一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车
文献发布时间:2023-06-19 11:00:24
技术领域
本发明属于半导体设备领域,尤其是涉及一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车。
背景技术
上料前,物料放置于固化区内,状态为:物料晶棒在下,料座在上。而上料后物料状态为晶棒在上,料座在下放置。因此每次上料前以及上料后,需要对物料进行翻转。每次完成翻转工作,则需要两名操作员同时动作。一方面无法完成单人工作,一方面容易引发事故,带来人身危险。
发明内容
有鉴于此,本发明旨在提出一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车,以解决上述的不足之处。
为达到上述目的,本发明的技术方案是这样实现的:
一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车,包括车架本体、翻转装置;
所述翻转装置设置在车架本体上;
所述翻转装置用于带动料座翻转;
所述翻转装置包括滚筒焊接件和转轴;
所述滚筒焊接件包括第一端板、第二端板、第三连接板、第四连接板和第五连接板;
所述第一端板和第二端板的外壁中心部位设置有转轴;
所述第三连接板、第四连接板和第五连接板设置在第一端板与第二端板之间;
所述翻转装置还包括固定单元;
所述固定单元包括可拆卸连接在第三连接板上表面的叉齿臂和可拆卸连接在第四连接板上表面的料座顶升锁紧板;
所述料座顶升锁紧板底部设有电动推杆;
所述电动推杆用于向上顶起料座顶升锁紧板。
进一步的,所述翻转装置还包括辅助单元;
所述辅助单元包括料座缓冲防滑块、旋转拉销和直线导向轴承;
所述第四连接板上表面可拆卸连接有料座缓冲防滑块和旋转拉销;
所述料座缓冲防滑块和旋转拉销用于辅助料座顶升锁紧板限位料座;
所述直线导向轴承贯穿第五连接板设置,用于导向料座顶升锁紧板。
进一步的,所述翻转装置还包括叉齿滚轮;
所述叉齿臂上表面向下凹陷形成用于放置叉齿滚轮的凹槽。
进一步的,所述车架本体包括升降装置;
所述升降装置包括升降焊接框和辅助轮;
所述升降焊接框内部设置有翻转装置;
所述翻转装置中转轴与升降焊接框通过旋转副连接;
所述升降焊接框左右两端的外侧壁上设置有用于辅助升降装置升降的辅助轮;
升降焊接框与车架本体滑动连接。
进一步的,所述车架本体还包括转动限位单元;
所述转动限位单元包括设置在第一端板和第二端板的外壁边缘部位的旋转限位块和设置在升降焊接框上的旋转限位传感器;
所述旋转限位传感器对应旋转限位块设置。
进一步的,所述车架本体还包括驱动单元;
所述驱动单元与转轴对应设置,用于带动翻转装置转动;
进一步的,所述车架本体包括控制单元;
所述控制单元设置在车架本体顶部。
进一步的,所述车架本体还包括刹车单元,用于脚刹制动翻转小车;
所述刹车单元设置在车架本体底部。
进一步的,所述车架本体还包括推车把手;
所述推车把手设置在车架本体上端。
相对于现有技术,本发明所述的一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车具有以下优势:
(1)本发明所述的一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车,能够实现工位单人化,减少人工参与。降低劳动强度,降低掉棒风险,提高操作安全性。适用于线切车间上下料对接翻转的工序。
附图说明
构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1为本发明实施例所述的小车整体示意图;
图2为本发明实施例所述的翻转装置示意图;
图3为本发明实施例所述的升降装置示意图。
附图标记说明:
1-车架本体;101-刹车单元;102-推车把手;2-滚筒焊接件;201-第一端板;2011-旋转限位块;202-第二端板;203-第三连接板;204-第四连接板;2041-料座缓冲防滑块;2042-旋转拉销;2043-直线导向轴承;205-第五连接板;3-转轴;4-叉齿臂;401-叉齿滚轮;5-料座顶升锁紧板;6-升降焊接框;601-旋转限位传感器;7-辅助轮;8-驱动单元;9-控制单元。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
如图1至图3所示,一种半导体线切机上料前全适应料座搬运翻转小车,其特征在于:包括车架本体1、翻转装置;
所述翻转装置设置在车架本体1上;
所述翻转装置用于带动料座翻转;
所述翻转装置包括滚筒焊接件2和转轴3;
所述滚筒焊接件2包括第一端板201、第二端板202、第三连接板203、第四连接板204和第五连接板205;
所述第一端板201和第二端板202的外壁中心部位设置有转轴3;
所述第三连接板203、第四连接板204和第五连接板205设置在第一端板201与第二端板202之间;
所述翻转装置还包括固定单元;
所述固定单元包括可拆卸连接在第三连接板203上表面的叉齿臂4和可拆卸连接在第四连接板204上表面的料座顶升锁紧板5;
所述料座顶升锁紧板5底部设有电动推杆;
所述电动推杆用于向上顶起料座顶升锁紧板5。
如图1至图3所示,所述翻转装置还包括辅助单元;
所述辅助单元包括料座缓冲防滑块2041、旋转拉销2042和直线导向轴承2043;
所述第四连接板204上表面可拆卸连接有料座缓冲防滑块2041和旋转拉销2042;
所述料座缓冲防滑块2041和旋转拉销2042用于辅助料座顶升锁紧板5限位料座;
所述直线导向轴承2043贯穿第五连接板205设置,用于导向料座顶升锁紧板5。
如图2所示,所述翻转装置还包括叉齿滚轮401;
所述叉齿臂4上表面向下凹陷形成用于放置叉齿滚轮401的凹槽。
如图1至图3所示,所述车架本体包括升降装置;
所述升降装置包括升降焊接框6和辅助轮7;
所述升降焊接框6内部设置有翻转装置;
所述翻转装置通过转轴3与升降焊接框6转动(旋转副)转动连接;
所述升降焊接框6左右两端的外侧壁上设置有用于辅助升降装置升降的辅助轮7;
升降焊接框6与车架本体1滑动连接。
如图1至图3所示,所述车架本体1还包括转动限位单元;
所述转动限位单元包括设置在第一端板201和第二端板202的外壁边缘部位的旋转限位块2011和设置在升降焊接框6上的旋转限位传感器601;
所述旋转限位传感器601对应旋转限位块2011设置。
如图1所示,所述车架本体还包括驱动单元8;
所述驱动单元8与转轴3对应设置,用于带动翻转装置转动;
如图1所示,所述车架本体1包括控制单元9;
所述控制单元9设置在车架本体1顶部。
如图1所示,所述车架本体1还包括刹车单元101,用于脚刹制动翻转小车;
所述刹车单元101设置在车架本体1底部。
如图1所示,所述车架本体1还包括推车把手102;
所述推车把手102设置在车架本体1上端。
补充说明:
滚筒焊接件6:翻转装置框架,中心安装转轴3,质心设计在旋转轴轴线上,降低翻转时的扭矩。
旋转限位块2011:设置旋转限位块,当旋转到位后,若软限位故障,则硬限位强制阻停,提高安全性。
叉齿臂4:用于对接取放物料用。
叉齿滚轮401:当对接物料后,需由操作员将物料推至翻转滚筒限位处。滚轮设置,方便操作员工作。
料座顶升锁紧板5:在锁紧电机下做升降运动,将物料抬升压紧。
料座缓冲防滑块2041:在料座顶升板上升锁紧时,做缓冲作用,保护物料损伤。其次在翻转过程中,增大摩擦,防止物料滑动。提高安全性。
转轴3:当装载物料后,整体重心设置在转轴轴线处。这样有效降低了翻转机构的所需转矩。
旋转拉销2042:当物料装载到位后,旋转拉销复位(手动)防止物料倒滑。安全防护措施。
旋转限位传感器601:软限位,当翻转滚筒翻转到位后,触发传感器,翻转动作停止。保证手动操作按钮时,机构动作精确。
升降焊接框6:支撑框体,翻转模块安装在升降框内,滚筒翻转动作与升降框分离。同时收集湿物料带来的砂石等。
驱动单元8:由蜗轮蜗杆组成,一方面增大电机转动扭力;一方面保持自锁力,当停电等其他故障时,翻转滚筒可以保持当前位置,提高安全性,防止事故发生。
辅助轮7:平衡升降系统各个方向的转矩,使机构运动更加平稳安全。
推车把手102:设置人体工程学高度,便于操作员操作。且前后均设有把手,便于翻转前后换方向推动小车。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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