带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板

技术领域

本发明涉及水冷板技术领域，具体为带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

背景技术

在液晶半导体成膜过程中，靶体受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶体损坏，于是需要通过冷却背板，对靶体持续进行冷却，但是目前的水冷板内部结构简单，大多都是通过单一的水循环管道进行冷却，冷却效率低，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，且现有的水冷板仅通过自然的空气流动带走水冷板上的热量，这样的风冷方式散热效率非常低，使用效果差，为此，我们提出带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板。

发明内容

本发明的目的在于提供带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，以解决上述背景技术中提出的现有的水冷板冷却效率低的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板和盖板，所述底板和盖板之间设有循环水道，所述循环水道的进水口连通有进水管，所述进水管位于底板的顶端左侧，所述循环水道的出水口连通有回水管，所述回水管位于底板的底端右侧，且进水管上连接有流量阀，所述盖板的前端面设有温度传感器，且温度传感器电性连接流量阀，所述底板的左侧外壁可拆卸连接有连接罩，且连接罩内设置有散热风扇，所述散热风扇的出风口正对循环水道的一侧，且底板的右侧外壁开设有若干组散热孔。

优选的，相邻所述循环水道之间设置有进气管，且进气管竖直插接在底板和盖板之间，所述进气管的顶端连通有通气管，所述通气管位于底板的顶端，且进气管的管壁上开设有若干组开孔，所述开孔正对循环水道，所述盖板的前端面开设有若干组气孔。

优选的，所述进水管与循环水道的连接处设有连接管道，且连接管道通过法兰连接进水管和循环水道，所述连接管道截面呈圆形，且连接管道的内壁固定连接有限位环，所述限位环呈圆形，且限位环的顶端活动连接有过滤网。

优选的，所述连接罩呈U字型，且开口端正对底板的左侧外壁，所述连接罩的两侧外壁固定连接有安装板，所述安装板内腔竖直插接有紧固螺栓，且紧固螺栓的底端螺纹连接在底板和盖板之间，所述连接罩的左侧外壁开设有若干组与散热孔相匹配的进风口。

优选的，所述连接罩内腔前侧竖直插接有防尘网，所述连接罩的底端内壁设有与防尘网相匹配的安装座，所述连接罩的顶端且位于防尘网的左侧固定连接有第一固定块，所述连接罩的顶端且位于防尘网的右侧固定连接有第二固定块，所述第一固定块的一侧竖直插接有调节螺栓，所述调节螺栓的底端固定连接有压盘，所述压盘的下表面贴合在防尘网的一侧。

优选的，所述连接罩内腔且位于散热风扇的前端面活动连接有第一冷水管，所述第一冷水管的两侧螺纹连接有连接座，所述连接座位于连接罩的内壁。

优选的，所述底板和盖板之间的左侧内壁固定连接有集风腔，所述集风腔的进风口正对连接罩的出风口，所述集风腔呈梯形，且集风腔内竖直插接有第二冷水管，所述集风腔的出风口正对循环水道。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过循环水道加速水冷板内部的散热，在循环水道之间通过通气管和进气管通入冷气，进气管上的开孔将通入的冷气传输到循环水道上，可加速对循环水道的散热，冷却效率高，进水侧与回水侧温差小，整板温度均匀性好。

2、设置在进水管上的连接管道可过滤加入循环水道的冷却水，防止冷却水的杂质进到循环水道中影响循环水道的冷却散热，间接提高了冷却板的冷却效率。

3、通过连接罩内的散热风扇可加速空气的流动，风冷配合循环水道的水冷效率更高，其中，连接罩内可拆卸连接的防尘网可有效隔离流入空气中的杂质，散热风扇前侧的第一冷水管可将吹入的风进行冷却，确保进入循环水道中的风为冷风，设置在连接罩出风口位置的集风腔为梯形结构，可集中风量，防止送入的风量流失，进一步提高了风冷效率，使用效果好。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明底板前视图；

图3为本发明图1中A处放大示意图；

图4为本发明连接罩内部结构示意图；

图5为本发明集风腔与底板连接示意图。

图中：1、底板；2、盖板；3、流量阀；4、进水管；5、通气管；6、进气管；7、散热孔；8、开孔；9、回水管；10、循环水道；11、安装板；12、连接罩；13、紧固螺栓；14、温度传感器；15、气孔；16、连接管道；17、过滤网；18、限位环；19、法兰；20、安装座；21、连接座；22、散热风扇；23、防尘网；24、第一冷水管；25、进风口；26、压盘；27、调节螺栓；28、第一固定块；29、第二固定块；30、集风腔；31、第二冷水管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本发明提供技术方案：

请参照图1，带有循环水道的液晶半导体成膜用水冷板，包括底板1和盖板2，底板1和盖板2之间设有循环水道10，循环水道10的进水口连通有进水管4，进水管4位于底板1的顶端左侧，循环水道10的出水口连通有回水管9，回水管9位于底板1的底端右侧，循环水道10设置在底板1和盖板2之间，在使用时，从进水管4通入冷却水，冷却水从循环水道10设置的方向流动，可加速对水冷板的散热，进水侧与回水侧温差小，整板温度均匀性好，其中，循环水道10布置方向可根据需要设置。

请参照图1和图4，且进水管4上连接有流量阀3，流量阀3用于调节每个分部内冷却液的流量，盖板2的前端面设有温度传感器14，且温度传感器14电性连接流量阀3，底板1的左侧外壁可拆卸连接有连接罩12，且连接罩12内设置有散热风扇22，散热风扇22的出风口正对循环水道10的一侧，且底板1的右侧外壁开设有若干组散热孔7，温度传感器14和流量阀3连通外部电源和PCL控制器后，温度传感器14实现监测水冷板内温度，当温度过高时，温度传感器14将信号反馈到PCL控制器，PCL控制器控制流量阀3工作，温度过高时，流入的冷却水越多，温度不高时，流入的冷却水不多，避免造成冷却水浪费，连接罩12内的散热风扇22加速了空气流动，将空气送入底板1和盖板2连接处的循环水道10内，对循环水道10进行散热，比传统的空气自然流动的冷却效率高，风冷配合水冷使水冷板的冷却效率得到有效的提升。

请参照图1和图2，相邻循环水道10之间设置有进气管6，且进气管6竖直插接在底板1和盖板2之间，进气管6的顶端连通有通气管5，通气管5位于底板1的顶端，且进气管6的管壁上开设有若干组开孔8，开孔8正对循环水道10，盖板2的前端面开设有若干组气孔15，当水冷板自身温度较高时，循环水道10在散热时，吸收了大量水冷板上的热量，此时，从通气管5的进气口通入冷气，通气管5将冷气送到进气管6上，进气管6上的开孔8将送入的冷气传导到循环水道10时，配合盖板2上的气孔15将循环水道10的热量送出，避免循环水道10内的水温过高对水冷板的散热造成影响，间接提高了水冷板的冷却效率。

请参照图1和图3，进水管4与循环水道10的连接处设有连接管道16，且连接管道16通过法兰19连接进水管4和循环水道10，连接管道16截面呈圆形，且连接管道16的内壁固定连接有限位环18，限位环18呈圆形，且限位环18的顶端活动连接有过滤网17，通过法兰19活动连接的连接管道16方便拆装，过滤网17可根据需要设置滤口大小，将过滤网17安装在限位环18上，过滤网17可过滤从进水管4流入循环水道10中的杂质，防止冷却水中的杂质影响循环水道10的散热效率。

请参照图1和图4，连接罩12呈U字型，且开口端正对底板1的左侧外壁，连接罩12的两侧外壁固定连接有安装板11，安装板11内腔竖直插接有紧固螺栓13，且紧固螺栓13的底端螺纹连接在底板1和盖板2之间，连接罩12的左侧外壁开设有若干组与散热孔7相匹配的进风口25，通过安装板11和紧固螺栓13将连接罩12安装在底板1的左侧外壁，拆装简单方便且连接稳定，散热风扇22从进风口25内进风，进风口25与散热孔7之间形成对流，既可将散热风扇22的风可有效送到循环水道10上，实现了风冷散热。

请参照图4，连接罩12内腔前侧竖直插接有防尘网23，连接罩12的底端内壁设有与防尘网23相匹配的安装座20，连接罩12的顶端且位于防尘网23的左侧固定连接有第一固定块28，连接罩12的顶端且位于防尘网23的右侧固定连接有第二固定块29，第一固定块28的一侧竖直插接有调节螺栓27，调节螺栓27的底端固定连接有压盘26，压盘26的下表面贴合在防尘网23的一侧，可拆卸连接的防尘网23可隔离散热风扇22吹入风中的灰尘和杂物，防止灰尘和其他杂物损坏循环水道10和影响散热，在安装防尘网23时，将防尘网23的底端插接在安装座20内，此时，防尘网23的顶端位于第一固定块28和第二固定块29之间，此时，转动与第一固定块28垂直设置的调节螺栓27，调节螺栓27带动压盘26向防尘网23的一侧移动，配合固定的第二固定块29完成对防尘网23的限位和安装，在拆卸时，反向重复上述步骤即可，操作简单方便且连接稳定。

请参照图4，连接罩12内腔且位于散热风扇22的前端面活动连接有第一冷水管24，第一冷水管24的两侧螺纹连接有连接座21，连接座21位于连接罩12的内壁，第一冷水管24可降低散热风扇22吹入风的温度，确保吹到循环水道10上的风为冷风，加速了对循环水道10散热，提高了水冷板的冷却效率。

请参照图1和图5，底板1和盖板2之间的左侧内壁固定连接有集风腔30，集风腔30的进风口正对连接罩12的出风口，集风腔30呈梯形，且集风腔30内竖直插接有第二冷水管31，集风腔30的出风口正对循环水道10，梯形状的集风腔30的短边靠近连接罩12出风口的一侧，长边靠近循环水道10的一侧，集风腔10可集中散热风扇22吹入的风量，防止风量流失，提高了水冷板的散热效率。

工作原理：在使用本发明时，首先，将提前设置好的循环水道10安装在底板1和盖板2之间，在循环水道10与进水管4之间通过法兰19安装好连接管道16，将过滤网17安装在连接管道16内的限位环18上，过滤网17可过滤从进水管4流入循环水道10中的杂质，防止冷却水中的杂质影响循环水道10的散热效率，再将进气管6延底板1和盖板2之间插入，并使进气管6位于循环水道10之间，然后，通过安装板11和紧固螺栓13将U字型的连接罩12安装在底板1的左侧外壁，在连接罩12内通过安装座20、第一固定块28、第二固定块29、调节螺栓17和压盘26的配合使用，将防尘网23安装在散热风扇22的前侧，将第一冷水管24安装在防尘网23和散热风扇22之间，并在连接罩12的出风口位置安装好集风腔30，并将水冷板内的用电设备连接外部电源和PCL控制器，从进水管4通入冷却水，冷却水从循环水道10设置的方向流动，可加速对水冷板的散热，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，其中，在进水管4上设有流量阀3，盖板2前端面的温度传感器14实现监测水冷板内温度，当温度过高时，温度传感器14将信号反馈到PCL控制器，PCL控制器控制流量阀3工作，温度过高时，流入的冷却水越多，温度不高时，流入的冷却水不多，避免造成冷却水浪费，然后，从通气管5的进气口通入冷气，通气管5将冷气送到进气管6上，进气管6上的开孔8将送入的冷气传导到循环水道10时，配合盖板2上的气孔15将循环水道10的热量送出，避免循环水道10内的水温过高对水冷板的散热造成影响，最后，将连接罩12内的散热风扇22连通电源并启动，其中，连接罩12内的防尘网23可隔离散热风扇22吹入风中的灰尘和杂物，防止灰尘和其他杂物损坏循环水道10和影响散热，第一冷水管24可降低散热风扇22吹入风的温度，确保吹到循环水道10上的风为冷风，加速了对循环水道10散热，梯形状的集风腔30的短边靠近连接罩12的一侧，长边靠近循环水道10的一侧，集风腔10可集中散热风扇22吹入的风量，防止风量流失，提高了水冷板的散热效率，连接罩12内的散热风扇22加速了空气流动，将空气送入底板1和盖板2连接处的循环水道10内，对循环水道10进行散热，比传统的空气自然流动的冷却效率高，风冷配合水冷使水冷板的冷却效率得到有效的提升。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。