玻璃基板检测设备及其方法

技术领域

本发明涉及一种用于检测具有多个数据线、多个闸极线、水平边缘与一竖直边缘之玻璃基板之检测设备及其方法，尤指一种包括水平感测单元，具有两个第一传感器，以及竖直感测单元，具有两个第二传感器之一检测设备及其检测方法，其中各所述第一与第二传感器为金属导体。

背景技术

当前用于检测玻璃基板的开路/短路/跨接的检测设备，其检出开路/短路/跨接的传感器仍有待精进，如何而能使所述传感器易于制造及具有相对较低之生产成本，是一值得深思的问题。

职是之故，发明人鉴于习知技术之缺失，乃思及改良发明之意念，终能发明出本案之「玻璃基板检测设备及其方法」。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种用于检测一具有多个数据线、多个闸极线、水平边缘与竖直边缘之玻璃基板之检测设备及其方法，所述检测设备包括具有两个第一传感器的水平感测单元，以及具有两个第二传感器的竖直感测单元，其中各所述第一与第二传感器为金属导体，所述两个第二传感器用于依序感测两相邻闸极在线二感应电流之第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线的其中之一有线路异常，以及所述两个第一传感器用于依序感测两相邻数据在线二感应电流之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有线路异常，各所述传感器为金属导体使其相对易于制造及具有相对较低之生产成本。

本案之又一主要目的在于提供一种用于检测具有多个数据线、多个闸极线、水平边缘与竖直边缘之玻璃基板之检测设备，包含感测装置，所述感测装置包括水平感测单元，具有两个第一传感器，以及竖直感测单元，具有两个第二传感器，其中各所述第一与第二传感器为金属导体，当所述感测装置沿所述水平边缘且竖直于所述多个闸极线移动，和自外部电源提供第一电压给所述多个闸极线时，所述两个第二传感器分别用于依序感测两相邻闸极线的二个感测电流之第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线的其中之一有第一线路异常，以及当所述感测装置沿所述竖直边缘且竖直于所述多个数据线移动，和自所述外部电源提供第二电压给所述多个数据线时，所述两个第一传感器分别用于依序感测两相邻数据线的二个感测电流之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有第二线路异常。

本案之下一主要目的在于提供一种用于检测具有多个数据线与多个闸极线之玻璃基板之检测设备，包含感测装置，所述感测装置包括水平感测单元，具有两个第一传感器，以及竖直感测单元，具有两个第二传感器，其中各所述第一与第二传感器为金属导体，当所述感测装置依竖直于所述多个闸极线的方向移动，且所述多个闸极线接收第一电压时，所述两个第二传感器用于依序感测两相邻闸极在线二感应电流之第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线的其中之一有线路异常，以及当所述感测装置依竖直于所述多个数据线的方向移动，且所述多个数据线接收第二电压时，所述两个第一传感器用于依序感测两相邻数据在线二感应电流之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有线路异常。

本案之另一主要目的在于提供一种使用具有一感测装置之检测设备以检测具有多个数据线与多个闸极线之玻璃基板之方法，其中所述感测装置包括具有两个第一传感器之水平感测单元与具有两个第二传感器之竖直感测单元，各所述第一与第二传感器为金属导体，所述方法包含：当所述感测装置依竖直于所述多个闸极线的方向移动，且由外部电源提供第一电压给所述多个闸极线时，使所述两个第二传感器依序感测两相邻闸极线的二个感应电流之第一差值，其中当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线的其中之一有第一线路异常；以及当所述感测装置依竖直于所述多个数据线的方向移动，且由所述外部电源提供第二电压给所述多个数据线时，使所述两个第一传感器依序感测两相邻数据线的二个感应电流之第二差值，其中当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有第二线路异常。

本案之再一主要目的在于提供一种用以检测基板之感测装置，其中所述基板具有多个电路线、所述多个电路线包括第一多个第一方向电路线、第二多个第二方向电路线、及第三多个第三方向电路线、所述第一或第二方向系水平或竖直方向、所述第三方向非该水平或竖直方向、且所述基板受一信号源供电，并使所述多个电路线受检测，所述感测装置包含第一对感测导线，用以感测所述第一及第二多个电路线两者之一中相邻两特定电路线，并产生第一对信号，第二对感测导线，用以感测所述第一及第二多个电路线两者之另一中相邻两特定电路线，并产生第二对信号，以及第三对感测导线，用以感测所述第三多个电路线中相邻两特定电路线，并产生第三对信号，并藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线是否正常。

本案之又一主要目的在于提供一种用以检测基板之方法，其中所述基板具有多个电路线、所述多个电路线包括第一多个第一方向电路线、第二多个第二方向电路线、及第三多个第三方向电路线、所述第一或第二方向系水平或竖直方向、所述第三方向非该水平或竖直方向、且所述基板受信号源供电，并使所述多个电路线受检测，所述方法包含：提供一第一对感测导线，用以感测所述第一及第二多个电路线两者之一中相邻两特定电路线，并产生第一对信号；提供第二对感测导线，用以感测所述第一及第二多个电路线两者之另一中相邻两特定电路线，并产生第二对信号；提供第三对感测导线，用以感测所述第三多个电路线中相邻两特定电路线，并产生第三对信号；以及藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线是否正常。

本案之下一主要目的在于提供一种用以检测基板之感测装置，其中所述基板具有多个电路线、所述多个电路线包括在多个方向延伸之多组电路线、且该基板受信号源供电，并使所述多个电路线受检测，所述感测装置包含多对感测导线，用以分别感测在所述多个方向上之所述多组电路线，其中每一各所述对感测导线用以感测一组相关电路线中相邻两特定电路线，并产生一对信号，以及藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线是否正常。

附图说明

图1：其系显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置在检测玻璃基板时移动方式之示意图。

图2：其系显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置内部的传感器配置方式之示意图。

图3：其系显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的一对实质平行于数据线之传感器置于玻璃基板的二相邻数据线上方的示意图。

图4：其系显示对应于图3中aa’线段之横切面的所述对传感器与所述二相邻数据线之剖面图。

图5：其系显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的一斜向感测单元用于检测玻璃基板上二相邻的斜线段的示意图。

图6：其系显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的一个传感器电连接于信号放大器与后级装置的电路示意图

具体实施方式

图1是显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置在检测玻璃基板时移动方式之示意图。在图1中，检测设备1包括感测装置11与横梁12。所述检测设备1用于检测玻璃基板2。所述玻璃基板2包括多个闸极线21、多个数据线22、水平边缘23、竖直边缘24与外部电源25。

如图1所示，检测玻璃基板2时，检测设备1会针对数据线22与门极线21分别供电后移动所述感测装置11以逐一检测每一条线是否正常。在图1中，所述感测装置11从位置A移动至位置B时，所述检测设备1提供闸极线1至闸极线N电源，所述感测装置11逐一检测闸极线1至闸极线N是否正常。如图1所示，所述感测装置11从位置B移动至位置C时，所述感测装置11提供数据线1至数据线M电源，所述感测装置11逐一检测数据线1至数据线M是否正常。在图1中，所述感测装置11从位置A移动至位置B，再从位置B移动至位置C，形成L型动作路径并完成所述多个数据线22及所述多个闸极线21的检查。

图2是显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置内部的传感器配置方式之示意图。在图2中，所述感测装置11包括水平感测单元111、竖直感测单元112与斜向感测单元113。所述感测装置11上同时有竖直方向传感器(竖直感测单元112所包括之第二传感器1121/1122)及水平方向的磁组传感器(水平感测单元111所包括之第一传感器1111/1112)，可以同时侦测竖直及水平两个方向的磁场变化，可以同时满足玻璃基板数据线与门极线检测需求。如图2所示，同一个方向的磁组传感器是以2个为一组，2个同一个方向的磁组传感器(例如，第一传感器1111与1112)的输出差(二相邻数据线或门极线之二感测电流之差)是否为零作为判读二相邻数据线或门极线之一是否有线路异常。

图3是显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的一对实质平行于数据线之传感器置于玻璃基板的二相邻数据线上方的示意图。在图3中，第一传感器1111与1112，其周遭磁场大小变化同时，改变第一传感器1111与1112的感应电流大小，可以应用于电流侦测。如图3所示，待测物为玻璃基板(运用于薄膜晶体管的液晶显示器：TFT-LCD)2，所述第一传感器1111与1112置于待测物上方。数据线1～数据线M与门极线1～闸极线N(LCD的分辨率MxN，其中数据线X与数据线Y的X>＝1且X<＝M，Y>＝1且Y<＝M)为LCD上的走线用来导通电流控制LCD上的画素(Pixel)显示功能。如图3所示，检测数据线1～数据线M的线路电气特性是否一致时，一外部电源25提供电一第二电压给数据线1～数据线M用来产生电流，电流产生磁场，磁场可以改变第一传感器1111与1112内部电阻大小。在图3中，当第一传感器1111与1112分别在数据线X或数据线Y上方的位置，其中数据线X或数据线Y有线路异常，2个第一传感器1111与1112的输出差不为零；反之当数据线X或数据线Y线路相同时，2个第一传感器1111与1112的输出差为零，以此判读二相邻闸极线、数据线或斜线段的电气特性是否一致。

图4是系显示对应于图3中aa’线段之横切面的所述对传感器与所述二相邻数据线之剖面图。第一传感器1111与1112分别在数据线X或数据线Y位置上方距离d的位置(间距为d)。

图5是显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的斜向感测单元用于检测玻璃基板上二相邻的斜线段的示意图。如图5所示，针对具有水平边缘23与竖直边缘24之玻璃基板2上的二相邻斜线段26(非水平或竖直的线段)的电流感测，所述感测装置11具有斜向感测单元113，其被置于所述二相邻斜线段26上方，以感测所述二相邻斜线段26上二感应电流之差值。

图6是显示依据本发明构想之优选实施例的检测设备之感测装置的一个传感器电连接于信号放大器与一后级装置的电路示意图。如图6所示，所述外部电源25透过电流调整电阻R3分别提供各所述闸极线21或各所述数据线22第一电压/第二电压，此时各所述第一/第二/第三/第四传感器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134电连接于负载电阻R1形成闭回路，且以2mm的间距置于各所述闸极线21或各所述数据线22上方，在各所述闸极线21或各所述数据线22及各所述第一/第二/第三/第四传感器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134间形成磁场感应电流区域10，因流经各所述闸极线21或各所述数据线22的电流而形成磁场，各所述第一/第二/第三/第四传感器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134因所述磁场产生感应电流后，经过所述负载电阻R1产生电压差，信号放大器U1接收所述电压差，放大所述电压差后，输出给后级装置114，以判读所述电压信号。在U1中包括两输入端IN-/IN+、输出端OUT、二IC电源：RG+与RG-与放大倍率调整电阻R2。

如图1所示，本案提供一种用于检测具有多个数据线22、多个闸极线21、水平边缘23与竖直边缘24之玻璃基板2之检测设备，包含感测装置11，所述感测装置11包括水平感测单元111，具有两个第一传感器1111/1112，以及竖直感测单元112，具有两个第二传感器1121/1122，其中各所述第一1111/1112与第二传感器1121/1122为金属导体，当所述感测装置11沿所述水平边缘23且竖直于所述多个闸极线21移动，和自外部电源25提供第一电压给所述多个闸极线21时，所述两个第二传感器1121/1122分别用于依序感测两相邻闸极线21的二个感测电流以获得两者间之第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线21的其中之一有第一线路异常，以及当所述感测装置沿所述竖直边缘24且竖直于所述多个数据线22移动，和自所述外部电源25提供第二电压给所述多个数据线22时，所述两个第一传感器1111/1112分别用于依序感测两相邻数据线22的二个感测电流以获得两者间之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有第二线路异常。

如图1与图2所示之所述检测设备1，还包括可移动之横梁12，其中所述感测装置11设置于所述横梁12上，通过所述横梁12之移动以检测所述玻璃基板2，所述玻璃基板2具有一各所述闸极线21接地之下侧与一各所述数据线22接地之右侧，所述水平边缘23为所述下侧，且所述竖直边缘24为所述右侧，各所述金属导体是金属线或印刷电路板上之铜线，所述两个第一传感器1111/1112彼此平行，使所述两个第一传感器1111/1112实质平行于各所述数据线22，以分别侦测因两相邻数据线22上通电而产生之二感测电流，所述两个第二传感器1121/1122彼此平行，使所述两个第二传感器1121/1122实质平行于各所述闸极线21，以侦测因两相邻闸极线21上通电而产生之二感测电流，当各所述闸极线21或各所述数据线22因通电而产生导通电流时，将使邻近各所述闸极线21或各所述数据线22的各所述第一传感器1111/1112或各所述第二传感器1121/1122因感应所述导通电流所产生之磁场，而产生各所述感测电流。

如图1、图2与图5所示之所述检测设备1，其中所述感测装置11还包括具有两个彼此平行的第三传感器1131/1132与两个彼此平行的第四传感器1133/1134之斜向感测单元113，其中各所述第三传感器1131/1132与各所述第四传感器1133/1134斜向交叠，各所述第三传感器1131/1132与各所述第四传感器1133/1134为金属导体，所述玻璃基板2还包括至少二斜线段26，各所述斜线段26是非实质水平于所述水平边缘23且非实质竖直于所述竖直边缘24的线段，当所述感测装置11以竖直于所述至少二斜线段26之方向移动，以检测所述至少二斜线段26之两相邻斜线段26的二个感测电流之第三差值时，所述两个第三传感器1131/1132或所述两个第四传感器1133/1134分别用于依序感测所述第三差值，当所述第三差值不为零时，所述两相邻斜线段26的其中之一有第三线路异常。

如图1与图4所示之所述检测设备1，其中所述感测装置11设置于所述玻璃基板2上方，且两者间具有一间距d，所述感测装置11首先沿着所述水平边缘23移动，而后沿着所述竖直边缘24移动，或者首先沿着所述竖直边缘24移动，而后沿着所述水平边缘23移动，以检测所述多个闸极线21与所述多个数据线22，当检测所述至少二斜线段26时，则沿着竖直于所述至少二斜线段26之方向移动，所述第一至所述第三线路异常各自是短路、跨接或开路。

如图1与图6所示之所述检测设备1，其中所述感测装置11还包括后级装置114，所述水平感测单元111与所述竖直感测单元112更各包括二信号放大器U1，各所述信号放大器U1包括所述两输入端IN+/IN-与所述输出端OUT，各所述第一、第二、第三与第四传感器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134分别串联电连接于一负载电阻R1，所述负载电阻R1产生一电压差，所述电压差代表各所述传感器1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134所产生之各所述感测电流，所述负载电阻R1的两端分别电连接于对应的所述两输入端IN+/IN-，各所述信号放大器U1用以经所述输出端OUT输出一经放大的电压信号VOUT给所述后级装置114，以判读代表所述第一差值、所述第二差值或所述第三差值之电压信号。

如图1与图2所示，本案提供一种用于检测具有多个数据线22与多个闸极线21之玻璃基板2之检测设备1，包含感测装置11，所述感测装置11包括水平感测单元111，具有两个第一传感器1111/1112，以及竖直感测单元112，具有两个第二传感器1121/1122，其中各所述第一1111/1112与第二传感器1112/1122为金属导体，当所述感测装置11依竖直于所述多个闸极线21的方向移动，且所述多个闸极线21接收第一电压时，所述两个第二传感器1121/1122用于感测两相邻闸极线21上二感应电流之第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线21的其中之一有线路异常，以及当所述感测装置11依竖直于所述多个数据线22的方向移动，且所述多个数据线22接收第二电压时，所述两个第一传感器1111/1112用于感测两相邻数据线22上二感应电流之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线22的其中之一有线路异常。

如图1与图2所示，本案提供一种使用具有一感测装置11之检测设备1以检测具有多个数据线22与多个闸极线21之玻璃基板2之方法，其中所述感测装置11包括具有两个第一传感器1111/1112之水平感测单元111与具有两个第二传感器1121/1122之竖直感测单元112，各所述第一1111/1112与第二传感器1112/1122为金属导体，所述方法包含：当所述感测装置11依竖直于所述多个闸极线21的方向移动，且由外部电源25提供第一电压给所述多个闸极线21时，使所述两个第二传感器1121/1122分别依序感测两相邻闸极线21的二个感应电流以获得两者之第一差值，其中当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线21的其中之一有第一线路异常；以及当所述感测装置11依竖直于所述多个数据线22的方向移动，且由所述外部电源25提供第二电压给所述多个数据线22时，使所述两个第一传感器1111/1112分别依序感测两相邻数据线22的二个感应电流以获得两者之第二差值，其中当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线22的其中之一有第二线路异常。

如图1与图2所示之所述方法，其中所述玻璃基板2还包括水平边缘23与竖直边缘24，所述当所述感测装置11依所述竖直于所述多个闸极线21的方向移动之步骤还包括：使所述感测装置11沿着所述水平边缘23且竖直于所述多个闸极线21而移动，以检测所述多个闸极线21是否有所述第一线路异常，且所述当所述感测装置11依所述竖直于所述多个数据线22的方向移动之步骤还包括：使所述感测装置11沿着所述竖直边缘24且竖直于所述多个数据线22而移动，以检测所述多个数据线22是否有所述第二线路异常。

如图1、图2与图5所示之所述方法，其中所述玻璃基板2还包括至少二斜线段26，各所述斜线段26是非实质水平于所述水平边缘23且非实质竖直于所述竖直边缘24的线段，所述感测装置11还包括具有两个彼此平行的第三传感器1131/1132与两个彼此平行的第四传感器1133/1134之斜向感测单元113，其中各所述第三传感器1131/1132与各所述第四传感器1133/1134斜向交叠，各所述第三传感器1131/1132与各所述第四传感器1133/1134为金属导体，所述方法还包括：使所述感测装置11以竖直于所述至少二斜线段26之方向移动，以所述斜向感测单元113检测所述至少二斜线段26之两相邻斜线段26的二个感测电流以获得两者之一第三差值，其中当所述第三差值不为零时，所述两相邻斜线段26的其中之一有第三线路异常。

如图1、图2与图5所示，本案提供一种用以检测基板2之感测装置11，其中所述基板2具有多个电路线21/22/26、所述多个电路线21/22/26包括第一多个第一方向电路线21、第二多个第二方向电路线22、及第三多个第三方向电路线26、所述第一或第二方向系一水平或竖直方向、所述第三方向非所述水平或竖直方向、且所述基板2受信号源25供电，并使所述多个电路线21/22/26受检测，所述感测装置11包含第一对感测导线1111-1112/1121-1122，用以感测所述第一及第二多个电路线21/22两者之一21/22中相邻两特定电路线21/22，并产生第一对信号，第二对感测导线1121-1122/1111-1112，用以感测所述第一及第二多个电路线21/22两者之另一22/21中相邻两特定电路线22/21，并产生第二对信号，以及第三对感测导线1131-1132/1133-1134，用以感测所述第三多个电路线26中相邻两特定电路线26，并产生第三对信号，并藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线21/22/26是否正常。

如图1、图2与图5所示，本案提供一种用以检测基板2之方法，其中所述基板2具有多个电路线21/22/26、所述多个电路线21/22/26包括第一多个第一方向电路线21、第二多个第二方向电路线22、及第三多个第三方向电路线26、所述第一或第二方向系水平或竖直方向、所述第三方向非所述水平或竖直方向、且所述基板2受信号源25供电，并使所述多个电路线21/22/26受检测，所述方法包含：提供第一对感测导线1111-1112/1121-1122，用以感测所述第一及第二多个电路线21/22两者之一21/22中相邻两特定电路线21/22，并产生第一对信号；提供一第二对感测导线1121-1122/1111-1112，用以感测所述第一及第二多个电路线21/22两者之另一22/21中相邻两特定电路线22/21，并产生第二对信号；提供第三对感测导线1131-1132/1133-1134，用以感测所述第三多个电路线26中相邻两特定电路线26，并产生一第三对信号；以及藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线21/22/26是否正常。

如图1、图2与图5所示，本案提供一种用以检测基板2之感测装置11，其中所述基板2具有多个电路线21/22/26、所述多个电路线21/22/26包括在多个方向延伸之多组电路线21/22/26、且所述基板2受信号源25供电，并使所述多个电路线21/22/26受检测，所述感测装置11包含：多对感测导线1111-1112/1121-1122/1131-1132/1133-1134，用以分别感测在所述多个方向上之所述多组电路线21/22/26，其中每一各所述对感测导线21/22/26用以感测一组相关电路线中相邻两特定电路线21/22/26，并产生一对信号；以及藉各所述对信号之差值，以判断各所述被检测之两特定电路线21/22/26是否正常。

综上所述，本发明提供一种用于检测具有多个数据线、多个闸极线、水平边缘与竖直边缘之玻璃基板之检测设备及其方法，所述检测设备包括具有两个第一传感器的水平感测单元，以及具有两个第二传感器的竖直感测单元，其中各所述第一与第二传感器为一金属导体，所述两个第二传感器用于感测两相邻闸极在线二感应电流之一第一差值，当所述第一差值不为零时，所述两相邻闸极线的其中之有一线路异常，以及所述两个第一传感器用于感测两相邻数据在线二感应电流之第二差值，当所述第二差值不为零时，所述两相邻数据线的其中之一有线路异常，各所述传感器为金属导体使其相对易于制造及具有相对较低之生产成本，故其确实具有新颖性与进步性。

是以，纵使本案已由上述之实施例所详细叙述而可由熟悉本技艺之人士任施匠思而为诸般修饰，然皆不脱如附权利要求书所欲保护者。

符号说明

1：检测设备 10：磁场感应电流区域

11：感测装置 111：水平感测单元

1111/1112：第一传感器 112：竖直感测单元

1121/1122：第二传感器 113：斜向感测单元

1131/1132：第三传感器 1133/1134：第四传感器

114：后级装置 12：横梁

2：玻璃基板 21：闸极线

22：数据线 23：水平边缘

24：竖直边缘 25：外部电源

26：斜线段 R1：负载电组

R2：放大倍率调整电阻 R3：电流调整电阻

RG+/RG----：IC电源 U1：信号放大器

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