托架的定位部件以及托架载置台

技术领域

本申请涉及将收纳板状装载物的托架定位于基台的托架的定位部件以及载置托架的托架载置台。

背景技术

当在半导体晶片(半导体基板)形成半导体元件时经过数百个工序。在形成半导体元件的中途，半导体晶片的各工序间的搬运和保管大多使用在形成于内侧的多个槽分别收纳半导体晶片的托架。在用于在半导体晶片形成半导体元件的加工装置中，一片一片地加工半导体晶片的单片式的装置较多。在单片式的装置中，以半导体晶片成为水平的方式将托架放置于包括基台在内的装载机，用机械臂等将所处理的半导体晶片一片一片地从托架的槽取出，并将处理完的半导体晶片收纳于托架。

例如，在专利文献1中公开了相当于具有基台的载置台的载置装置，该基台定位并载置多层地层叠收纳半导体晶片的盒(托架)。在从盒中取出放入半导体晶片时，需要将盒载置于一定的位置(设定位置)，因此在相当于装载机的基板搬入搬出单元的载置装置设置有用于决定盒的位置的支承部件。对于盒而言，通过分别设置于基台的支承部件中的6个引导部件(定位部件)，来限制前侧的角部、后侧的腿、侧面的水平位置，并载置于载置台的设定位置。

在载置台的基台的设定位置载置托架的其他方法存在通过形成有嵌入设置于托架的下侧的杆等的槽的定位块(引导部件)将托架载置于载置台的基台的设定位置的方法(参照专利文献2)、通过使形成于载置台的基台的销等(引导部件)与设置于托架的下侧的运动联轴器卡合而将托架载置于载置台的基台的设定位置的方法(参照专利文献3)等。在将托架载置于载置台的基台的设定位置的任意一个方法中，在将托架载置于载置台的基台时均从上侧与引导部件嵌合，在将托架从载置台的基台移动时使托架向上侧移动并从引导部件拔出。

专利文献1：日本特开平9-148423号公报(图1、图2)

专利文献2：日本特开2002-93877号公报(图3)

专利文献3：日本特开2000-223553号公报(图3)

托架的取出放入作为板状装载物的一个例子的半导体晶片的一侧是能够保持原样取出半导体晶片的构造。因此，在使半导体晶片为水平的状态下放置托架的载置台存在以下的问题：在将托架载置于基台时或者将托架从基台移动时，托架误向取出放入半导体晶片的一侧倾斜，从而导致半导体晶片从托架滑落。

发明内容

本申请说明书所公开的技术，目的在于获得一种在将托架载置于基台时或者将托架从基台移动时防止半导体晶片等板状装载物从托架滑落的托架的定位部件。

本申请说明书公开的一个例子的托架的定位部件是固定于基台并且将托架定位于基台的托架的定位部件，所述托架将多个板状装载物以表面或者背面与基台对置的方式进行收纳。将取出放入板状装载物的托架的开口的一侧作为前侧，将与托架的开口相反的一侧作为后侧。托架的定位部件具备：两个前侧限位器，它们与托架的开口的端部亦即两个开口边缘部接触，来限制托架向前侧的移动；和两个后侧限位器，它们与形成于托架的后侧的两个板状端部接触，来限制托架向后侧的移动以及向与基台垂直的方向的移动。

本申请说明书公开的一个例子的托架的定位部件，两个前侧限位器限制托架向前侧的移动，两个后侧限位器限制托架向后侧的移动以及向与基台垂直的方向的移动，因此在将托架向固定有该托架的定位部件的基台载置时或者托架从固定有该托架的定位部件的基台移动时，能够防止板状装载物从托架滑落。

附图说明

图1是表示实施方式1的定位部件和托架载置台的图。

图2是表示图1的后侧限位器的平面的图。

图3是表示图1的托架载置台和托架的图。

图4是说明从图1的托架载置台移动托架的方法的图。

图5是说明从图1的托架载置台移动托架的方法的图。

图6是表示实施方式2的定位部件和托架载置台的图。

图7是表示图6的后侧限位器的平面的图。

图8是说明实施方式2的定位部件和托架载置台的课题的图。

图9是表示实施方式3的定位部件和托架载置台的图。

图10是表示图9的后侧限位器部的平面的图。

图11是说明在图9的托架载置台载置托架的方法的图。

图12是说明在图9的托架载置台载置托架的方法的图。

图13是说明在图9的托架载置台载置托架的方法的图。

图14是表示实施方式4的定位部件和托架载置台的图。

图15是表示图14的后侧限位器的主要部分的俯视图。

具体实施方式

实施方式1

图1是表示实施方式1的定位部件和托架载置台的图。图2是表示图1的后侧限位器的平面的图，图3是表示图1的托架载置台和托架的图。图4、图5是说明从图1的托架载置台移动托架的方法的图。托架载置台50具备基台3和定位部件30。定位部件30具备两个后侧限位器1和两个前侧限位器2。后侧限位器1以托架4不向后侧(x方向的正侧)挪动的方式限制位于托架4中的取出放入晶片5的一侧、即取出放入晶片5的开口45的一侧(以下，称为前侧)的相反侧(以下，称为后侧)的一端的腿部6，并且以托架4的腿部6不向基台3的上侧(z方向的正侧)移动的方式、即以不远离基台3的方式进行限制。前侧限位器2以托架4不向前侧(x方向的负侧)挪动的方式进行限制。基台3例如是用于在半导体晶片形成半导体元件的加工装置中的装载机的台，通过固定螺钉26固定有定位部件30。在图1中，从前侧限位器2向后侧限位器1的方向是x方向，与基台3中的后侧限位器1和前侧限位器2的搭载面垂直的方向是z方向，与x方向和z方向垂直的方向是y方向。

如图3所示，托架4具备保持晶片5的壳体43、与基台3接触的一侧的侧板41、与侧板41相反的一侧的侧板42、与壳体43连接的开口边缘部7、以及取出放入晶片5的开口45。开口边缘部7具有：开口边缘部前面7a，其与前侧限位器2的托架对置面对置；和开口边缘部侧面7b，其是与形成有收纳晶片5的槽的壳体43的内表面相反的一侧的侧面，并与开口边缘部前面7a连接。开口边缘部7也是开口45的y方向的端部。侧板41、42在与开口45侧(开口边缘部前面7a侧)相反的一侧形成有作为板状端部的腿部6。托架4一般而言在保管晶片5时处于使腿部6为下侧并使托架4的开口45侧为上侧的状态。将开口45一侧适当地称为开口的一侧。后侧限位器1具有形成有孔33的主体部22和爪部25。后侧限位器1具有：主体部22，其限制托架4中的作为板状端部的腿部6向后侧的移动；和爪部25，其限制作为板状端部的腿部6向与基台3垂直的方向的移动。后侧限位器1通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。在前侧限位器2也形成有孔33，前侧限位器2通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。多个晶片5以表面或者背面与基台3对置的方式收纳于托架4。在图3中示出了将5片晶片5收纳于托架4的例子。

在图3中示出了将托架4载置于托架载置台50的状态。在实施方式1中示出了前侧限位器2是立方体并且后侧限位器1的主体部22是立方体的例子。前侧限位器2的后侧限位器1侧的侧面亦即内侧面是与托架4的开口边缘部前面7a对置的托架对置面。后侧限位器1的前侧限位器2侧的主体部22的侧面亦即内侧面是与托架4的腿部6的底面对置的托架对置面。后侧限位器1的托架对置面与托架4的腿部6的底面接触。托架4的侧板41中的腿部6的与侧板42对置的内侧面(腿部内侧面)，与后侧限位器1的爪部25的基台3侧的内侧面(爪部内侧面)接触。前侧限位器2的托架对置面与托架4的开口边缘部前面7a接触。两个前侧限位器2与托架4的开口45的端部亦即两个开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动。两个后侧限位器1与形成于托架4的后侧的两个板状端部亦即腿部6接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动。托架4的开口边缘部前面7a与前侧限位器2的托架对置面接触，并且腿部6与后侧限位器1中的主体部22的托架对置面和爪部25的爪部内侧面接触，来限制水平方向位置，即被定位于托架载置台50的设定位置。

如图3所示，载置于托架载置台50的托架4的腿部6被后侧限位器1限制向上侧的移动。因此不能使托架4的腿部6向正上方、即基台3的与后侧限位器1和前侧限位器2的搭载面垂直的方向(z方向的正侧)移动。此外，借助后侧限位器1的爪部25也不能将托架4从正上方向托架载置台50的基台3载置于托架载置台50。定位部件30和托架载置台50具备具有爪部25的后侧限位器1，因此成为不能从正上方载置托架4并且不能使托架4向正上方移动的构造。

使用图4、图5对从托架载置台50移动托架4的方法进行说明。在图4、图5中省略了基台3。如图3所示，在从托架载置台50的基台3移动载置于托架载置台50的托架4时，如图4所示，若使托架4如箭头8所示的那样倾斜，则如如箭头9所示的那样抬起作为托架4的前侧的开口边缘部7。然后，开口边缘部7能够倾斜至高于前侧限位器2。此外，如图5所示，保持使托架4向后侧倾斜的状态不变来保持开口边缘部7不被前侧限位器2限制移动的状态，从而如箭头10所示的那样，使托架4向前侧斜上方移动。此时，腿部6如箭头11所示的那样向前侧移动，从而从后侧限位器1拔出。在从托架载置台50的基台3移动托架4时，托架4的开口边缘部7与前侧限位器2接触或者不与前侧限位器2接触地通过前侧限位器2的上侧，因此托架4不会向前侧倾斜。

若腿部6从后侧限位器1拔出，则腿部6不被后侧限位器1限制移动，因此能够从托架载置台50的基台3向上侧移动托架4。在从托架载置台50移动托架4时，将托架4向后侧倾斜，因此托架不会误向前侧倾斜。在将托架4载置于托架载置台50时，以相反的顺序进行。即使在该情况下，也将托架4向后侧倾斜，因此托架4不会误向前侧倾斜。另外，托架4的向托架载置台50的载置和托架4的从托架载置台50的移动，由加工装置的机械臂或者作业人员进行。

实施方式1的定位部件30具备设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜的后侧限位器1和前侧限位器2，因此托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。实施方式1的托架载置台50具备设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜的后侧限位器1和前侧限位器2，因此托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

如以上那样，实施方式1的定位部件30是固定于基台3并且将托架4定位于基台3的托架的定位部件，该托架将多个板状装载物(晶片5)以表面或者背面与基台3对置的方式进行收纳。将取出放入板状装载物(晶片5)的托架4的开口45侧作为前侧，并将与托架4的开口45相反的一侧作为后侧。实施方式1的定位部件30具备：两个前侧限位器2，它们与托架4的开口45的端部亦即两个开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；和两个后侧限位器1，它们与形成于托架4的后侧的两个板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动。对于实施方式1的定位部件30而言，通过这样的结构，两个前侧限位器2限制托架4向前侧的移动，两个后侧限位器1限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动，因此在将托架4向固定有托架的定位部件30的基台3载置时或者将托架4从固定有托架的定位部件30的基台3移动时，能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

如以上那样，实施方式1的托架载置台50具备基台3和固定于基台3的定位部件30。定位部件30是固定于基台3并且将托架4定位于基台3的托架的定位部件，该托架4将多个板状装载物(晶片5)以表面或者背面与基台3对置的方式进行收纳。将取出放入板状装载物(晶片5)的托架4的开口45侧作为前侧，并将与托架4的开口45相反的一侧作为后侧。定位部件30具备：两个前侧限位器2，它们与托架4的开口45的端部亦即两个开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；和两个后侧限位器1，它们与形成于托架4的后侧的两个板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动。对于实施方式1的托架载置台50而言，通过这样的结构，两个前侧限位器2限制托架4向前侧的移动，两个后侧限位器1限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动，因此在将托架4向该托架载置台50的基台3载置时或者将托架4从该托架载置台50的基台3移动时，能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

实施方式2

图6是表示实施方式2的定位部件和托架载置台的图，图7是表示图6的后侧限位器的平面的图。图8是说明实施方式2的定位部件和托架载置台的课题的图。在附图中与实施方式2共通的部分标注与实施方式1的附图中相同的附图标记。实施方式2的定位部件30和托架载置台50与实施方式1的定位部件30和托架载置台50的不同点在于：在基台3搭载有具备防止横向偏离功能的后侧限位器12和前侧限位器13，来代替后侧限位器1和前侧限位器2。另外在图8中省略了基台3。

使用图8对实施方式2的定位部件30和托架载置台50的课题进行说明。在固定有实施方式1的定位部件30的托架载置台50，存在托架4在横向(y方向)上挪动的微小的时间。即，在从托架载置台50的基台3移动托架4时，如图8所示，在托架4误向横向偏离的情况下，存在托架4的开口边缘部7从前侧限位器2脱落的情况。具体而言，若托架4以托架4的开口边缘部7高于前侧限位器2的方式倾斜，则不能通过前侧限位器2限制托架4的开口边缘部7的移动，因此若托架4误向横向偏离，则存在托架4的腿部6从后侧限位器1脱落的情况。通过托架4的腿部6从后侧限位器1脱落，从而产生托架4误向前侧倾斜而晶片5滑落的风险。

实施方式2的定位部件30的后侧限位器12和前侧限位器13具备防止横向偏离的功能，由此能够在从基台3移动托架4时限制向横向的移动，从而能够防止由横向偏离产生的晶片5的落下。实施方式2的托架载置台50的后侧限位器12和前侧限位器13具备防止横向偏离的功能，由此能够在从基台3移动托架4时限制向横向的移动，从而能够防止由横向偏离产生的晶片5的落下。使用图6、图7对实施方式2的定位部件30和托架载置台50进行详细地说明。

定位部件30具备两个后侧限位器12和两个前侧限位器13。在图6中，从前侧限位器13向后侧限位器12的方向是x方向，与基台3中的后侧限位器12和前侧限位器13的搭载面垂直的方向是z方向，与x方向和z方向垂直的方向是y方向。在图7中示出了y方向的正侧的后侧限位器12。y方向的负侧的后侧限位器12为y方向的正侧的后侧限位器12相对于x方向的虚线38反转而成的形状。y方向的负侧的前侧限位器13和y方向的正侧的前侧限位器13为相互相对于x方向的虚线38反转而成的形状。

后侧限位器12具有形成有孔33的主体部22和爪部27。后侧限位器12通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。在主体部22形成有凹部28。前侧限位器13由形成孔33并且具有凹部29的主体部23构成。前侧限位器13通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。前侧限位器13为具有凹部29的主体部23，因此也能够表现为具有凹部29。

后侧限位器12的主体部22以托架4的腿部6不向后侧(x方向的正侧)挪动的方式进行限制，并且以托架4的腿部6不向横向(y方向)的外侧挪动的方式进行限制。后侧限位器12的爪部27限制托架4的腿部6向基台3的上侧(z方向的正侧)的挪动、即以不远离基台3的方式进行限制。通过2个即1组后侧限位器12，以托架4不向横向(y方向的正侧和负侧)挪动的方式进行限制。如图6、图7所示，主体部22具有凹部28，即在主体部22形成有凹部28。另外，凹部28的侧面为与托架4的腿部6的底面及外侧面对置的主体部22的托架对置面。在图6、图7的后侧限位器12中记载的虚线表示凹部28的侧面即托架对置面。后侧限位器12具有：主体部22，其形成有凹部28，该凹部28限制托架4中的作为板状端部的腿部6向后侧的移动，并且在与基台3平行的方向即在作为与前侧的方向垂直的方向的横向上限制作为板状端部的腿部6向托架4的外侧的移动；和爪部27，其限制作为板状端部的腿部6向与基台3垂直方向的移动。

前侧限位器13以托架4不向前侧(x方向的负侧)挪动的方式进行限制，并且以托架4的开口边缘部7不向横向(y方向)的外侧挪动的方式进行限制。通过2个即1组前侧限位器13，以托架4的开口边缘部7不向横向(y方向的正侧和负侧)挪动的方式进行限制。即，前侧限位器13具有凹部29，该凹部29限制托架4中的开口边缘部7向前侧的移动，并且在与基台3平行的方向即在作为与前侧的方向垂直的方向的横向上，限制开口边缘部7向托架的外侧的移动。

实施方式2的定位部件30和托架载置台50与实施方式1的定位部件30及托架载置台50相同，后侧限位器12以托架4不向后侧(x方向的正侧)挪动的方式限制托架4的腿部6，并且以托架4的腿部6不向基台3的上侧(z方向的正侧)移动的方式、即以不远离基台3的方式进行限制，前侧限位器13以不向前侧(x方向的负侧)挪动的方式限制托架4。此外，对于实施方式2的定位部件30和托架载置台50而言，1组后侧限位器12通过凹部28以不向横向(y方向)挪动的方式限制托架4的腿部6，前侧限位器13通过凹部29以不向横向(y方向)挪动的方式限制托架4的开口边缘部7。实施方式2的定位部件30和托架载置台50以托架4的开口边缘部7和腿部6不向横向(y方向)挪动的方式进行限制，因此在从基台3移动托架4时，即在托架4的开口边缘部7高于前侧限位器2时，托架4不会在基台3上横着偏离，从而能够防止在图8中说明的由横向偏离产生的晶片5的落下。对于实施方式2的定位部件30和托架载置台50而言，在从基台3移动托架4时，即在托架4的开口边缘部7高于前侧限位器2时，托架4不会在基台3上横着偏离，因此托架4的开口边缘部7能够与前侧限位器13接触或者不与前侧限位器13接触地通过前侧限位器13的上侧，从而托架4不会向前侧倾斜。

实施方式2的定位部件30设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器12和具有凹部29的前侧限位器13。此外，后侧限位器12具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式2的定位部件30而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。实施方式2的托架载置台50设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器12和具有凹部29的前侧限位器13。此外，后侧限位器12具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式2的托架载置台50而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

实施方式3

图9是表示实施方式3的定位部件和托架载置台的图，图10是表示图9的后侧限位器部的平面的图。图11、图12、图13是说明在图9的托架载置台载置托架的方法的图。在附图中与实施方式1、2共通的部分标注了与实施方式1、2的附图中相同的附图标记。实施方式3的定位部件30和托架载置台50与实施方式1、2的定位部件30和托架载置台50的不同点在于：具备两个支承部件31a、31b来代替4个限位器。在图11、图12、图13中省略了基台3。

定位部件30具备两个支承部件31a、31b。支承部件31a、31b分别具备后侧限位器部15、前侧限位器部16、以及将后侧限位器部15与前侧限位器部16连接并且将托架4向后侧限位器部15引导的引导部17。在图9中，从前侧限位器部16向后侧限位器部15的方向是x方向，与基台3中的后侧限位器部15和前侧限位器部16的搭载面垂直的方向是z方向，与x方向和z方向垂直的方向是y方向。支承部件31a和支承部件31b为相互相对于x方向的虚线38反转而成的形状。在图10中示出了y方向的正侧的后侧限位器部15、即支承部件31a的后侧限位器部15。y方向的负侧的后侧限位器部15、即支承部件31b的后侧限位器部15为y方向的正侧的后侧限位器部15相对于x方向的虚线38反转而成的形状。y方向的负侧的前侧限位器部16和y方向的正侧的前侧限位器部16为相互相对于x方向的虚线38反转而成的形状。

后侧限位器部15是比虚线37靠x方向的正侧的部分，具有形成有孔33的主体部22和爪部27。后侧限位器部15通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。前侧限位器部16是比虚线39靠x方向的负侧的部分，由形成孔33并且具有凹部29的主体部23构成。前侧限位器部16通过插入于孔33的固定螺钉26而固定于基台3。前侧限位器部16为具有凹部29的主体部23，因此也能够表现为具有凹部29。引导部17是从虚线39到虚线37的部分，并且是将托架4的板状端部(腿部6)向凹部28和爪部27引导的部件。

后侧限位器部15的主体部22以托架4的腿部6不向后侧(x方向的正侧)挪动的方式进行限制，并且以托架4的腿部6不向横向(y方向)的外侧挪动的方式进行限制。后侧限位器部15的爪部27限制托架4的腿部6向基台3的上侧(z方向的正侧)的挪动，即以不远离基台3的方式进行限制。通过2个、即1组支承部件31a、31b的后侧限位器部15，以托架4不向横向(y方向的正侧和负侧)挪动的方式进行限制。如图9、图10所示，主体部22具有凹部28，即在主体部22形成有凹部28。另外，凹部28的侧面为与托架4的腿部6的底面和外侧面对置的主体部22的托架对置面。在图9、图10的后侧限位器部15中记载的虚线表示凹部28的侧面、即托架对置面。

前侧限位器部16以托架4不向前侧(x方向的负侧)挪动的方式进行限制，并且以托架4的开口边缘部7不向横向(y方向)的外侧挪动的方式进行限制。通过2个即1组支承部件31a、31b的前侧限位器部16，以托架4的开口边缘部7不向横向(y方向的正侧和负侧)挪动的方式进行限制。即，前侧限位器部16具有凹部29，该凹部29限制托架4中的开口边缘部7向前侧的移动，并且在与基台3平行的方向即在作为与前侧的方向垂直的方向的横向上限制开口边缘部7向托架的外侧的移动。

在实施方式1的定位部件30和托架载置台50中，在将托架4载置于基台3时，需要将托架4的腿部6与后侧限位器1的前侧对位来放置，并且在后侧限位器1准确地插入于爪部25与基台3的缝隙。若保持托架4与后侧限位器1的位置大幅度地偏离的状态误使托架4向后侧(x方向的正侧)移动，则托架4的腿部6不会碰到后侧限位器1，因此存在托架4还向后侧移动而位于两个腿部6的中间的一个后侧限位器1进入于托架4的侧板41中的没有腿部6的部分的情况。在晶片5进入至托架4的侧板41侧(基台3侧)的情况下，存在后侧限位器1与侧板41侧的晶片5碰撞的风险。

实施方式3的定位部件30和托架载置台50的支承部件31a、31b具备将托架4向后侧限位器部15引导的引导部17，由此在将托架4载置于托架载置台50的基台3时，与后侧限位器部15的对位变得可靠，从而能够防止后侧限位器部15与侧板41侧的晶片5的碰撞。使用图11～图13对在实施方式3的托架载置台50载置托架4的方法进行说明。

在将托架4载置于托架载置台50的基台3时，如图11所示，如箭头18所示的那样将托架4的腿部6放入于支承部件31a、31b的引导部17的内侧。托架4的开口边缘部7与前侧限位器部16接触或者不与前侧限位器部16接触地通过支承部件31a、31b的前侧限位器部16的上侧，因此托架4不会向前侧倾斜。接着如图12所示，若如箭头19表示的那样向后侧(x方向的正侧)挪动托架4的腿部6，则引导部17将腿部6向后侧限位器部15导入，并且后侧限位器部15限制托架4的腿部6的移动，因此托架4不过度地向后挪动。接着如图13所示，若如箭头20那样使托架4旋转并相对于基台3垂直地立起，则托架4的开口边缘部7如箭头21所示的那样嵌合于支承部件31a、31b的前侧限位器部16。

实施方式3的支承部件31a、31b具备与实施方式2的后侧限位器12相同的形状的后侧限位器部15、和与实施方式2的前侧限位器13相同的形状的前侧限位器部16，因此实施方式3的定位部件30和托架载置台50起到与实施方式2的定位部件30及托架载置台50相同的效果。即，实施方式3的定位部件30设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器部15和具有凹部29的前侧限位器部16。此外，后侧限位器部15具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式3的定位部件30而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。此外，实施方式3的定位部件30的支承部件31a、31b具备将托架4向后侧限位器部15引导的引导部17，由此在将托架4载置于基台3时，与后侧限位器部15的对位变得可靠，从而能够防止后侧限位器部15与侧板41侧的晶片5的碰撞。

实施方式3的托架载置台50设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器部15和具有凹部29的前侧限位器部16。此外，后侧限位器部15具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式3的托架载置台50而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。此外，实施方式3的托架载置台50的支承部件31a、31b具备将托架4向后侧限位器部15引导的引导部17，由此在将托架4载置于基台3时，与后侧限位器部15的对位变得可靠，从而能够防止后侧限位器部15与侧板41侧的晶片5的碰撞。

实施方式3的定位部件30是固定于基台3并且将托架4定位于基台3的托架的定位部件，该托架4将多个板状装载物(晶片5)以表面或者背面与基台3对置的方式进行收纳。将取出放入板状装载物(晶片5)的托架4的开口45侧作为前侧，将与托架4的开口45相反的一侧作为后侧。实施方式3的定位部件30具备第一支承部件31a，该第一支承部件31a具有：第一前侧限位器部16，其与托架4的开口45的一个端部亦即第一开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；第一后侧限位器部15，其与形成于托架4的后侧的第一板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动；以及第一引导部17，其将第一前侧限位器部16与第一后侧限位器部15连接，并且向第一后侧限位器部15引导托架4的第一板状端部(腿部6)。此外，实施方式3的定位部件30具备第二支承部件31b，该第二支承部件31b具有：第二前侧限位器部16，其与托架4的开口45的另一端部亦即第二开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；第二后侧限位器部15，其与形成于托架4的后侧的第二板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动；以及第二引导部17，其将第二前侧限位器部16与第二后侧限位器部15连接，并且向第二后侧限位器部15引导托架4的第二板状端部(腿部6)。对于实施方式3的定位部件30而言，通过这样的结构，两个前侧限位器部16限制托架4向前侧的移动，两个后侧限位器部15限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动，因此在将托架4向固定有托架的定位部件30的基台3载置时或者从固定有托架的定位部件30的基台3移动托架4时，能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

实施方式3的托架载置台50具备基台3和固定于基台3的定位部件30。定位部件30是固定于基台3并且将托架4定位于基台3的托架的定位部件，该托架4将多个板状装载物(晶片5)以表面或者背面与基台3对置的方式进行收纳。将取出放入板状装载物(晶片5)的托架4的开口45侧作为前侧，将与托架4的开口45相反的一侧作为后侧。定位部件30具备第一支承部件31a，该第一支承部件31a具有：第一前侧限位器部16，其与托架4的开口45的一个端部亦即第一开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；第一后侧限位器部15，其与形成于托架4的后侧的第一板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动；以及第一引导部17，其将第一前侧限位器部16与第一后侧限位器部15连接，并且向第一后侧限位器部15引导托架4的第一板状端部(腿部6)。此外，定位部件30具备第二支承部件31b，该第二支承部件31b具有：第二前侧限位器部16，其与托架4的开口45的另一端部亦即第二开口边缘部7接触，来限制托架4向前侧的移动；第二后侧限位器部15，其与形成于托架4的后侧的第二板状端部(腿部6)接触，来限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动；以及第二引导部17，其将第二前侧限位器部16与第二后侧限位器部15连接，并且向第二后侧限位器部15引导托架4的第二板状端部(腿部6)。对于实施方式3的托架载置台50而言，通过这样的结构，两个前侧限位器部16限制托架4向前侧的移动，两个后侧限位器部15限制托架4向后侧的移动以及向与基台3垂直的方向的移动，因此在将托架4向该托架载置台50的基台3载置时或者从该托架载置台50的基台3移动托架4时，能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。

实施方式4

在实施方式3中，示出了引导部17将后侧限位器部15与前侧限位器部16连接的定位部件30的例子，但引导部17也可以不与前侧限位器部16连接。即，如图14所示，定位部件30也可以具备1组前侧限位器13和具有1组引导部17的后侧限位器12。图14是表示实施方式4的定位部件和托架载置台的图，图15是表示图14的后侧限位器的主要部分的俯视图。在附图中与实施方式1～3共通的部分标注了与实施方式1～3的附图中相同的附图标记。

前侧限位器13与实施方式2的前侧限位器13相同。后侧限位器12与实施方式2的后侧限位器12的不同点在于：在前侧(x方向的负侧)具有将托架4向主体部22和爪部27引导的引导部17。引导部17是从虚线37到前侧的部分。主体部22是从虚线37到后侧的部分。后侧限位器12具有主体部22、爪部27、以及向主体部22和爪部27引导的引导部17。在图14中从前侧限位器13向后侧限位器12的方向是x方向，与基台3中的后侧限位器12和前侧限位器13的搭载面垂直的方向是z方向，与x方向和z方向垂直的方向是y方向。在图15中示出了y方向的正侧的后侧限位器12的主要部分。y方向的负侧的后侧限位器12为y方向的正侧的后侧限位器12相对于x方向的虚线38反转而成的形状。y方向的负侧的前侧限位器13和y方向的正侧的前侧限位器13为相互相对于x方向的虚线38反转而成的形状。

实施方式4的定位部件30和托架载置台50的后侧限位器12具备与实施方式3相同的引导部17，因此实施方式4的定位部件30和托架载置台50起到与实施方式3的定位部件30和托架载置台50相同的效果。即，实施方式4的定位部件30设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器12和具有凹部29的前侧限位器13。此外，后侧限位器12具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式4的定位部件30而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。此外，实施方式4的定位部件30的后侧限位器12具备将托架4向凹部28和爪部27引导的引导部17，由此在将托架4载置于基台3时，与主体部22和爪部27的对位变得可靠，从而能够防止主体部22和爪部27与侧板41侧的晶片5的碰撞。

实施方式4的托架载置台50设计为在将托架4载置于基台3时或者从基台3移动托架4时托架4肯定向后侧倾斜，并且具备以托架4不向前后方向(x方向)和横向(y方向)挪动的方式进行限制的、具有形成有凹部28的主体部22的后侧限位器12和具有凹部29的前侧限位器13。此外，后侧限位器12具备限制托架4从基台3的脱离的爪部27。因此对于实施方式4的托架载置台50而言，在从基台3移动托架4时，托架4不会横着偏离，并且托架4不会误向前侧倾斜，从而能够防止板状装载物(晶片5)从托架4滑落。此外，实施方式4的托架载置台50的后侧限位器12具备将托架4向凹部28和爪部27引导的引导部17，由此在将托架4载置于基台3时与主体部22和爪部27的对位变得可靠，从而能够防止主体部22和爪部27与侧板41侧的晶片5的碰撞。

另外，本申请记载了各种例示性的实施方式和实施例，但一个或者多个实施方式所记载的各种特征、方式以及功能并不限于特定的实施方式的应用，能够以单独或者各种组合应用于实施方式。因此，在本申请说明书公开的技术范围内假定有未例示的无数的变形例。例如，至少对一个结构要素进行变形的情况、增加的情况或者省略的情况，还包括抽出至少一个结构要素并与其他实施方式的结构要素组合的情况。

附图标记说明

1…后侧限位器；2…前侧限位器；3…基台；4…托架；5…晶片(板状装载物)；6…腿部(板状端部)；7…开口边缘部；12…后侧限位器；13…前侧限位器；15…后侧限位器部；16…前侧限位器部；17…引导部；22…主体部；25、27…爪部；28、29…凹部；30…定位部件；31a、31b…支承部件；45…开口；50…托架载置台。