张网方法及张网装置

技术领域

本发明涉及掩膜张网技术领域，具体涉及一种张网方法及张网装置。

背景技术

具有有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板的显示模组因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品。

一般的，采用蒸镀工艺制备OLED显示面板时，容易由于蒸镀不良以及蒸镀精度低造成显示面板显示质量低、显示面板可靠性不良等问题。

因此，急需一种新的张网方法及张网装置。

发明内容

本申请实施例提供一种张网装置及张网方法。

本申请实施例第一方面提供的张网方法，包括：

提供通用蒸镀掩膜，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；

对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动。

本申请第一方面提供的张网方法，在通用掩膜张网过程中，使得通用掩膜的边缘中蒸镀区段和遮挡区段平行等齐沿张网方向移动，使得通用蒸镀蒸镀掩膜中多个遮挡部沿张网方向也进行平行等齐伸长，使得多个遮挡部沿张网方向的伸长量相同。保证通用蒸镀掩膜中的多个蒸镀开口的形变均一性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，从而提高蒸镀精度，提高显示面板的显示质量以及可靠性。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，提供通用蒸镀掩膜的步骤中，

边缘围合形成矩形结构，在第一张网方向上具有相对的第一边缘，第一边缘对应多个沿第二张网方向延伸的第一遮挡部；在第二张网方向上具有相对的第二边缘，第二边缘对应多个沿第一张网方向延伸的第二遮挡部，第一张网方向与第二张网方向相互垂直。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动的步骤，包括：

固定相对设置的两个第一边缘中的一者，对相对设置的两个第一边缘中的另一者提供第一均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第二张网方向张网；或者，

对相对设置的两个第一边缘均提供第一均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第二张网方向张网。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动的步骤中：

采用第一拉伸机构提供第一均值张网拉力，第一拉伸机构具有设置于第一边缘的第一贴合部，在第二张网方向上，第一贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖至少部分第一边缘，在第一边缘自身延伸方向上、第一贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖第一边缘中各蒸镀区段以及各遮挡区段；

优选的，第一贴合部为整体式结构，或者第一贴合部由多个第一子贴合部构成。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动的步骤中：

第一贴合部采用夹持方式设置于第一边缘；或者，第一贴合部采用焊接方式设置于第一边缘；或者，第一贴合部采用磁力吸附的方式设置于第一边缘。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动的步骤，包括：

固定相对设置的两个第二边缘中的一者，对相对设置的两个第二边缘中的另一者提供第二均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第一张网方向张网；或者，

对相对设置的两个第二边缘均提供第二均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第一张网方向张网。

在本申请第一方面的一种可能实施方式中，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动的步骤中：

采用第二拉伸机构提供第二均值张网拉力，第二拉伸机构具有设置于第二边缘的第二贴合部，在第一张网方向上，第二贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖至少部分第二边缘，在第二边缘自身延伸方向上、第二贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖第二边缘中各蒸镀区段以及各遮挡区段；

优选的，第二贴合部为整体式结构，或者第二贴合部由多个第二子贴合部构成；

优选的，第二贴合部采用夹持方式设置于第二边缘；或者，第二贴合部采用焊接方式设置于第二边缘；或者，第二贴合部采用磁力吸附方式设置于第二边缘。

本申请第二方面提供一种张网装置，张网装置用于对通用蒸镀掩膜张网，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；

张网装置具有对边缘提供均值张网拉力的拉伸机构，

拉伸机构包括在张网过程中设置于边缘的贴合部以及与贴合部连接的施力部，在张网过程中、贴合部的宽幅贴合端固定设置在边缘且与各蒸镀区段和各遮挡区段均对应；

优选的，贴合部与施力部进行固定连接或贴合部与施力部进行可拆卸连接。

本申请第二方面提供的张网装置，且张网过程中拉伸机构对通用蒸镀掩膜的边缘提供均值张网拉力，保证通用蒸镀掩膜张网过程中蒸镀开口的拉伸变形一致性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，并提高通用蒸镀掩膜张网效率。

在本申请第二方面的一种可能实施方式中，贴合部为整体式结构，张网过程中、贴合部在通用蒸镀掩膜所在平面的正投影为类等腰梯形，类等腰梯形的底边对应宽幅贴合端，类等腰梯形的顶边对应贴合部与施力部的连接处；或者，

贴合部由多个子贴合部构成，子贴合部在通用蒸镀掩膜所在平面的正投影形状为类等腰梯形，类等腰梯形的底边对应子宽幅贴合端，类等腰梯形的顶边对应子贴合部与子施力部的连接处。

在本申请第二方面的一种可能实施方式中，张网装置进一步包括导向机构，

导向机构设置于贴合部相对的两侧，以使张网过程中、贴合部在导向机构的导向作用下沿张网方向平行移动；

优选的，导向机构包括设置于贴合部相对的两侧的一组滑轨，滑轨的延伸方向平行于张网方向。

附图说明

通过阅读以下参照附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显，其中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的特征，附图并未按照实际的比例绘制。

图1为一般的通用蒸镀掩膜进行张网准备时采用多个小型夹爪夹持的结构示意图；

图2为通用蒸镀掩膜采用一般的张网方法张网后的局部结构示意图；

图3是本申请实施例第一方面中一种蒸镀方法的流程示意图；

图4是本申请实施例第一方面中一种通用蒸镀基板的结构示意图；

图5是本申请实施例第一方面中另一种张网方法的流程示意图；

图6是本申请实施例第一方面中还一种张网方法的流程示意图；

图7是本申请实施例第一方面中又一种张网方法的流程示意图；

图8是本申请实施例第一方面中再一种张网方法的流程示意图；

图9是本申请实施例第一方面中一种张网过程的示意图；

图10是本申请实施例第一方面中另一种张网过程的示意图；

图11是本申请实施例第二方面中一种张网装置的部分结构示意图(图中通用蒸镀掩膜作为张网装置结构描述的辅助)；

图12是本申请实施例第二方面中另一种张网装置的部分结构示意图(图中通用蒸镀掩膜作为张网装置结构描述的辅助)。

图中：

通用蒸镀掩膜-1；边缘-11；第一边缘-111；第二边缘-112；蒸镀区段-113；第一蒸镀区段-113a；第二蒸镀区段-113b；遮挡区段-114；第一遮挡区段-114a；第二遮挡区段-114b；

遮挡部-12；第一遮挡部-121；第二遮挡部-122；

蒸镀开口-13；

拉伸机构-2；第一贴合部-21a；第二贴合部-21b；第一子贴合部-211a；第二子贴合部-211b；宽幅贴合端-212；施力部-22；子施力部-221；

夹爪-3；

第一张网方向-X；

第二张网方向-Y；

导向机构-4。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本发明，并不被配置为限定本发明。对于本领域技术人员来说，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明更好的理解。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

一般的，采用蒸镀工艺制备OLED显示面板时，容易由于蒸镀不良以及蒸镀精度低造成显示面板显示质量低、显示面板可靠性不良等问题。发明人在研究过程中发现，显示面板中共通膜层蒸镀精度低时会导致显示面板显示质量低以及显示面板可靠性不良等问题。可以理解的是，在一些示例中显示面板共通膜层参与显示面板中多个发光器件构成，在与显示面板的出光方向相垂直的各方向上连续分布。在一些示例中，显示面板中的共通膜层有空穴传输层、空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层以及阴极层等。一般的，显示面板中共通膜层多采用通用掩膜板蒸镀制备而成。蒸镀制备共通膜层时，若通用掩膜板上蒸镀开口形状以及位置存在偏差，则容易导致蒸镀过程中待蒸镀基板的共通膜层预设蒸镀区中存在蒸镀材料缺失，或者共通膜层预设蒸镀区因蒸镀位置偏移导致蒸镀材料分布不均等现象。蒸镀材料缺失以及蒸镀材料分布不均等现象均导致形成的共通膜层部分缺损或者层厚不均等问题，影响显示面板的显示质量以及可靠性。

发明人在深入的研究过程中发现，如图1所示，图1为一般的通用蒸镀掩膜1进行张网准备时采用多个小型夹爪3夹持的结构示意图，通用掩膜板上蒸镀开口形状以及位置存在偏差是由于在制备通用掩膜板的过程中，对通用蒸镀掩膜1张网过程中在张网方向上、采用多个小型夹爪3对通用蒸镀掩膜1的边缘11进行局部夹持，小型夹爪3一般间隔设置在边缘11上，并与张网方向上的遮挡部12对应。需要说明的是，图1中为了清楚的示出第一遮挡部121以及第二遮挡部122，对其中一第一遮挡部121做了阴影标记，对其中一第二遮挡部122做了阴影标记。

如图2所示，图2为通用蒸镀掩膜1采用一般的张网方法张网后的局部结构示意图，其中，图2的小型矩形虚框为蒸镀通用掩膜张网后所要求的蒸镀开口形状，不规则小型四边形为蒸镀通用掩膜采用一般的张网方法张网后的蒸镀开口形状。张网过程中分别通过多个在蒸镀掩膜上间隔排布的小型夹爪对通用蒸镀掩膜1的边缘11的各部分别施力，以控制张网方向上排布在不同行的蒸镀开口3的位置、尺寸以及形状。由于，通用蒸镀掩膜1在张网过程中张网方向上的边缘11对应不同遮挡部的部分受力不均(例如受张网拉力不均和/或受到夹爪的夹持力不均等)，使得通用蒸镀掩膜1的边缘11各部分的拉伸伸长量不同，导致了通用蒸镀掩膜1张网后各处的蒸镀开口3外扩变形不一致，多个蒸镀开口3的位置与预设位置存在偏差。最终导致蒸镀开口3的形状趋向异形四边形，蒸镀开口3外扩变形量未达到预期等问题，使得用蒸镀掩膜1张网精度低，在蒸镀制备显示面板共通膜层时蒸镀精度低，影响显示面板的显示质量以及可靠性。

鉴于对上述问题的分析和发现，提出本申请。

如图3所示，本申请实施例第一方面提供的张网方法，包括：

S10，提供通用蒸镀掩膜，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应。

S20，对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动。

本申请实施例第一方面提供的张网方法，在通用掩膜张网过程中，使得通用蒸镀掩膜的边缘中蒸镀区段和遮挡区段平行等齐沿张网方向移动，使得通用蒸镀掩膜中多个遮挡部沿张网方向也进行平行等齐伸长，使得多个遮挡部沿张网方向的伸长量相同。保证通用蒸镀掩膜中的多个蒸镀开口的形变均一性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，从而提高蒸镀精度，提高显示面板的显示质量以及可靠性。

需要说明的是，蒸镀区段是蒸镀掩膜的边缘与蒸镀开口对应部分的命名，遮挡区段是蒸镀掩膜的边缘与遮挡部对应的部分的命名，不应理解为对蒸镀掩膜的边缘的不同部分在功能、形状以及尺寸等方面的限定。

如图4所示，在一些可选的实施例中，在S10提供通用蒸镀掩膜的步骤中，通用蒸镀掩膜1的边缘11围合形成矩形结构。通用蒸镀掩膜1包括边缘11和由边缘11围合且具有多个蒸镀开口13的网格状遮挡部12。通用蒸镀掩膜1在第一张网方向X上具有相对的第一边缘111，第一边缘111对应多个沿第二张网方向Y延伸的第一遮挡部121。通用蒸镀掩膜1在第二张网方向Y上具有相对的第二边缘112，第二边缘112对应多个沿第一张网方向X延伸的第二遮挡部122，第一张网方向X与第二张网方向Y相互垂直。

如图5所示，在一些可选的实施例中，步骤S20包括以下步骤：

S21a，固定相对设置的两个第一边缘中的一者，对相对设置的两个第一边缘中的另一者提供第一均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第二张网方向张网。

在这些实施例中，在张网过程中，通用蒸镀掩膜中采用固定机构将相对设置的两个第一边缘中的一者在第二张网方向上始终固定于设定位置，对相对设置的两个第一边缘中的另一者提供第一均值张网拉力。根据力的相互作用原理，在张网过程中，相对设置的两个第一边缘中被固定的一者也受到与第一均值张网拉力大小相同方向相反的拉力作用，可使得通用蒸镀掩膜沿第二张网方向张网。第一均值张网拉力平行于第二张网方向。

如图6所示，在一些可选的实施例中，步骤S20包括以下步骤：

S21b，对相对设置的两个第一边缘均提供第一均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第二张网方向张网。

在这些实施例中，第一均值张网拉力平行于第二张网方向。

如图7所示，在一些可选的实施例中，步骤S20包括以下步骤：

S21c，固定相对设置的两个第二边缘中的一者，对相对设置的两个第二边缘中的另一者提供第二均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第一张网方向张网。

在这些实施例中，在张网过程中，通用蒸镀掩膜中采用固定机构将相对设置的两个第二边缘中的一者在第一张网方向上始终固定于设定位置，对相对设置的两个第二边缘中的另一者提供第二均值张网拉力。根据力的相互作用原理，在张网过程中，相对设置的两个第二边缘中被固定的一者也受到与第二均值张网拉力大小相同方向相反的拉力作用，可使得通用蒸镀掩膜沿第一张网方向张网。第二均值张网拉力平行于第一张网方向。

如图8所示，在一些可选的实施例中，在步骤S20包括以下步骤：

S21d，对相对设置的两个第二边缘均提供第二均值张网拉力，使得通用蒸镀掩膜沿第一张网方向张网。

在这些实施例中，第二均值张网拉力平行于第一张网方向。

在一些可选的实施例中，在步骤S20中，

采用第一拉伸机构提供第一均值张网拉力，第一拉伸机构具有设置于第一边缘的第一贴合部，在第二张网方向上，第一贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖至少部分第一边缘，在第一边缘自身延伸方向上、第一贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖第一边缘中各蒸镀区段以及各遮挡区段。

如图9所示，在一些示例中，第一贴合部21a为整体式结构，张网过程中，第一贴合部21a与第一边缘111之间进行固定连接。在第二张网方向Y上，使得第一贴合部21a在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖至少部分第一边缘111。由于需要实现在张网过程中对边缘提供第一均值张网拉力使得第一边缘111中各第一蒸镀区段113a和各第一遮挡区段114a平行等齐沿第二张网方向Y(即此时通用蒸镀掩膜的张网方向)移动，因此，第一贴合部21a作为第一拉伸机构的施力部与通用蒸镀掩膜1之间的接触式力传递体，在张网过程中，需要在第一边缘111自身延伸方向上、与第一边缘111的各第一蒸镀区段113a以及各第一遮挡区段114a进行接触式固定连接。也即，在第一边缘111自身延伸方向上(与第一张网方向平行)，第一贴合部21a在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第一边缘111中各第一蒸镀区段113a以及各第一遮挡区段114a。

如图10，在一些示例中，第一贴合部由多个第一子贴合部211a构成，张网过程中、多个第一子贴合部211a沿第一边缘111自身延伸方向相继分布。且多个第一子贴合部211a与第一边缘111之间进行固定连接，使得在第二张网方向Y上、第一贴合部21a在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖至少部分第一边缘111。需要实现在张网过程中对第一边缘111提供第一均值张网拉力使得第一边缘111中各第一蒸镀区段113a和各第一遮挡区段114a平行等齐沿第二张网方向Y(即张网方向)移动。又，由于多个第一子贴合部211a构成的第一贴合部作为第一拉伸机构的施力部与通用蒸镀掩膜1之间的接触式力传递体，因此，在张网过程中，需要第一贴合部在第一边缘111自身延伸方向上、与第一边缘111的各第一蒸镀区段113a以及各第一遮挡区段114a进行接触式固定连接。也即，在第一边缘111自身延伸方向上，由多个第一子贴合部211a构成的第一贴合部在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第一边缘111中各第一蒸镀区段113a以及各第一遮挡区段114a。在一些示例中，在第一边缘111自身延伸方向上，第一子贴合部211a在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第一边缘111中至少相邻的一个第一蒸镀区段113a和一个第一遮挡区段114a。

在一些可选的实施例中，第一贴合部采用夹持方式设置于第一边缘，第一贴合部具有用于夹持第一边缘的第一夹部和第二夹部。第一贴合部采用夹持方式设置于第一边缘时利于提高通用蒸镀掩膜张网的效率。

在一些可选的实施例中，第一贴合部采用焊接方式设置于第一边缘。在一些示例中，需要采用大型通用蒸镀掩膜以适用于大尺寸的待蒸镀基板，大型通用蒸镀掩膜的边缘较长，为了保证张网中第一贴合部始终稳固地设置在第一边缘使得第一边缘中各第一蒸镀区段和各第一遮挡区段在张网过程中沿第二张网方向平行等齐移动，第一贴合部采用焊接方式设置于第一边缘以增大第一贴合部与通用蒸镀掩膜的连接强度。

在一些可选的实施例中，第一贴合部采用磁力吸附的方式设置于第一边缘。在一些示例中，第一贴合部采用磁力吸附的方式设置于第一边缘，可以提高第一贴合部设置效率，同时保证第一边缘与第一贴合部的连接强度，可以防止第一边缘在与第一贴合部连接过程中发生褶皱，进一步保证张网质量提高张网精度。

在一些可选的实施例中，在步骤S20中，

采用第二拉伸机构提供第二均值张网拉力，第二拉伸机构具有设置于第二边缘的第二贴合部，在第一张网方向上，第二贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖至少部分第二边缘，在第二边缘自身延伸方向上、第二贴合部在通用蒸镀掩膜上的正投影覆盖第二边缘中各蒸镀区段以及各遮挡区段。

还请参见图9所示，在一些示例中，第二贴合部21b为整体式结构，张网过程中，第二贴合部21b与第二边缘112之间进行固定连接。在第一张网方向X上，使得第二贴合部21b在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖至少部分第二边缘112。由于需要实现在张网过程中对边缘提供第二均值张网拉力使得第二边缘112中各第二蒸镀区段113b和各第二遮挡区段114b平行等齐沿第一张网方向X(即张网方向)移动；又，第二贴合部21b作为第二拉伸机构的施力部与通用蒸镀掩膜1之间的接触式力传递体，因此在张网过程中，需要在第二边缘112自身延伸方向上、与第二边缘112的各第二蒸镀区段113b以及各第二遮挡区段114b进行接触式固定连接。也即，在第二边缘112自身延伸方向上、第二贴合部21b在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第二边缘112中各第二蒸镀区段113b以及各第二遮挡区段114b。

还请参见图10，在一些示例中，第二贴合部由多个第二子贴合部211b构成，张网过程中、多个第二子贴合部211b沿第二边缘112自身延伸方向相继分布，且多个第二子贴合部211b与第二边缘112之间进行固定连接。使得在第一张网方向X上、第二贴合部在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖至少部分第二边缘112。由于需要实现在张网过程中对第二边缘112提供第二均值张网拉力使得第二边缘112中各第二蒸镀区段113b以及各第二遮挡区段114b平行等齐沿第一张网方向X(即张网方向)移动，因此，在张网过程中，由多个第二子贴合部211b构成的第二贴合部作为第二拉伸机构的施力部与通用蒸镀掩膜1之间的接触式力传递体，需要在第二边缘112自身延伸方向上、与第二边缘112的各第二蒸镀区段113b以及各第二遮挡区段114b进行接触式固定连接。也即，在第二边缘112自身延伸方向上，由多个第二子贴合部211b构成的第二贴合部在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第二边缘112中各第二蒸镀区段113b以及各第二遮挡区段114b。在一些示例中，在第二边缘112自身延伸方向上，第二子贴合部211b在通用蒸镀掩膜1上的正投影覆盖第二边缘112中至少相邻的一个第二蒸镀区段113b以及一个第二遮挡区段114b。

在一些实施例中，第二贴合部采用夹持方式设置于第二边缘。

在一些实施例中，第二贴合部采用焊接方式设置于第二边缘。

在一些实施例中，第二贴合部采用磁力吸附方式设置于第二边缘。

上述第二贴合部设置于第二边缘所采用的方式对应的效果与上文中第一贴合部设置于第一边缘所采用的方式对应的效果相应，此处不再一一赘述。

在一些可选的实施例中，对通用蒸镀掩膜进行张网过程中，在第一张网方向上、在两个相对的第一边缘均设置第一贴合部，在第二张网方向上、在两个相对的第二边缘均设置第二贴合部，以对第一边缘提供第一均值张网拉力的同时对第二边缘提供第二均值张网拉力。使得在通用蒸镀掩膜张网过程中，第一边缘中各第一蒸镀区段和第一遮挡区段平行等齐的沿第二张网方向移动的同时，第二边缘中各第二蒸镀区段和第二遮挡区段平行等齐的沿第一张网方向移动。保证通用蒸镀掩膜中的各蒸镀开口外扩变形一致，提高张网准确度，保证张网后各蒸镀开口尺寸、形状以及在通用掩膜板中所处的位置均符合预期，提高蒸镀精度，从而改善显示面板的显示质量以及可靠性。

如图11所示，本申请第二方面提供一种张网方法的张网装置。张网装置用于对通用蒸镀掩膜张网，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；张网装置具有对边缘提供均值张网拉力的拉伸机构，拉伸机构包括在张网过程中设置于边缘的贴合部以及与贴合部连接的施力部，在张网过程中、贴合部的宽幅贴合端固定设置在边缘且与各蒸镀区段和各遮挡区段均对应。

如图11所示，该张网装置具有对边缘11提供均值张网拉力的拉伸机构2，拉伸机构2包括在张网过程中设置于边缘11的贴合部(第一贴合部21a或第二贴合部21b)以及与贴合部连接的施力部22，在张网过程中、贴合部21的宽幅贴合端212固定设置在边缘11且与各蒸镀区段和各遮挡区段均对应。例如，第一贴合部21a的宽幅贴合端固定设置在第一边缘111，且与各第一蒸镀区段113a和各第一遮挡区段114a均对应。第二贴合部21b的宽幅贴合端固定设置在第二边缘112，且与各第二蒸镀区段113b和各第二遮挡区段114b均对应。

在一些可选的实施例中，贴合部与施力部22进行固定连接，在一些示例中，贴合部与施力部22为一体式结构，贴合部包括用于夹持通用蒸镀掩膜1的边缘11的第一夹部和第二夹部。

在另一些可选的实施例中，贴合部与施力部22进行可拆卸连接，在一些示例中，贴合部设置夹持配合结构，而施力部22设置有夹持结构，贴合部与与施力部22之间进行夹持连接。在一些示例中，张网过程中、在贴合部与通用蒸镀掩膜1通过压合焊接方式连接。

本申请第二方面提供的张网装置，且张网过程中拉伸机构对通用蒸镀掩膜的边缘提供均值张网拉力，保证通用蒸镀掩膜张网过程中蒸镀开口的拉伸变形一致性，提高通用蒸镀掩膜的张网准确度，并提高通用蒸镀掩膜张网效率。

在一些可选的实施例中，如图11所示，贴合部(第一贴合部21a和/或第二贴合部21b)为整体式结构，张网过程中，贴合部在通用蒸镀掩膜1所在平面的正投影为类等腰梯形，类等腰梯形的底边对应宽幅贴合端212，类等腰梯形的顶边对应贴合部与施力部22的连接处。在这些实施例中贴合部具有宽幅贴合端212，在张网过程中，宽幅贴合端212对应通用蒸镀掩膜1边缘11中各蒸镀区段和各遮挡区段设置，以向边缘11的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，类等腰梯形的顶边对应贴合部与施力部22的连接处，可以使得施力部22对边缘11施加的拉力通过贴合部均衡传递到边缘11各处(各相继分布的蒸镀区段和遮挡区段)。

在一些可选的实施例中，贴合部由多个子贴合部构成，子贴合部在通用蒸镀掩膜所在平面的正投影形状为类等腰梯形，类等腰梯形的底边对应子宽幅贴合端，类等腰梯形的顶边对应子贴合部与施力部的连接处。在这些实施例中，可以是多个子贴合部与施力部对应连接；也可以是一个子贴合部对应施力部中的一个子施力部；或者是每个子贴合部组对应施力部中一个子施力部，其中各子贴合部组包括多个子贴合部。

如图12所示，在一些可选的实施例中，张网装置进一步包括导向机构4，导向机构4设置于贴合部(第一贴合部21a和/或第二贴合部21b)相对的两侧，以使张网过程中、贴合部在导向机构4的导向作用下沿张网方向平行移动。在一些示例中，导向机构4包括设置于贴合部相对的两侧的一组滑轨，滑轨的延伸方向平行于张网方向。在这些实施例中，设置导向机构4进一步保证在张网过程中，贴合部不随意偏离张网方向，保证张网方向上、通用蒸镀掩膜相对的边缘共面且相对的边缘所在平面与张网方向平行，进一步保持张网后通用蒸镀掩膜中蒸镀开口沿张网方向外扩均一性，提高张网准确度，保证了通用蒸镀掩膜板中蒸镀开口的尺寸、位置以及形状的标准度，进一步提升后续蒸镀过程的蒸镀精度，提升显示面板的显示质量。

依照本发明如上文所述的实施例，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。