调节方法及装置、检测设备、可读存储介质及检测系统

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种调节方法、调节装置、检测设备、非易失性计算机可读存储介质及检测系统。

背景技术

检测设备中，泵浦光需要照射到待测样品表面以激发待测样品产热，进一步形成声脉冲，检测光需要照射到待测样品表面以对待测样品进行检测，并且泵浦光的光斑与检测光的光斑需聚焦在待测样品同一点上，如果泵浦光的光斑与检测光的光斑无法照射在待测样品的同一个点上，无法准确地对样品进行检测。

发明内容

本申请实施方式提供一种调节方法、调节装置、检测设备、非易失性计算机可读存储介质及检测系统。

本申请实施方式的调节方法包括：调节光束质量分析仪的高度，使照射至所述光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至所述光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；根据所述第一中心和所述第二中心的相对位置，调节位于检测光路及\或泵浦光路的偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，使所述第一中心与所述第二中心重合；及根据测量到的所述光束质量分析仪的高度，调节承载样品的承载台的高度，使所述样品的表面的高度与所述光束质量分析仪的高度相同。

在某些实施方式中，所述调节光束质量分析仪的高度，使照射至所述光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至所述光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离，包括：放置所述光束质量分析仪至所述承载台；移动所述承载台，使得泵浦光与检测光入射于所述光束质量分析仪；按照预定步进调节所述光束质量分析仪，并确定每次调节后的所述第一中心和所述第二中心；及在所述第一中心和所述第二中心之间的距离小于或等于所述预设距离时，固定所述光束质量分析仪。

在某些实施方式中于，所述确定每次调节后的所述第一中心和所述第二中心，包括：关闭位于所述泵浦光路的第一进光窗；确定所述检测光斑的所述第二中心；关闭位于所述检测光路的第二进光窗；及确定所述泵浦光斑的所述第一中心。

在某些实施方式中，根据所述第一中心和所述第二中心的相对位置，调节位于检测光路及\或泵浦光路的偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，使所述第一中心与所述第二中心重合，包括：根据所述相对位置确定所述偏摆镜的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度；根据需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度，调节所述偏摆镜；及在所述第一中心与所述第二中心重合后，开启所述偏摆镜的闭环锁定，以锁定所述偏摆镜的位置。

在某些实施方式中，所述根据测量到的所述光束质量分析仪的高度，调节承载样品的承载台的高度，包括：控制高度测量仪测量所述光束质量分析仪的高度；移动所述承载台，使所述样品的表面进入所述高度测量仪的测量范围；控制所述高度测量仪测量所述样品的表面的高度；及根据所述样品的表面与所述光束质量分析仪的高度差，调节所述承载台的高度，使所述样品的表面的高度与所述光束质量分析仪的高度相同。

在某些实施方式中，所述调节方法还包括：每隔预定时长校准所述偏摆镜，使得所述样品的表面的所述第一中心和所述第二中心重合。

在某些实施方式中，所述每隔预定时长校准所述压电偏摆镜，包括：移动承载台，使泵浦光和检测光入射至所述光束质量分析仪；分别关闭所述检测光路的第二进光窗及所述泵浦光路的第一进光窗，以分别确定所述泵浦光斑的第一中心和所述检测光斑的第二中心；及在所述第一中心与所述第二中心未重合时，根据所述第一中心和所述第二中心之间的相对位置，调节所述偏摆镜的偏摆角度、俯仰角度及调节步进，以使所述第一中心与所述第二中心重合。

本申请实施方式的调节装置包括：第一调节模块、第二调节模块及第三调节模块，所述第一调节模块用于调节光束质量分析仪的高度，使照射在所述光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射在所述光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；所述第二调节模块用于根据所述第一中心和所述第二中心的相对位置，调节位于检测光路及\或泵浦光路的偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，使所述第一中心与所述第二中心重合；所述第三调节模块用于根据测量到的所述光束质量分析仪的高度，调节承载样品的承载台的高度，使所述样品的表面的高度与所述光束质量分析仪的高度相同。

本申请实施方式的检测设备包括：一个或多个处理器、存储器；和一个或多个程序，其中所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被所述一个或多个处理器执行，所述程序包括用于执行上述任一实施方式所述的调节方法的指令。

本申请实施方式的一种包含计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行上述任一实施方式所述的调节方法。

本申请实施方式的调节方法、调节装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质中，先调节光束质量分析仪，使得光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离，然后根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路及\或泵浦光路的偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，使得第一中心和第二中心可以重合，然后调节承载样品的承载台的高度，使得样品的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同，由此，样品上形成的检测光斑的第二中心和泵浦光斑的第一中心重合，从而可以获取到样品的光声信号，便于对样品进行准确检测。

本申请实施方式的检测系统包括：检测光路、泵浦光路及偏摆镜，检测光沿所述检测光路照射至样品，并在所述样品上形成检测光斑；泵浦光沿所述泵浦光路照射至所述样品，并在所述样品上形成泵浦光斑；所述检测光路和所述泵浦光路中的至少一个设置有所述偏摆镜，调节所述偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，能够使所述检测光斑和所述泵浦光斑重合。

在某些实施方式中，所述检测系统还包括与所述偏摆镜连接的控制器，所述控制器用于根据所述检测光斑的第二中心与所述泵浦光斑的第一中心的相对位置，调节所述偏摆镜的所述偏摆角度和\或所述俯仰角度。

在某些实施方式中，所述检测光路设置有所述偏摆镜，所述泵浦光路未设置有所述偏摆镜，调节所述偏摆镜能够调整所述检测光斑在所述样品上的位置。

在某些实施方式中，所述检测光路未设置有所述偏摆镜，所述泵浦光路设置有所述偏摆镜，调节所述偏摆镜能够调整所述泵浦光斑在所述样品上的位置。

在某些实施方式中，所述检测光路和所述泵浦光路分别设置有所述偏摆镜，调节位于所述检测光路的所述偏摆镜能够调整所述检测光斑在所述样品上的位置，调节位于所述泵浦光路的所述偏摆镜能够调整所述泵浦光斑在所述样品上的位置。

在某些实施方式中，所述偏摆镜包括压电偏摆镜。

本申请实施方式的检测系统中，在检测光路和泵浦光路中的至少一个中设置偏摆镜，通过调节偏摆镜的偏摆角度和\或俯仰角度，可以使得照射在样品上的检测光斑和泵浦光斑重合，进而可以根据检测光斑和泵浦光斑获取样品的厚度信息和缺陷信息。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的检测系统的检测原理示意图；

图5是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图6是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；

图7是本申请某些实施方式的调节装置的结构示意图；

图8是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图9是本申请某些实施方式的调节装置的第一调节模块的结构示意图；

图10是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图11是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图12是本申请某些实施方式的调节装置的第二调节模块的结构示意图；

图13是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图14是本申请某些实施方式的调节装置的第三调节模块的结构示意图；

图15是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图16是本申请某些实施方式的调节方法的流程示意图；

图17是本申请某些实施方式的调节装置的校准模块的结构示意图；

图18是本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质和处理器的连接关系示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

请参阅图1至图3，本申请实施方式的检测系统100包括检测光路11、泵浦光路12和偏摆镜13，检测光沿检测光路11照射至样品200，并在样品200上形成检测光斑，泵浦光沿泵浦光路12照射至样品200，并在样品200上形成泵浦光斑，检测光路11和泵浦光路12中的至少一个设置有偏摆镜13，调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，能够使检测光斑和泵浦光斑重合。

本申请实施方式的检测系统100中，在检测光路11和泵浦光路12中的至少一个中设置偏摆镜13，通过调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，可以使得照射在样品200上的检测光斑和泵浦光斑重合，进而可以根据检测光斑和泵浦光斑获取样品200的厚度信息和缺陷信息。

具体地，请参阅图1至图3，检测系统100包括检测光路11、泵浦光路12及偏摆镜13。

请参阅图1，在一些实施方式中，检测系统100还包括光源14及分束器15，光源14可以用于出射信号光，光源14可以是激光光源(例如飞秒激光光源)，光源14也可以是LED(light-emitting diode)光源，在此不做限制。分束器15可以设置在光源14的出射侧，分束器15可以将光源14出射的信号光分成检测光和泵浦光，然后检测光可以经检测光路11传输至样品200，泵浦光可以经泵浦光路12传输至样品200。由此，本实施例通过设置分束器15，可以设置一个光源14而实现出射检测光和泵浦光。

分束器15可以按照分光比例将信号光分成检测光和泵浦光。不同的分束器15的分光比例可以不同，可以根据实际需求选用对应比例的分束器15进行分光。例如，一个分束器15可以将50％的信号光分成检测光，将50％的信号光分成泵浦光；另一个分束器15可以将60％的信号光分成检测光，将40％的信号光分成泵浦光；再一个分束器15可以将55％的信号光分成检测光，将45％的信号光分成泵浦光。还可以存在其他分光比例的分束器15，在此不一一列举。

当然，还可以使用其他光学元件替代分束器15实现分光功能，例如半反半透镜，光源14出射的信号光经半反半透镜后，50％的信号光可以被半反半透镜反射而形成检测光，50％的信号光可以被半反半透镜透射而形成泵浦光；还例如偏振分光件，信号光穿过偏振分光件时，信号光中沿第一方向偏振的光线(例如S偏振光)被偏振分光件反射而形成检测光，信号光中沿第二方向偏振的光线(例如P偏振光)可以穿过偏振分光件而形成泵浦光。

在另一些实施方式中，未图示，检测系统100还包括检测光光源和泵浦光光源，检测光光源可以出射检测光，泵浦光光源可以出射泵浦光。本实施例中，可以不设置分束器15等分光元件，并且，检测光和泵浦光的功率可以实现单独调节。其中，检测光光源和泵浦光光源可以是激光光源或LED光源。

请参阅图1及图2，偏摆镜13可以具有偏摆角度和俯仰角度，调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度可以改变光线的传播方向。其中，调节偏摆镜13可以是人为手工直接调节，也可以人为间接调节，例如通过输入控制指令调节偏摆镜13。偏摆镜13可以是压电偏摆镜、音圈电机偏摆镜、电磁偏摆镜等，在此不一一列举。在一个例子中，偏摆镜13为压电偏摆镜，压电偏摆镜调节方便，响应较快。

在一些实施方式中，检测光路11中设置有偏摆镜13，泵浦光路12中未设置有偏摆镜13，如图1所示，检测光在沿检测光路11传输的过程中将可以到达偏摆镜13，进而检测光可以被偏摆镜13改变传播方向，调整偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度可以改变检测光的传播方向，进而可以调整检测光斑在样品200上的位置。具体地，本实施例中，样品200上的泵浦光斑的位置固定不动，调节偏摆镜13可以调节检测光斑的位置，使得检测光斑逐渐靠近于泵浦光斑，进而检测光斑可以和泵浦光斑重合。其中，偏摆镜13可以设置于检测光路11的任意位置，在此不做限制，在一个例子中，偏摆镜13位于检测光路11中最靠近样品200的光路中。

在另一些实施方式中，检测光路11中未设置有偏摆镜13，泵浦光路12中设置有偏摆镜13，如图2所示，泵浦光在沿泵浦光路12传输的过程中可以到达偏摆镜13，调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度可以改变泵浦光的传播方向，进而调整泵浦光斑在样品200上的位置。具体地，在本实施例中，样品200上的检测光斑的位置固定不动，通过调节压电偏摆镜13可以使得泵浦光斑逐渐靠近检测光斑，使得泵浦光斑和检测光斑可以重合。其中，偏摆镜13可以设置于泵浦光路12中的任意位置，在此不做限制，在一个例子中，偏摆镜13位于泵浦光路12中最靠近样品200的光路中。

然而，在检测光斑和泵浦光斑之间的距离较大时，如果只是检测光路11或者泵浦光路12中设置有偏摆镜13，调节偏摆镜13可能无法使得检测光斑和泵浦光斑重合。因此，在再一些实施方式中，偏摆镜13的数量可以为两个，分别为第一偏摆镜131和第二偏摆镜132，第一偏摆镜131可以设置在检测光路11中，第二偏摆镜132可以设置在泵浦光路12中，如图3所示。检测光在沿检测光路11传输的过程中，检测光可以到达第一偏摆镜131，调节第一偏摆镜131可以改变检测光的传输方向，进而改变检测光斑在样品200上的位置；泵浦光在沿泵浦光路12传输的过程中，泵浦光可以到达第二偏摆镜132，调节第二偏摆镜132可以改变泵浦光的传输方向，进而改变泵浦光斑在样品200上的位置。

进一步地，可以先固定第一偏摆镜131，使得检测光斑固定不动，然后调节第二偏摆镜132，使得泵浦光斑逐渐靠近于检测光斑，直至泵浦光斑无法继续靠近检测光斑时固定第二偏摆镜132，调节第一偏摆镜131，使得检测光斑逐渐靠近于泵浦光斑，直至检测光斑与泵浦光斑重合后，固定第一偏摆镜131。或者，可以先固定第二偏摆镜132，使得泵浦光斑固定不动，然后调节第一偏摆镜131，使得检测光斑逐渐靠近于泵浦光斑，直至检测光斑无法继续靠近泵浦光斑时固定第一偏摆镜131，调节第二偏摆镜132，使得泵浦光斑逐渐靠近于检测光斑，直至泵浦光斑与检测光斑重合后，固定第二偏摆镜132。

需要说明的是，上述实施例中，调节偏摆镜13、调节第一偏摆镜131和调节第二偏摆镜132可以指的是调节偏摆镜13、第一偏摆镜131和第二偏摆镜132的偏摆角度，也可以指的是调节偏摆镜13、第一偏摆镜131和第二偏摆镜132的俯仰角度，还可以指的是调节偏摆镜13、第一偏摆镜131和第二偏摆镜132的俯仰角度和偏摆角度。

请参阅图1至图2，检测系统100还包括与偏摆镜13连接的控制器16，控制器16可以用于根据检测光斑和泵浦光斑的相对位置，调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度。具体地，可以识别检测光斑的第二中心和泵浦光斑的第一中心，然后确定第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标，然后控制器16可以根据第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标，调节偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，通过控制器16可以自动调节偏摆镜13，使得检测光斑可以和泵浦光斑重合，避免了人工调节。

请结合图3，在检测光路11设置有第二偏摆镜132，和泵浦光路12设置有第一偏摆镜131时，控制器16的数量可以为两个，一个控制器16与第一偏摆镜131连接，用于调节第一偏摆镜131，另一个控制器16与第二偏摆镜132连接，用于调节第二偏摆镜132。

更具体地，在一个例子中，请结合图4，偏摆镜13设置在检测光路11中，控制器16调节偏摆镜13的偏摆角度时，检测光斑G1可以沿X方向移动；控制器16调节偏摆镜13的俯仰角度时，检测光斑G1可以沿Y方向移动。假设检测光斑G1的第二中心A的位置坐标为(x

请参阅图1，检测系统100还可包括第一回射器17、第一反射镜18、第二反射镜19、第三反射镜20及探测器21，第一回射器17、第一反射镜18、第二反射镜19依次设置在泵浦光路12中，分束器15分出的泵浦光入射至第一回射器17，第一回射器17可以沿与入射方向相反的方向将入射的泵浦光反射至第一反射镜18，第一反射镜18反射泵浦光至第二反射镜19，第二反射镜19反射泵浦光至样品200并在样品200上形成泵浦光斑，样品200反射泵浦光至第三反射镜20，第三反射镜20可以反射泵浦光至探测器21。

进一步地，请参阅图1，检测系统100还可包括第一透镜22和第二透镜23。第一透镜22可以设置在第二反射镜19和样品200之间，第一透镜22可以会聚第二反射镜19反射的泵浦光至样品200。第二透镜23可以设置在样品200和第三反射镜20之间，第三反射镜20可以起到准直作用，使得样品200反射的泵浦光可以被第三反射镜20准直为平行光入射至第三反射镜20，避免了未设置第二透镜23时部分泵浦光被第三反射镜20反射出泵浦光路12而未进入到探测器21中。

如果在泵浦光路12中设置偏摆镜13，偏摆镜13可以设置在第二反射镜19和第一透镜22之间，未图示；或者，可以不设置第二反射镜19，将偏摆镜13设置在第二反射镜19的位置，如图2及图3所示。当然，偏摆镜13还可以设置在泵浦光路12中的其他位置，在此不一一列举。

请参阅图1至图3，在某些实施方式中，检测系统100还包括第一进光窗24，第一进光窗24可以设置于泵浦光路12中。具体地，第一进光窗24可以设置在分束器15和第一回射器17之间，第一进光窗24也可以设置在第一回射器17和第一反射镜18之间，第一进光窗24还可以设置在第一反射镜18和第二反射镜19之间，如图1至图3所示。关闭第一进光窗24可以起到阻止泵浦光的传输，泵浦光无法照射在样品200上，使得样品200上不会出现泵浦光斑；开启第一进光窗24时泵浦光可以正常传输至样品200，在样品200上可以形成泵浦光斑。

需要说明的是，泵浦光路12并不局限于上述实施例的光路结构，还可以是其他结构的光路，在此不做限制。

请参阅图2，检测系统100还可包括第四反射镜25、第二回射器26和第五反射镜27，分束器15形成的检测光到达第四反射镜25，然后第四反射镜25可以反射检测光至第二回射器26，然后第二回射器26可以沿与检测光入射方向相反的方向反射检测光至第五反射镜27，然后第五反射镜27可以将检测光反射至样品200并在样品200上形成检测光斑，然后样品200可以将检测光反射至第三反射镜20，然后第三反射镜20可以将检测光反射至探测器21，探测器21可以根据接收到的检测光对样品200进行成像。

进一步地，检测系统100还可包括第三透镜28，第三透镜28设置于第五反射镜27和样品200之间，第三透镜28可以会聚第五反射镜27反射的检测光至样品200上，并在样品200上形成检测光斑。第二透镜23还可以用于准直样品200反射的检测光，使得到达第三反射镜20的检测光为平行光，如此，可以避免非平行的检测光到达第三反射镜20而被第三反射镜20朝多个方向反射进入到探测器21的检测光较少的情况。

如果检测光路11设置有偏摆镜13，偏摆镜13可以设置在第五反射镜27和样品200之间；或者，检测光路11可以不设置第五反射镜27，在第五反射镜27的位置处设置偏摆镜13，如图1和图3所示，所示第四反射镜25反射的光线可以到达偏摆镜13，偏摆镜13可以反射第四反射镜25反射的检测光至样品200，调节偏摆镜13的俯仰角度和\或偏摆角度可以改变检测光斑在样品200上的位置。

更进一步地，请参阅图1至图3，检测系统100还可包括第二进光窗29，第二进光窗29可以设置于检测光路11中，第二进光窗29可以阻止及允许检测光通过第二进光窗29。开启第二进光窗29时，检测光可以穿过第二进光窗29到达样品200；关闭第二进光窗29时，检测光可以被第二进光窗29遮挡，从而检测光无法到达样品200，更无法在样品200上形成检测光斑。具体地，第二进光窗29可以设置在分束器15和第四反射镜25之间，第二进光窗29也可以设置在第四反射镜25和第二回射器26之间，第二进光窗29还可以设置在第二回射器26和第五反射镜27(或偏摆镜13)之间。

检测光和泵浦光均照射在样品200上时，检测光斑和泵浦光斑可能存在交叉的部分，使得无法准确确定检测光斑和泵浦光斑的位置，因此可以关闭第二进光窗29以阻止检测光照射在样品200上，使得样品200上只形成有泵浦光斑，便于准确确认泵浦光斑的位置。或者，可以关闭第一进光窗24以阻止泵浦光照射在样品200上，使得样品200上只形成有检测光斑，进而可以准确确认检测光斑的位置。

请参阅图1至图3，检测系统100还可包括电光调制器30(Electro-OpticModulator，EOM)、函数发生器31(Function Genetator)、锁相放大器32(Lock-inAmplifier，LIA)及数据处理器33(Data Processing)，电光调制器30与函数发生器31连接，锁相放大器32与函数发生器31、探测器21及数据处理器33均连接，电光调制器30设置在泵浦光路12中，电光调制器30用于调制泵浦光，可以对泵浦光的相位、幅度、强度以及偏振状态等参数中的一个或多个进行调制，函数发生器31可以将目标调制函数发送至电光调制器30，以使电光调制器30可以按照目标调制函数调制泵浦光，探测器21可以获取样品200反射的光线并生成检测图像，锁相放大器32可以记录函数发生器31发送至电光调制器30的目标调制函数，然后依据目标调制函数过滤探测器21检测到的光信号，进而提高信噪比。数据处理器33则可以根据锁相放大器32过滤后的光信号识别样品200是否存在缺陷、缺陷的具体位置等功能。

请参阅图5至图7，本申请还提供了一种调节方法、调节装置300和检测设备400。

请结合图1至图3，本申请实施方式的调节方法包括以下步骤：

01：调节光束质量分析仪的高度，使照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；

02：根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合；

03：根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品200的承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。

本申请实施方式的调节装置300包括第一调节模块310、第二调节模块320和第三调节模块330，第一调节模块310、第二调节模块320和第三调节模块330可以分别用于实现步骤01、步骤02和步骤03。即，第一调节模块310可以用于调节光束质量分析仪的高度，使照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；第二调节模块320可以用于根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合，第三调节模块330可以用于根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品200的承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。

本申请实施方式的检测设备400包括一个或多个处理器410、存储器420和一个或多个程序，其中一个或多个程序被存储在存储器420中，并且被一个或多个处理器410执行，程序包括用于执行本申请实施方式的调节方法的指令。即，处理器410执行程序时，处理器410可以用于实现步骤01、步骤02和步骤03。即，处理器410可以用于：调节光束质量分析仪的高度，使照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合；根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品200的承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。

本申请实施方式的调节方法、调节装置300及检测设备400中，先调节光束质量分析仪，使得光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离，然后根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使得第一中心和第二中心可以重合，然后调节承载样品200的承载台的高度，使得样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同，由此，样品200上形成的检测光斑的第二中心和泵浦光斑的第一中心重合，从而可以获取到样品200的光声信号，便于对样品200进行准确检测。

具体地，样品200可以指的是待检测件，样品200可以是面板(例如LCD屏、OLED屏等)、晶圆、背壳、芯片、膜层等元件，在此不一一列举。检测设备400可以是面板检测设备，可以检测面板是否存在缺陷；检测设备400也可以是晶圆检测设备，可以检测晶圆是否存在缺陷，检测晶圆的厚度；检测设备也可以是背壳检测设备，可以检测背板是否存在缺陷。当然，检测设备400还可以是其他类型的检测设备，在此不一一列举。

在步骤01中，其中，请结合图1至图3，光束质量分析仪可以和样品200分别放置在两个承载台上，两个承载台可以共同连接于一个转轴，移动承载光束质量分析仪的承载台，可以切换光束质量分析仪位于检测光路11和泵浦光路12中，泵浦光和检测光可以照射至光束质量分析仪或样品200并在光束质量分析仪上形成泵浦光斑和检测光斑，然后可以继续调节光束质量分析仪的高度，使得泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离后，不再调节光束质量分析仪。其中，预设距离可以为较小的数值，例如预设距离可以为0等数值，或者预设距离为调节检测光路11和\或泵浦光路12中的偏摆镜13所能移动检测光斑和\或泵浦光斑的最大移动距离，或者预设距离小于调节检测光路11和\或泵浦光路12中的偏摆镜13所能移动检测光斑和\或泵浦光斑的最大移动距离，以使后续步骤中调节偏摆镜13能够使得泵浦光斑和检测光斑重合。

在步骤02中，在第一中心和第二中心之间的距离小于预设距离时，可以分别确定第一中心和第二中心的位置坐标，然后可以根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合。具体地，若偏摆镜13设置于检测光路11中，如图1所示，则调节位于检测光路11的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使得光束质量分析仪上的第一中心(泵浦光斑的中心)和第二中心(检测光斑的中心)重合。若偏摆镜13设置于泵浦光路12中，如图2所示，则调节位于泵浦光路12中的偏摆角度和\或俯仰角度，使得光束质量分析仪上的第一中心(泵浦光斑的中心)和第二中心(检测光斑的中心)重合，进而泵浦光斑和检测光斑重合。通过使用光束质量分析仪作为参考物，使得可以较准确地确定如何调节偏摆镜13。其中，偏摆镜13可以是压电偏摆镜13。

若偏摆镜13同时设置于泵浦光路12和检测光路11中，如图3所示，则可以调节泵浦光路12的第一偏摆镜131和\或检测光路11中的第二偏摆镜132，使得光束质量分析仪上的第一中心(泵浦光斑的中心)和第二中心(检测光斑的中心)重合。例如，根据第一中心和第二中心的相对位置，计算得到可以只调节第一偏摆镜131或第二偏摆镜132即可使得第一中心和第二中心重合，则可以调节第一偏摆镜131或第二偏摆镜132；或者，根据第一中心和第二中心的相对位置，计算得到调节第一偏摆镜131或第二偏摆镜132无法使得第一中心和第二中心重合，则可以调节第一偏摆镜131和第二偏摆镜132。

更具体地，可以根据第一中心和第二中心的相对位置，计算调节偏摆镜13的偏摆角度的大小及俯仰角度的大小，以及每次调节偏摆镜13的偏摆角度的步进及俯仰角度的步进，以便于可以准确调整偏摆镜13使得第一中心和第二中心精准重合。

在一个例子中，请结合图1及图4，偏摆镜13设置在检测光路11中，调节偏摆镜13的偏摆角度时，检测光斑G1可以沿X方向移动；调节偏摆镜13的俯仰角度时，检测光斑G1可以沿Y方向移动。假设检测光斑G1的第二中心A的位置坐标为(xa，ya)，泵浦光斑G2的第一中心B的位置坐标为(xb，yb)；如果xa和xb相同，ya和yb不同，则可以调整偏摆镜13的俯仰角度，使得检测光斑G1可以朝Y方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得xa和xb相同，ya和yb相同；如果xa和xb不同，ya和yb相同，则可以调整偏摆镜13的偏摆角度，使得检测光斑G1可以朝X方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得xa和xb相同，ya与yb相同；如果xa和xb不同，ya和yb不同，则可以先调整偏摆镜13的俯仰角度，使得检测光斑G1可以朝Y方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得ya和yb相同；然后可以调整偏摆镜13的偏摆角度，使得检测光斑G1可以朝X方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得xa和xb相同；或者可以先调整偏摆镜13的偏摆角度，使得检测光斑G1可以朝X方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得xa和xb相同；然后可以调整偏摆镜13的俯仰角度，使得检测光斑G1可以朝Y方向且靠近泵浦光斑G2移动，使得ya和yb相同。

其中，偏摆镜13设置在泵浦光路12中，及检测光路11和泵浦光路12中均设置偏摆镜13，偏摆镜13的调节原理可以和偏摆镜13设置在检测光路11中的调节原理相同或者近似相同，在此不做限制。

在步骤03中，根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品200的承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。在步骤01中，光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离后，可以通过高度测量仪等测量仪器测量并且记录光束质量分析仪的高度。然后可以撤去光束质量分析仪，调节承载样品200的承载台的高度，使得样品200的表面的高度和高度质量分析仪的高度相同，由于在步骤02中已经调节了偏摆镜13使得泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心重合，则此时照射在样品200上的泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心重合，进而可以获取到样品200反射的光声信号，从而可以对样品200进行准确的检测。

请参阅图8及图9，在某些实施方式中，步骤01包括以下步骤：

011：放置光束质量分析仪至承载台；

012：移动承载台，使得泵浦光与检测光入射于光束质量分析仪；

013：按照预定步进调节光束质量分析仪，并确定每次调节后的第一中心和第二中心；及

014：在第一中心和第二中心之间的距离小于或等于预设距离时，固定光束质量分析仪。

在某些实施方式中，第一调节模块310包括放置单元311、第一移动单元312、第一调节单元313及固定单元314，放置单元311、第一移动单元312、第一调节单元313及固定单元314可以分别用于实现步骤011、步骤012、步骤013和步骤014。也即是说，放置单元311可以用于放置光束质量分析仪至承载台，第一移动单元312可以用于移动承载台，使得泵浦光与检测光入射于光束质量分析仪，第一调节单元313可以用于按照预定步进调节光束质量分析仪，并确定每次调节后的第一中心和第二中心，固定单元314可以用于第一中心和第二中心之间的距离小于或等于预设距离时，固定光束质量分析仪。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：放置光束质量分析仪至承载台；移动承载台，使得泵浦光与检测光入射于光束质量分析仪；按照预定步进调节光束质量分析仪，并确定每次调节后的第一中心和第二中心；及在第一中心和第二中心之间的距离小于或等于预设距离时，固定光束质量分析仪。也即是说，处理器410还可以用于实现步骤011、步骤012、步骤013和步骤014。

具体地，可以通过机械手等结构将光束质量分析仪放置在承载台上，进而可以移动承载台使得泵浦光和检测光可以入射于光束质量分析仪并分别形成泵浦光斑和检测光斑，以便于可以根据光束质量分析仪上的泵浦光斑和检测光斑的相对位置，确定调节光束质量分析仪的预定步进。例如，在泵浦光斑和检测光斑相距较远时，预定步进可以较大；在泵浦光斑和检测光斑相距较近时，预定步进可以较小。

进而可以根据预定步进调节光束质量分析仪，并且确定每次调节后的第一中心和第二中心的位置，以确定是否需要进行调节光束质量分析仪。如果第一中心和第二中心之间的距离小于或等于预设距离时，则固定光束质量分析仪不再调节光束质量分析仪。

请参阅图9及图10，在某些实施方式中，步骤013包括以下步骤：

0131：关闭位于泵浦光路12的第一进光窗24；

0132：确定检测光斑的第二中心；

0133：关闭位于检测光路11的第二进光窗29；及

0134：确定泵浦光斑的第一中心。

在某些实施方式中，第一调节单元313还可以用于：关闭位于泵浦光路12的第一进光窗24；确定检测光斑的第二中心；关闭位于检测光路11的第二进光窗29；及确定泵浦光斑的第一中心。也即是说，第一调节单元313还可以用于实现步骤0131、步骤0132、步骤0133和步骤0134。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：关闭位于泵浦光路12的第一进光窗24；确定检测光斑的第二中心；关闭位于检测光路11的第二进光窗29；及确定泵浦光斑的第一中心。也即是说，处理器410还可以用于实现步骤0131、步骤0132、步骤0133和步骤0134。

具体地，光束质量分析仪上同时照射有检测光和泵浦光，检测光斑和泵浦光斑可能存在交叠或者干扰等，导致无法准确地确认检测光斑和泵浦光斑的位置，更无法确定泵浦光斑的第一中心的位置和检测光斑的第二中心的位置。因此，在需要确定检测光斑的第二中心的具体位置时，可以关闭位于泵浦光路12的第一进光窗24，使得泵浦光无法照射至光束质量分析仪，光束质量分析仪上只有检测光斑，如此可以准确确定检测光斑的第二中心的位置；在需要确定泵浦光斑的第一中心的位置时，可以关闭位于检测光路11的第二进光窗29，使得检测光无法照射至光束质量分析仪，光束质量分析仪上只有泵浦光斑，如此可以准确确定泵浦光斑的第一中心的位置。通过准确确定第一中心和第二中心的位置关系，以便于准确调节光束质量分析仪，同时还为后续步骤中调节偏摆镜13提供了较好的基础。

本实施例中，可以先执行步骤0131和步骤0132，然后执行步骤0133和步骤0134；也可以先执行步骤0133和步骤0134，然后执行步骤0131和步骤0132；在此不做限制。

请参阅图11及图12，在某些实施方式中，步骤02包括以下步骤：

021：根据相对位置确定偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度；

022：根据需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度，调节偏摆镜13；及

023：在第一中心与第二中心重合后，开启偏摆镜13的闭环锁定，以锁定偏摆镜13的位置。

在某些实施方式中，第二调节模块320包括确定单元321、第二调节单元322及开启单元323。确定单元321可以用于根据相对位置确定偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度；第二调节单元322可以用于根据需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度，调节偏摆镜13；开启单元323可以用于在第一中心与第二中心重合后，开启偏摆镜13的闭环锁定，以锁定偏摆镜13的位置。即，确定单元321、第二调节单元322及开启单元323可以分别用于实现步骤021、步骤022和步骤023。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：根据相对位置确定偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度；根据需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度，调节偏摆镜13；及在第一中心与第二中心重合后，开启偏摆镜13的闭环锁定，以锁定偏摆镜13的位置。也即是说，处理器410还可以用于实现步骤021、步骤022和步骤023。

具体地，固定光束质量分析仪后，未调节偏摆镜13时，照射在光束质量分析仪上检测光斑和泵浦光斑不会移动，为了准确地调节偏摆镜13，可以分别确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心，具体可以确定第一中心和第二中心的坐标信息，然后可以根据第一中心的坐标和第二中心的坐标，确定第一中心和第二中心的相对位置。

进而可以根据第一中心和第二中心的相对位置确定偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度，以便于根据需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度调节偏摆镜13，使得第一中心和第二中心可以重合在一起。调节偏摆镜13至第一中心和第二中心重合后，可以开启偏摆镜13的闭环锁定，则偏摆镜13将固定不动，以避免偏摆镜13摆动导致第一中心和第二中心无法重合。例如，在一个例子中，根据第一中心和第二中心的相对位置后确定只需调节偏摆镜13的俯仰角，则只需确定偏摆镜13的需调节俯仰角度；在另一个例子中，根据第一中心和第二中心的相对位置后确定只需调节偏摆镜13的偏摆镜13，则只需确定偏摆镜13的需调节偏摆角度；在又一个例子中，根据第一中心和第二中心的相对位置后确定需调节偏摆镜13的俯仰角和偏摆角，则需确定偏摆镜13的需调节俯仰角度和需调节偏摆角度。

在一个实施例中，第一中心和第二中心的相对位置与偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度可以呈预设的映射关系。例如，第一中心的位置坐标为(x1，y1)，第二中心的位置坐标为(x2，y2)，则第一中心和第二中心的相对位置为(Δx，Δy)，映射关系可以为需调节的偏摆角度为yaw＝(Δx，Δy)，需调节的俯仰角度为pitch＝(Δx，Δy)，则根据第一中心和第二中心的相对位置为(Δx，Δy)可以确定偏摆镜13的需调节偏摆角度和\或需调节俯仰角度。

进一步地，确定需调节偏摆角度yaw和需调节俯仰角度pitch后，还可以进一步确定需调节偏摆角和俯仰角的次数，以及每次调节的偏摆角的步进角度和俯仰角的步进角度，然后可以根据计算的偏摆角的步进角度和俯仰角的步进角度调节偏摆镜13，直至第一中心和第二中心重合后固定偏摆镜13。

请参阅图13及图14，在某些实施方式中，步骤03包括以下步骤：

031：控制高度测量仪测量光束质量分析仪的高度；

032：移动承载台，使样品200的表面进入高度测量仪的测量范围；

033：控制高度测量仪测量样品200的表面的高度；及

034：根据样品200的表面与光束质量分析仪的高度差，调节承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。

在某些实施方式中，第三调节模块330包括第一控制单元331、第二移动单元332、第二控制单元333和第三调节单元334。第一控制单元331可以用于控制高度测量仪测量光束质量分析仪的高度；第二移动单元332可以用于移动承载台，使样品200的表面进入高度测量仪的测量范围；第二控制单元333可以用于控制高度测量仪测量样品200的表面的高度；第三调节单元334可以用于根据样品200的表面与光束质量分析仪的高度差，调节承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。即，第一控制单元331、第二移动单元332、第二控制单元333和第三调节单元334可以分别用于实现步骤031、步骤032、步骤033和步骤034。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：控制高度测量仪测量光束质量分析仪的高度；移动承载台，使样品200的表面进入高度测量仪的测量范围；控制高度测量仪测量样品200的表面的高度；及根据样品200的表面与光束质量分析仪的高度差，调节承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。即，处理器410可以用于实现步骤031、步骤032、步骤033和步骤034。

具体地，可以控制高度测量仪测量光束质量分析仪当前的高度，高度测量仪可以通过激光三角测量法测量光束质量分析仪的高度，并且记录测量到的高度数据。然后移动承载台，使得样品200的表面进入到高度测量仪的测量范围，以使高度测量仪可以测量到样品200的表面的高度，可以控制高度测量仪测量样品200的表面的高度。进而可以计算样品200的表面的高度和光束测量分析仪之间的高度差，然后根据高度差调节承载台的高度，使得样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同，由于偏摆镜13已经固定不动，则此时照射在样品200的表面的检测光斑的第二中心和泵浦光斑的第一中心重合，如此，后续检测过程中，均可以获取到样品200反射的光声信号，然后可以较准确地对样品200进行检测。

更具体地，在一个实施例中，在步骤01中，调节光束质量分析仪的高度，使得照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离时，由于步骤02中调节的为偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，可以理解，在步骤02中光束质量分析仪的高度未发生变化，当然，并不排除在步骤02中微调了光束质量分析仪的高度。因此，在泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心重合后，可以测量光束质量分析仪的高度，通过光束质量分析仪测量光束质量分析仪的高度为H1，高度测量仪测量到样品200的表面的高度为H2，则样品200的表面与光束质量分析仪的高度差ΔH＝H2-H1，则可以沿承载台的Z轴方向移动承载台ΔH，使得样品200的表面的高度H2＝H1，此时照射在样品200的表面的检测光斑的第二中心和泵浦光斑的第一中心重合。

请参阅图7及图15，在某些实施方式中，调节方法还包括一下步骤：

04：每隔预定时长校准偏摆镜13，使得样品200的表面的第一中心和第二中心重合。

在某些实施方式中，调节装置300还包括校准模块340，校准模块340可以用于每隔预定时长校准偏摆镜13，使得样品200的表面的第一中心和第二中心重合。也即是说，校准模块340可以用于实现步骤04。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：每隔预定时长校准偏摆镜13，使得样品200的表面的第一中心和第二中心重合。即，处理器410还可以用于实现步骤04。

具体地，在对检测设备400通过步骤01、步骤02和步骤03进行调节后，检测光斑和泵浦光斑可以会聚至样品200的同一点，然而，在检测设备400工作一段时间后，检测光路11和\或泵浦光路12中的元器件可能会发生较小的偏移，导致样品200表面上的检测光斑和泵浦光斑未照射在样品200的同一个点上，因此，需要每隔预定时长校准一次偏摆镜13，使得照射在样品200的表面的泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心可以重合，进而使得检测设备400在长时间的工作中，照射至样品200的表面的泵浦光斑和检测光斑可以一直会聚在同一点，以便于可以一直对样品200进行检测。

其中，预定时长可以根据检测设备400的每天的工作时长确定，例如检测设备400每天的工作时长越长，则预定时长越短；或者，预定时长可以是固定时长，例如三天、五天、七天、十天、十五天等固定时长，在此不做限制。校准偏摆镜13可以指的是校准偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度。

进一步地，请参阅图16及图17，在某些实施方式中，步骤04包括以下步骤：

041：移动承载台，使泵浦光和检测光入射至光束质量分析仪；

042：分别关闭检测光路11的第二进光窗29及泵浦光路12的第一进光窗24，以分别确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心；及

043：在第一中心与第二中心未重合时，根据第一中心和第二中心之间的相对位置，调节偏摆镜13的偏摆角度、俯仰角度及调节步进，以使第一中心与第二中心重合。

在某些实施方式中，校准模块340包括第三移动单元341、关闭单元342和第四调节单元343。第三移动单元341可以用于移动承载台，使泵浦光和检测光入射至光束质量分析仪；关闭单元342可以用于分别关闭检测光路11的第二进光窗29及泵浦光路12的第一进光窗24，以分别确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心；第四调节单元343可以用于：在第一中心与第二中心未重合时，根据第一中心和第二中心之间的相对位置，调节偏摆镜13的偏摆角度、俯仰角度及调节步进，以使第一中心与第二中心重合。也即是说，第三移动单元341、关闭单元342和第四调节单元343可以分别用于实现步骤041、步骤042和步骤043。

在某些实施方式中，处理器410还可以用于：移动承载台，使泵浦光和检测光入射至光束质量分析仪；分别关闭检测光路11的第二进光窗29及泵浦光路12的第一进光窗24，以分别确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心；和在第一中心与第二中心未重合时，根据第一中心和第二中心之间的相对位置，调节偏摆镜13的偏摆角度、俯仰角度及调节步进，以使第一中心与第二中心重合。也即是说，处理器410还可以用于实现步骤041、步骤042和步骤043。

具体地，移动承载台，使得泵浦光和检测光可以照射在光束质量分析仪上，由于光束质量分析仪在步骤03后高度并未进行调节，因此只需要沿水平方向移动承载台使得检测光和泵浦光可以照射在光束质量分析仪，检测光和泵浦光可以分别在光束质量分析仪上形成检测光斑和泵浦光斑。为了准确地确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心的位置坐标，需要避免在确定泵浦光斑的第一中心时检测光斑的干扰、及确定检测光斑的第二中心时泵浦光斑的干扰。因此，在确定泵浦光斑的第一中心时，可以关闭位于检测光路11中的第二进光窗29，使得检测光无法到达样品200表面更无法形成检测光斑，样品200表面只有泵浦光斑，进而可以较准确地确定泵浦光斑的第一中心的位置。在确定检测光斑的第二中心时，可以关闭位于泵浦光路12的第一进光窗24，使得泵浦光无法到达样品200表面，更无法在样品200表面形成泵浦光斑，则样品200表面只形成有检测光斑，进而可以较准确地确定检测光斑的第二中心的位置。

进一步地，根据确定的第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标，可以判断第一中心和第二中心是否重合，如果第一中心和第二中心重合在一起，则表明检测光路11和泵浦光路12未发生偏移，无需进行步骤043。如果第一中心和第二中心未重合在一起，则表明检测光路11或泵浦光路12中的至少一个发生了偏移，则需调节偏摆镜13，使得第一中心和第二中心重合在一起。

更具体地，在第一中心和第二中心未重合在一起时，可以关闭偏摆镜13的闭环锁定，使得偏摆镜13不再固定，可以调节偏摆镜13。具体可以根据第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标，调节偏摆镜13的偏摆角度、俯仰角度以及调节步进。可以理解，如果只调节一次偏摆镜13，容易导致偏摆镜13调节过大或者过小。因此，在某些实施方式中，可以通过多次调节偏摆镜13，使得检测光斑和泵浦光斑之间的距离逐渐缩小，直至检测光斑和泵浦光斑重合，如此，偏摆镜13的偏摆角度和俯仰角度将更加精确。

再进一步地，在一些实施方式中，可以根据第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标确定偏摆镜13需要调节至的目标偏摆角度及目标俯仰角度，偏摆镜13处于目标偏摆角度及目标俯仰角度时，第一中心和第二中心可以重合。具体地，可以经多次调节偏摆镜13使得偏摆镜13达到目标偏摆角度和俯仰偏摆角度，可以根据当前偏摆角度和目标偏摆角度之间的差值计算偏摆镜13的偏摆调节步进，及可以根据当前俯仰角度和目标俯仰角度之间的差值计算偏摆镜13的俯仰调节步进。然后每次以偏摆调节步进调节偏摆镜13，以将偏摆镜13调节至目标偏摆角度；以及每次以俯仰调节步进调节偏摆镜13，以将偏摆镜13调节至目标俯仰角度。

在另一些实施方式中，可以根据第一中心的位置坐标和第二中心的位置坐标确定偏摆镜13的第一目标偏摆角度或第一目标俯仰角度，偏摆镜13处于第一目标偏摆角度或第一目标俯仰角度时，检测光斑和泵浦光斑未重合。具体地，可以经多次调节偏摆镜13使得偏摆镜13达到第一目标偏摆角度或第一俯仰偏摆角度，可以根据当前偏摆角度和第一目标偏摆角度之间的差值计算偏摆镜13的第一偏摆调节步进，或者可以根据当前俯仰角度和目标俯仰角度之间的差值计算偏摆镜13的第一俯仰调节步进。然后每次以第一偏摆调节步进调节偏摆镜13，以将偏摆镜13调节至第一目标偏摆角度；或者每次以第一俯仰调节步进调节偏摆镜13，以将偏摆镜13调节至第一目标俯仰角度。

在偏摆镜13调节至第一目标偏摆角度时，可以重新获取第一中心和第二中心的位置坐标，然后根据重新获取的第一中心和第二中心的位置坐标计算确定偏摆镜13的第二目标偏摆角度。进而根据第二目标偏摆角度和当前偏摆角度(即第一目标偏摆角度)之间的差值计算第二偏摆调节步进，其中，第二偏摆调节步进小于第一偏摆调节步进，然后按照第二偏摆调节步进调节至偏摆镜13至第二目标偏摆角度。

在偏摆镜13调节至第一目标俯仰角度时，可以重新获取第一中心和第二中心的位置坐标，然后根据重新获取的第一中心和第二中心的位置坐标计算确定偏摆镜13镜的第二目标俯仰角度。进而根据第二目标俯仰角度和当前俯仰角度(即第一目标俯仰角度)之间的差值计算第二俯仰调节步进，其中，第二俯仰调节步进小于第一俯仰调节步进，然后按照第二俯仰调节步进调节偏摆镜13至第二目标俯仰角度。

在一个例子中，偏摆镜13处于第二目标偏摆角度和第二目标俯仰角度时，第一中心和第二中心可以重合。在另一个例子中，偏摆镜13处于第二目标偏摆角度和第二目标俯仰角度时，第一中心和第二中心仍未重合，则可以继续确定第三目标偏摆角度与第三偏摆调节步进、和\或第三目标俯仰角度与第三俯仰调节步进，甚至第四目标偏摆角度与第四偏摆调节步进、和\或第四目标俯仰角度与第四俯仰调节步进等，直至第一中心和第二中心重合。其中，确定新的目标偏摆角度与新的偏摆调节步进、和\或新的目标俯仰角度与新的俯仰调节步进时，需要重新获取第一中心和第二中心的位置坐标。并且，确定目标俯仰角度和确定目标偏摆角度的次数可以相同或不同。

请再次参阅图5及图6，存储器420用于存放可在处理器410上运行的计算机程序，处理器410执行程序时实现上述任一实施方式中的调节方法。

存储器420可能包含高速RAM存储器，也可能还包括非易失性存储器(non-volatile memory)，例如至少一个磁盘存储器。进一步地，检测设备400还可包括通信接口430，通信接口430用于存储器420和处理器410之间的通信。

如果存储器420、处理器410和通信接口430独立实现，则通信接口430、存储器420和处理器410可以通过总线相互连接并完成相互间的通信。总线可以是工业标准体系结构(Industry Standard Architecture，简称为ISA)总线、外部设备互连(PeripheralComponent，简称为PCI)总线或扩展工业标准体系结构(Extended Industry StandardArchitecture，简称为EISA)总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图6中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。

可选的，在具体实现上，如果存储器420、处理器410及通信接口430，集成在一块芯片上实现，则存储器420、处理器410及通信接口430可以通过内部接口完成相互间的通信。

处理器410可能是一个中央处理器(Central Processing Unit，简称为CPU)，或者是特定集成电路(Application Specific Integrated Circuit，简称为ASIC)，或者是被配置成实施本申请实施例的一个或多个集成电路。

请参阅图18，本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质500包括计算机程序501，当计算机程序501被一个或多个处理器600执行时，使得处理器600执行本申请任一实施方式的调节方法。

例如，请结合图1及图3，计算机程序501被处理器600执行时，处理器600用于实施以下步骤：

01：调节光束质量分析仪的高度，使照射至光束质量分析仪上的泵浦光斑的第一中心，和照射至光束质量分析仪上的检测光斑的第二中心之间的距离小于或等于预设距离；

02：根据第一中心和第二中心的相对位置，调节位于检测光路11及\或泵浦光路12的偏摆镜13的偏摆角度和\或俯仰角度，使第一中心与第二中心重合；

03：根据测量到的光束质量分析仪的高度，调节承载样品200的承载台的高度，使样品200的表面的高度与光束质量分析仪的高度相同。

再例如，请结合图16及图3，计算机程序501被处理器600执行时，处理器600还可以用于实施以下步骤：

041：移动承载台，使泵浦光和检测光入射至光束质量分析仪；

042：分别关闭检测光路11的第二进光窗29及泵浦光路12的第一进光窗24，以分别确定泵浦光斑的第一中心和检测光斑的第二中心；及

043：在第一中心与第二中心未重合时，根据第一中心和第二中心之间的相对位置，调节偏摆镜13的偏摆角度、俯仰角度及调节步进，以使第一中心与第二中心重合。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。