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用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备

文献发布时间:2024-04-18 19:58:26


用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备

技术领域

本发明涉及硼扩设备的技术领域,尤其涉及一种用于硼扩设备的推拉舟系统及硼扩设备。

背景技术

硼扩设备是TOP Con电池的整个工艺流程的重要设备之一。TOP Con电池是光伏晶硅电池的一种。

现有小管径硼扩设备,使用单排舟推拉舟系统,即托举碳化硅桨,桨上搭载单排石英舟,石英舟上已经插入电池硅片,将整套物料平移输送至圆筒炉体内进行硼扩工艺,待工艺结束后将整套物料输送回原位的系统。现有主流小管径内径为400。

针对上述中的相关技术,发明人认为现有的单排舟推拉舟系统较难满足产能需求,且因产能需求增加,对于单排舟推拉舟系统结构的稳定性和安全性也有了进一步的需求。

发明内容

本发明的目的是使推拉舟系统能够满足产能需求,增加产能,且提高推拉舟系统结构的稳定性和安全性,以达到满足推拉舟系统结构的稳定性和安全性需求。

为实现上述目的,第一方面,本发明提供一种用于硼扩设备的推拉舟系统,包括固定传动结构、多排式石英舟以及多个碳化硅桨;所述多排式石英舟用于搭载硅片,且所述多排式石英舟同时承载在多个所述碳化硅桨上;所述固定传动结构用于输送所述碳化硅桨;所述固定传动结构包括承载板和加强支撑组件;所述承载板设置在所述加强支撑组件上;多个所述碳化硅桨均设置在所述承载板上。

优选的,所述固定传动结构还包括滑台模组;所述加强支撑组件包括托架固定板、加强筋以及加强支撑座;所述托架固定板滑动设置在所述滑台模组上;所述加强筋和所述加强支撑座连接托架固定板,所述加强筋和所述加强支撑座共同支撑所述承载板。

优选的,所述加强支撑组件还包括托架第一调节板和托架固定调节板;所述承载板为托架第二调节板;所述加强筋和加强支撑座通过托架第一调节板连接托架固定板;所述加强筋和加强支撑座固定设置在托架第一调节板上;所述托架第一调节板与所述托架固定板之间通过相对位移可调结构进行固定;所述托架第二调节板通过托架固定调节板连接托架第一调节板;所述托架固定调节板固定连接托架第一调节板;所述托架第二调节板与托架固定调节板之间通过相对位移可调结构进行固定。

优选的,该系统还包括调节结构;所述调节结构包括多组升降组件;各组所述升降组件包括丝杆副、丝母座、转动驱动件、安装座、转动固定座以及立板;所述丝母座固定连接滑台模组的背板;所述丝母座与丝杆副的螺母固定连接;所述丝杆副的丝杆和丝杆副的螺母螺纹连接;所述转动驱动件的驱动端连接丝杆副的丝杆的一端;所述丝杆副的丝杆的另一端转动连接转动固定座;所述转动驱动件设置在转动安装座上;所述安装座和转动固定座通过立板固定连接;各组所述升降组件上分别设置有联轴器;相邻所述升降组件上的联轴器之间连接有连接杆。

优选的,所述调节结构还包括导向组件;所述导向组件包括导向件、连接固定座、导向固定块以及升降导轨;所述导向件套设在升降导轨上;所述导向件和升降导轨滑动连接;所述导向件与连接固定座之间通过相对位移可调结构进行固定;所述连接固定座固定连接滑台模组的背板;所述导向固定块用于将导向件锁定在所述升降导轨上。

优选的,所述调节结构还包括检测组件;所述检测组件包括调节杆、调节杆座、旋转块、传感器安装板以及传感器;所述调节杆座与滑台模组之间通过相对位移可调结构进行固定;所述调节杆与调节杆座之间通过相对位移可调结构进行固定;所述旋转块与调节杆之间通过相对旋转可调结构进行固定;所述传感器安装板固定连接旋转块;所述传感器设置在传感器安装板上,且传感器用于检测多排式石英舟是否到位。

优选的,该系统还包括炉门桨固定结构;所述炉门桨固定结构包括桨固定结构;所述桨固定结构包括炉门、炉门管、波纹管、垫板以及多组支撑调节结构;所述支撑调节结构包括多个卡块;所述炉门位于碳化硅桨上;所述炉门管的一端设置在炉门背离多排式石英舟的侧面;所述炉门管的另一端连接波纹管;所述炉门管和波纹管套设在碳化硅桨上,且波纹管与碳化硅桨之间通过垫板连接;每组所述支撑调节结构中,多个卡块共同将垫板和碳化硅桨卡接在一起。

优选的,所述炉门桨固定结构还包括炉门固定结构;所述炉门固定结构包括调节轴、炉门调节板、轴向挡圈、挡圈固定块以及弹性件;所述调节轴连接炉门背离多排式石英舟的侧面;所述调节轴滑动穿设炉门调节板;所述炉门调节板固定设置在承载板上;所述挡圈固定块固定设置在调节轴上,且挡圈固定块位于炉门调节板和炉门之间;所述轴向挡圈滑动穿设调节轴,且轴向挡圈位于挡圈固定块与炉门调节板之间;所述弹性件滑动穿设调节轴,且弹性件位于轴向挡圈与炉门调节板之间;所述挡圈固定块上设置有用于驱动轴向挡圈调节弹性件弹力的调节件。

优选的,所述炉门固定结构还包括隔热包以及隔热板;所述隔热板设置在炉门朝向多排式石英舟的侧面;所述隔热包设置在多排式石英舟和隔热板之间。

优选的,所述调节轴设置为至少三个,且各所述调节轴呈三角形分布。

优选的,所述炉门固定结构还包括限位件、炉门支撑板、固定轴承以及固定套;所述炉门支撑板固定设置在承载板上;所述调节轴滑动穿设固定轴承;所述固定轴承与炉门支撑板固定连接;所述固定套与炉门调节板固定连接,且炉门调节板通过固定套与调节轴滑动连接;所述固定轴承和固定套固定连接;所述炉门支撑板位于所述炉门调节板上背离所述炉门的一侧;所述限位件固定设置在调节轴上;所述限位件位于所述炉门支撑板上背离所述炉门调节板的一侧,且限位件能够抵接炉门支撑板。

第二方面,本发明提供一种硼扩设备,包括机架和如第一方面任一所述的用于硼扩设备的推拉舟系统;该推拉舟系统安装在所述机架上。

相对于现有技术,本发明的有益效果在于:

1、本发明通过使用多排式石英舟来承载硅片,增加产能,满足产能需求,由于石英舟重量增加,通过加强支撑组件和承载板对碳化硅桨和多排式石英舟进行支撑承载,提高了推拉舟系统结构的稳定性和安全性,达到满足推拉舟系统结构的稳定性和安全性需求;

2、本发明通过利用杠杆原理的支撑调节结构,炉门管和波纹管套设在碳化硅桨上,垫板设置在波纹管与碳化硅桨之间,填充波纹管与碳化硅桨之间的缝隙,卡块卡接垫板和碳化硅桨,进一步提高推拉舟系统结构的稳定性和安全性需求。

附图说明

图1为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中大管径硼扩设备自动推拉舟系统的俯视图;

图2为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中大管径硼扩设备自动推拉舟系统的主视图;

图3为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中大管径硼扩设备自动推拉舟系统的右视图;

图4为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中大管径硼扩设备自动推拉舟系统的等轴视图;

图5为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件固定及传动结构的等轴视图;

图6为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件固定及传动结构的俯视图;

图7为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件固定及传动结构的第一零件图;

图8为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件固定及传动结构的第二零件图;

图9为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件上下调节结构等轴视图;

图10为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件上下调节结构-导向组件零件图;

图11为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件上下调节结构-升降组件零件图;

图12为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中石英舟组件上下调节结构-检测组件零件图;

图13为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中炉门及桨固定结构的第一零件图;

图14为本发明用于硼扩设备的推拉舟系统一实施例中炉门及桨固定结构的第二零件图,其中,A部分为炉门及桨固定结构的主视图;B部分为A部分中沿剖面线A-A剖视的剖视图;C部分为A部分中沿剖面线B-B剖视的剖视图。

附图标记:

1、滑台模组;2、托架上下固定板;3、第一上下调节固定条;4、托架上下调节板;5、托架前后固定调节板;6、侧支架;7、托架前后水平调节板;8、加强筋;9、托架左右调节条;10、调节支撑座;11、第二上下调节固定条;12、第一直线轴承;13、直线轴承座;14、环形固定块;15、升降圆柱导轨;16、连接固定座;17、光轴支撑座;18、堵板;19、六角转动块;20、深沟球轴承;21、蜗轮蜗杆减速机;22、连接短块;23、上侧安装座;24、T型丝杆副;25、丝母座;26、立板;27、圆柱滚子轴承;28、底部固定座;29、调节杆;30、旋转块;31、调节杆座;32、光电传感器;33、传感器安装板;34、石英隔热包;35、炉门;36、炉门调节板;37、炉门支撑板;38、第二直线轴承;39;ISO160波纹焊接管;40、圆螺母;41、方管密封盖上;42、方管密封盖下;43、上U型块;44、下U型块;45、垫块螺母;46、垫块;47、炉门调节支撑座;48、铜套;49、轴向挡圈;50、弹簧;51、调节轴;52、轴承盖;53、变径碳化硅桨;54、双排石英舟;55、炉门隔热板压板;56、炉门隔热板;57、第一调节螺柱;58、第二调节螺柱;59、桨前端夹块;60、碳化硅棒;61、ISO160中心支架;62、垫板;63、间隙块;64、芯轴盖;65、向心关节轴承;101、模组底板;102、石英舟组件上下调节结构-导向组件;103、石英舟组件上下调节结构-升降组件;104、石英舟组件上下调节结构-检测组件;105、连接杆;106、联轴器。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。除非另外定义,此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。

本发明用于硼扩设备的推拉舟系统的一实施例,如图4所示,推拉舟系统包括石英舟组件固定及传动结构(固定传动结构)、石英舟组件上下调节结构(调节结构)、炉门35及桨固定结构(炉门桨固定结构)、多排式石英舟(双排石英舟54)以及多个碳化硅桨(变径碳化硅桨53),最终由调节结构中的固定板(光轴支撑座17)固定于大管径硼扩设备机架上,使用螺栓连接。如图1和图4所示,圈住的A部分为石英舟组件固定及传动结构,如图3和图4所示,圈住的C部分为石英舟组件上下调节结构,如图2和图4所示,圈住的B部分为炉门35及桨固定结构。大管径石英管的内径范围为500-600,优选内径为600。

多排式石英舟用于搭载硅片,且多排式石英舟同时承载在多个碳化硅桨上;固定传动结构用于输送碳化硅桨;固定传动结构安装在硼扩设备上,固定传动结构包括滑台模组1、承载板和加强支撑组件;承载板设置在加强支撑组件上;多个所述碳化硅桨均设置在承载板上。固定传动结构通过调节结构安装在硼扩设备上。利用滑台模组1将多排式石英舟推入炉体内,进而炉门35和炉体开口处(炉体法兰处)密封。

加强支撑组件包括托架固定板(托架上下固定板2)、托架第一调节板(托架上下调节板4)、托架固定调节板(托架前后固定调节板5)、第一上下调节固定条3、第二上下调节固定条11、托架左右调节条9、侧支架6、加强筋8以及加强支撑座(调节支撑座10);托架固定板滑动设置在滑台模组1上,且托架固定板用于自身限位在滑台模组1上,托架固定板上开限位槽与滑台模组1上的限位块(导轨滑块)滑动连接;加强筋8和加强支撑座连接托架固定板;加强筋8和加强支撑座共同支撑承载板。

加强筋8和加强支撑座通过托架第一调节板连接托架固定板;加强筋8和加强支撑座固定设置在托架第一调节板上;托架第一调节板与托架固定板之间通过相对位置可调结构进行固定。托架第一调节板上设置有腰形孔,用于移动,螺栓穿过腰形孔,螺栓与托架固定板螺纹连接,用于固定。

此时承载板为托架第二调节板(托架前后水平调节板7),托架第二调节板通过托架固定调节板连接托架第一调节板;托架固定调节板固定连接托架第一调节板;托架第二调节板能够移动设置在托架固定调节板上。托架第二调节板上设置有腰形孔,用于移动,螺栓穿过腰形孔,螺栓与托架固定调节板螺纹连接,用于固定。

石英舟组件固定及传动结构中,传动结构现使用成套的滑台模组1,采用伺服电机配套编码器使用,保证传动的精度,大管径进行了结构加强。模组正面有保护壳,防止误碰;固定结构采用铝板搭建基体,用加强筋8和支撑板(调节支撑座10)辅助,因双排石英舟54比单排石英舟重量增加了一倍基体,因此结构的牢固性需保证,铝板之间通过螺栓和定位销固定。基体一方面固定碳化硅桨,采用杠杆原理,固定后端桨,前端桨悬空用于承载石英舟;基体另一方面固定炉门35装置,保证炉门35的垂直性。

石英舟组件固定及传动结构使用滑台模组1平移整个多排式石英舟,提高了安全性和稳定性,模组内采用的是伺服电机,可以实现精确的控制,实现自动化的输送;固定结构采用铝板、铝制加强筋8与不锈钢支撑板搭建,保证足够的强度与强度要求。

如图5和图6所示,为石英舟组件固定及传动结构,如图7和图8所示,托架上下固定板2固定于滑台模组1上,模组已配套伺服电机、减速机及编码器,同步带传动,导轨滑块结构导向,保证传动精度;导轨滑块为与托架上下固定板2配合的地方。托架上下调节板4固定于托架上下固定板2上,腰形沉头孔配备螺栓连接,同时第一上下调节固定条3固定于托架上下固定板2上,可以上下调节整个组件结构;托架前后固定调节板5、加强筋8,调节支撑座10均固定于托架上下调节板4上;托架前后水平调节板7固定于前后固定调节板上,用于炉门固定结构的承载体,侧支架6与托架前后水平调节板7固定,共两个,侧支架6位于托架前后水平调节板7的两侧;第二上下调节固定条11固定于托架上下固定板2上,做整个组件结构上下调节的辅助调节结构。托架左右调节条9位于托架前后固定调节板5上,用于托架前后水平调节板7辅助调节。上述结构中所有零件之间使用螺栓固定连接,托架前后水平调节板7上安装吊环,安装时可以使用行吊辅助安装,避免重量太重。

调节结构包括多组升降组件、导向组件以及检测组件。如图9所示,为石英舟组件上下调节结构,所有零件均固定于上述结构中模组的背板(模组底板101)之上;上下调节结构分为三个部分,石英舟组件上下调节结构-导向组件102如图10所示,石英舟组件上下调节结构-升降组件103如图11所示,石英舟组件上下调节结构-检测组件104如图12所示。

石英舟组件上下调节结构采用T型丝杆传动,实心圆柱导轨导向,共两组丝杆结构及圆柱导轨结构,两组丝杆结构之间通过联轴器106和连杆连接同步,丝杆的前端配蜗轮蜗杆减速机21,调节的时候用扳手手动拧转六角转动块19(减速机输入端),从而控制丝杆上下运动,带动整个石英舟组件上下运动。

如图11所示,各组升降组件包括丝杆副(T型丝杆副24)、丝母座25、转动驱动件(蜗轮蜗杆减速机21)、安装座(上侧安装座23)、转动固定座(底部固定座28)、深沟球轴承20、圆柱滚子轴承27(圆锥滚子轴承)、连接短块22、六角转动块19以及立板26。丝母座25固定连接滑台模组1的背板(模组底板101);丝母座25通过连接块连接滑台模组1的背板,连接块(连接短块22)固定连接丝母座25,且连接块位于丝母座25的上下两侧。连接块固定连接滑台模组1。升降组件的立板26固定在硼扩设备的机架上。

丝母座25与丝杆副的螺母固定连接;丝杆副的丝杆和丝杆副的螺母螺纹连接;转动驱动件的驱动端连接丝杆副的丝杆的一端;丝杆副的丝杆的另一端转动连接转动固定座;转动驱动件设置在转动安装座上;丝杆副中的丝杆转动穿设安装座,安装座和转动固定座通过立板26固定连接;安装座上设置有限位板,且限位板滑动穿设丝母座25,用于丝母座25升降导向限位。各组升降组件(例如安装座或者转向驱动件上)上分别设置有联轴器106;相邻升降组件上的联轴器106之间连接有连接杆105。

升降组件中的T型丝杆副24上端与上侧安装座23及蜗轮蜗杆减速机21固定,安装座中安装深沟球轴承20,丝杆下端与底部固定座28连接,固定座中安装圆柱滚子轴承27,上侧安装座23与底部固定座28采用立板26连接,丝杆中间部分螺母与丝母座25固定,丝母座25上下连接2个连接短块22,连接短块22与模组背板螺栓连接。

如图10所示,导向组件包括导向件、光轴支撑座17、连接固定座16、导向固定块(环形固定块14)、堵板18以及升降导轨(升降圆柱导轨15);导向件套设在升降导轨上;导向件和升降导轨相适配滑动连接,且导向件的滑动方向与升降组件的升降方向相同;导向件和连接固定座16之间能够移动连接;连接固定座16固定连接滑台模组1的背板;导向件包括第一直线轴承12和直线轴承座13,第一直线轴承12和直线轴承座13均套设在升降导轨上,且第一直线轴承12和升降导轨相适配滑动连接,第一直线轴承12设置在直线轴承座13上。直线轴承座13和连接固定座16之间通过螺栓和腰型孔进行配合连接,用于移动和固定。环形固定块14用于固定将导向件锁定在所述升降导轨上。光轴支撑座17固定设置在升降导轨上,且光轴支撑座17用于安装在硼扩设备的机架上。光轴支撑座17固定设置在升降导轨的两端。

导向组件中的第一直线轴承12,直线轴承座13,光轴支撑座17均固定于升降圆柱导轨15上,堵板18固定于光轴支撑座17上,连接固定座16与直线轴承座13为腰形沉头孔配备螺栓连接,可以做纵向调节,共两组,上下对称安装;此处的环形固定块14为整个结构上下调节完成后锁紧侧边的螺栓,达到支撑的作用,光轴支撑座17与机架螺栓连接,连接固定座16与模组背板螺栓连接。

如图12所示,检测组件包括调节杆29、调节杆座31、旋转块30、传感器安装板33以及传感器(光电传感器32)。调节杆座31能够移动设置在滑台模组1的背板上;通过在调节杆座31上开设腰型孔,腰型孔和螺栓进行配合锁紧。

调节杆29能够移动设置在调节杆座31上;通过螺栓锁紧移动穿设在调节杆座31的调节杆29,通过在穿设孔上开槽,螺栓垂直穿设开槽的两侧面,螺栓螺纹连接调节杆座31,减小开槽的大小,进而调节杆座31夹紧调节杆29。

旋转块30能够转动设置在调节杆29上;旋转块30和调节杆29转动连接,旋转块30的锁紧方式与调节杆29相同,通过螺栓锁紧穿设在旋转座的调节杆29,通过在穿设孔上开槽,螺栓垂直穿设开槽的两侧面,螺栓螺纹连接旋转座,减小开槽的大小,进而旋转座夹紧调节杆29。

传感器安装板33固定连接旋转块30;传感器设置在传感器安装板33上,且传感器用于检测多排式石英舟是否到位。

检测组件上的调节杆29上固定调节杆座31,旋转块30,旋转块30上安装传感器安装板33,传感器安装板33上安装光电传感器32,此处的光电传感器32用于检测石英舟是否到位。

模组背板上共有两组导向组件、两组升降组件、两组检测组件。两组升降组件之间使用连接杆105及联轴器106连接,保证同步,一组升降组件的减速机输入端连接六角转动块19,调节时使用扳手拧动调节。

如图13和图14所示,炉门桨固定结构包括桨固定结构和炉门固定结构。炉门35及桨固定结构固定于铝板基体上,需保证炉门35的垂直性,炉门35与炉体法兰为氟橡胶密封圈密封;炉门支撑板37采用双排并联的刚性结构,中间用铜套48和第二直线轴承抵住,牢固可靠;炉门35带弹簧50的缓冲结构,可调节弹簧50压力,尾部轴上带双螺母结构,方便调节。

桨固定结构包括炉门35、ISO160中心支架61、炉门管、波纹管(ISO160波纹焊接管39)、方管密封盖上41、方管密封盖下42、第一调节螺柱57、第二调节螺柱58、垫板62以及多组支撑调节结构;支撑调节结构包括多个卡块;炉门35位于碳化硅桨(变径碳化硅桨53)上;变径碳化硅桨53穿设炉门35,炉门管的一端设置在炉门35背离多排式石英舟的侧面;炉门管的另一端连接波纹管;炉门管和波纹管套设在碳化硅桨上,且波纹管与碳化硅桨之间通过垫板62连接;每组所述支撑调节结构中,多个卡块共同将垫板和碳化硅桨卡接在一起,将相邻碳化硅桨固定在一起。炉门管和波纹管通过ISO160中心支架61连接。卡块包括上U型块43和下U型块44。碳化硅桨前端通过碳化硅棒60和桨前端夹块59固定。碳化硅棒60穿设连接两个碳化硅桨,并通过桨前端夹块59夹住碳化硅棒60。

桨固定结构:利用杠杆原理,夹持住碳化硅桨的后半段,采用螺栓顶住垫板62,垫板62包裹住桨的方式;因桨会出一定程度的下垂,需做螺杆(第一调节螺柱57和第二调节螺柱58)上下调节结构。桨固定结构与炉门固定结构连接,炉门35上焊接圆管及ISO160法兰,通过ISO160中心支架61与ISO160波纹焊接管39连接;ISO160法兰与方管焊接成ISO160波纹焊接管39。垫板62位于方管和碳化硅桨之间,多个卡块将方管、垫板62和碳化硅桨卡接在一起。焊接管上有两组利用杠杆原理的支撑调节结构,因桨安装后会有一定程度的下垂,故需要用此调节结构进行调节;第一组支撑调节结构用上U型块43和下U型块44卡住焊接管,从上往下螺栓固定,使用扳手转动调节螺栓1进行结构向上调节,调节螺栓是抵住托架前后水平调节板7的;第二组支撑调节结构用上U型块43和下U型块44卡住焊接管,从下往上螺栓固定,双螺母结构进行结构向下调节。螺柱(第一调节螺柱57和第二调节螺柱58)穿设位于下U型块44下的垫块46,螺柱和垫块螺母45螺纹连接。

其中桨从前往后穿过炉门35及波纹焊接管,在波纹焊接管与桨之间垫入3mm垫板62,单根焊接管的上方和侧边都安装方管密封盖上41,方管密封盖下42,用螺栓穿过密封盖下内部的螺纹孔顶住3mm垫板62,垫板62包裹住桨,单根焊接管内,3mm垫板62共6根,上下方向各2根,左右方向各1根,从4个方向填补碳化硅桨与焊接管内的间隙。

炉门固定结构包括隔热包(石英隔热包34)、炉门隔热板压板55、炉门隔热板56(不锈钢隔热板)、调节轴51、炉门调节板36、轴向挡圈49、挡圈固定块、弹性件(弹簧50)、限位件(双薄螺母)、炉门支撑板37、向心关节轴承65、间隙块63、芯轴盖64、炉门调节支撑座47、固定轴承(第二直线轴承)以及固定套(铜套48);调节轴51连接炉门35背离多排式石英舟的侧面;调节轴51滑动穿设炉门调节板36;炉门调节板36固定设置在承载板上;挡圈固定块固定设置在调节轴51上,且挡圈固定块位于炉门调节板36和炉门35之间;轴向挡圈49滑动穿设调节轴51,且轴向挡圈49位于挡圈固定块与炉门调节板36之间;弹性件滑动穿设调节轴51,且弹性件位于轴向挡圈49与炉门调节板36之间;挡圈固定块上设置有驱动轴向挡圈49调节弹性件弹力的调节件。调节件为螺栓,调节件抵接轴向挡圈49,调节件与挡圈固定块螺纹连接,且调节件的移动方向在弹性件的弹性方向上。

隔热板设置在炉门35朝向多排式石英舟的侧面;隔热包设置在多排式石英舟和隔热板之间。调节轴51设置为至少三个,且调节轴51呈三角形分布。炉门35前侧安装炉门隔热板压板55,用于固定炉门隔热板56、挡住炉门隔热板56不偏移,同时桨上需挂住石英隔热包34,放置在炉门35前面用于隔热,隔热包内填充高温保温棉。

炉门支撑板37固定设置在承载板上;调节轴51滑动穿设固定轴承;固定轴承与炉门支撑板37固定连接;固定套与炉门调节板36固定连接,且炉门调节板36通过固定套与调节轴51滑动连接;固定轴承和固定套固定连接;炉门支撑板37位于炉门调节板36背离炉门35侧;限位件固定设置在调节轴51上;限位件位于炉门支撑板37背离炉门调节板36侧,且限位件能够抵接炉门支撑板37。双薄螺母为圆螺母40。

炉门固定结构:炉门35前端有石英隔热包34,炉门35穿过碳化硅桨开口处有不锈钢隔热板,最大程度地隔热;炉门35与调节轴51采用向心关节轴承65的连接方式,调节轴51为空心轴,三组支撑轴形成三角结构,稳定可靠;安装在轴上的第二直线轴承与铜套48相互抵住,形成刚性结构,牢固可靠;调节轴51的中间部分带弹簧50的缓存结构,且安装轴向挡圈49,可调节弹簧50的压力。

炉门35及桨固定结构如图13和图14所示,托架前后水平调节板7作为基体,炉门调节板36与之螺栓及定位销固定,炉门调节支撑座47与炉门调节板36固定,且与托架前后水平调节板7固定,前后共两组炉门调节板36及支撑座结构;两组调节板之间穿过三组调节轴51组件,调节轴51使用空心轴,轴与第一块调节板采用铜套48连接,与第二块调节板采用第二直线轴承连接,第二直线轴承与铜套48相互抵住,形成刚性结构,牢固可靠;三组支撑轴形成三角结构,稳定可靠。

其中,调节轴51的前端与炉门35采用间隙块63,芯轴盖64,向心关节轴承65固定,具有调心性,向心关节轴承65上带有轴承盖52;轴的中间部门有弹簧50的缓冲结构,弹簧50左端抵住轴向挡圈49,调节轴51上的焊接块穿过螺栓抵住轴向挡圈49,用作调节弹簧50的预压力,弹簧50的右端抵住炉门调节板36,起到缓存保护左右;调节轴51的末端有双薄螺母结构,防止轴脱落,同时当炉门35与炉体法兰接触后,可分别向前转拧紧螺母抵住炉门35,保证密封的可靠性。

本发明硼扩设备的一实施例,包括机架和上一实施例的用于硼扩设备的推拉舟系统,该推拉舟系统安装在机架上。

现有的小管径的单排舟推拉舟系统多数使用铝制大背板上安装电机输送结构的方式,且炉门35与炉体法兰处密封调节较为不便。本发明为双排石英舟54自动进出炉体且可调密封性的推拉舟系统,用于大管径硼扩设备,输送两根碳化硅桨搭载182*182硅片的双排石英舟54自动进出炉体且可方便调节炉门35与炉体法兰密封性的推拉舟系统。

本发明为用于大管径硼扩设备的自动推拉舟系统,相对普通单排舟推拉舟系统来说,用两根碳化硅桨搭载182*182硅片的双排石英舟54推拉舟系统;在这里将插入好电池硅片的石英舟、碳化硅桨统称为石英舟组件。本发明的推拉舟输送系统一般由石英舟组件固定及传动结构,石英舟组件上下调节结构,以及炉门35及桨固定结构三部分组成;通常是一个炉体配一套推拉舟系统,输送过程需要控制好运行速度,保证输送的平稳性与安全性。

本发明涉及光伏行业大管径硼扩设备石英舟自动输送系统,具体为输送碳化硅桨搭载182*182硅片的双排石英舟54自动进出炉体的推拉舟系统。本发明实现双排石英舟54自动化输送的可能性:采用滑台模组1实现整套物料的平移,全自动化过程,稳定可靠,且采用伺服电机控制保证定位精度;铝板之间采用螺栓及定位销固定,牢固可靠,定位精准,同时多处采用筋板支撑,保证结构的安全性,不易变形;铝板上安装螺栓顶拉调节装置,方便快捷;桨固定处采用杠杆原理,后端夹持固定,前端用于支撑石英舟,平稳可靠;炉门35前端有隔热装置,很大程度地隔断炉内加热高温对后续装置的热传递;炉门35固定装置带密封调节结构,桨固定装置带支撑调节结构。

本发明相对普通单排舟推拉舟系统来说,大管径硼扩设备使用两根碳化硅桨搭载182*182硅片的双排石英舟54推拉舟系统,不仅增加了产能的需求,单次送片量增加了一倍,增加了结构的稳定性,安全性,同时该系统使用配套的滑台模组1自动输送石英舟,输送完成后方便调节炉门35与炉体法兰处的密封性,同时炉门35的前端加了隔热系统,增加了石英隔热包34,隔热包内填充耐高温保温棉,且炉门35上通过碳化硅桨缺口处,增加了不锈钢隔热板。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式,但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是,能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是,应理解,这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且,在此说明的本发明可有其它的实施方式,并且可通过多种方式实施或实现。

相关技术
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