一种新型OLED蒸镀点源

技术领域

本发明涉及一种蒸镀装置，具体是一种新型OLED蒸镀点源。

背景技术

OLED(有机发光二级管)是指在两电极间加上正向偏压后两级注入的电子空穴和电子通过注入层和传输层在发光层结合后发光的器件。由于OLED是自发光，与传统TFT LCD相比没有滤光片、背光板和偏光片等光学膜结构，另外TFT(薄膜晶体管)在LCD中只起到开关作用，但在OLED中还可以调节灰度，因此OLED结构更加简单，功能更加复合化。OLED通常包括阴极、阳极、HIL(空穴注入层)、HTL(空穴传输层)、EML(放光层)、ETL(电子传输层)、EIL(电子注入层),为了提高显色和增加使用寿命等特性，会导入新材料层或者增加相应层数。

在实际使用中多使用点源在真空腔体中将各功能层材料通过电阻加热蒸发或升华到基板蒸镀成膜，电阻加热通常使用钽丝或钽片作为加热丝实现对蒸镀材料的加热，由于钽片的成本较钽丝较高，目前一般使用钽丝作为加热丝。为了保持稳定的蒸发速率，实现镀膜良好的均一性，加热丝的固定位置至关重要。目前大多数点源加热丝的位置都是通过卡扣或者卡槽的方式固定在固定板上，而加热丝理想的位置通常需要通过工艺测试才能确定，一旦不理想或需要更换蒸镀材料就需要重新更换加热丝固定板，加热丝固定板材质一般由钽片、钛片或者SUS304制作，制作费用较高，这易造成开发生产成本增加。另外在点源加热丝或陶瓷件(AL2O3或者PBN)维护时，需要将整个点源从外部拆开才能进行维护，既耗费时间又增加了二次组装伤害的风险。

另外，在点源材料蒸镀结束后，一般需要进行蒸镀腔体的维护和点源工作状态的检查，然后重新添加蒸镀材料进行下一次的生产。在这之前，需要等到点源冷却至预定的温度(一般为150℃以内)才能开腔，而目前点源的冷却方式基本为在点源的反射板外层设计循环冷却水路，依靠循环的一定流量的水路带走点源从内部辐射和传导出来的热量，但由于反射板的存在，蒸镀结束后点源内部的热量冷却效率很低，特别是金属材料蒸镀点源，需要冷却至开腔维护温度的等待时间更长，直接影响了工艺生产的时间节拍和生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型OLED蒸镀点源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种新型OLED蒸镀点源，包括外筒、固定板、陶瓷环片、坩埚、冷却管和加热丝，所述外筒、固定板、坩埚自外向内依次固定，所述固定板为两端开口的管状结构，冷却管和加热丝通过陶瓷环片固定安装在固定板内侧，并环绕在坩埚周侧均匀分布，固定板内开设有多个环向均匀分布的竖槽以及与所述竖槽相连通的多层横槽，竖槽的顶部开口，所述陶瓷环片周侧具有与横槽和竖槽滑动配合的凸缘。

作为本发明进一步的方案：所述陶瓷环片的环面上均匀开设有多个穿孔，加热丝由上下至少两层陶瓷环片的穿孔依次穿过。

作为本发明进一步的方案：所述固定板的材质为Ta、Ti或者SUS304。

作为本发明进一步的方案：所述横槽和竖槽的深度为0.5mm以上。

作为本发明进一步的方案：所述横槽的宽度自一端向另一端逐渐降低，所述横槽大端距离大于陶瓷环片的厚度，横槽的小端距离小于陶瓷环片的厚度。

作为本发明进一步的方案：所述外筒的筒壁内开设有中空的冷却水夹套。

作为本发明进一步的方案：所述陶瓷环片的周侧开设有多个限位槽，所述冷却管穿设在限位槽内。

作为本发明进一步的方案：所述限位槽为由陶瓷环片的边缘向内侧凹陷的U型槽。

作为本发明进一步的方案：所述冷却管为沿周向迂回弯折形成的管状结构。

作为本发明进一步的方案：所述冷却管为沿周向螺旋弯曲形成的管状结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明的新型OLED蒸镀点源采用了一种特殊结构的陶瓷环片和固定板，通过旋转陶瓷环片，可以实现调整加热丝的固定位置或者直接将加热丝从内部直接取出，既能实现加热丝位置可调以降低开发生产成本，又能缩短点源内部维护时间；同时，在原有固定板外部冷却水夹套的基础上增加设计了一种在固定板内部的冷却管，避免了反射板对热量散失的阻碍作用，加快了点源冷却速度，缩短了冷却时间，减少了等待开腔维护的时间。

附图说明

图1为新型OLED蒸镀点源的结构示意图；

图2为新型OLED蒸镀点源中固定板的结构示意图；

图3为新型OLED蒸镀点源中固定板的剖视图；

图4为新型OLED蒸镀点源中陶瓷环片的结构示意图；

图5为新型OLED蒸镀点源中陶瓷环片上的限位槽的结构示意图；

图6为新型OLED蒸镀点源中第一种冷却管的结构示意图；

图7为新型OLED蒸镀点源中第二种冷却管的结构示意图；

图中：外筒1、冷却水夹套11、固定板2、竖槽21、横槽22、陶瓷环片3、凸缘31、穿孔32、限位槽33、坩埚4、冷却管5、加热丝6。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1，本实施例，一种新型OLED蒸镀点源，包括外筒1、固定板2、陶瓷环片3、坩埚4、冷却管5和加热丝6，所述外筒1、固定板2、坩埚4自外向内依次固定，所述外筒1为顶部开口的筒状结构，固定板2和坩埚4能够自顶部开口安装在外筒1的内部，所述固定板2为两端开口的管状结构，坩埚4固定设置在固定板2内部，冷却管5和加热丝6通过陶瓷环片3固定安装在固定板2内侧，并环绕在坩埚4周侧均匀分布，通过加热丝6对坩埚4进行加热，并通过固定板2的反射作用使加热丝6产生的热量朝向坩埚4方向进行热辐射，从而实现蒸镀。

参阅图4，本实施例中，所述陶瓷环片3的环面上均匀开设有多个穿孔32，加热丝6由上下至少两层陶瓷环片3的穿孔32依次穿过，从而实现加热丝6的固定。

如图2所示，本实施例中，固定板2与陶瓷环片3的连接结构具体为，固定板2内开设有多个环向均匀分布的竖槽21以及与所述竖槽21相连通的多层横槽22，竖槽21的顶部开口，所述横槽22沿固定板2的内壁周向延伸，所述横槽22和竖槽21均由固定板2内壁向内凹陷形成，固定板2的材质可以选择Ta或者Ti或者SUS304，根据蒸镀材料的选择而定，在设计时应考虑固定板2厚度，由于内部横槽22和竖槽21的存在，为保证良好的固定效果，横槽22和竖槽21的深度应设置在0.5mm以上，同时与陶瓷环片3的配合应有0.1mm左右的间隙，以保证陶瓷环片3能够在凹槽内不卡塞。

同时陶瓷环片3设计成具有多个凸缘31,在使用时穿设有加热丝6的陶瓷环片3，其凸缘31对准固定板2上的竖槽21并由顶部开口进入竖槽21内，可以通过固定板2的竖槽21进入，在选定的横槽22处放置后，旋转合适的角度后使陶瓷环片3上的凸缘31旋入对应横槽22内，从而使固定板2以及加热丝6得以固定在固定板2上，当需要调整加热丝6的高度时或者需要进行维护时，按照上述相反顺序进行或者直接从点源内部取出。

如图3所示，进一步的，为了保证陶瓷环片3能在固定板2水平方向上不会自由移动，可将横槽22的宽度自一端向另一端逐渐降低，只要保证横槽22大端距离大于陶瓷环片3的厚度，小端距离小于陶瓷环片3的厚度，即可实现旋转一定角度后陶瓷环片3与横槽22的槽壁夹紧配合，进而保证加热丝6在水平方向上不能自由移动。同时，考虑到固定板2反射热量的均匀性，应合理控制横槽22的长度和竖槽21的长度比例，在保证加热丝6的陶瓷环片3能平稳的固定在横槽22上的前提下，可以适当缩小横槽22的长度比例，增大竖槽21的长度，另外竖槽21圆周分布的个数也可以根据实际效果设置，在保证加热丝6的陶瓷环片3能平稳的固定在横槽22上的前提下适当减少。

本实施例中，为了实现加热丝6高度的调整，所述横槽22设置有多层，多层所述横槽22之间的距离和数量可以根据实际需要设计。在需要调整加热丝6高度时，只需要将陶瓷环片3同步地与朝安装的反方向旋转，使凸缘31退至竖槽21处，此时陶瓷环片3与加热丝6同步在竖槽21内无障碍上下移动，继而移动到指定的横槽22处旋转至不能自由水平移动为止；或者直接从竖槽21处从上部取出进行维护，方便使用。

本实施例中，所述外筒1的筒壁内开设有中空的冷却水夹套11，蒸镀结束后持续的向冷却水夹套11内通向一定流量的冷却水对点源进行冷却，然而由于固定板2的存在，导致蒸镀结束后剩余热量通过外部的冷却水夹套11的冷却水进行热交热散热的速度很慢，这对于点源的冷却速度是十分不利的，进而影响了点源维护的时间和工艺生产效率。

参阅图5，本实施例中，优选的，在固定板2内侧的设置冷却管5，可以在蒸镀结束后通循环冷却水直接对点源冷却，从而避免了固定板2对热量散失的阻碍作用。冷却管5依靠陶瓷环片3中的限位槽33进行导向固定，与加热丝6避免接触。同时可以与加热丝6和陶瓷环片3一起进行旋转移动调整上下位置或者直接一并从上部取出进行点源内部检查和维护。

优选的，所述限位槽33为由陶瓷环片3的边缘向内侧凹陷的U型槽。结合图6，所述冷却管5为沿周向迂回弯折形成的管状结构；结合图7，冷却管5还可以为沿周向螺旋弯曲形成的管状结构。

固定板2内侧安装的冷却管5，其材质应与固定板2采用相同的金属材质，在安装时依靠冷却管5的柔性可以卡在陶瓷环片3的U型槽中，拆卸时候相同。在实际设计时，应根据加热丝6与固定板2之间的间隙距离和陶瓷环片3的外径合理确定管道的外径和分布密度，管道周向分布密度越大，单位时间内参与热量交换的冷却水越多，冷却速度越快，但管道周向分布数量过多会导致与陶瓷环片3安装和拆卸难度加大和加工成本上升。陶瓷环片3上设置的U型槽使冷却管5通过并不影响陶瓷环片3的周向旋转，对于冷却管5的选择，应根据蒸镀材料的种类和冷却时间要求进行，若是有机材料蒸镀或者冷却时间要求较长，可以选择沿周向迂回弯折形成的管状结构，如图6所示；若是金属材料蒸镀或者冷却时间要求短，可以选择沿周向螺旋弯曲形成的管状结构，如图7所示。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”或“包含……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的要素。此外，在本文中，“大于”、“小于”、“超过”等理解为不包括本数；“以上”、“以下”、“以内”等理解为包括本数。

尽管已经对上述各实施例进行了描述，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改，所以以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利保护范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围之内。