一种晶圆测试台

技术领域

本发明涉及传感器的测试工装技术领域，具体涉及一种晶圆测试台。

背景技术

晶圆测试，也称为探针测试，也就是中测。就是在晶圆制造完成后，对晶圆上每一个芯片进行电性能和电路功能的测试，确保晶圆能够实现芯片的电路功能，然后再送至封装工厂进行封装。为了保证芯片在高温、常温及低温环境下的性能稳定，在探针测试时，需要对其进行高温、常温和低温测试(即“三温测试”)，现有的常规三温测试台可以满足三温测试的需求。

常规的三温测试台结构主要包括空气压缩机以及常高温测试台，工作时，通过使用X/Y工作台移动手柄定位以及探针卡进行数据收集，通过横向纵向粗动台以及微动调整机构将晶圆送至探针底部，通过单筒显微镜观察腔体内部位置，再通过调整X/Y工作台移动手柄以及角度调整旋钮来使探针准确到达晶圆的开窗位置，然后通过探针分离把手完成数据收集。

但是上述的常规三温测试台，可以对常规的晶圆进行探针测试以及数据收集，但是磁电阻晶圆的探针测试，需要对晶圆施加磁场后才能完成对灵敏度，精度等的测试，因此上述常规三温测试台无法完成磁电阻晶圆的探针测试。

发明内容

因此，本发明所要解决的技术问题在于现有技术中的常规三温测试台，可以对常规的晶圆进行探针测试以及数据收集，但是磁电阻晶圆的探针测试，需要对晶圆施加磁场后才能完成对灵敏度，精度等的测试，因此上述常规三温测试台无法完成磁电阻晶圆的探针测试。

为此，本发明提供一种晶圆测试台，包括：

测试盒，其内设有测试腔；

磁场发生装置，设于所述测试腔内；

聚磁装置，设于所述测试腔内，且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧；

测试装置，与所述测试盒连接，所述测试装置中的探针设于所述测试腔内，以对所述测试腔的待测晶圆测试。

可选地，所述磁场发生装置包括若干磁场发生件，若干所述磁场发生件围合形成一测试空间，所述待测晶圆设于所述测试空间内。

可选地，所述磁场发生件包括线圈支架以及缠绕在所述线圈支架上的线圈。

可选地，所述聚磁装置包括第一磁体件和第二磁体件，所述第一磁体件和第二磁体件围合形成一聚磁空间，所述聚磁空间设于所述测试空间周侧。

可选地，所述第一磁体件和第二磁体件磁极相反。

可选地，所述线圈支架上设有安装槽，所述第一磁体件与所述第二磁体件设于所述安装槽内，以固定所述第一磁体件与所述第二磁体件。

可选地，晶圆测试台还包括磁场支架，与所述测试盒连接，所述磁场支架上设有通槽，所述磁场发生装置与所述聚磁装置设置于所述通槽周侧。

可选地，晶圆测试台还包括若干固定支架，所述固定支架连接在所述测试盒与所述磁场发生装置之间。

可选地，所述测试装置还包括调节件，所述调节件与所述探针连接，以调整所述探针相对所述待测晶圆位置。

本发明提供的技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供一种晶圆测试台，包括测试盒、磁场发生装置、聚磁装置和测试装置，测试盒内设有测试腔，磁场发生装置设于所述测试腔内，聚磁装置设于所述测试腔内，且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧，测试装置与所述测试盒连接，所述测试装置中的探针设于所述测试腔内，以对所述测试腔的待测晶圆测试。

此结构的晶圆测试台，通过在测试腔内设置磁场发生装置和聚磁装置，使得在通过测试装置中的探针对测试腔内的待测晶圆进行测试时，磁场发生装置和聚磁装置能够为待测晶圆提供磁场，从而满足磁电阻晶圆在测试过程中对所需外加磁场的需要，完成对灵敏度，精度的测试。

2.本发明提供一种晶圆测试台，所述磁场发生装置包括若干磁场发生件，若干所述磁场发生件围合形成一测试空间，所述待测晶圆设于所述测试空间内，所述磁场发生件包括线圈支架以及缠绕在所述线圈支架上的线圈。

此结构的晶圆测试台，通过设置线圈支架以及缠绕在所述线圈支架上的线圈为磁场发生件，在需要对待测晶圆提供磁场时，仅需对线圈通入电流即可产生磁场，且磁场强度可调，方便测试。

3.本发明提供一种晶圆测试台，所述聚磁装置包括第一磁体件和第二磁体件，所述第一磁体件和第二磁体件围合形成一聚磁空间，所述聚磁空间设于所述测试空间周侧，所述第一磁体件和第二磁体件磁极相反。

此结构的晶圆测试台，通过设置第一磁体件和第二磁体件，所述第一磁体件和第二磁体件围合形成一聚磁空间，所述聚磁空间设于所述测试空间周侧，第一磁体件和第二磁体件把线圈产生的磁场进行聚磁，从而在磁芯开缝隙处产生强磁场。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的晶圆测试台的整体结构示意图；

图2为本发明的实施例中提供的晶圆测试台的内部结构示意图；

图3为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中磁场支架的结构示意图；

图4为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中磁场发生装置、聚磁装置和测试装置的结构示意图；

图5为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中磁场发生装置和聚磁装置位置关系图；

图6为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中线圈支架的结构示意图；

图7为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中聚磁装置结构示意图；

图8为本发明的实施例中提供的晶圆测试台中调节件结构示意图；

图9为图8中圈A处的结构放大图。

附图标记说明：

1-测试盒；

2-线圈支架；

3-第一磁体件；

4-第二磁体件；

5-探针；

6-磁场支架；

7-固定支架；

8-调节件。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

本实施例提供一种晶圆测试台，如图1和图2所示，包括测试盒1、磁场发生装置、聚磁装置和测试装置，测试盒1呈正八边形，测试盒1内设有测试腔，磁场发生装置设于所述测试腔内，聚磁装置也设于所述测试腔内，且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧，通过在测试腔内设置磁场发生装置和聚磁装置，使得在通过测试装置中的探针5对测试腔内的待测晶圆进行测试时，磁场发生装置和聚磁装置能够为待测晶圆提供磁场，从而满足磁电阻晶圆在测试过程中对所需外加磁场的需要，完成对灵敏度，精度等的测试。

具体的，如图2所示，磁场发生装置包括两个并列设置的线圈支架2，聚磁装置包括第一磁体件3和第二磁体件4，且第一磁体件3和第二磁体件4磁极相反。

如图2和图3所示，测试盒1底部通过螺钉等紧固件固定连接有磁场支架6，磁场支架6上设有方形通槽，如图4所示，两个线圈支架2的一端均通过螺钉等紧固件固定连接有一固定支架7，即两个线圈支架2设置在两个固定支架7之间，线圈支架2由两个相互垂直的连接部构成，以使得线圈支架2能够通过横着的连接部卡接在磁场支架6的方形通槽上，由此实现将磁场发生装置、聚磁装置设置在方形通槽内。

如图6所示，线圈支架2的两个端部均设置有安装槽，安装槽尺寸与第一磁体件3和第二磁体件4相适配，两个端部的安装槽通过线圈支架2中间的通槽联通，进而使得第一磁体件3和第二磁体件4能够穿过线圈支架2的内部，如图7所示，第一磁体件3和第二磁体件4结构相同，两者均具有两个适于插入线圈支架2内部的支腿，且第一磁体件3和第二磁体件4的两个支腿相互抵接后构成如图7所示的方形结构。如图5所示，第一磁体件3的两个支腿与第二磁体件4的两个支腿分别插入两个线圈支架2后构成如图5所示的方形结构，此方形结构与磁场支架6上的方形通槽适配。

通过设置两个并列设置的线圈支架2围合形成一测试空间，所述待测晶圆设于所述测试空间内，通过设置线圈支架2以及缠绕在所述线圈支架2上的线圈为磁场发生件，在需要对待测晶圆提供磁场时，仅需对线圈通入电流即可产生磁场，且磁场强度可调，方便测试。且通过设置第一磁体件3和第二磁体件4，第一磁体件3和第二磁体件4磁极相反，所述第一磁体件3和第二磁体件4围合形成一聚磁空间，所述聚磁空间设于所述测试空间周侧，第一磁体件3和第二磁体件4把线圈产生的磁场进行聚磁，从而在测试空间处产生强磁场。其中，第一磁体件3和第二磁体件4为永磁体。可以理解，上述的聚磁是指运用永磁体和导磁体旳多种排列，尽量使更多旳磁通量汇集到工作气隙中去，此原理为现有技术，此处不过多赘述。

如图2所示，测试盒1外侧设置由两个调节件8，调节件8与一操作杆连接，操作杆另一端贯穿测试盒1侧壁与处于测试腔中的探针5连接，进而实现对探针5的控制，具体的，调节件8可以为伸缩气缸，通过操作杆控制探针5在测试腔中的位置。

可以理解，在其他的一些实施方式中，调节件8也可以设置其他数量，可根据使用需求进行设置。

如图8和图9所示，探针5底部设置有用于固定待测圆晶的卡槽，以将圆晶与探针5进行连接。

本实施例提供的晶圆测试台，组装时，首先将磁场支架6通过螺栓等紧固件与测试盒1底部连接，随后将第一磁体件3、第二磁体穿设在线圈支架2内，以构成图5所示方形结构，而后在两个线圈支架2的端部固定固定支架7，随后通过固定支架7将线圈支架2与磁场支架6连接，随后设置调节件8与探针5连接，将待测圆晶设置在测试腔内且与探针5连接。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。