无尘车间新风系统自适应调节方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及无尘车间新风系统自适应调节方法。

背景技术

半导体芯片的生产环境的要求是极高的，需要在无尘车间内生产。无尘车间都配备有新风系统，新风系统由低温送风新风机组、空气净化装置、全热交换器、自动控制系统等组成。

传统情况下，新风系统的进风量大小采用简单控制方法，无法实现根据无尘车间的需求进行自适应调节。

发明内容

为了克服现有技术存在的缺点与不足,本发明提供无尘车间新风系统自适应调节方法。

本发明所采用的技术方案是，无尘车间新风系统自适应调节方法，其将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。

优选的，具体包括如下步骤：

步骤Q1：在新风系统配置PID控制器，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；构建模糊神经网络，然后根据无尘车间的新风系统进展程度对应生成各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，以及新风系统实施阶段的新风系统实施动态设定区间；

步骤Q2：设定进风量状态变量，导入模糊化模块，生成模糊规则；模糊化模块用来对状态变量进行模糊量化和归一化处理，在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，将模糊规则导入神经网络模块，获得加权系数，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；

步骤Q3：将神经网络的输出层输出对应于PID控制器的可调参数，根据新风系统的运行状态，调整加权系数，获得最优控制下的PID参数，在新风系统实施阶段获取对应的操控和监管数值，然后将新风系统实施阶段的操控和监管数值与对应的新风系统实施动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应新风系统实施动态设定区间时发出相应的调整控制信号，PID控制器对控制对象进行闭环控制。

优选的，步骤Q1中，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值小于其对应的人工智能控制阀动态设定区间时，根据该前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值和人工智能控制阀动态设定区间对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整。

优选的，步骤Q3中具体包括以下步骤：

步骤Q31：在新风系统实施阶段的送审信息通过后，获取新风系统实施阶段的初步风险等级和进展风险等级；

步骤Q32：将初步风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若初步风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；

步骤Q33：将进展风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若进展风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；

步骤Q34：进入无尘车间PID参数调节计算环节。

优选的，新风系统实施动态设定区间为无尘车间新风系统进展程度的百分之九十九。

优选的，步骤Q1中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为新风系统开始人工智能控制阀、新风系统中期人工智能控制阀、新风系统修改人工智能控制阀和新风系统完成人工智能控制阀。

本发明还公开了无尘车间新风系统自适应调节方法，其基于上述的新风系统实施管控调整控制信号方法实施，具体包括：

无尘车间新风系统调整模块，用于将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；

无尘车间新风系统人工智能控制阀监测模块，用于在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，以及该无尘车间的新风系统进展程度；

无尘车间新风系统运行控制模块，用于将新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值输入至预先建立的新风系统调整控制模型内并获取新风系统调整控制模型输出的新风系统调整控制结果；所述新风系统调整控制模型根据新风系统进展程度生成对应新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，当操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时，输出相应的新风系统风险故障并发出调整控制信号作为新风系统调整控制结果。

优选的，所述新风系统调整控制模型根据新风系统各维度数值和历史新风系统信息建立；所述新风系统各维度数值包括新风系统人工智能控制阀、新风系统人工智能控制阀起止时间、新风系统风险因素、新风系统人为工作内容和新风系统进展程度；所述新风系统调整控制模型根据人工神经网络模型计算对应的人工智能控制阀动态设定区间。

本发明中的新风系统实施管控调整控制信号方法及系统与现有技术相比，具有如下优点：

本发明中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，并对各个新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值进行了管控，能够避免无尘车间在新风系统调节超过设定标准，进而能够在一定程度上避免无尘车间在新风系统实施阶段出现新风系统风险的问题，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果，并能够辅助提升无尘车间质量。其次，本发明根据新风系统进展程度，以及历史数据或经验值提前计算生成了人工智能控制阀动态设定区间和新风系统实施动态设定区间，使得对于各个新风系统人工智能控制阀和新风系统实施阶段的设备状态管控效果更好，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一中无尘车间新风系统自适应调节方法的第一流程框图；

图2为本发明实施例二中无尘车间新风系统自适应调节方法的第二流程框图；

图3为本发明实施例三中无尘车间新风系统自适应调节方法使用模块图。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合,下面结合附图和有具体实施例对本申请作进一步详细说明。

实施例一：

本实施例中公开了无尘车间新风系统自适应调节方法。

无尘车间新风系统自适应调节方法，其将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。结合图1所示，具体包括如下步骤：

步骤Q1：在新风系统配置PID控制器，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；构建模糊神经网络，然后根据无尘车间的新风系统进展程度对应生成各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，以及新风系统实施阶段的新风系统实施动态设定区间；

步骤Q2：设定进风量状态变量，导入模糊化模块，生成模糊规则；模糊化模块用来对状态变量进行模糊量化和归一化处理，在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，将模糊规则导入神经网络模块，获得加权系数，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；

步骤Q3：将神经网络的输出层输出对应于PID控制器的可调参数，根据新风系统的运行状态，调整加权系数，获得最优控制下的PID参数，在新风系统实施阶段获取对应的操控和监管数值，然后将新风系统实施阶段的操控和监管数值与对应的新风系统实施动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应新风系统实施动态设定区间时发出相应的调整控制信号，PID控制器对控制对象进行闭环控制。

本发明中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，并对各个新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值进行了管控，能够避免无尘车间在新风系统调节超过设定标准，进而能够在一定程度上避免无尘车间在新风系统实施阶段出现新风系统风险的问题，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果，并能够辅助提升无尘车间质量。其次，本发明根据新风系统进展程度，以及历史数据或经验值提前计算生成了人工智能控制阀动态设定区间和新风系统实施动态设定区间，使得对于各个新风系统人工智能控制阀和新风系统实施阶段的设备状态管控效果更好，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

具体实施过程中，步骤Q1中，还根据无尘车间的新风系统进展程度生成对应各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值；步骤Q2中，在新风系统人工智能控制阀发生时，将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀风险等级值作配比，并在操控和监管数值小于对应人工智能控制阀风险等级值时发出相应的调整控制信号。

本发明中还设置了人工智能控制阀风险等级值，并能够在操控和监管数值小于对应人工智能控制阀风险等级值时发出相应的调整控制信号，即能够在操控和监管数值与设备运行健康状态明显不符时发出调整控制，以提醒相关人员核查，从而能够辅助提升无尘车间质量。

具体实施过程中，结合图2所示，步骤Q3中具体包括以下步骤：

步骤Q31：在新风系统实施阶段的送审信息通过后，获取新风系统实施阶段的初步风险等级和进展风险等级；新风系统实施动态设定区间为新风系统进展程度的百分之九十九；

步骤Q32：将初步风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若初步风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；

步骤Q33：将进展风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若进展风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；

步骤Q34：进入无尘车间PID参数调节计算环节。

在新风系统实施阶段，本发明首先核查新风系统实施的送审信息，并在送审信息通过后进行新风系统实施阶段的故障管控，并能够发出相应的调整控制信号，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。其次，本发明对新风系统实施阶段的操控和监管数值进行了两次不同的风险管控，这有利于提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

具体实施过程中，步骤Q1中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为新风系统开始人工智能控制阀、新风系统中期人工智能控制阀、新风系统修改人工智能控制阀和新风系统完成人工智能控制阀。

本发明中，根据无尘车间的新风系统调节阶段对应调整各个新风系统人工智能控制阀，使得调整得到的新风系统人工智能控制阀能够与无尘车间实际新风系统调节流程相适应，从而有利于提升对各个新风系统人工智能控制阀的管控效果，并能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

具体实施过程中，新风系统开始人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之四十，新风系统开始人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值为新风系统进展程度的百分之二十；新风系统中期人工智能控制阀和新风系统修改人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之七十，新风系统中期人工智能控制阀和新风系统修改人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值为新风系统进展程度的百分之五十；新风系统完成人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之八十，新风系统完成人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值为新风系统进展程度的百分之六十。

本发明中，通过对各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间和人工智能控制阀风险等级值的设置，使得对于各个新风系统人工智能控制阀和新风系统实施阶段的设备状态管控效果更好，并能够在操控和监管数值与设定标准故障明显不符时发出调整控制，以提醒相关人员核查设备状态信息，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果，并能够辅助提升无尘车间质量。

实施例二：

本实施例在实施例一的基础上，公开了人工智能控制阀动态设定区间的更新方法。

本实施例的步骤Q1中，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值小于其对应的人工智能控制阀动态设定区间时，根据该前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值及对应的人工智能控制阀动态设定区间对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整。

本发明中，能够根据前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与人工智能控制阀动态设定区间的差值对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整，使得该无尘车间最终的新风系统控制能够与新风系统进展程度更契合，从而能够更好的对各个新风系统人工智能控制阀进行设备状态管控，有利于提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

例如，预先设置的新风系统开始人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之四十；新风系统中期人工智能控制阀和新风系统修改人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之七十；新风系统完成人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间为新风系统进展程度的百分之八十。那么，当新风系统开始人工智能控制阀的操控和监管数值为新风系统进展程度的百分之二十五时，其与人工智能控制阀动态设定区间的差值为百分之十五，所以本实施例将新风系统开始人工智能控制阀的下一新风系统人工智能控制阀，新风系统中期人工智能控制阀和新风系统修改人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间调整为新风系统进展程度的百分之七十五。而当新风系统开始人工智能控制阀的操控和监管数值为新风系统进展程度的百分之三十八时，其与人工智能控制阀动态设定区间的差值为百分之二，所以本实施例将新风系统开始人工智能控制阀的下一新风系统人工智能控制阀，新风系统中期人工智能控制阀和新风系统修改人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间调整为新风系统进展程度的百分之六十九。

具体的，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与人工智能控制阀动态设定区间的差值大于百分之十时，对应上调后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间；当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与人工智能控制阀动态设定区间的差值小于百分之五时，对应下调后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间。具体的调整数值，根据历史数据或对应的无尘车间而定。这样，使得该无尘车间最终的新风系统控制能够与新风系统进展程度更契合。

实施例三：

本实施例在实施例一的基础上，进一步公开了一种新风系统实施管控调整控制信号系统。

结合图3所示，无尘车间新风系统自适应调节方法，具体包括：无尘车间新风系统调整模块，用于将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；

无尘车间新风系统人工智能控制阀监测模块，用于在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，以及该无尘车间的新风系统进展程度；

无尘车间新风系统运行控制模块，用于将新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值输入至预先建立的新风系统调整控制模型内并获取新风系统调整控制模型输出的新风系统调整控制结果；

新风系统调整控制模型根据新风系统进展程度生成对应新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，当操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时，输出相应的新风系统风险故障并发出调整控制信号作为新风系统调整控制结果。本实施例中，新风系统调整控制模型根据新风系统各维度数值和历史新风系统信息建立；新风系统各维度数值包括新风系统人工智能控制阀、新风系统人工智能控制阀起止时间、新风系统风险因素、新风系统人为工作内容和新风系统进展程度；新风系统调整控制模型根据人工神经网络模型计算对应的人工智能控制阀动态设定区间。

本发明中，通过无尘车间新风系统调整模块将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，并结合无尘车间新风系统人工智能控制阀监测模块和无尘车间新风系统运行控制模块对各个新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值进行了管控，能够避免无尘车间在新风系统调节超过设定标准，进而能够在一定程度上避免无尘车间在新风系统实施阶段出现新风系统风险的问题，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果，并能够辅助提升无尘车间质量。其次，本发明中的新风系统调整控制模型根据新风系统进展程度，以及历史数据或经验值提前计算生成了对应的人工智能控制阀动态设定区间和新风系统实施动态设定区间，使得对于各个新风系统人工智能控制阀和新风系统实施阶段的设备状态管控效果更好，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。

在本发明描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日当中发明所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期当中常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。