支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备

技术领域

本发明涉及光伏生产设备技术领域，特别是涉及一种支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备主要用于在硅片上沉积一层减反膜，以提高太阳能电池片的发电效率。

目前PECVD设备一般是在竖直方向布置多根反应炉管，每根反应炉管对应一套推舟机构，推舟机构用于将机械手输送来的石墨舟推入反应炉管内。但是现有的推舟机构中支撑石墨舟的支撑杆的支撑能力较差，只能支撑重量轻、尺寸小的石墨舟，即每次推入反应炉管内的石墨舟小而轻，导致加工效率低。

发明内容

基于此，有必要针对现有的推舟机构中的支撑杆的支撑能力较差的问题，提供一种能够支撑较大重量及尺寸的石墨舟，以提高加工效率的支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备。

一种支撑机构，包括：

至少两组支撑组件，每一所述支撑组件包括套筒及支撑件，至少两个所述套筒沿垂直自身轴向的方向依次间隔设置且彼此固定，每一所述支撑组件中的所述支撑件沿所述套筒的轴向与所述套筒刚性连接，且每一所述支撑件具有朝向同一侧的支撑面；及

至少两根承载杆每一所述承载杆一端沿所述套筒的轴向插入对应的所述套筒内，另一端突出于所述支撑件远离所述套筒的一端，每一所述承载杆具有支撑于所述支撑面的配接面以及与所述配接面相对的承载面，所有的所述承载杆的所述承载面形成支撑石墨舟的承载位。

每一承载杆一端沿之套筒的轴向插入对应的套筒内，另一端突出于支撑件远离套筒的一端，也就是说至少两根承载杆沿X方向间隔布设，而所有的承载杆的承载面形成用于承载石墨舟承载位，且每一承载杆相对承载面的配接面支撑于对应的支撑件的支撑面，从而提高对承载杆的支撑能力。

相较于传统的支撑石墨舟的支撑杆，上述的支撑机构中的承载杆一端插入套筒内固定，而伸出套筒的部分可通过支撑件的支撑面进行支撑，从而提高了对承载杆的支撑能力，进而提高了承载杆自身的承载能力，使得至少两根承载杆能够承载重量重以及尺寸大的石墨舟，提高了加工效率。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括中间杆，所述中间杆设置于相邻的两组所述支撑组件之间，且沿所述套筒的轴向纵长延伸，所述中间杆一端与相邻的两个所述套筒固定连接，另一端与相邻的两根所述承载杆固定连接。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括至少两个紧固件，至少两个所述紧固件的其中一部分连接于所述中间杆与相邻的两个所述套筒，至少两个所述紧固件的其中另一部分连接于所述中间杆有相邻的两根所述承载杆。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括二力杆组件，所述二力杆组件设置于相邻的两组所述支撑组件之间，且所述二力杆组件与相邻的两个所述套筒固定连接，所述二力杆组件具有支撑端，所述支撑端用于支撑与所述二力杆组件相邻的两根所述承载杆。

在其中一个实施例中，所述二力杆组件包括连接板、支撑块、撑杆及拉杆，所述连接板同时与相邻的两个所述套筒固定连接，所述支撑块与所述连接板沿所述套筒的轴向间隔排布，且所述支撑块具有所述支撑端，所述撑杆沿所述套筒的轴向纵长延伸，且两端分别于所述连接板及所述支撑块连接，所述拉杆沿与至少两个所述套筒的排列方向垂直且与所述套筒的轴向呈角度的方向纵长延伸，所述拉杆的两端分别与所述连接板及所述支撑块连接。

在其中一个实施例中，所述支撑机构还包括连接盘，至少两个所述套筒的一端均固定连接于所述连接盘的同一侧，每一所述支撑件连接于对应的一所述套筒远离所述连接盘的另一端。

在其中一个实施例中，所述支撑件一端可拆卸地连接于所述套筒的一端。

一种推料装置，包括如上所述的支撑机构。

一种装载机台，包括如上所述的推料装置。

一种PECVD设备，包括如上所述的装载机台。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例提供的支撑机构的支撑组件的结构示意图；

图2为本发明另一实施例提供的支撑机构与石墨舟的配合关系示意图；

图3为图2所示的支撑机构的二力杆组件和套筒的连接关系示意图；

图4为本发明又一实施例提供的支撑机构的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1及图2所示，本发明一实施例提供的支撑机构100，包括至少两组支撑组件10及至少两根承载杆20。其中，至少两根承载杆20对应支撑于至少两组支撑组件10上，至少两根承载杆20用于承载石墨舟200，以保证石墨舟200能在外力作用下被推入反应炉管内。

每一支撑组件10包括套筒11及支撑件12，所有支撑组件10中的套筒11沿垂直自身轴向的方向依次间隔设置且彼此固定，每一支撑组件10中支撑件12沿套筒11的轴向与套筒11刚性连接，且每一支撑件12具有朝向同一侧的支撑面121。

同时，每一承载杆20一端沿套筒11的轴向插入对应的套筒11内，另一端突出于支撑件12远离套筒11的一端，每一承载杆20具有支撑于支撑面121的配接面以及与配接面相对的承载面，所有的承载杆20的承载面形成支撑石墨舟200的承载位。

其中，至少两个套筒11沿图1中X方向依次排列，而图1中的Y方向为套筒11的轴向，X方向与Y方向相互垂直。

每一承载杆20一端沿之套筒11的轴向插入对应的套筒11内，另一端突出于支撑件12远离套筒11的一端，也就是说至少两根承载杆20沿X方向间隔布设，而所有的承载杆20的承载面形成用于承载石墨舟200承载位，且每一承载杆20相对承载面的配接面支撑于对应的支撑件12的支撑面121，从而提高对承载杆20的支撑能力。

相较于传统的支撑石墨舟200的浆杆，上述的支撑机构100中的承载杆20一端插入套筒11内固定，而伸出套筒11的部分可通过支撑件12的支撑面121进行支撑，从而提高了对承载杆20的支撑能力，进而提高了承载杆20自身的承载能力，使得至少两根承载杆20能够承载重量重以及尺寸大的石墨舟200，提高了加工效率。

请参阅图2，在一些实施例中，支撑机构100还包括连接盘31，至少两个套筒11的一端均固定连接于连接盘31的同一侧，每一支撑件12连接于对应的一套筒11远离连接盘31的另一端。

如此，以使得多个套筒11相对固定，通过移动连接盘31实现多个套筒11以及连接于套筒11的支撑件12移动，进而带动承载杆20以及承载于承载杆20上的石墨舟200移动，而且在将石墨舟200移动到反应炉管内之后，连接盘31还可以作为炉门封闭反应炉管。

进一步地，支撑机构100还包括操作组件32，操作组件32连接于连接盘31背离套筒11的另一侧，用于与驱动支撑机构100移动的机构连接，以通过该机构带动支撑机构100的支撑组件10及承载杆20伸入反应炉管内或从反应炉管内移出。

在一些实施例中，支撑件12一端可拆卸地连接于套筒11的一端，以使得套筒11和支撑件12可分开制作，降低制作成本。在另一些实施例中，套筒11和支撑件12也可以一体成型，以提高强度。

需要说明的是，套筒11与支撑件12一体成型时两者之间的连接强度比套筒11与支撑件12可拆卸地连接的连接强度大，但是套筒11与连接件一体成型成本较高，而支撑件12与套筒11可拆卸地连接，支撑件12也能够对承载杆20进行支撑，且能够有效地提高承载杆20的承载能力，因此优选采用支撑件12可拆卸地连接于套筒11。

实际应用中，套筒11与支撑件12之间可拆卸地连接可通过螺纹连接、螺钉锁紧连接或卡接中的一种方式连接，或者其他实现两者可拆卸连接的方式。

在一些实施例中，支撑件12的横截面呈弧形，以方便对承载杆20进行支撑。需要解释的是，当支撑件12与套筒11一体成型的时候，支撑件12可以看作是套筒11下半部分的延长。

可以理解的是，承载杆20的承载面与配接面相对，而配接面支撑于支撑面121，石墨舟200支撑于承载面形成的承载位，说明支撑面没有完全包裹承载杆20表面。

本实施例中支撑面121为曲面，而在另一些实施例中，支撑面121也可以是平面，只要实现支撑配接面，且不完全包裹承载杆20的表面即可。当然，由于承载杆20为圆杆，故支撑面121优选为曲面。

在一些实施例中，支撑组件10包括两个套筒11，对应支撑件12及承载杆20的数量也为两个。

在一些实施例中，套筒11和支撑件12均为金属材质，承载杆20为绝缘材质，具体可以是陶瓷材质或者是其他具有高强度及绝缘作用的材质。

进一步地，支撑组件10还包括绝缘结构13，绝缘结构13连接于套筒11，且位于套筒11上方，以对套筒11绝缘处理。

需要解释的是，通过设置横截面为弧形的支撑件12，能够有效地对承载杆20进行支撑。而如果延长套筒11的长度，套筒11会影响石墨舟200高频放电激发等离子态，故设置支撑件12，既能够起支撑承载杆20的作用，也不会影响石墨舟200通电进行工艺。

请参阅图2及图3，在一些实施例中，支撑机构100还包括二力杆组件50，二力杆组件50设置于相邻的两组支撑组件10之间，且二力杆组件50与相邻的两个套筒11固定连接，二力杆组件50具有支撑端，支撑端用于支撑与二力杆组件50相邻的两根承载杆20，以进一步地提高承载杆20的承载能力。

进一步地，二力杆组件50包括连接板51、支撑块52、撑杆53及拉杆54，连接板51同时与相邻的两个套筒11固定连接，支撑块52与连接板51沿套筒11的轴向间隔排布，且支撑块52具有支撑端，撑杆53沿套筒11的轴向纵长延伸，且两端分别于连接板51及支撑块52连接，拉杆54沿与至少两个套筒11的排列方向垂直且与套筒11的轴向垂直的方向纵长延伸，拉杆54的两端分别与连接板51及支撑块52连接。

可以理解的是，图中虽未用箭头示出拉杆的延伸方向，但是图3中X方向套筒11的排列方向，Y方向为套筒11的轴向，结合上述说明及图3中的标识，本领域技术人员可以毫无疑义地确定拉杆的纵长方向。

此外，可以毫无疑义地确定的是，由于连接板51和支撑块52沿Y方向间隔排布，因此拉杆54与撑杆53之间的夹角为锐角。

连接板51与套筒11固定连接，拉杆54和撑杆53的两端分别与连接板51及支撑块52固定连接，当承载杆20支撑于支撑块52的支撑端上时，支撑块52受到的压力由拉杆54和撑杆53传递至连接板51，进而传递至套筒11。

当支撑块52受到承载杆20的压力时，撑杆53受到的力为压力，而拉杆54受到的力为拉力，进一步对支撑块52进行受力分析，即支撑块52受到承载杆20的压力、撑杆53的推力以及拉杆54的拉力，压力的方向竖直向下，推力的方向为沿Y方向远离连接板51，拉力的方向为沿拉杆54纵长方向朝向连接板51，三者使得支撑块52的受力平衡。

更进一步地，二力杆组件50还包括连接块55，连接块55与支撑块52连接，且还与撑杆53及拉杆54远离连接板51的一端固定连接，即连接块55用于为支撑块52提供支撑，拉杆54和撑杆53为连接块55提供支撑。

具体地，支撑块52包括两个支撑端，每一支撑端均具有弧形支撑面，与二力杆组件50相邻的两根承载杆20支撑于两个弧形支撑面内，以保证支撑的稳定性。

在一些实施例中，二力杆组件50还包括两个绝缘筒56，两个绝缘筒56分别套设于撑杆53和拉杆54外，以对撑杆53和拉杆54进行绝缘。可以理解的是，为了确保支撑的强度，拉杆54和撑杆53采用金属材质，为了避免影响石墨舟200放电。

需要进行说明的是，撑杆53和拉杆54与连接板51及连接块55之间的连接均通过螺母锁紧连接。

在另一些实施例中，撑杆53和拉杆54也可以是绝缘材质，绝缘材质的撑杆53和拉杆54具有绝缘作用，无需在外侧套设绝缘筒56，降低制作成本。实际应用中，撑杆53和拉杆54优选为陶瓷材质，以在绝缘的同时也能确保支撑强度。

在一些实施例中，连接板51包括依次固定连接的第一连接部、第二连接部及第三连接部，第一连接部和第三连接部与相邻的两个套筒11固定连接，第二连接部与撑杆53及拉杆54的一端固定连接。

进一步地，第二连接部开设有第一连接孔和第二连接孔，第一连接孔和第二连接孔在竖直方向上间隔排布，且第一连接孔位于第二连接孔的上方，拉杆54连接于第一连接孔，撑杆53连接于第二连接孔。

需要解释的是，X方向和Y方向均为水平方向。

实际应用中，连接块55对应开设第三连接孔及第四连接孔，第三连接孔和第四连接孔同样沿竖直方向间隔排布，且第三连接孔位于第四连接孔的上方，拉杆54连接于第三连接孔，撑杆53连接于第四连接孔。

具体地，第一连接孔和第二连接孔之间的间距大于第三连接孔和第四连接孔之间的间距。如此，拉杆54连接于第一连接孔和第三连接孔时，拉杆54相对撑杆53倾斜。

可以理解的是，拉杆54和撑杆53的相对两端均设有外螺纹，当拉杆54和撑杆53与第二连接部连接时，拉杆54和撑杆53的端部分别穿过第一连接孔及第二连接孔，而螺母螺纹连接于该端，且第二连接部的两侧均具有螺母，以夹持住第二连接部，使得拉杆54和撑杆53的端部相对第二连接部固定。

拉杆54和撑杆53与连接块55连接时，可以在连接块55上开设有螺纹孔，也可以是在连接块55上焊接螺母，然后拉杆54和撑杆53分别螺纹连接于对应的螺母。

结合上述实施例需要说明的是，上述实施例中，二力杆组件50通过撑杆53和拉杆54分别提供支撑力和拉力，以提高承载能力。而在另一些实施例中，撑杆53和拉杆54可以通过一支撑板替代，支撑板沿套筒11的轴向纵长延伸，且支撑板一端与连接板51连接，相对的另一端与支撑块52连接。

为了便于说明，将支撑板与连接板51连接的一端命名为第一端，将支撑板与支撑块52连接的一端命名为第二端。进一步地，第一端与连接板51具有两个第一连接位置，至少两个第一连接位置沿竖直方向间隔排布，第二端与支撑块52具有一个第二连接位置。

需要说明的是，第一连接位置为第一端与连接板51连接的位置，第二连接位置为第二端与支撑块52连接的位置，且第一端与连接板51以及第二端与支撑块52的连接可以是螺纹连接，也可以是通过设置扣件进行连接，在此不做限制。

实际应用中，第二连接位置与位于最下方的第一连接位置在套筒11的轴向上对应，此时支撑板52具有与撑杆53和拉杆54相同的作用。

可以理解的是，第一连接位置也可以为两个以上，第二连接位置也可以为多个，以确保连接强度，但是两个以上的第一连接位置在竖直方向上的跨度大于多个第二连接位置在竖直方向上的跨度，以使支撑板具有撑杆53及拉杆54的作用。

具体地，第一连接位置优选两个，第二连接位置优选一个，且支撑板为直角三角形，支撑板的第一端为一直角边，而支撑板的第二端为与该直角边相对的角。当然，支撑板也可以为其他形状，但是优选为直角三角形，以节省制作材料，降低制作成本。

请参阅图4，在一些实施例中，支撑机构100还包括中间杆41，中间杆41设置于相邻的两组支撑组件10之间，且沿套筒11的轴向纵长延伸，中间杆41一端与相邻的两个套筒11固定连接，另一端与相邻的两根承载杆20固定连接。

可以理解的是，套筒11连接于连接盘31，对于承载杆20来说，提高承载杆20与套筒11的连接强度能够提高承载杆20的承载能力，而中间杆41连接于套筒11和承载杆20，从而提高承载杆20的承载能力。

同时，承载杆20的数量为两根，中间杆41位于两根承载杆20之间，中间杆41也能够承担承载杆20的弯矩，提高承载杆20的承载能力。

此外，需要进行解释的是，在套筒11的数量为两个的情况下，当设置二力杆组件50时，由于二力杆组件50设置的位置及作用与中间杆41相同，故不再设置中间杆41，而当设置中间杆41时，也不再设置二力杆组件50。

图2中所示的结构为带有二力杆组件50的支撑机构100，本领域技术人员可根据图2所示的结构对应设置带有中间杆41的支撑机构100。

进一步地，支撑机构100还包括至少两个紧固件42，至少两个紧固件42的其中一部分连接于中间杆41与相邻的两个套筒11，至少两个紧固件42的其中另一部分连接于中间杆41有相邻的两根承载杆20。

实际应用中，中间杆41与承载杆20固定连接的一端突出于支撑件12。需要解释的是，图3中所示的结构是为了方便理解中间杆41与套筒11以及承载杆20的连接关系，并非限制支撑机构100的具体结构。

具体地，中间杆41为陶瓷圆杆，紧固件42为抱箍，抱箍用于使中间杆41与套筒11或者与承载杆20相对固定。

需要进行说明的是，承载杆20的长度远大于中间杆41的长度，为了平衡承载杆20之间的载荷，还可以设置多个抱箍连接于相邻的承载杆20之间，以使得相邻的承载杆20相对固定。

此外，为了保证连接强度，中间杆41与套筒11之间的连接可通过两个或者两个以上的紧固件42连接，同时中间杆41与承载杆20之间的连接也可以通过两个或两个以上的紧固件42进行连接。

基于上述的支撑机构，本发明还提供一种推料装置，该推料装置包括上述实施例中的支撑机构，石墨舟放置于承载杆上，推料装置用于将石墨舟推入反应炉管内。

本发明还提供一种装载机台，该装载机台包括上述实施例中的推料装置。

本发明还提供一种PECVD设备，该PECVD设备包括上述实施例中的装载机台。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。