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SOI衬底的制造方法

文献发布时间:2023-06-19 11:50:46


SOI衬底的制造方法
相关技术
  • 硅晶片、SOI衬底、硅单晶生长方法,硅晶片制造方法及SOI衬底制造方法
  • 在例如在SOI衬底上尤其是FDSOI衬底上制造的集成电路的有源区上制造接触的方法以及对应的集成电路
技术分类

06120113078175