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基于掺杂(Si)GeSn有源区的CMOS技术兼容硅基光源器件及其制备方法

文献发布时间:2023-06-19 12:02:28


基于掺杂(Si)GeSn有源区的CMOS技术兼容硅基光源器件及其制备方法
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技术分类

06120113146068