层3的双面粘合片11的厚度方向的透气路径的贯穿孔12沿垂直于该片11的面11a、11b的方向延伸，但贯穿孔12延伸的方向不限定于该垂直的方向。对于贯穿孔12延伸的方向，只要贯穿孔12将双面粘合片11的一个面11a与另一个面11b连接，也可以相对于该垂直的方向倾斜。

将片面积设为100cm

吸附固定用片1的被吸附力为通过以下的方法求出的值。参照图2对测定吸附固定用片1的被吸附力的方法进行说明。

最初，借助粘合层3将吸附固定用片1固定于规定的吸附固定台21，并且将无透气性的测定用片22层叠于吸附固定用片1的多孔片2侧的面。吸附固定用片1的面积设为100cm

吸附固定台21为由不锈钢等金属构成的平坦的台子，借助具备压力计23及流量计24的配管25，连接于真空泵26。在吸附固定台21的用于固定吸附固定用片1的区域A中，3mm的中心间距离(间距)设置有开口及截面的形状为圆的多个贯穿孔27(直径1mm)。从垂直于吸附固定台21的固定面的方向观察，以各贯穿孔的中心位于固定面上的假想的正方格子的交点(格子点)的方式设置有贯穿孔27。通过真空泵26的工作，产生从吸附固定台21的固定面沿配管25的方向透过贯穿孔27的空气的流动，由此，在吸附固定台21产生吸附力。可以在吸附固定台21的区域A以外的区域中设置有贯穿孔27，在设置的情况下，测定后述的真空到达压时，仅使区域A的贯穿孔27产生基于真空泵26的负压。吸附固定台21的区域A中的除上述贯穿孔以外的部分的表面(固定面的表面)优选通过日本工业标准(以下，记载为“JIS”)B0601：2001中规定的算术平均粗糙度Ra表示并具有2.0μm以下的表面粗糙度。吸附固定用片1在吸附固定台21上的固定如下来实施：将吸附固定用片1以在该片1上不产生折痕、重叠的方式配置于吸附固定台21后，使质量2kg的辊在吸附固定用片1的表面上往返1次。辊可以使用例如基于JIS Z0237：2009“粘合带·粘合片试验方法”中的辊。

层叠于吸附固定用片1的测定用片22为无透气性的片，在被吸附力的测定时为了使吸附固定用片1的厚度方向的透气性丧失，层叠于该片1。测定用片22例如可以使用金属片、树脂片。测定用片22的典型的一例为厚度25μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)片。需要说明的是，本说明书中“无透气性的片”是指，厚度方向的透气度用依据JIS L1096：2010中规定的透气性测定B法(Gurley形法)测定的空气透过度(Gurley透气度)表示，且为1万秒/100mL以上的片。测定用片22的面积设为吸附固定用片1的面积以上。测定用片22以在该片22不产生折痕、重叠的方式、并且以覆盖吸附固定用片1的整体的方式层叠于吸附固定用片1。

接着，使真空泵26工作，从而使吸附固定台21产生吸附力。利用固定于吸附固定台21的固定面的吸附固定用片1及测定用片22的层叠体，阻碍透过贯穿孔27的空气的流动，从而在吸附固定台21产生真空压(负压)。产生吸附力后，成为稳定状态时产生的真空压的大小依赖于在面内方向透过吸附固定用片1的的空气的流量而变化，更具体而言，该空气的流量越小，真空压越大。利用压力计23测定因吸附力的产生而在吸附固定台21上产生的最大真空压即真空到达压(kPa)，根据测定的真空到达压(kPa)，通过式：真空到达压(kPa)×片面积100cm

图1的吸附固定用片1中，在多孔片2的一个面的整体配置有粘合层3。更具体而言，图1的吸附固定用片1中，对于与多孔片2具有相同形状的粘合层3，从垂直于多孔片2的上述一个面的方向观察时，以其整体彼此重复的方式配置于多孔片2的该一个面。本发明的吸附固定用片1中，也可以不在多孔片2的一个面的整体配置粘合层3。其中，为了更可靠地得到上述效果，优选的是，至少在利用吸附装置的吸附对象物的吸附时在与该对象物接触的区域中，在多孔片2的一个面的整体配置有粘合层3。

多孔片2例如为织布、无纺布、在厚度方向上实施了穿孔加工的薄膜(金属薄膜、树脂薄膜等)、树脂颗粒的烧结片，优选为树脂颗粒的烧结片。根据作为烧结片的多孔片2，可以避免纤维的脱落所导致的异物对吸附对象物的附着、和该异物所导致的吸附对象物的变形和表面的损伤。另外，多孔片2的成为透气通路的颗粒间的空隙存在于该片2的整体，因此，可以将吸附对象物更均匀地吸附。但是，只要在厚度方向上具有透气性即可，多孔片2不限定于上述例子。

对于构成树脂颗粒的树脂，从形成多孔片2时的耐磨耗性和耐冲击性优异的方面出发，优选为超高分子量聚乙烯(以下，记作“UHMWPE”)。即，多孔片2优选为UHMWPE颗粒的烧结片。但是，只要通过烧结而能形成多孔片2即可，不限定构成树脂颗粒的树脂。需要说明的是，UHMWPE的重均分子量Mw例如为50万以上、优选为100万以上。UHMWPE的重均分子量可以通过高温凝胶渗透色谱法(高温GPC法)而评价。

UHMWPE颗粒的烧结片可以通过公知的方法、例如以下所示的方法1～3而制作。方法1为如下方法：在将UHMWPE颗粒填充至模具的状态下进行烧结，形成UHMWPE的烧结块体，将形成后的烧结块体切削加工成片。烧结块体的形状可以为圆柱。方法2为如下方法：在将UHMWPE颗粒填充为片状的状态下进行烧结的方法。方法3为如下方法：将分散介质中分散有UHMWPE颗粒的浆料以规定厚度涂布于转印片、典型的为金属片，将其加热至UHMWPE的熔点以上，烧结成片状的方法。可以对转印片中的浆料的涂布面实施脱模处理。任意方法中，例如均可以使用具有20～500μm的平均粒径的UHMWPE颗粒。

多孔片2的厚度例如为0.050mm～3.0mm，可以为0.1mm～2.0mm、进一步可以为0.2mm～1.5mm。多孔片2的厚度处于这些范围的情况下，可以更可靠地得到上述效果。

多孔片2的厚度方向的透气度用依据JIS L1096：2010中规定的透气性测定A法(弗雷泽型法)而测得的弗雷泽数(以下，记作“弗雷泽数”)表示，例如为0.5cm

多孔片2的孔隙率例如为15～50％，可以为20～45％。多孔片2的孔隙率处于这些范围的情况下，尤其是，多孔片2为树脂颗粒的烧结片时，生产节拍时间与上述特性的均衡性变得更良好。多孔片2的孔隙率可以由多孔片的体积V(cm

多孔片2的表面粗糙度、特别是吸附时与吸附对象物接触的面的表面粗糙度由JISB0601：2001中规定的算术平均粗糙度Ra表示，优选1.0μm以下、更优选0.5μm以下。多孔片2的Ra处于这些范围的情况下，能够抑制与多孔片2的接触引起的、吸附时的吸附对象物的非有意的变形或者表面的损伤。需要说明的是，根据作为树脂颗粒的烧结片的多孔片2，可以较容易达成上述Ra的范围。该片中表面粗糙度例如可以通过树脂颗粒的粒径来控制。

多孔片2可以具有单层结构，也可以具有层叠有2个以上的特性和/或结构不同的层的层叠结构。

粘合层3的厚度例如为1～300μm，可以为10～200μm，进一步可以为20～100μm。

粘合层3例如为(1)设置有多个贯穿孔的、具有基材的双面粘合片；或(2)在多孔片2的一个面上由彼此隔着间隔而配置的多个上述交联后的粘合剂构成的层。其中，粘合层3只在厚度方向上具有透气性，就不限定于上述(1)及(2)的例子。

将上述(1)的作为双面粘合片的粘合层3的一例示于图3。图3所示的双面粘合片11具备：基材13、形成于基材13的一个面的粘合剂层14a、和形成于基材13的另一个面的粘合剂层14b。贯穿孔12连接双面粘合片11的一个面11a与另一个面11b。换言之，贯穿孔12贯穿了基材13及粘合剂层14a、14b。贯穿孔12作为双面粘合片11中的厚度方向的透气路径而发挥功能，由于贯穿孔12，双面粘合片11在厚度方向上具有透气性。另外，对于双面粘合片11，从垂直于该片11的面11a、11b的方向观察，具有基材13包围作为厚度方向的透气路径的贯穿孔12的结构。因此，双面粘合片11及具备该片11的吸附固定用片1可确保厚度方向的透气，并且可以更可靠地抑制面内方向的透气，由此，能够提高吸附固定用片1的被吸附力。需要说明的是，作为双面粘合片的粘合层3不限定于图3所示的例子。

基材13可以为除贯穿孔12以外不具有连接其一个面与另一个面的透气路径的薄膜。更具体而言，基材13可以为在无孔薄膜形成有贯穿孔12的薄膜。

构成基材13的材料例如为树脂。树脂例如为聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯；聚碳酸酯(PC)；丙烯酸类树脂；丁基橡胶。树脂优选PET、PC、更优选PET。PET及PC作为树脂材料较硬，例如吸附固定用片1的面积大的情况下，在吸附面上固定时该片1中也不易产生松弛、褶皱。另外，PET及PC在设想的高温下也能够保持充分的强度。需要说明的是，构成基材13的材料不限定于上述例子。

基材13可以为在无孔的树脂薄膜中形成有贯穿孔12的薄膜，也可以为在无孔的PET薄膜中形成有贯穿孔12的薄膜。

基材13的厚度例如为0.005mm～0.2mm，可以为0.01mm～0.1mm。基材13的厚度处于这些范围的情况下，可以更可靠地得到上述效果。

粘合剂层14a、14b包含的粘合剂(粘合剂组合物)为交联后的粘合剂。

交联后的粘合剂例如为丙烯酸系、氨基甲酸酯系、有机硅系、环氧系的各种粘合剂。从另一方面来看，交联后的粘合剂例如为交联系粘合剂、紫外线固化型粘合剂。交联系粘合剂为包含交联剂的粘合剂。丙烯酸系、氨基甲酸酯系和有机硅系的粘合剂通常被分类为交联系粘合剂。上述示例中，丙烯酸系和/或有机硅系的粘合剂在高温下的流动性特别低，故优选。但是，交联后的粘合剂不限定于上述例子。另外，交联后的粘合剂可以使用公知的物质。粘合剂为交联后的粘合剂可以如下确认：通过使该粘合剂溶解于用于溶解粘合剂的溶剂(例如25℃的甲苯)时不溶解的成分(凝胶成分)残留，从而可以确认。需要说明的是，热熔粘合剂通常不残留凝胶成分，不属于交联后的粘合剂。

丙烯酸系粘合剂是以丙烯酸类聚合物为基础聚合物的粘合剂。丙烯酸系粘合剂可以使用公知的物质。丙烯酸系粘合剂的一例为日本特开2005-105212号公报中公开的粘合剂。

有机硅系粘合剂是以有机硅聚合物为基础聚合物的粘合剂。有机硅系粘合剂可以使用公知的物质。有机硅系粘合剂的一例为日本特开2003-313516号公报中公开的粘合剂(包括作为比较例公开者)。

形成于基材13的一个面的粘合剂层14a与形成于另一个面的粘合剂层14b可以具有相同的构成，也可以具有彼此不同的构成。双面粘合片11的一例中，粘合剂层14a、14b均由丙烯酸系粘合剂构成。双面粘合片11的另一例中，一个粘合剂层14a由有机硅系粘合剂构成，且另一个粘合剂层14b由丙烯酸系粘合剂构成。

吸附装置的吸附面通常由不锈钢等金属构成。由丙烯酸系粘合剂构成的粘合剂层和由有机硅系粘合剂构成的粘合剂层中，由有机硅系粘合剂构成的粘合剂层可以降低该吸附面中的残胶量(构成粘合剂层的粘合剂的残留量)。固定于吸附面的吸附固定用片1通常实施了规定次数的吸附工序后更换，或者多孔片2中的与吸附对象物接触的表面达到规定的磨耗量时更换。此时，在吸附面如果有残胶，则由于残留于吸附面的表面的粘合剂而在重新配置的吸附固定用片1的表面产生凹凸，从而有时在下一次及其后吸附的吸附对象物上产生非有意的变形或者表面的损伤、或吸附对象物的加工精度降低。因此，期望吸附固定用片1的更换时的残胶量尽量小。另外，多孔片2为无纺布或者树脂颗粒的烧结片的情况下，关于相对于该片2的粘接强度，丙烯酸系粘合剂高于有机硅系粘合剂。如果考虑这些，则一个粘合剂层14a由有机硅系粘合剂构成，另一个粘合剂层14b由丙烯酸系粘合剂构成，形成粘合剂层14b与多孔片2接触的吸附固定用片1，可以以粘合剂层14a与吸附面接触的方式将该片1固定于吸附装置。由此，可以减少吸附固定用片1的更换时的吸附面上的残胶量，另外，可以更可靠地抑制吸附对象物的加工精度的降低。

交联后的粘合剂的凝胶分率例如为1～90％，可以为2～80％、5～60％。凝胶分率处于这些范围的情况下，可以进一步降低交联后的粘合剂的高温下的流动性。粘合剂的凝胶分率例如可以如以下进行评价。

[丙烯酸系粘合剂的凝胶分率]

采集作为评价对象物的粘合剂层约0.1g。将采集好的粘合剂层用平均孔径0.2μm的聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜(例如日东电工制、NTF1122)包覆后，用风筝线捆绑，作为评价样品，测定重量(浸渍前重量c)。浸渍前重量相当于采集好的粘合剂、PTFE多孔膜和风筝线的总重量。另外，预先测定评价样品中使用的PTFE多孔膜和风筝线的总计重量，将其作为包袋重量b。

接着，在用乙酸乙酯充满的容积50mL的容器中收纳评价样品，在23℃下静置7天。之后，从容器取出评价样品并转移至铝制杯，在设定为130的干燥机中使其干燥2小时，将乙酸乙酯去除。接着，测定评价样品的重量，将该重量作为浸渍后重量a。

可以由测定好的浸渍后重量a、包袋重量b和浸渍前重量c，基于以下的式子求出凝胶分率。

式：凝胶分率(重量％)＝(a-b)/(c-b)×100

[有机硅系粘合剂的凝胶分率]

准备作为评价对象物的有机硅系粘合剂的层形成于基材片的表面的、约19mm×约250mm的评价样品。基材片中选择由不会因甲苯而溶胀的材料构成的片。基材片例如为PTFE片。接着，测定评价样品的重量(浸渍前重量C)。

接着，在常温下使评价样品浸渍于约300mL的甲苯中48小时。之后，从甲苯取出评价样品，使其风干30分钟后，在设定为120℃的干燥机中进行2小时干燥，将甲苯去除。接着，将评价样品恢复至室温，放置30分钟后，测定浸渍后重量A。接着，从基材片去除粘合剂的层，测定基材片的重量B。

可以由测定好的浸渍后重量A、基材片的重量B和浸渍前重量C，基于以下的式子求出凝胶分率。

式：凝胶分率(重量％)＝(A-B)/(C-B)×100

粘合剂层14a、14b的厚度例如为0.005mm～0.3mm，可以为0.01mm～0.2mm。

图3所示的例子中，贯穿孔12的延伸的方向为垂直于双面粘合片11的表面的方向。另外，该例中，贯穿孔12以直线状延伸。进而，该例中，贯穿孔12的截面(垂直于延伸的方向的截面)的形状从双面粘合片11的一个面至另一个面为恒定。其中，只要双面粘合片11具有厚度方向的透气性即可，延伸的方向、延伸的状态、及截面的形状之类的贯穿孔12的构成没有限定。需要说明的是，截面的形状为恒定的贯穿孔12包含：具有形成该贯穿孔12的方法上无法避免的截面形状的变动的贯穿孔。

贯穿孔12的开口的形状例如为圆、椭圆、矩形，优选圆或椭圆，更优选圆。其中，贯穿孔12的开口的形状不限定于上述例。

各贯穿孔12的开口面积例如为10mm

双面粘合片11中的贯穿孔12的开口率(该表面中的贯穿孔12的开口面积的总计相对于双面粘合片11的表面的面积所占的比率)例如为60.0％以下，可以为55.0％以下、50.0％以下、进一步45.0％以下。贯穿孔12的开口率的下限例如为10.0％以上，可以为15.0％以上、20.0％以上、25.0％以上、进一步30.0％以上。贯穿孔12的开口率处于这些范围的情况下，可确保作为吸附固定用片1的厚度方向的透气，并且可以更可靠地抑制该片1的面内方向的透气。优选的是，至少在吸附对象物的吸附时在与该对象物接触的区域中，双面粘合片11中的贯穿孔12的开口率处于这些范围。

将双面粘合片11中的贯穿孔12的配置的状态的例子示于图4、5。图4、5中示出了双面粘合片11的表面中的贯穿孔12的开口。其中，双面粘合片11中的贯穿孔12的配置的状态不限定于图4、5所示的例子。

图4所示的例子中，从垂直于双面粘合片11的表面的方向观察，以各贯穿孔12的开口的中心位于该表面上的假想的正方格子33的交点(格子点)的方式配置贯穿孔12。图5所示的例子中，从垂直于双面粘合片11的表面的方向观察，以各贯穿孔12的开口的中心位于该表面上的假想的正三角格子34的交点的方式配置有贯穿孔12。双面粘合片11可以至少在吸附对象物的吸附时与该对象物接触的区域中具有这些贯穿孔的配置。根据这些例子所示的贯穿孔12的配置，能够得到厚度方向的透气遍及片的整体、至少上述区域的整体地更均匀的吸附固定用片1。吸附固定用片1中的厚度方向的透气如果更均匀，则能进一步无不均地吸附吸附对象物，可以更可靠地抑制吸附对象物的加工精度的降低。需要说明的是，图4、5所示的例子中，各贯穿孔12的开口及截面的形状全部相同，更具体而言为圆形。其中，各贯穿孔12的开口和/或截面的形状可以不全部相同。另外，以各贯穿孔12的开口的中心位于上述表面上的假想的格子的交点的方式配置贯穿孔12的情况下，该格子不限定于正方格子及正三角格子，也可以为长方格子、菱形格子等各种格子。需要说明的是，图4、5所示的例子中，各贯穿孔12的中心无需严格地位于正方格子33或正三角格子34的各交点，例如，允许设置贯穿孔12的工序中无法避免的中心位置的偏移。

图4、5所示的例子中，最邻近的贯穿孔12的中心间距离(间距)P1例如为0.5mm～10.0mm，可以为1.0mm～5.0mm。

具备上述(1)的双面粘合片作为粘合层3的吸附固定用片1例如可以借助粘合剂层14a或14b将双面粘合片11配置于多孔片2的一个面而形成。粘合剂层14a与粘合剂层14b的构成不同的情况下，可以借助粘接强度更大的粘合剂层，将双面粘合片11贴附于多孔片2。该情况下，吸附固定用片1借助粘接强度更小的粘合剂层被固定于吸附装置的吸附面，因此吸附固定用片1的更换变得更容易。其中，吸附固定用片1的形成方法不限定于上述例子。

双面粘合片11例如可以通过实施在粘合剂层14a、基材13及粘合剂层14b的层叠体中设置多个贯穿孔12的加工而形成。但是，双面粘合片11的形成方法不限定于该例。可以将冲孔、利用汤姆森刀的冲裁、激光照射等各种穿孔加工法应用于设置多个贯穿孔12的加工。粘合剂层14a、14b及基材13的层叠体例如可以如下形成：在基材13的表面涂布粘合剂组合物，使通过涂布而形成的涂布膜干燥和/或固化，从而形成。

将具备上述(2)的层作为粘合层3的吸附固定用片的一例示于图6A及图6B。图6B中示出了图6A的吸附固定用片1的截面B-B。图6A及图6B的吸附固定用片1具备：多孔片2，其在厚度方向上具有透气性；和层5，其为在厚度方向上具有透气性的粘合层3。层5由多个粘合剂6构成。多个粘合剂6彼此隔着间隔而配置在多孔片2的一个面上。粘合剂6为交联后的粘合剂。层5配置于多孔片2的一个面。层5为无基材的两面粘合层。相邻的粘合剂6间的空间7作为层5中的厚度方向的透气路径而发挥功能，由于空间7，层5具有厚度方向的透气性。

图6A及图6B所示的例子中，在多孔片2的一个面上，多个粘合剂6彼此隔着间隔而配置，从而形成层5。更具体而言，从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，多个粘合剂6在该一个面上以条纹状配置。

将具备上述(2)的层作为粘合层3的吸附固定用片的另一例示于图7A及图7B。图7B中示出了图7A的吸附固定用片1的截面B-B。对于图7A及图7B的吸附固定用片1，层5中的多个粘合剂6的形状及配置的图案不用，除此以外，与图6A及图6B的吸附固定用片1同样。图7A及图7B所示的例子中，从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，具有圆形状的多个粘合剂6在该一个面以点状配置。另外，粘合剂6以各粘合剂6的中心位于上述一个主面上的假想的正三角格子的交点的方式来配置。需要说明的是，以点状配置的多个粘合剂6的从上述垂直的方向观察的形状不限定于圆，例如，可以为包含正方形及长方形的多边形、椭圆。另外，粘合剂6以各粘合剂6的中心位于上述一个主面上的假想的格子的各交点的方式配置的情况下，该格子不限定于正三角格子，也可以为正方格子、长方格子、菱形格子等各种格子。

只要层5具有给层5带来厚度方向的透气的空间7即可，层5中的多个粘合剂6的配置(配置图案)不限定于图6A、图6B、图7A及图7B所示的例子。

多个粘合剂6优选的是至少在吸附对象物的吸附时与该对象物接触的区域中配置于多孔片2的上述一个面，更优选在上述区域的整体配置于多孔片2的上述一个面。

粘合剂6可以使用双面粘合片11的说明中上述交联后的粘合剂。

各粘合剂6的厚度例如为1～300μm。该厚度的上限可以为500μm以下、100μm以下、50μm以下、进一步10μm以下。粘合剂6的厚度处于这些范围的情况下，可以更可靠地得到上述效果。

垂直于多孔片2的一个面观察的各粘合剂6的面积例如为0.05mm

如图6A及图6B所示，以条纹状配置的各粘合剂6的宽度例如为0.1～5mm，可以为0.5～2mm。

多孔片2的上述一个面中的粘合剂6的占有率(从垂直于多孔片2的上述一个面的方向观察，配置于该面上的粘合剂6的面积的总计相对于上述一个面的面积所占的比率)例如为30％以上、可以为40％以上、45％以上、50％以上、55％以上、60％以上、进一步65％以上。占有率处于这些范围的情况下，层5及具备层5的吸附固定用片1可确保厚度方向的透气，并且可以更可靠地抑制面内方向的透气，由此，能够提高吸附固定用片1的被吸附力。占有率优选的是，至少在吸附对象物的吸附时在与该对象物接触的区域中处于这些范围。

从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，多个粘合剂6可以以恒定的间隔配置于该一个面。上述情况下，粘合剂6的配置的间隔例如为0.5～10mm，可以为1～5mm。图6A、图6B、图7A及图7B所示的例子中，进行这样的配置。粘合剂6的配置的间隔通常为最邻近的粘合剂6的中心间距离。如图6A和图6B所示那样，为以条纹状配置的粘合剂6的情况下，配置的间隔为相邻的粘合剂6的中心线间距离(间距)P2。另外，至少在利用吸附装置的吸附对象物的吸附时与该对象物接触的区域中，多个粘合剂6可以以恒定的间隔配置于该一个面。

从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，多个粘合剂6的形状和/或面积可以相同。图6A、图6B、图7A及图7B所示的例子中，多个粘合剂6的形状及面积相同。另外，至少在利用吸附装置的吸附对象物的吸附时与该对象物接触的区域中，从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，多个粘合剂6的形状和/或面积可以相同。

从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，各粘合剂6可以具有包围空间7的形状。另外，从垂直于多孔片2的一个面的方向观察，多个粘合剂6可以以在从吸附固定用片1的中心到周围的全部方向上至少1个、优选2个以上的粘合剂6位于该中心与周围之间的方式配置于上述一个面。这些情况下，层5及具备层5的吸附固定用片1可确保厚度方向的透气，并且可以更可靠地抑制面内方向的透气，由此，能够提高吸附固定用片1的被吸附力。

具备上述(2)的层作为粘合层3的吸附固定用片1例如可以通过在多孔片2的一个面以规定的图案配置粘合剂6而形成。将粘合剂6以规定的图案配置于转印片的表面后，将配置后的该粘合剂6转印至多孔片2的一个面，从而可以形成吸附固定用片1。具有规定的配置图案的粘合剂6的配置中可以使用例如能进行基于该图案的粘合剂6的配置的公知的涂布装置、例如具备垫板的槽模、分配器(液体定量排出装置)、各种印刷机。需要说明的是，利用具备梳型垫板的槽模，也可以将粘合剂6以条纹状配置于多孔片2的一个面。另外，利用分配器、凹版印刷机、旋转丝网印刷机，也可以将粘合剂6以点状配置于多孔片2的一个面。其中，吸附固定用片1的形成方法不限定于上述例子。

吸附固定用片1的厚度例如为0.065mm～6mm，可以为0.1mm～3.5mm、0.25mm～1.0mm。

吸附固定用片1的厚度方向的透气度用弗雷泽数表示，例如为0.1cm

吸附固定用片1中的多孔片2侧的面的表面电阻率例如为1.0×10

多孔片2侧的面的表面电阻率处于上述范围的吸附固定用片1例如可以通过对多孔片2实施抗静电处理来形成。作为抗静电处理，例如，可以采用对多孔片2涂布抗静电剂的方法。抗静电剂的涂布例如可以将包含抗静电剂的处理液涂布于多孔片2后，使涂布后的处理液干燥来实施。处理液的介质为不使多孔片2变质、并且在低于构成多孔片2的材料的熔点的干燥温度下挥散的介质，例如为乙醇等醇、水、有机溶剂。处理液可以还包含除抗静电剂以外的任意材料、例如紫外线吸收剂、脱模剂等添加剂。处理液的涂布可以通过公知的方法、例如流延法、浸渍法、辊涂法、凹版涂布法、丝网印刷法、逆转涂布法、喷涂法、吻合涂布(kiss coating)法、模涂布法、金属棒涂法、组合使用封闭式刮刀(chamber doctor)的涂布法、帘式涂布法、棒涂法来实施。干燥温度例如为50～130℃，优选为60～110℃。

抗静电剂例如为阳离子表面活性剂、阴离子表面活性剂、两性表面活性剂、非离子表面活性剂等各种表面活性剂，优选阳离子表面活性剂、阴离子表面活性剂、非离子表面活性剂。作为抗静电剂，也可以组合使用2种以上，优选不组合使用阳离子表面活性剂和阴离子表面活性剂。其中，抗静电剂不限定于表面活性剂。

作为抗静电剂可以使用的阳离子表面活性剂例如为烷基铵乙酸盐类、烷基二甲基苄基铵盐类、烷基三甲基铵盐类、二烷基二甲基铵盐类、烷基吡啶鎓盐类、氧亚烷基烷基胺类、聚氧亚烷基烷基胺类。

作为抗静电剂可以使用的阴离子表面活性剂例如为硬脂酸钠皂等脂肪酸钠皂类；月桂基硫酸钠等烷基硫酸盐类；α磺基脂肪酸酯盐类；烷基醚硫酸盐类；烷基苯磺酸钠类；烷基萘磺酸钠类；二烷基磺基琥珀酸盐类；烷基磷酸盐类；烷基二苯基醚二磺酸盐类。

作为抗静电剂可以使用的两性离子表面活性剂例如为烷基羧基甜菜碱类。

作为抗静电剂可以使用的非离子表面活性剂例如为聚氧乙烯烷基醚、山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺。

作为抗静电剂，可以使用市售品。作为市售品的抗静电剂例如为：

ADEKA(注册商标)Pluronic L·P·F系列、ADEKA(注册商标)Pluronic TR系列等聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物型非离子表面活性剂；

ADEKA TOL LB系列、ADEKA TOL LA系列、ADEKA TOL TN系列等烷基醚型非离子表面活性剂；

ADEKA NOL NK(甘油酯环氧乙烷加成物)等酯型非离子表面活性剂；

ADEKA TOL PC等特殊酚型非离子表面活性剂；

ADEKA HOPE系列等硫酸盐型阴离子表面活性剂；

ADEKA COL系列等磷酸酯型、或琥珀酸酯型的阴离子表面活性剂；

ADEKA MINE系列等4级阳离子型阳离子表面活性剂(以上为ADEKA制)；

ELECNON系列等阳离子表面活性剂(大日精化工业制)；

ELEC AC等两性表面活性剂(花王制)；及

EMULGEN系列、RHEODOL系列、EXCEL系列、AMIET系列等非离子性表面活性剂(花王制)。

吸附固定用片1的形状例如为包含正方形及长方形的多边形状、带状。其中，吸附固定用片1的形状不限定于上述例子。利用吸附固定用片1，该片1的面积大的情况下，也能够抑制吸附对象物的加工精度的降低。

吸附固定用片1的面积例如可以为50cm

吸附固定用片1只要可得到本发明的效果即可，也可以具有除多孔片2及粘合层3以外的构件。该构件例如为配置于作为露出面的粘合层3上的分隔件。分隔件在吸附固定用片1的流通时配置于该片1，在该片1的使用时(向吸附装置的吸附面的固定时)从多孔片2及粘合层3的层叠体剥离。吸附固定用片1可以至少在吸附对象物的吸附时与该对象物接触的区域中由多孔片2及粘合层3形成。

吸附对象物例如可以为金属片、玻璃片等具有自支持性的片，也可以为金属箔、塑料薄膜、陶瓷生片等不具有自立性的薄的片状体。其中，吸附对象物不限定于上述例子。不具有自立性的片状体其加工精度更容易降低，但通过使用吸附固定用片1，吸附这样的片状体的情况下，也能够抑制对该片状体的加工精度的降低。

[使用了吸附固定用片的吸附对象物的吸附]

图8中示出利用吸附面上固定有吸附固定用片1的吸附装置的吸附对象物的吸附工序。如(a)所示，利用粘合层3将吸附固定用片1固定于吸附装置的吸附单元51的吸附面52。然后，如(b)所示，使吸附单元51产生吸引力，借助吸附固定用片1对吸附对象物61进行吸附。

吸附装置及吸附单元51可以使用公知的装置及单元。吸附单元51的吸附面52通常为金属面。

在吸附面上固定有吸附对象物的状态下，可以对该吸附对象物实施任意加工。加工例如为加压加工。加压加工中，可以实施在固定于吸附面的状态下对吸附对象物进行加压的吸附加压工序。

实施例

以下，通过实施例更详细地对本发明进行说明。本发明不限定于以下的实施例。

首先，示出本实施例中制作的吸附固定用片的评价方法。

[真空到达压、面内方向的透气度、被吸附力]

制作好的吸附固定用片的真空到达压、被吸附力、及面内方向的透气度通过上述的方法进行评价。其中，作为评价对象的吸附固定用片的尺寸设为100mm×100mm，层叠于吸附固定用片的测定用片设为PET片(厚度25μm、尺寸100mm×100mm)。对于测定，将吸附固定片更可靠地固定于吸附固定台，由此出于提高测定精度的目的，使辊往返一次后，经过10分钟后实施。真空泵使用叶片泵(ORION Machinery Co.,LTD.制KRF40、到达压力(绝对压)86Pa、有效排气速度575L/分钟)。测定环境的温度设为25±10℃，相对湿度设为50％±20％。

[厚度方向的透气度]

制作好的吸附固定用片的厚度方向的透气度(弗雷泽数)依据JIS L1096：2010中规定的透气性测定A法(弗雷泽型法)而测定。

[表面电阻率]

制作的吸附固定用片中的多孔片侧的露出面的表面电阻率如下来评价：使用具备具有双环电极的URS探针的高电阻率计(Mitsubishi Chemical Analytech Co.,Ltd.制Hiresta MCP-HT450)，施加500V的电压，测定经过了30秒的时刻的表面电阻率。需要说明的是，表面电阻率的评价在25℃及相对湿度60％的气氛下依据JIS K6911：2006的规定来实施。

(实施例1)

作为多孔片2，准备UHMWPE颗粒的烧结片(日东电工株式会社制、SUNMAP、厚度0.30mm、尺寸100mm×100mm)。对准备好的烧结片的两面实施抗静电处理。准备好的多孔片的厚度方向的透气度用弗雷泽数表示，为6.0cm

最初，将丙烯酸2-乙基己酯95重量份、丙烯酸5重量份、作为有机过氧化物系交联剂的过氧化苯甲酰(BPO)0.2重量份和乙酸乙酯100重量份进行配混，实施利用氮气的置换2小时。接着，在利用氮气的置换环境下、以60℃进行6小时聚合，得到重均分子量80万的丙烯酸系聚合物。接着，相对于得到的丙烯酸系聚合物的固体成分100重量份，分别配混三官能性异氰酸酯化合物(商品名：CORONATE L、东曹制)和多官能环氧树脂(商品名：TETRAD-C、三菱瓦斯化学制)0.14重量份和0.007重量份，准备上述丙烯酸系粘合剂。

(实施例2)

在准备好的多孔片2中的一个面的整体以点状涂布丙烯酸系粘合剂，形成作为无基材的两面粘合层的粘合层3，除此以外，与实施例1同样地操作，得到实施例2的吸附固定用片。得到的吸附固定用片具备粘合层3(厚度7μm)，所述粘合层3是从垂直于多孔片2的上述一个面的方向观察而相对于该一个面以点状配置粘合剂6而成的。丙烯酸系粘合剂的涂布中使用凹版印刷机(凹版辊)。对于构成点的各丙烯酸系粘合剂的形状及尺寸，从垂直于上述一个面的方向观察，为直径0.92mm及厚度7μm的圆形，将最接近的丙烯酸系粘合剂的中心间距离即间距P1设为1.06mm。粘合剂的面积在多孔片的该一个面的面积中所占的比率(占有率)为68.1％。

(实施例3)

作为多孔片，准备实施例1中使用的UHMWPE颗粒的烧结片。与此不同的是，准备在PET的基材(厚度12μm)的两个面形成有丙烯酸系粘合剂层(厚度均为9μm)的片(日东电工株式会社制、No.5603、厚度30μm、尺寸100mm×100mm)作为双面粘合片。通过上述方法评价的丙烯酸系粘合剂层的凝胶分率为9％。接着，对准备好的双面粘合片，通过使用了模具的的加压加工，在垂直于表面的方向形成贯穿该片的多个贯穿孔。贯穿孔的截面及开口的形状设为圆形。换言之，形成的贯穿孔的形状为圆柱状。贯穿孔如图5所示，以从垂直于该片的面的方向观察位于正三角格子的交点的方式遍及该片的整体而形成。形成的各贯穿孔的直径(开口径)设为2.0mm，最接近的贯穿孔的中心间距离(间距)P1设为3.0mm。双面粘合片的开口率为40.3％。准备好的双面粘合片的基材及粘合剂层的厚度、以及双面粘合片的厚度通过对由显微镜得到的截面的观察图像进行解析来评价。

接着，使准备好的多孔片与双面粘合片以双面粘合片的粘合剂层接触多孔片的方式、并且两个片的外缘一致的方式接合，得到实施例3的吸附固定用片。

(比较例1)

通过变更垫板从而使构成条纹的各丙烯酸系粘合剂的宽度为1.1mm、厚度为21μm、间距P2为2.7μm，除此之外，与实施例1同样地得到具备无基材的双面粘合层作为粘合层的吸附固定用片，所述无基材的双面粘合层是从垂直于多孔片的一个面的方向观察而相对于该一个面以条纹状配置粘合剂而成的。粘合剂的面积相对于多孔片的该一个面的面积所占的比率(占有率)为41.5％。

(比较例2)

通过变更垫板从而使构成条纹的各丙烯酸系粘合剂的宽度为1.9mm、厚度为31μm、间距P2为3.1μm，除此之外，与实施例1同样地得到具备无基材的双面粘合层作为粘合层的吸附固定用片，所述无基材的双面粘合层是从垂直于多孔片的一个面的方向观察而相对于该一个面以条纹状配置粘合剂而成的。粘合剂的面积相对于多孔片的该一个面的面积所占的比率(占有率)为61.5％。

将对于实施例1～3及比较例1、2的吸附固定用片的上述各特性的评价结果示于以下的表1。需要说明的是，表1中，将各实施例及比较例中使用的多孔片单体的上述各特性、及将多孔片单体的被吸附力设为“1”时的各实施例及比较例的被吸附力的比(被吸附力率)一并示出。需要说明的是，对于相对于多孔片单体的真空到达压、面内方向的透气度及被吸附力的测定，不借助粘合层固定该片，仅将该片载置于吸附固定台21上，除此以外，通过上述方法实施。

[表1]

本发明的吸附固定用片可以用于与以往的吸附固定用片同样的用途。