用于通过自动化质量测试设备来测试相关部件承载件的质量的试样

本发明涉及一种用于执行部件承载件的质量测试的试样、面板、测试系统和方法。

在配备有一个或更多个电子部件的部件承载件的产品功能不断增长及此类电子部件的渐增的小型化以及将被安装在诸如印刷电路板的部件承载件上的电子部件数目不断增加的情况中，正在使用具有若干个电子部件的越来越强大的类似数组的部件或封装，它们具有多个接点或连接，在此类接点之间的间隔越来越小。同时，部件承载件应为机械稳健的和电气可靠的，以便即使在严峻的条件下也能操作。

横截面是一种用于表征材料、执行故障分析及暴露诸如印刷电路板(PCB)的部件承载件的内部结构的技术。横截面可以涉及将PCB的目标部分安装在灌封材料中，以便在随后的研磨和抛光处理中获得支撑并保护PCB。所安装的PCB是使用逐渐精细的介质来仔细地研磨和抛光，用以达到感兴趣的目标检查平面。然后，以此方式制备的PCB可以由使用者检查，例如在光学显微镜或扫描电子显微镜(SEM)下进行检查。平面研磨是另一种用于使部件承载件的内部暴露以供使用者检查的技术。

制备和测试部件承载件的横截面、经平面研磨的部件承载件的横截面、和相关物理体的横截面在传统上是由工程师以手动方式执行。此适用于不同类型的微截面，诸如横截面和平面截面。然而，就质量测试而言，这涉及到大量的工作量和受限的精确度，并且就有关产业规模上的吞吐量的严格要求而言可能是至关重要的。

本发明的目的是以高可靠性、高吞吐量和合理工作量来评价部件承载件的质量。

为了实现上述目的，提供了一种根据独立权利要求所述的执行部件承载件的质量测试的试样、面板、测试系统和方法。

根据本发明的示例性实施方式，提供了一种用于执行关于相关部件承载件的质量测试的试样(其可以被配置为部件承载件结构)，其中，该试样包括：底板，该底板被构造为至少一个电传导层结构和/或至少一个电绝缘层结构的层叠置件；操纵区，所述操纵区位于所述底板的第一部分上，所述操纵区被配置成用于通过机器人操纵单元来对所述试样进行操纵，并且所述操纵区不包括用于所述质量测试的测试目标；以及测试区，所述测试区位于所述底板的第二部分上和/或位于所述底板的第二部分中，并且所述测试区包括用于所述质量测试的测试目标。

根据本发明的另一示例性实施方式，提供了一种面板，该面板包括：中央部分，该中央部分包括多个部件承载件；以及边缘部分，该边缘部分包括具有以上提及的特征的至少一个试样。

根据本发明的又一示例性实施方式，提供了一种测试系统，该测试系统包括：试样，所述试样具有以上提及的特征；以及设备，所述设备被配置成用于：通过使用测试目标对试样进行测试，来执行关于试样相关的部件承载件的质量测试，并且所述设备包括操纵单元，所述操纵单元被配置成用于在所述质量测试的至少一部分期间在所述操纵区处对所述试样进行操纵。

根据本发明的又一示例性实施方式，提供了一种执行关于部件承载件的质量测试的方法，其中，该方法包括：将具有以上提及的特征的试样与面板分离，该面板包括部件承载件；通过机器人操纵单元在操纵区处来对试样进行操纵；以及基于测试目标来对试样进行测试。

在本申请的上下文中，术语“部件承载件”可以特别地表示能够在该部件承载件上和/或部件承载件中容纳一个或更多个部件以提供机械支撑和/或电连接和/或光学连接和/或热连接的任何支撑结构。换言之，部件承载件可以构造成用于部件的机械承载件和/或电子承载件。特别地，部件承载件可以是印刷电路板、有机中介层和IC(集成电路)基板中的一者。部件承载件还可以是结合有以上提及的类型的部件承载件中的不同类型的部件承载件的混合板。

在本申请的上下文中，术语“部件承载件结构”可以特别地表示在制造部件承载件期间和/或在制造部件承载件之后操纵的和处理的薄板，例如面板、阵列或部件承载件本身。因此，部件承载件结构可以特别地表示包括多个连接的部件承载件的预制件的面板、包括多个连接的部件承载件的预制件的阵列(例如四分之一板)、部件承载件的预制件(即，尚未制造完成的部件承载件)、或者制造完成的部件承载件(例如印刷电路板(PCB)或集成电路(IC)基板)。然而，部件承载件结构也可能是试样。

在本申请的上下文中，术语“试样”(或测试试样)可以特别地表示部件承载件本体(例如类似印刷电路板的本体)，其可以用于对部件承载件(特别是印刷电路板)制造工艺的质量进行测试。测试试样可以在与部件承载件(例如印刷电路板)相同的面板上制造，例如在面板的边缘处制造，或者甚至形成部件承载件的一部分或者部件承载件之间的区域。然后，可以就质量测试而言来对试样进行检查，例如，以确保适当的层对准、电连接等。还可以对试样进行横截面检查，以检查内部结构。试样可以被设计为包括电传导迹线和竖向贯穿连接部(例如过孔)，其具有与使用型部件承载件的尺寸和结构相同的尺寸和结构。例如，试样可以是条带状板(例如，具有23×3.5cm

在本申请的上下文中，术语“质量测试”可以特别表示通过对部件承载件结构的一个或更多个预定义测试目标的特征进行分析，来对部件承载件结构的质量进行评价。在这样的质量测试中，可以对部件承载件结构的一个或更多个这样的特性特征是否满足一个或更多个质量标准进行测试。这样的质量标准可以包括一个或更多个定性质量标准(例如作为定性错误图案或故障场景的层结构的分层的存在或不存在)和/或一个或更多个定量质量标准(诸如相对于可接受厚度的预定义范围的图案化铜层的厚度)。部件承载件结构的可确定质量缺陷的示例是在钻孔、毛发内含物、阻焊效果、待分离的电传导迹线之间的短路等方面的人工制品。例如，可以进行部件承载件结构的质量测试，以检查部件承载件结构是否符合工业标准(例如IPC 6012、IPC-A-600、IPC-2221等)。

在本申请的上下文中，术语“预定义测试目标”可以特别地表示由于材料移除而暴露出的部件承载件结构内部中的结构特征，该结构特征已经被预定义为用于对部件承载件结构的质量进行评价的特征项。例如测试目标可以是包括至少一个电传导层结构(例如图案化铜箔和/或铜填充激光过孔)和/或至少一个电绝缘层结构(例如，包括诸如环氧树脂的树脂和可选的诸如玻璃纤维的增强颗粒的片材)的部件承载件结构的(特别是层压的)层叠置件中的钻孔或层结构。特别地，部件承载件结构的至少一个测试目标的特性或属性可以包括下述各者中的一者或更多者：钻孔(例如激光钻孔或机械钻孔，其可以填充或可以不填充诸如铜的电传导材料)的直径、相邻钻孔之间的距离、层结构的厚度(特别是图案化铜箔或层的厚度)、层结构的平面性(例如，通过层结构与纯平面配置的偏差来测量)、层结构的分层(即，已经至少部分地从一组完整的例如层压式层结构分离的层结构)，等等。

在本申请的上下文中，术语“用于执行关于相关部件承载件的质量测试的试样”可以特别地表示所提及的部件承载件在共同制造处理方面与试样相关联。特别地，所述部件承载件可以与试样的制造同时制造。试样和相关的部件承载件可以形成同一面板的一部分。因此，可以合理地假设试样的质量问题对应于相关部件承载件的质量问题，并且通过质量测试的试样使得能够得出相关部件承载件也符合所述质量测试的要求的结论。

在本申请的上下文中，术语“操纵区”可以特别地表示试样的表面部分，该表面部分被特别地配置为可由机器人(例如多轴机器人)或质量测试设备的操纵单元的类似实体夹持，而不损害试样和设备的功能。为此目的，这样的操纵区可以不包括测试目标(当被操纵单元夹持时可能隐藏)，并且优选地也不包括其他特征，使得机器人操纵单元可以在不干扰质量测试相关任务的情况下对试样进行操纵(例如在测试目标周围的区域中从试样移除材料，根据质量测试对所暴露出的试样的感兴趣平面的图像进行检测，以及执行试样相对于设备的自动化对准)。提供这样的专用操纵区使得试样适于由自动化质量测试设备进行自动化操纵。

在本申请的上下文中，术语“测试区”可以特别地表示配备有一个或更多个测试目标的试样的区域，基于该区域可以通过自动化质量测试设备执行质量测试。与设置有一个或更多个测试目标的测试区相反，以上提及的操纵区可以不包括测试目标。

根据本发明的示例性实施方式，提供了一种用于对相关部件承载件(特别是与试样同一面板的印刷电路板)的质量进行测试的全自动化系统的试样(例如印刷电路板试样)。自动化质量测试设备可以能够通过对试样进行分析来确定所指定的部件承载件的质量，优选地在没有用户干预的情况下。有利地，根据本发明的示例性实施方式的试样可以被设计为符合全自动化质量测试的要求，该测试可以涉及从试样中自动化移除材料(例如通过研磨)，例如以对试样横截面中可见的测试目标进行评价。特别地，试样可以设置有使试样可在无需用户强制干预的情况下进行机器可读和机器处理的特征和特性。同时，如果需要，试样的设计也可以与使用者的手动操纵兼容。因此，使用者基于指定的试样执行部件承载件的质量测试的灵活性可以显著地增加。根据示例性实施方式的试样可以有利地包括操纵区，该操纵区不包括用于质量测试的测试目标，从而专门为自动化设备的操纵单元的机器人夹持实体而保留。与试样的操纵区空间上分离的是具有测试目标的测试区，该测试目标可以经受材料移除(例如，但不限于，磨料移除)处理(例如，用于创建试样的横截面)，该处理可以在执行质量测试期间执行(例如，用于暴露出待评价为测试目标或特征的钻孔)。

在下文中，将对试样、面板、测试系统和方法的另外的示例性实施方式进行说明。

在实施方式中，底板包括层压式层叠置件。一系列试样的层压式层可以对应于在相同面板的基础上制造的一系列部件承载件的层压式层，试样也可以从该面板分离。因此，试样的质量测试结果也将对部件承载件有意义。

在实施方式中，试样包括识别符，所述识别符被配置成用于识别试样和/或相关部件承载件。在质量测试期间基于试样的识别符来识别试样在可追溯性方面可能是非常有利的，并且可以被认为是用于自动化质量测试的重要措施。识别符可以形成在底板上和/或底板中。优选地，也可以创建识别符以形成底板的层结构的一部分。非常有利地，然后可以在对面板进行处理期间制造试样的识别符，最优选地通过图案化电传导层(例如由铜制成)来制造试样的识别符，从而在图案化用于制造部件承载件的层结构期间创建识别符(例如实施为条形码或QR码)。通过采取这种措施，制造识别符所需的额外工作量是最小的。优选地，识别符对其试样和/或相关的部件承载件进行唯一地识别。因此，在这样的实施方式中，没有两个试样可以具有相同的识别符。

在实施方式中，识别符包括下述各者中的至少一者：QR码、条形码、应答器、电可读识别符和字母数字码。例如，这样的识别符可以是QR码、条形码、字母数字码或任何其他光学可读代码。可替代地，识别符可以是与底板连接的无线应答器，例如RFID标签或NFC标签。这样的应答器可以由设备的相应读取器装置读取。

在实施方式中，识别符被部分地或全部地布置在操纵区中。可替代地，识别符可以部分地或全部地布置在操纵区的外部。存在用于将识别符定位在试样上的高自由度设计，因此可以以紧凑的方式提供试样。

优选地，识别符被直接地布置成靠近操纵区。这可以简化在通过自动化质量测试设备的机器人操纵单元对试样进行操纵期间识别试样。为此目的，机器人操纵单元可以配备有读取器装置，所述读取器装置用于在对试样进行操纵期间读取识别符。它们还可以加速自动质量测试。

在实施方式中，试样包括一个或更多个对准结构，特别地，所述一个或更多个对准结构是一个或更多个对准贯穿孔。为了确保对试样的暴露表面(以期望的方式显示至少一个测试目标)相对于捕获所述暴露表面的图像的相机的适当取向，该设备可以自动地确定试样的一个或更多个对准标记的位置，并且可以在捕获图像之前对试样的位置和/或取向进行调整。附加地或替代地，在移除材料以暴露出所述表面之前或在移除材料以暴露出所述表面期间，可以执行这样的对准处理。这提高了质量测试的准确性。将对准结构配置为对准贯穿孔可以允许使用光学相机并且优选地使用与其协作的光源来适当地执行对准测量。例如，这样的相机可以捕获试样的图像，其中，基于对仅通过贯穿孔传播的光的检测，可以在具有高对比度的图像上容易地确定贯穿孔的对准。

在实施方式中，一个或更多个对准结构被布置在底板的边缘部分中，特别地，一个或更多个对准结构被布置在底板的角部或角部区中。当将对准结构布置在边缘部分或优选地角部中时，它们可以以相对较大的相互距离定位，这可以增加对准处理的精度。

在实施方式中，测试目标包括一系列测试孔，特别地，所述一系列测试孔是填充有诸如铜的电传导材料的测试孔。用铜填充测试孔也可以允许简单地将测试孔与优选地未填充的对准贯穿孔区分开来。此外，在所捕获的横截面图像中，金属填充的测试孔可以容易地以与树脂的高对比度进行视觉识别。用铜填充测试孔可以与焊料浮动测试相关，焊料浮动测试可以在材料移除之前执行。当存在镀覆贯穿孔时，即当测试孔部分填充有金属时，焊料材料可能由于毛细管力或润湿而在镀覆贯穿孔中上升。在未镀覆贯穿孔的情况下，由于缺乏润湿性，所述焊料的上升不会发生。这种未填充的测试孔可以简化对准，然后可以通过穿透光照射来实现对准。

在实施方式中，一系列测试孔包括下述各者中的至少一者：至少两个不同尺寸(例如不同直径)的测试孔、至少两个相同尺寸(例如相同直径)的测试孔、沿直线布置的至少三个测试孔、以及在共用横截面平面中(即共面)的至少三个测试孔。测试孔的这种布置可以在质量测试方面提供有意义的信息。

在实施方式中，底板至少部分地被包封部围绕，特别地，所述包封部包括树脂或完全由树脂制成。例如，试样可以嵌入在树脂基体中，以简化其在自动化质量测试设备中的操纵。这样的封装处理可以是自动化的。包封部也可以用作应力缓冲器，起到保护试样的作用。

在另一实施方式中，底板的轮廓构成试样的轮廓，即以上提及的包封部可以替代地省略。非常有利的是，自动化设备不一定需要对试样进行封装。省略封装并检查未封装的试样可以显著地简化和加速自动化质量测试。

在实施方式中，操纵区的不同部分设置在底板的两个相反的主表面上，特别地，操纵区的不同部分设置在底板的顶侧和底侧上的相应区域中。这允许自动化设备的操纵单元将试样夹持并优选地夹紧在相对的两侧之间，从而对试样进行正确地操纵，而没有试样从操纵单元滑落的任何风险。在操纵区处的或靠近操纵区的工具孔可以允许操纵单元的销支撑试样的操纵。

在实施方式中，测试目标被布置成(特别地，以沿着至少一条直线的方式)沿着底板的至少一个边缘部分(特别地，沿着至少两个相对的边缘部分)。这允许材料移除处理(例如研磨)以暴露出在同一图像中显示多个测试目标的试样的平面横截面。当在底板的相对边缘部分处提供测试目标时，可以冗余地提供测试目标，这使得即使当一组测试目标的处理失败(例如由于错误的材料移除处理)时，试样也可以用于质量测试。

在实施方式中，试样包括至少一个牺牲结构(特别地，至少一个电传导牺牲结构)，所述牺牲结构在移除试样的材料以暴露出至少一个测试目标期间被至少部分地移除。优选地，所述至少一个牺牲结构可以被配置成用于对材料移除直至至少一个测试目标的目标暴露出的进度进行检测。特别地，至少一个牺牲结构可以被布置成使得当达到至少一个测试目标的测试孔的中心时，在移除试样的材料期间完全地移除该牺牲结构。有利地，在材料移除期间对指示牺牲结构的欧姆电阻的电信号进行测量可以允许确定材料移除处理的进度，并且相应地控制材料移除处理。在所述材料移除处理期间，也可以连续地移除牺牲结构，其连续地改变其欧姆电阻。因此，在试样的材料移除期间对牺牲结构的剩余部分的欧姆电阻进行测量可以得出关于材料移除处理的进度的结论。基于对牺牲结构的这种测量，例如当对牺牲结构的预定欧姆电阻进行测量时，可以准确地及时停止材料移除处理，以便以预定的方式暴露出测试目标(例如暴露出其中心)。

在实施方式中，操纵区被构造为要由机器人操纵单元夹持的平坦和/或局部粗糙区域。因此，操纵区可以是平面的。可选地，所述操纵区可以选择性地粗糙化以提高夹持性。换言之，操纵区中的粗糙度可以大于试样的其他表面部分中的粗糙程度。

在实施方式中，试样包括多个一体连接的且功能上分离的试样部分，试样部分均包括指定的操纵区和指定的测试区。还可能的是，每个试样部分包括识别符、对准结构、或本文中针对试样描述的任何其他特征。非常有利的是，试样可以被设计为具有单独可分离试样部分的模块化结构。因此，根据特定质量测试的要求，使用者可以仅使用一个或一些试样部分进行质量测试。这节省了资源，并且增加了使用者根据各自应用的需要以模块化方式调整试样特性的灵活性。

在实施方式中，试样部分中的相邻的试样部分在相应的预定断裂点处彼此连接，特别地，试样部分中的相邻的试样部分在底板上的以机械弱化、变薄或穿孔线形式的相应的断裂边缘处彼此连接。有意弱化相邻的试样部分(可以被布置成一行)之间的界面可以允许分离试样部分的一个或试样部分的子集，例如通过由使用者手动地或通过质量测试设备以自动化方式沿着预定断裂线断裂试样的一部分来分离试样部分的一个或试样部分的子集。

在实施方式中，底板(或每个试样部分)具有机械编码特征(其可以是几何特征)，特别地，机械编码特征为基本上矩形的底板的经倒角的角部或边缘，机械编码特征用于限定用于将试样(或试样部分)插入到设备中用于执行质量测试的插入取向。这种机械码使得试样相对于自动化设备的任何错位都是不可能的，并确保了误差稳健的自动化质量测试。

在实施方式中，试样被成形为条带，特别地，试样被成形为长方形条带(特别地，当试样包括多个试样部分时)。长方形条带可以是长度为其宽度的至少两倍、更特别地至少三倍的条带。例如，试样可以具有在10cm至30cm的范围内的长度，特别地，试样可以具有在15cm至25cm的范围内的长度，以及试样可以具有在0.5cm至4cm的范围内的宽度，特别地，试样可以具有1cm至3cm的范围内的宽度。上述范围与可用的面板尺寸兼容，允许由机器人操纵单元进行操纵，并且还可以符合工业标准的边界条件。

在实施方式中，该设备包括识别单元，该识别单元被配置成用于基于从试样的识别符导出的识别信息来识别试样。为了可追溯性的目的以及为了能够将质量测试的结果指定给特定的试样和指定的部件承载件，可以对经受质量测试的试样进行识别。

在实施方式中，该设备包括材料移除单元，该材料移除单元被配置成用于移除试样的材料，以使要经受质量测试的试样的内部中的测试目标中的至少一个暴露出。因此，可以使试样经受机器控制的材料移除处理，以到达感兴趣的目标检查平面。因此，可以完成材料移除以暴露出试样的内部，从而获得对至少一个被检查的测试目标(特别是钻孔)的进入。在本申请的上下文中，术语“移除材料以暴露出平面”可以特别地表示在试样的水平、竖向或对角方向上的材料移除。因此，暴露出的平面可以具有任何取向(特别地，水平方向、竖向方向或对角线方向)。

在实施方式中，该设备包括：确定单元，所述确定单元被配置成用于对试样的测试目标中的至少一个进行确定；以及评估单元，所述评估单元被配置成用于对试样的所确定的至少一个测试目标的特性进行评估，从而对部件承载件的质量进行评价。同样以完全自动化的方式，然后可以从经研磨处理的试样中确定一个或更多个测试目标。评估单元然后可以对该确定的结果进行评估，以导出质量测试的结果。

在实施方式中，该设备被配置成用于在没有人为干预的情况下执行质量测试。非常有利的是，在试样和指定的部件承载件的有效性评价方面，上述处理中没有一个需要任何使用者干预。这不仅减少了试样的质量测试方面的人力资源工作量，而且使质量测试更加客观，因此更有意义且更快。

在实施方式中，材料移除单元被配置成用于通过研磨来移除部件承载件结构的材料。特别地，研磨可以表示可以使用砂轮(或另一研磨体)作为材料移除或切削工具的磨料加工处理。每一粒磨料都可以用作微观单点切削刃，并且从部件承载件结构上剪切出微小的尖端。然而，在其他实施方式中，可以通过研磨以外的其他方法，例如通过激光处理或任何种类的切割，来完成从部件承载件结构的材料移除。

在实施方式中，材料移除单元被配置成用于通过由横截面研磨和平面研磨中的一者来移除部件承载件结构的材料。关于横截面研磨，可以创建部件承载件结构的横截面，该横截面允许在切穿过板状部件承载件结构时的平面上进行分析。横截面研磨是一种破坏性技术，它切割掉或研磨掉部件承载件结构的一部分，以暴露出感兴趣的内部平面以供分析。在获得的横截面中，可以对钻孔的质量进行评价，可以对过孔中的镀覆质量和厚度进行评价，并且还可以对其他测试目标进行分析。作为这种其他测试目标的示例，可以使部件承载件结构的材料中的空隙可接近，这指示了层压处理的质量。关于平面研磨或表面研磨，这种技术可以用于在部件承载件结构的平面上产生光滑的饰面。平面研磨可以表示为磨料加工处理，其中覆盖有粗糙颗粒的旋转轮(或任何其他本体)从部件承载件结构的主表面切割出碎屑，从而进入部件承载件结构内部层的主表面。

在实施方式中，该设备包括抛光单元，该抛光单元被配置成用于在移除材料之后抛光部件承载件结构的暴露表面。抛光可以表示通过摩擦或使用化学作用来创建光滑表面的处理，使表面粗糙度降低。与研磨相反，抛光不会从部件承载件结构的表面移除显著量的材料，而是简单地通过使表面变平来增强平面性。抛光可以使用多个阶段，从较粗糙的磨料开始，其中，每个后续阶段都可以使用较精细的磨料。

在实施方式中，部件承载件结构包括至少一个电绝缘层结构和至少一个电传导层结构的叠置件。例如，部件承载件可以是所提及的(一个或更多个)电绝缘层结构和(一个或更多个)电传导层结构的层压件，特别是通过施加机械压力和/或热能所形成的层压件。所提及的叠置件可以提供板状部件承载件，所述板状部件承载件能够为更多的部件提供大面积安装表面且无论怎样都非常薄且紧凑。

在实施方式中，部件承载件结构被成形为板件。这有助于紧凑设计，其中，部件承载件仍然为在部件承载件上安装部件提供大的基础。此外，特别是作为例如嵌入式电子部件的裸晶片，由于嵌入式电子部件的裸晶片的厚度小，因此可以方便的被嵌入到薄板件例如印刷电路板中。

在实施方式中，部件承载件结构被配置为印刷电路板、基板(特别是IC基板)和中介层中的一者。

在本申请的上下文中，术语“印刷电路板”(PCB)可以特别地表示通过将多个电传导层结构与多个电绝缘层结构进行层压而形成的板状部件承载件，例如通过施加压力和/或提供热能。作为PCB技术的优选材料，电传导层结构由铜制作，而电绝缘层结构可以包含树脂和/或玻璃纤维，被称作预浸件或者FR4的材料。各种电传导层结构可以通过下述以期望的方式彼此连接：通过形成穿过层压件的贯穿孔，例如通过激光钻孔或机械钻孔，并通过用电传导材料(特别是铜)填充所述孔，从而形成过孔或任何其他通孔连接。(例如部分地)填充的孔可以连接整个叠置件(通孔连接件延伸穿过若干层或整个叠置件)，或者填充孔连接至少两个电传导层，所述填充孔称为过孔。类似地，为了接纳电光电路板(EOCB)，可以通过叠置件的各个层形成光互连。除了可以被嵌入到印刷电路板中的一个或更多个部件外，印刷电路板通常被构造成为了容纳在板状印刷电路板的一个或两个相反表面上的一个或更多个部件。所述一个或更多个部件可以通过焊接连接到相应的主表面上。PCB的介电部分可以由具有增强纤维(例如玻璃纤维)或其他增强颗粒(诸如增强球，特别是玻璃球)的树脂组成。

在本申请的上下文中，术语“基板”可以特别地表示小的部件承载件。基板可以是与PCB相关的相对较小的部件承载件，在该相对较小的部件承载件上可以安装一个或更多个部件，并且其可以作为(一个或更多个)芯片与另外的PCB之间的连接介质。例如，基板可以与待安装在其上(例如，芯片级封装(CSP)的情况下)的部件(特别是电子部件)有基本上相同的尺寸。更特别地，基板可以被理解成是电连接件或电网的承载件以及相比于印刷电路板(PCB)的部件承载件，然而，基板具有相当高密度的横向和/或纵向布置的连接件。横向连接件是例如传导路径，而纵向连接件可以是例如钻孔。这些横向连接件和/或竖向连接件被布置在基板内，并且可以用来提供特别地IC芯片的有外壳的部件或无外壳的部件(例如裸晶片)与印刷电路板或中间印刷电路板的电、热和/或机械连接。因此，术语“基板”也包括“IC基板”。基板的介电部分可以由具有增强颗粒(例如增强球，特别是玻璃球)的树脂组成。

基板或者中介层可以包括至少下列物质的层或由至少下列物质的层组成：玻璃、硅(Si)和/或可光成像的或可干法蚀刻的有机材料，例如基于环氧树脂的堆积材料(如基于环氧树脂的堆积膜)、或如聚酰亚胺或聚苯并噁唑的聚合物化合物(其可以包含或可以不包含光和/热敏分子)。

在实施方式中，所述至少一个电绝缘层结构包括下述中的至少一者：树脂或聚合物，如环氧树脂、氰酸酯树脂、苯并环丁烯树脂、双马来酰亚胺-三嗪树脂、聚亚苯基衍生物(如：基于聚苯醚，PPE)、聚酰亚胺(PI)、聚酰胺(PA)、液晶聚合物(LCP)、聚四氟乙烯(PTFE)和/或它们的组合。也可以使用增强结构，诸如：网状物、纤维、球或其他类型的填充物颗粒，例如由玻璃(多层玻璃)制成，以形成组合物。半固化树脂与增强剂例如用以上提及的树脂浸渍的纤维结合在一起，被称为预浸件。这些预浸件通常因其特性而被命名，例如：FR4或FR5，这描述了它们的阻燃特性。虽然预浸件特别是FR4通常优选为刚性PCB，但是也可以使用其他材料特别是基于环氧树脂的堆积材料(如堆积膜)或可光成像介电材料。针对高频应用，可以优选如聚四氟乙烯、液晶聚合物和/或氰酸酯树脂的高频材料。除了这些聚合物，低温共烧陶瓷(LTCC)或其他低、非常低、极其低的DK材料(其中，“DK”可以指介电常数的实部)可以作为电绝缘结构被应用到部件承载件中。

在实施方式中，所述至少一个电传导层结构包括下述各者中的至少一者：铜、铝、镍、银、金、钯和钨。虽然通常铜是优选材料，但是其他材料或者其涂层版本也是可能的，特别是分别涂覆有超导材料如石墨烯的材料。

可以嵌入叠置件中的至少一个部件可以选自：电不传导嵌体、电传导嵌体(诸如金属嵌体，优选地包括铜或铝)、热传递单元(例如热管)、光导元件(例如光波导或光导体连接)、电子部件或上述物质的组合。嵌体可以是例如带有或不带有绝缘材料涂层(IMS-inlay)的金属块，它可以被嵌入或表面安装以促进散热。根据材料的热导率确定合适的材料，热导率应至少为2W/mK。此类材料通常基于但不限于金属、金属氧化物和/或陶瓷，例如铜、氧化铝(Al

在实施方式中，部件承载件是层压型部件承载件。在此类实施方式中，部件承载件是通过施加压力和/或热而叠置并连接在一起的多层结构的复合物。

在对部件承载件的内层结构进行处理之后，可以用一个或更多个另外的电绝缘层结构和/或电传导层来对称地或不对称地覆盖(特别是通过层压)经处理的层结构的一个主表面或两个相反的主表面。换言之，可以持续堆积直到获得所需数量的层。

在完成电绝缘层结构和电传导层结构的叠置件的形成之后，可以对获得的层结构或部件承载件进行表面处理。

特别地，在表面处理方面，可以将电绝缘阻焊剂施加到层叠置件或部件承载件的一个主表面或两个相反的主表面上。例如，可以在整个主表面上形成诸如阻焊剂并随后对阻焊剂的层进行图形化，以暴露一个或更多个电传导表面部分，该一个或更多个电传导表面部分将用于将部件承载件电耦接到电子外围。可以有效地保护部件承载件的仍然被阻焊剂覆盖的表面部分、特别是包含铜的表面部分免受氧化或腐蚀。

就表面处理而言，还可以选择性地将表面修饰应用于部件承载件的暴露的电传导表面部分。这种表面修饰可以是在部件承载件的表面上暴露的电传导层结构(例如，垫、传导轨道等，特别是包含铜或由铜组成)上的电传导覆盖材料。如果这种暴露的电传导层结构不受保护，则暴露的电传导部件承载件材料(特别是铜)可能被氧化，使得部件承载件的可靠性降低。然后可以形成表面修饰，例如作为表面安装的部件与部件承载件之间的界面。表面修饰具有以下功能：保护暴露的电传导层结构(特别是铜电路)，并能够(例如通过焊接)实现与一个或更多个部件的接合过程。用于表面修饰的适当材料的示例是有机可焊性保护剂(OSP)、化学镍浸金(ENIG)、金(特别是硬金)、化学锡、镍-金、镍-钯、化学镍浸钯浸金(ENIPIG)等。

根据下文中要描述的实施方式的示例，本发明的以上限定的方面和另外的方面将变得明显，并且将参考实施方式的示例进行说明。

图1示出了根据本发明的示例性实施方式的执行部件承载件结构的质量测试的方法的流程图。

图2示意性地示出了根据本发明的示例性实施方式的用于执行部件承载件结构的质量测试的设备。

图3示出了根据本发明的示例性实施方式的用于执行部件承载件结构的质量测试的设备的细节。

图4示出了根据本发明的示例性实施方式的全自动化质量测试设备的试样的平面图。

图5示出了根据本发明的示例性实施方式的包括多个一体连接的试样部分的试样。

图6示出了根据本发明的示例性实施方式的试样的测试目标。

图7示出了根据本发明的另一示例性实施方式的试样。

图8至图11示出了根据本发明的其他示例性实施方式的试样的操纵区的替代布置。

附图中的图示是示意性的。在不同的附图中，相似或相同的元素被设置有相同的附图标记。

在参照附图对示例性实施方式进行进一步详细地描述之前，将概述研发本发明的示例性实施方式所基于的一些基本考虑。

根据本发明的示例性实施方式，提供了一种试样，该试样被配置成与用于执行部件承载件的质量测试的全自动化质量测试设备协作。特别地，用于执行关于指定的部件承载件的质量测试的基于试样的自动化测试系统可以实现对部件承载件的高速和高精度检查，特别是可以符合IPC-2221B(版本：2012年11月)第12.1章的一致性测试试样。

在制造部件承载件(例如PCB)期间，对正在制造的部件承载件的质量进行评估可能是有利的。可以在共用面板上制造大量的部件承载件。指定的试样可以建立在面板上，例如在部件承载件周围的部分中。这样的试样可以被设计为表示实际部件承载件的情况，例如在镀覆、蚀刻和层压方面。为了得出关于制造的部件承载件的质量的结论，可以将相关的试样设计为具有与原始部件承载件相同或非常相似的规格(特别是涉及迹线宽度、铜重量、过孔结构等的规格)，并且可以对该试样测试以识别制造缺陷、材料缺陷或其他质量缺陷。对于测试试样识别出的质量缺陷可以提供同一面板上的相关部件承载件可能具有相同或相应问题的信息。例如，在质量测试期间要评估的至少一个测试目标的缺陷包括由下述各者中的至少一者：钻孔的直径在可接受值的范围之外、相邻钻孔之间的距离在可接受值的范围之外、电传导层结构的电传导迹线的宽度在可接受值的范围之外、电传导层结构中相邻电传导迹线之间的距离在可接受值的范围之外、层结构的厚度在可接受值的范围之外、层结构的非平面性、层结构的分层、以及印刷电路板型部件承载件结构的特征与预定义规格的任何偏差。例如，可以使用IPC-6012D(版本：2015年9月)第3.6章“结构完整性”中提到的标准中的一个或更多个标准来对缺陷进行评估。

除了所提及的功能之外，根据本发明的示例性实施方式的试样可以被特别地配置为与全自动化质量测试的要求兼容。用于由自动化质量测试设备的机器人操纵单元对试样进行操纵的专用操纵区可以设置在试样的表面上，该表面不包括用于实际质量测试的测试目标。因此，质量测试不受操纵的影响，并且甚至可以与操纵同时进行。因此，根据本发明的示例性实施方式的部件可以针对自动化机器人操纵进行适当地调节。

根据本发明的示例性实施方式的试样设计是动态的并且符合IPC(印刷电路协会)设计要求(IPC-2221)。由于动态设计，试样与实际零件设计具有适当的对应关系。特别地，本发明的示例性实施方式提供了一种适于自动化的横截面制备的模块化试样。这样的试样可以配备有用于自动化的机器可读特征。特别地，这样的特征包括用于通过机器人操纵单元对试样进行操纵的操纵区。此外，试样可以设置有一个或更多个工具孔，这额外地简化了通过操纵单元对试样的操纵和精确定位。此外，试样的一个或更多个对准孔可以实现试样相对于自动化设备的构件的自动对准。所述构件可以是，例如，用于从试样移除材料的材料移除单元的研磨工具、用于对试样的暴露表面进行抛光的抛光单元的抛光体、用于对所述暴露表面进行检测的检测单元的相机等。因此，试样可以设置有用于试样的对准和定位的特征。此外，试样可以配备有用于识别试样的识别符(例如QR码)，例如用于可追溯性目的。因此，试样可以设置有机器可读特征，该机器可读特征用于可追溯性(例如处理信息、处理参数、订单信息、序列化)和用于连接到一个或更多个数据库。

有利地，根据本发明的示例性实施方式的试样可以设置有模块化，该模块化可以实现更小的占地面积。在实施方式中，试样的模块化可以意味着准备将试样分离成多个功能自主的试样部分，其中每个试样部分可以与试样的其余部分分离，例如通过以手动的方式将试样部分与试样的其余部分断开。由于这种模块化，只需要分离一个或更多个所需的试样模块，并且不需要在相应的试样部分上提供多余的结构。因此，可以提供用于自动化横截面制备的模块化试样设计。这也可以实现提高的面板利用率，从而可以更有效地使用资源。因此，可以获得由于更好的面板利用率而产生的节省。

例如，在夹持区或操纵区处或在在夹持区或操纵区附近，可以设置有用于识别中心孔的特征。

尽管根据本发明的示例性实施方式的试样适用于自动化使用，但该试样仍然可以符合IPC。特别地，根据本发明的示例性实施方式的试样可以符合根据IPC-2221B(版本：2012年11月)第12.1章的一致性测试试样。

根据本发明的示例性实施方式的试样可以提供改进的能力，特别是用于实验室检查的能力。可以实现在提高自动化水平、可重复性和吞吐量方面的优势。特别地，可以对IPC2级和3级产品进行高速和高精度的检查。这可以通过用于对PCB的特性进行评估的测试试样的特定设计来实现。为了实现自动化处理，试样设计可以包括下述特征中的一者、若干者或全部特征：模块化、操纵、对准、编码、可追溯性。特别地，根据本发明的示例性实施方式的试样可以结合模块化、操纵和自动化特征、用于对准和定位的特征，并且可以由自动化质量测试设备进行机器可读。

根据本发明的示例性实施方式的模块化测试试样适于自动化横截面制备可以被设计为改进面板上的分布以及面板利用率，同时还减少处理时间并提高吞吐量、可重复性和准确性。试样可以被设计成用于自动操纵和处理系统。因此，试样可能特别适用于使其与自动化处理兼容(例如在操纵、可读性等方面)。此外，关于目标准备方面，为自动化提供参考特征可能是有利的。采取这样的措施可以使其符合一个或更多个工业标准的对于设计的规则，同时确保试样设置有模块化特征。因此，可以提供满足外部标准的测试试样，并且该测试试样仍然适于由机器完全自动化。

对部件承载件结构的横截面具有影响的变量的示例(参见下述对单个变量的更详细的讨论)是用于材料移除的研磨体、对准(例如使用操纵臂)、在研磨和/或抛光期间所施加的压力、在研磨或抛光期间的旋转速度、特别是从部件承载件结构的材料移除的控制(更具体地，材料移除进度控制)、清洁(部件承载件结构和/或研磨体)以避免携带、加热或冷却，以及热负载和机械负载。

关于研磨，可调节的参数是研磨介质的晶粒尺寸、接触压力和选择速度。晶粒也可以为研磨机进行调整。部件承载件结构的横截面表面的抛光可以使用金刚石悬浮液进行(其中，旋转可以是同步的或往复的)。可选地，部件承载件结构的浸渍和/或填充可以防止铜孔的污染。

关于用于材料移除的所使用的研磨体，有利的是，材料移除处理不会产生过多的热量，从而保持部件承载件结构的层压件的完整性。优选地，材料移除处理可以在比部件承载件材料的树脂材料的玻璃化转变温度Tg显著低的温度下进行(例如，在摄氏度或开尔文度上比Tg低至少10％)。例如，水可以用作冷却和/或清洁介质。

为了移除部件承载件结构的材料，研磨可能是优选的。然而，材料移除也可以通过(例如线材)切割、线材侵蚀、等离子体处理、激光处理、喷砂、水喷流、铣削、锯切、用门式剪切机处理、离子束处理和/或冲孔来完成。

优选地，晶粒尺寸可以(特别是在材料移除结束时)足够精细，以支持随后的抛光。晶粒尺寸可以根据使用的抛光悬浮液进行选择。例如，3μm晶粒可能仅适用于一定程度的研磨。

为了抑制部件承载件结构的研磨表面和/或抛光表面的平面度的变化，避免过热和过冷可能是有利的。此外，应保持较低的热负载和机械负载。

在设计操纵单元的操纵臂时，部件承载件结构的滑动和/或转动应保持尽可能低。这种有利的边界条件可以影响最大旋转速度的选择。

接下来，将对研磨处理的实施方式进行说明。有利地，可以执行迭代研磨控制处理。研磨盘(或板)可以水平地或垂直地布置，或者如果需要或期望(鉴于所实施的研磨类型)，则可以以特殊角度进行布置。

关于材料移除进度的控制，可以使用相机来监测研磨进度。例如，可以将这样的相机布置在研磨体上和/或研磨体中。这可以促进部件承载件结构的经处理过的表面的平面性和/或对准。进度控制也可以通过电性测量来实现，例如通过接触在特定材料移除进度状态下被部分地或全部地移除的铜结构，这可以通过电信号的变化来检测。另外，可替代地，进度控制可以基于一个或更多个机械止动件(例如，具有足够硬的表面，优选地为金刚石表面)，当实现材料移除处理的预定进度时，研磨体紧靠该机械止动件。此外，研磨体上的电阻测量可以用于进度控制。在其他实施方式中，就进度控制方面而言，可以对渐进进料进行测量。例如，对于贯穿孔，这种孔打开的瞬间可能会导致显著的压降。当达到微过孔时，对压力的影响可能是相反的，即可以检测到压力增加或电阻增加。研磨金属过孔材料而不是较软的树脂材料可能会增加压力。如果在微过孔处测量到电信号并且微过孔的电传导材料被移除时，则电阻可能增加，这也是可检测到的。在进度控制的又一实施方式中，可以检测到例如在达到目标时水的变色。此外，电阻测量(例如在研磨期间移除的牺牲结构)也可以用于进度控制。在与进度控制有关的又一实施方式中，可以使用声音检测、基于摩擦计的检测、压在研磨盘上的销(可选地与光栅组合)等。一旦检测到钻孔的中心，则研磨可以停止。

优选地，可以在测试目标处或接近测试目标处对进度进行测量。仍然参考研磨处理的进度控制，硬停止是可能的。然而，迭代研磨处理也是可能的。

在实施方式中，可以对研磨体与部件承载件结构之间的接触压力进行测量。例如，这可以通过压力调节器(例如根据力进行调节)而以自动化方式来完成。在材料移除期间，压力可以保持恒定，或者可以变化。少量的研磨体可以与时间、压力、旋转进行平衡。也可以根据吞吐量、质量目标、样品厚度来施加可变压力。可以以不会发生部件承载件结构的损坏的方式来调节最大压力，特别是在诸如钻孔的测试目标处或测试目标周围。特别地，可以根据部件承载件的研磨方式(例如，沿层研磨、抵靠层研磨等)来选择接触压力。应注意，切割准备既不会增强也不会减少部件承载件结构中的质量问题。

关于旋转速度和类型，可能有利的是，仅在低于预定最大值的范围内产生热量。旋转方向可以是同步的，或者可以是相反的。夹持或操纵装置(诸如夹紧装置、操纵夹具、六足架等)可以快速振荡。

在旋转方面可以被调整的参数包括旋转时间、接触压力、旋转类型、部件承载件结构的材料、晶粒等。

关于在用于以自动化方式执行质量测试的处理期间的部件承载件结构的对准或取向，相机可以确定部件承载件结构样品在第一次研磨之前是否被正确地定位。如有必要，可以对部件承载件结构的位置进行校正，以确保适当的对准(例如，基于与优选地未镀铜的外部参考孔的比较；例如，可以在光处理中钻孔或蚀刻此类参考孔)。可替代地，可以执行机械对准处理(例如使用对准销)。

对准的目的可以是目标平面和研磨介质应该平行地取向。这可以通过相应地影响介质、研磨体、转动一个或甚至所有所涉及的部件等来实现。

仍然参考对准，相机图像可以捕获参考点和要观看的目标点。这样的数据可以定义目标平面(软件支持地、机械地等)，并且可以使目标平面平行于研磨介质。在对准控制的进一步过程中，限制因素可能是六足架/研磨速度/最大力的组合，从而保持与整个系统的机械稳定性相对应的对准。

现在参考部件承载件结构的清洁，一个实施方式可以在研磨期间对部件承载件结构进行清洁。在迭代方法中，每个新的研磨阶段(例如粗研磨之后的细研磨)可以通过清洁阶段来进行。清洁可以确保不会发生颗粒物的携带。例如，在清洁方面，颗粒可以会被吹走、吸走、蒸发、燃烧、剥离、刷洗、漂洗等。例如，可以在研磨处理期间执行连续清洁。可以实施抽吸、冲洗(优选地浴或水槽)、剥离、吹洗、超声波浴(振洗)或其他清洁单元。有利地，非常小的裂纹可以通过清洗冲洗掉。在清洁之后，可能有利的是，剩余颗粒的最大尺寸应等于或小于下一处理中用于研磨的颗粒尺寸。

关于试样设计，它可以是标准化的，或者可以存在偏差。任何偏差都可以与使用者进行协调。例如，试样型部件承载件结构可以设置有一个或更多个对准孔、磨损传感器等。

在对部件承载件结构的质量进行评价方面，用于质量标准或特性的示例是锐边(优选地90°)、接近零的半径、平面度、低于预定义阈值的公差(例如10％或优选地小于10％，具有不大于7％的公差)。部件承载件结构的另一个质量特征是，它优选地在100倍放大的图像中是无刮痕的。此外，部件承载件结构应该没有间隙(特别是在样品与嵌入剂之间，更特别是在传导层与嵌入剂之间，特别是在铜与嵌入剂之间)。树脂在嵌入时可能会收缩(快速固化嵌入剂有很多体积损失，慢速固化试剂则有很少的体积损失)，但收缩不应过大。

图1示出了根据本发明的示例性实施方式的执行部件承载件结构102的质量测试的方法的流程图170。用于描述图1的附图标记涉及图2或图3的实施方式。优选地，所提及的部件承载件结构102可以是形成面板的一部分并且用于测试部件承载件(诸如印刷电路板(PCB)或集成电路(IC)基板)的试样。然而，部件承载件结构102可以替代地是包括多个连接的部件承载件的预制件、或部件承载件的预制件、或制造完成的部件承载件的面板或阵列(诸如四分之一面板)。

有利地，流程图170的方法可以对应于由自动化设备100执行部件承载件结构102的质量测试。优选地，该方法可以包括在所述设备100的入口106(在逻辑上对应于输入172)与出口108(在逻辑上对应于输出190)之间执行质量测试，而无需人工干预。换言之，设备100的入口106对应于该方法的输入172，而设备100的出口108对应于该方法的输出190。更具体地，提供了用于部件承载件结构102的横截面制备和视觉检查以及测量的自动化处理。优选地，无需手动工作，并且整个处理可以是自动化的。为此目的，测试试样型的部件承载件结构102可以被配置成用于自动化操纵和机器可读串行化。

如附图标记172所示，可以将部件承载件结构102输入到设备100中。

参考方框174，可以将试样作为部件承载件结构102插入到设备100中，并且由此可以由机器人120完全自动地操纵该试样。更具体地，试样可以是例如可以根据IPC-2221构造或设计的部件承载件结构102。部件承载件结构102可以向设备100提供可追溯性信息。为此目的，可以使用设备100执行的方法可以包括自动地识别将要经历质量测试的部件承载件结构102。例如，可以在列表中登录试样型部件承载件结构102。可以对多个试样进行分类。出于可追溯性的目的，可以在指定给各个部件承载件结构102的数据集中指定诸如批号、面板号、阵列号、x/y信息、横截面号、报告号、请求识别符等的信息。例如，这样的数据集可以存储在数据库128中。

参考方框176，仍然可以与面板等的其余部分一体连接的部件承载件结构102可以被单个化或分离，例如通过从诸如面板的较大本体160铣削或切割部件承载件结构102。为此目的，可以在较大本体160中搜索部件承载件结构102的限定位置并将其切割出。结果，可以获得分离的部件承载件结构102形式的测试样品。例如，可以根据最小的镀覆的贯穿孔或对应于使用者定义来完成对部件承载件结构102的切割。

参考方框178，然后，可以使部件承载件结构102经受热应力，例如通过执行焊料浮动测试来进行。例如，可以将部件承载件结构102浸入熔融焊料中，以使部件承载件结构经受热应力。作为焊料浮动测试的替代方案，也可以执行替代的热应力方法，例如回流模拟。

参考方框180，部件承载件结构102可以经受或者也可以不经受封装处理，以在随后的质量测试期间简化操纵和/或缓冲应力。虽然部件承载件结构的传统手动质量测试可能需要在评价质量之前进行封装，但根据涉及部件承载件结构102的全自动化质量测试的本发明的示例性实施方式，可以省略这种嵌入。如果可选地执行，则封装处理可以将部件承载件结构102放入至诸如树脂的嵌入材料中，用于进一步制备。然而，在其他实施方式中，可以有利地跳过这种嵌入(如附图标记192所指示的)，因为根据本发明的示例性实施方式的自动化操纵也可以在没有这种封装的情况下完成。

参照方框182，然后可以移除部件承载件结构102的材料，以暴露出将要经受质量测试的部件承载件结构的内部。更具体地，可以创建部件承载件结构102的微截面(特别是横截面)。为此目的，可以将部件承载件结构102研磨并且随后抛光到限定的位置(优选地直到过孔或钻孔或图案的中心)。例如，可以执行不同阶段的砂纸处理和抛光。例如，对于研磨，可以使用具有不同晶粒的砂纸(例如，使用以下晶粒中的一者或更多者：60、180、1200、2000)。

参考方框184，该方法可以包括在所述材料移除后，对部件承载件结构102的一个或更多个预定义测试目标116(例如镀覆的过孔及其特性)进行确定。此外，该方法可以包括对部件承载件结构102的一个或更多个测试目标116的特性或属性进行评估，用于对部件承载件结构102的质量进行评价。当跳过框180时，该方法可以包括基于未封装的部件承载件结构102，否则基于封装的部件承载件结构102，来确定至少一个预定义测试目标116。特别地，部件承载件结构102的横截面的视觉分析可以优选地以自动化的方式执行。例如，可以执行x/y尺寸测量(例如检查堆积、铜厚度等)。特别地，视觉检查可以包括对某些缺陷的分析。在所述检查期间，可以考虑以下测试目标116和指定的特性中的一个或更多个：多层堆积；镀覆的贯穿孔特性(如壁特性、地特性)；表面粗糙度的质量(例如，表面粗糙度可以对应于Ra标度和/或对应于Rz标度来确定)。在粗糙度方面，粗糙度值Rz可以用作在部件承载件结构102的暴露表面(特别是横截面)处存在刮痕的标准，而粗糙度值Ra可以用作材料移除处理(特别是研磨处理)的质量的标准。例如，质量标准可以是通过研磨和/或抛光所暴露的部件承载件结构102的表面的粗糙度不应大于在前一材料移除阶段中使用的研磨盘和/或抛光膏的粗糙度。如果不满足这一标准，则可以得出结论，人工制品已由早期的材料移除阶段引入。例如，可以获得至少1μm的测量分辨率。例如，可以根据IPC-6012、IPC-a-600等执行质量测试。

参考方框186，该方法可以包括创建和存储具有预定义的特性的报告。报告可以对质量测试及其结论进行总结。这可以确保质量测试的适当文件。

参考方框188，该方法然后可以包括将所分析的部件承载件结构102和质量测试存档。特别地，这可能涉及样本存储、电子文档存储等。

如附图标记190所指示的，然后可以从设备100输出部件承载件结构102。

图2示意性地示出了根据本发明的示例性实施方式的用于执行部件承载件结构102(在这里实施为试样)的质量测试的设备100。如设备100的圆周外壳131所指示的，整个质量测试可以在封闭的单元内以自动化的方式执行。

在图2的左上侧，示出了平面片状本体160的平面图，该本体可以是用于以批量程序制造多个部件承载件(如印刷电路板)的面板。所示的面板可以例如具有18x 24英寸

现在更详细地参考设备100，入口容纳单元136布置在所述设备100的入口106处，并且被配置成用于在测试之前以堆叠的方式来容纳多个部件承载件结构102。因此，在与面板型本体160分离之后，试样型部件承载件结构102可以被插入到入口容纳单元136中。可替代地，可以将较大本体160堆叠在容器型入口容纳单元136中，每个较大本体160都包括至少一个部件承载件结构102。

机器人操纵单元104被配置成用于沿着设备100的入口106与出口108之间的各个部分来操纵部件承载件结构102(可选地仍然连接在本体160内)。特别地，操纵单元104被配置成用于将待测试的部件承载件结构102(或整个本体160)夹持并从入口容纳单元136通过入口106转移到下面描述的识别单元110。更具体地，操纵单元104包括入口操纵子单元122，该入口操纵子单元122被配置成用于在入口106与下面描述的材料移除单元112之间操纵部件承载件结构102。有利地，操纵单元104包括一个或更多个机器人120，该机器人120可以包括一个或更多个六足架、一个或更多个线性机器人、一个或更多个关节臂机器人等。六轴机器人或六足架(在图2中以附图标记120示意性示出)可以具有配备有传感器的轴，并且适于在全自动化设备100内操纵部件承载件结构102。有利地，六足架可以用于由材料移除单元112执行的材料移除处理(特别是研磨处理)，因为这样的六足架可以是机械稳定的，并且同时可以非常精确地适应于六个轴。参考图3，六轴机器人或六足架可以在横截面站127中用于操作材料移除单元112和/或用于操作对准单元154。因此，通过材料移除来制备部件承载件结构102可以变得高度精确和稳健，以防止可能的未对准。此外，操纵单元104的入口操纵子单元122和/或出口操纵子单元124的线性机器人和/或关节臂机器人(未示出)可以用于在自动化设备100的各个工作站之间操纵部件承载件结构102。

如前所述，操纵单元104的入口操纵子单元122将部件承载件结构102转发到识别单元110。后者识别单元110被配置成用于识别应当对其执行质量测试的部件承载件结构102。这可以确保可追溯性。更具体地，识别单元110被配置成用于基于识别符126的检测来识别部件承载件结构102，该识别符126可以物理地连接到部件承载件结构102或者可以形成部件承载件结构102的一体的一部分。例如，这样的识别符126可以是可以由识别单元110的光学读取器读出的QR码、条形码或字母数字码。识别符126也可以是诸如RFID(射频识别)标签或NFC(近场通信)标签的应答器。在此类实施方式中，识别单元110可以包括无线读取器，该无线读取器被配置成用于无线地读出应答器型识别符126，用于检索识别信息。为了基于部件承载件结构102的识别符126来识别部件承载件结构102以及/或者为了检索指定给所识别的部件承载件结构102的附加数据(例如特定质量测试指令)，识别单元110可以访问相应的数据库128。特别地，识别单元110可以被配置成用于通过将检测到的识别符126与存储在所述数据库128中的指定的数据集中的相关身份信息相匹配来识别部件承载件结构102。例如这样的数据集可以将可从识别符126读取的识别码与关于部件承载件结构102的进一步信息相关联，例如与关于其制造历史的信息(例如批号、制造日期、制造时间等)相关联。识别单元110还可以被配置成用于从数据库128中检索质量测试相关信息，该信息指示要对所识别的部件承载件结构102执行的质量测试。这样的质量测试相关信息可以定义应当针对所识别的部件承载件结构102执行的质量测试。可以对不同类型的部件承载件结构102执行不同的质量测试。

在其中在通过入口106将部件承载件结构102引入设备100之前，该部件承载件结构102尚未与较大本体160分离的实施方式中，可以设置单个化单元148(诸如铣削机器或激光切割机)，并且该单个化单元148可以被配置成用于使部件承载件结构102从面板型本体160单个化。例如，可以通过铣削或激光切割来完成单个化。

此后，经处理的部件承载件结构102可以由操纵单元102传递到热应力暴露单元150，该热应力暴露单元150被配置成用于将部件承载件结构102暴露于热应力。优选地，热应力暴露单元150被配置成用于将部件承载件结构102浮动在热应力浴上，该热应力浴可以包括熔融焊料。由此，可以使部件承载件结构100经受热应力。

部件承载件结构102然后可以由操纵单元104的以上提及的机器人或由操纵单元104的另一机器人120转发到材料移除单元112。后者材料移除单元112被配置成用于移除部件承载件结构102的材料，以暴露正在进行或经受质量测试的部件承载件结构102的内部。特别地，材料移除单元112可以被配置成用于通过研磨、优选地横截面研磨(或者可替代地平面研磨)来移除部件承载件结构102的材料。

为了提高材料移除的精度，可以由对准单元154来对部件承载件结构102对准，该对准单元154可以例如被配置成用于基于其所捕获的图像来确定部件承载件结构102的对准标记(例如，钻孔)。所述对准可以在通过材料移除单元112进行研磨之前执行。对准单元154被指定给材料移除单元112，并且对准单元154可以被配置成用于在材料移除处理之前使部件承载件结构102对准。因此，由对准单元154执行的对准优选地在由材料移除单元112执行的材料移除处理之前执行。这样的对准因此可以形成材料移除处理特别是研磨处理的一部分。

可选地，可以设置移除材料量化单元142并且将移除材料量化单元142配置成用于对在研磨期间从部件承载件结构102移除的材料的量进行量化。通过确定研磨材料的量，可以实现研磨进度，并且因此可以精确控制研磨处理。

在研磨之后，部件承载件结构102可以被提供至抛光单元140，抛光单元140被配置成用于在移除材料之后将部件承载件结构102的暴露表面抛光。不是从部件承载件结构102移除大量额外的材料(其是在研磨期间发生)，而是抛光可以减少表面粗糙度，并且可以在不过度移除材料的情况下提高表面质量。经抛光的表面可以提供更多或关于将被用作将在下文中分析的目标特征的一个或更多个测试目标116的更多精确信息。

仅可选地，然后可以(或者可替代地，已经在由材料移除单元112来移除材料之前)将部件承载件结构100提供至封装单元144，该封装单元144被配置成用于将部件承载件结构102封装在包封部146中，使得随后在包封部146中将检测到部件承载件结构102。这种包封部146可以是用作应力缓冲器并且在随后的(和/或在先前的)分析期间简化部件承载件结构102的操纵的树脂。

然而，由于全自动化质量测试设备100也可以能够在没有封装的情况下执行部件承载件结构102的质量测试，因此可以替代地并且可能甚至优选地省略这种封装。因此，即使是未封装的部件承载件结构102也可以经受后续的处理。

此后，(封装的或未封装的)部件承载件结构102可以例如由操纵单元104的另一机器人120转发到清洁单元152，该清洁单元152被配置成用于对部件承载件结构进行清洁。例如，部件承载件结构102可以以超声波浴被冲洗。

另一对准单元154可以被配置成用于在检测和确定其上的测试目标116之前使部件承载件结构102对准。为此目的，可以对部件承载件结构102的一个或更多个对准特征(例如贯穿孔，例如布置在角部中)进行检测，并将其用于在空间上对准部件承载件结构102。

然后可以对对准的部件承载件结构102进行成像。为此目的，可以设置检测单元162并且将检测单元162配置成用于对部件承载件结构102的(同时通过所述材料移除而暴露的)内部的图像数据进行检测。

这样的图像数据可以被传送到确定单元114。后者确定单元114可以被配置成用于对部件承载件结构102的一个或更多个预定义测试目标116进行确定。测试目标116可以是在部件承载件结构102的成像横截面中可见的预定特征，并且可以与质量评估方面的特别有意义的特征有关。部件承载件结构102的测试目标116的适当特性或属性可以是钻孔158(特别是激光钻孔或机械钻孔，其可以由镀覆铜填充)的直径D、这些相邻钻孔158之间的距离L、电传导层结构130(诸如图案化的铜层)和/或电绝缘层结构132(诸如预浸件的片材)的厚度d、此类层结构130和/或132的平面度、以及此类层结构130和/或132的分层程度(参见附图标记133)。在图2中分别以顶视图165和侧视图167示出了所提及的测试目标116。然而，另一测试目标116(例如在平面研磨的情况下)可以是铜线或多条铜线以及它们之间的空间。

有利地，确定单元114被配置成用于对图像数据进行处理，以确定或识别预定义的测试目标116。更具体地，确定单元114可以被配置成首先基于检测到的部件承载件结构102的第一图像而以粗略的方式来确定预定义的测试目标116。此外，确定单元114可以被配置成用于其次基于在检测到第一图像之后并且在蚀刻部件承载件结构102的表面之后所检测到的部件承载件结构102的检测到的第二图像而以精细的方式来确定预定义的测试目标116。在可替代实施方式中，确定单元114的单次操作也是可能的，其中确定单元114基于单个图像来对测试目标116进行确定。作为用于该确定的基础，确定单元114还可以访问数据库128，例如访问将被考虑用于该确定的测试目标116。

非常有利的并且如反馈回路169所指示的，确定单元114可以被配置成用于通过迭代地重复包括材料移除(可选地包括抛光和/或清洁和/或蚀刻)、图像检测和图像分析的序列来对预定义的测试目标116进行确定。通过此类迭代方法(当达到足够的准确度时可以终止)，可以显著地提高质量测试的可靠性。

如图2进一步所示，提供了评估单元118，该评估单元118被配置成用于对部件承载件结构102的所确定的测试目标116进行评估，以评估部件承载件结构102的质量。评估单元118可以被有利地配置成用于基于所确定的测试目标116的特性来对部件承载件结构102的质量进行评价。更具体地，评估单元118可以被配置成用于通过将部件承载件结构102分类为多个质量类别中的一个来对质量进行评估。高度合适的可以是将各个部件承载件结构102(和/或指定的较大本体160)自动分类为由下述各者组成的一组类别中的一个类别：“通过”(指示部件承载件结构102和/或较大本体160已经通过质量测试)；“失败”(指示部件承载件结构102和/或较大本体160未通过质量测试)；以及“需要进一步分析”(指示部件承载件结构102和/或较大本体160需要额外的质量分析，因为评估单元118还不能以有意义的方式来决定质量)。在后一种情况下，还可以将部件承载件结构102传递给人工操作者以进行人工分析。所描述的通信和使用者影响可以通过输入/输出单元135与控制单元或处理器156通信耦合而在用户和设备100之间交换。

特别地，评估单元118可以被配置成用于通过下述方式来对质量进行评估：将每个测试目标116单独地或者优选地将部件承载件结构102的每个测试目标106的每个属性或特性单独地分类为多个质量类别中的一个类别，特别是在由“通过”、“失败”、以及“需要进一步分析”组成的一组类别中的一个类别。只有非关键参数的微小偏差仍然可以允许将部件承载件结构102分类为“通过”。基于特定缺陷的类型并且/或者基于特定缺陷的强度，可以将缺陷分类为关键缺陷或非关键缺陷。这样的质量测试可以包括多个标准，这些标准可以被单独地判断，用以实现关于质量和性能的精细决策。

为了支持其评估任务，评估单元118可以包括人工智能模块134，该人工智能模块134被配置成用于使用人工智能来执行评估，例如使用神经网络。用于训练人工智能模块134的训练数据等也可以存储在数据库128中。

通过蚀刻部件承载件结构102的暴露表面的可选的蚀刻处理，部件承载件结构102的被分析的暴露表面上的附加特征(诸如晶界和镀覆线)可以变得可见。这可以使得评估单元118对测试目标116的特性的评估更加准确。

在所述评估之后，被分析的部件承载件结构102可以被输送出设备100。为此目的，操纵单元104设置有出口操纵子单元124，该出口操纵子单元124被配置成用于借助于至少一个附加的机器人120来对部件承载件结构102进行操纵，例如在材料移除单元112与出口108之间进行。如所示，设备100包括出口容纳单元138(例如也是容器型的)，该出口容纳单元138被布置在出口108处并且被配置成用于在测试之后以堆叠的方式容纳多个部件承载件结构102。操纵单元104可以被配置成用于将被测试的部件承载件结构102通过出口108转移到出口容纳单元138。这可以例如通过另外的机器人120来完成。

如附图标记156所指示的，设备100可以包括一个或更多个处理器或处理器的一部分，其可以被视为用于在部件承载件结构102的质量测试期间控制设备100及其上述部件的操作的控制单元。

非常有利地，设备100可以被配置成用于在入口106与出口108之间执行质量测试而无需人工干预。仅可选地，使用者访问可以经由输入/输出单元135来实现。设备100的自动化特性可以使质量测试加速，并且可以使质量测试更加准确，同时减少在质量测试方面所需的人力资源。此外，吞吐量可以增加。

图3示出了根据本发明的示例性实施方式的用于执行部件承载件结构102的质量测试的设备100的细节。图3示出了图示出图2的设备100的元件的特定的实施方式。

输入部分125涉及设备100在入口106与材料移除之间的一部分。横截面站127因此对应于设备100的后续部分，在该后续部分处通过研磨和随后的抛光以全自动化的方式来创建部件承载件结构102的横截面。输出部分129涉及设备100在横截面站127与出口108之间的一部分。

图4示出了根据本发明的示例性实施方式的用于全自动化质量测试设备100的试样200的平面图。

图示的试样200可以与图2和图3所示类型的设备100一起用于自动化测试系统中。如上文参考图2和图3所述，这种全自动化设备100可以被配置成用于通过对试样200(对应于图2的部件承载件结构102)进行测试来执行与试样相关的部件承载件256(见图4)有关的质量测试。特别地，设备100的操纵单元104可以被配置成用于在质量测试的至少一部分期间在试样200的操纵区208处对试样200进行操纵。

在进一步详细描述试样200的特性以及试样200与设备100的协作之前，请参考图4中的平面图中所示的面板250。面板250的中央部分252包括多个部件承载件256，这些部件承载件256例如可以布置成矩阵状图案。例如，部件承载件256可以是印刷电路板(PCB)或集成电路(IC)基板。面板250的边缘部分254包括以上提及的试样200。部件承载件256已经与试样200一起在面板水平上并且在批处理过程中制造，并且仍然作为面板250的一体部件与试样200一体连接。由于试样200和部件承载件256是一起制造的，因此可以合理地假设试样200和部件承载件256在质量方面具有类似的特性。因此，对试样200执行的质量测试也可以指示部件承载件256的质量。

为了执行质量测试，用于对关于部件承载件256的质量信息进行确定，可以将试样200与面板250分离。此后，可以通过由机器人操纵单元104在试样200的操纵区208处夹持试样200，来将试样200传递过来。此后，可以基于试样200的测试目标116对试样200进行测试，例如以上文参考图1至图3所述的方式进行测试。

由于试样200的构造，如下文所述，试样200与由自动化质量测试设备100执行的全自动化质量测试兼容。

为此目的，试样200包括平坦的平面底板202，该平面底板202可以具有基本上矩形的形状。作为部件承载件256，底板202也可以被配置为电传导层结构204和电绝缘层结构206的层压式层叠置件。层压可以特别地表示通过施加压力和/或热来连接层结构204、206。例如，电传导层结构204可以包括图案化的铜箔和竖向贯穿连接，例如可以通过激光钻孔和镀覆来创建的铜填充的激光过孔。电绝缘层结构206可以包括相应的树脂(例如相应的环氧树脂)，所述树脂中任选地包含增强颗粒(例如玻璃纤维或玻璃球)。例如，电绝缘层结构206可以由预浸件或FR4制成。

再次参考图4，试样200在底板202的表面的第一部分上包括已经提到的操纵区208。操纵区208被配置成用于通过机器人操纵单元104(参见图2和图3)对试样200进行操纵，并且操纵区208不包括在执行质量测试期间可以被检测到、确定和评估的测试目标116。此外，试样200包括测试区212，该测试区212在底板202的第二部分上和底板202的第二部分中的，该测试区212包括用于质量测试的测试目标116。如图所示，操纵区208和测试区212是试样200的分离的非重叠区域。通过基于测试目标116来在空间上分离试样200的与机器人操纵有关的功能区和与质量测试有关的功能区，可以确保试样200可以被完全自动地操纵，而不会影响质量测试。

在所示的实施方式中，操纵区208或夹持区是试样200的连续矩形表面部分，操纵区208或夹持区除了为设备100的操纵单元104提供夹持表面之外，完全没有任何特征。操纵区208被配置为要由机器人操纵单元104夹持的平坦区域。例如，操纵区208可以是底板202的表面部分，其对应于试样200的所示主表面的整个区域的至少10％。例如，操纵区208可以对应于试样200的所述主表面的整个区域的百分比，在5％至20％的范围内，特别是在10％至15％的范围内。在一个实施方式中，操纵区208具有比试样200的剩余表面部分更高的粗糙度Ra或Rz，用于通过改进夹持来简化试样200的自动化操纵。尽管图4中未示出，但在底板202的相对的两个主表面的相应位置或相应区域中，可以设置有具有所描述的特性的操纵区208。这使得能够通过设备100的机器人操纵单元104从相对的两个侧面夹持试样200。特别地，机器人120可以通过夹紧来对试样200进行操纵。

工具孔211被布置成与操纵区208相邻，并且也可以有助于对试样200的适当操纵。

如参考图2和图3所述，质量测试设备100可以包括材料移除单元112，该材料移除单元112被配置成用于移除试样200的材料，以暴露待经受质量测试的试样200的内部中的测试目标116中的一个或更多个测试目标。特别地，所述材料移除可以实施为横截面研磨，用于暴露出试样200的感兴趣的内表面平面，该内表面平面示出了测试目标116的横截面。考虑到由于试样200的图示设计而导致的操纵区208和测试区212的空间分离，材料移除完全不受操纵区208的干扰，并且甚至允许在研磨期间由操纵单元104的机器人120保持试样200。

如图4所示，试样200包括识别符126，识别符126在底板202上。识别符126被配置成用于识别(优选地唯一地识别)试样200。试样200的身份也可以指示相关的部件承载件256的身份(其中，试样200的身份与部件承载件256的身份之间的关联例如可以经由存储在数据库128中的数据集来进行)。在所示的实施方式中，识别符126是QR码。相应地，与试样200协作的设备100可以包括QR码读取器形式的识别单元110。识别单元110可以被配置成用于基于从试样200的识别符126导出的识别信息，即通过读出所述QR码，来识别试样200。在所示的实施方式中，QR码是最外的电传导层结构204的图案化铜层。因此，在试样200上创建QR码可以与面板250的部件承载件256的电传导迹线的创建同时进行，因此不需要任何额外的工作量。

如所示，识别符126被直接地布置成靠近操纵区208。这具有的优点在于，当将识别单元110的读取器布置在操纵单元104的机器人臂上时，操纵单元104的机器人120夹持和操纵试样200可以在操纵试样200期间同时读出识别符126。操纵和识别的并行化可能会加速质量测试。

所示出的测试目标116包括填充有电传导材料(优选地铜)的一系列测试孔220。所示出的一系列测试孔220包括一组不同尺寸的测试孔220、一组相同尺寸的测试孔220、以及一组沿着直线布置并因此位于共用横截面中的测试孔220。因此，可以在试样200的单个横截面平面中对多个钻孔尺寸进行分析。在材料移除单元112进行研磨期间，当从图4中所示的试样200的左手侧和/或右手侧移除材料时，测试孔220的横截面可能会暴露出来，可以就质量方面对该横截面进行分析。由于操纵区208布置在测试区212的各部分之间，质量测试(如所述，其可能涉及材料移除)将不受操纵的影响。此外，当试样200的材料被移除时，试样200的机器人操纵仍然是可能的。相应地，由于识别符126被布置在测试区212的各部分之间，因此识别符126在质量测试期间不会受到材料移除的影响，并且即使在完成质量测试之后也仍然是试样200的一部分。

如图4所示，底板202的轮廓构成了整个试样200的轮廓。因此，试样200非常紧凑，并且仅消耗少量的材料。然而，参考图2，可以替代地，试样200的底板202至少部分地被包封部146包围，所述包封部146特别是由树脂制成的。

图5示出了根据本发明的示例性实施方式的试样200，试样200包括多个一体连接的试样部分226。

因此，图5的试样200包括多个一体连接且功能分离的试样部分226，这些试样部分226沿着与图5的水平方向相对应的直线方向相互连接。如参考图4所述，每个试样部分226包括指定的操纵区208和指定的测试区212。如图所示，试样部分226中的相邻试样部分在相应的预定断裂点228处彼此连接。后者预定断裂点228可以在底板202中以机械弱化、变薄或穿孔线的形式实施为断裂边缘。因此，如果只有一个试样部分226足以进行质量测试，则可以将试样部分226中的一个从整个试样200分离，例如通过沿着相应的断裂边缘来以手动的方式将其断裂。如果质量测试需要两个相邻的试样部分226，则可以将这两个试样部分226从整个试样200分离，例如通过沿着另一个断裂边缘来以手动的方式将它们断裂。然后，可以将分离的试样部分226插入容器中(例如，参见图2中的入口容纳单元136)，并且可以通过设备100进行完全自动地质量测试。仅基于一个或若干个试样部分226(而不是使用整个试样200)执行质量测试可以节省面板250的资源，并且可以允许增加产量。例如，单个试样部分226的长度l可以在20mm至40mm(例如30mm)的范围内。此外，单个试样部分226可以具有在从10mm至20mm(例如15mm)的范围内的宽度w。例如，试样部分226可以实施为图4中的试样200。试样部分226的所示的模块化布置清楚地表明，利用这种模块化方法，可以将高灵活性与节省资源的架构相结合。

从图5中的详图213可以看出，底板202(或甚至每个试样部分226)可以设置有单个机械编码特征230，该特征在这里实施为基本上矩形底板202的经倒角部分230。机械编码特征230可以用于限定用于将试样200插入设备100的入口容纳单元136(见图2)中以执行质量测试的插入方向。所示的机械编码特征230可以用作机械编码，以确保在自动化质量测试设备100的容纳入口单元136的相应形状的容纳容积部中正确地容纳试样200或试样部分226。当用户试图以不正确的方向将试样200插入容纳入口单元136中时，这可以被机械编码特征230形式的机械编码失能。因此，机械编码特征230确保了全自动设备100对试样200的适当加工性。

此外，图5的试样200包括多个对准结构216，这些对准结构216在这里被实施化为对准贯穿孔。所述对准结构216被布置在底板202的角区/角部218中。无铜对准结构216被实现为完全延伸贯穿底板202的参考贯穿孔，使得能够通过设备100的光学相机进行对准。这种对准在材料移除期间和/或在抛光和/或图像检测期间可能是有利的。

仍然参考图5，每个试样部分226的测试目标116沿着底板202的两个相对的边缘部分222沿两条平行的直线布置。与实施为贯穿孔的对准结构216相反，测试目标116用铜填充，例如实施为铜填充的过孔。通过提供两行平行的测试目标116，提供一组测试目标16作为引入冗余的备份。

同样在图5的实施方式中，每个试样部分226可以被提供有指定的识别符126，该识别符126可以是在面板250的生产期间印刷的唯一数据矩阵码。因此，识别符126可以被实施为图案化的铜层，并且因此可以低工作量和低空间消耗来制造。

图6示出了根据本发明的示例性实施方式的试样200的测试目标116。根据图6，所示的试样200的形状为长方形条带，其长度L例如为205mm，以及宽度W例如为17mm。由于图6的长方形条带型试样200可以很容易地形成在面板250的框架中，例如参见图4，因此这种几何形状允许以低工作量限定大量的测试目标116。

在实施方式中，可以根据需要和/或在面板上制造的特征来对试样结构进行调整。此外，试样可以位于面板或框架的中央或侧面或边缘。

图7示出了根据本发明的另一示例性实施方式的试样200。

根据图7，底板202设置有机械编码特征230作为机械编码，以确保在插入设备100时试样200的正确取向。在所示的实施方式中，机械编码特征230被实施为基本上矩形的底板202的倾斜边缘(除此之外)。

此外，图7的试样200包括电传导牺牲结构224，该电传导牺牲结构224可以例如被实施为底板202中的金属插入件。牺牲结构224可以用于在研磨试样200期间对诸如研磨工具的材料移除单元112进行进度控制。为此目的，在从图7的右手侧移除材料期间，设备100的电极(未示出)可以与电传导牺牲结构224连接。在开始时，电极可以在电传导牺牲结构224处测量电信号。当在材料移除期间移除牺牲结构224时，电信号发生变化，并且当牺牲结构224被完全移除时，电信号最终消失。该事件对应于其中材料移除暴露出构成测试目标116的金属填充的贯穿孔的中心225的情形。因此，在牺牲结构224处检测到的电信号的丧失可以用作关断材料移除单元112的诱因，因为已经达到了与测试目标116的横截面视图有关的期望目标位置。因此，在移除试样200的材料以暴露测试目标116期间，可以有意地移除牺牲结构222。因此，牺牲结构224可以用于检测材料移除直至测试目标116的目标暴露出的进度，因为牺牲结构224被布置为使得当到达测试孔220的中心225时，在移除试样200的材料期间完全移除牺牲结构224。可替代地，在材料移除期间对牺牲结构222的剩余电阻进行测量也可以用作进度控制的基础。

图8至图11示出了根据本发明的其他示例性实施方式的试样200的操纵区208的替代布置。图8至图11的实施方式与图6的实施方式相似，但示出了操纵区208的一些示例性替代配置。根据图8的实施方式，操纵区208被实施为不覆盖表面的整个截面，从而将该表面部分的其余部分留给其他特征，诸如额外的测试目标116。根据图9的实施方式，由识别符126代替图8的附加测试目标116。根据图10，操纵区208由(在本实施方式中为两个)未连接的岛状子区域形成(此处由识别符126隔开)。根据图11，操纵区208由试样200的不同表面部分中的(在本实施方式中为三个)未连接的岛状子区域形成。本领域技术人员将理解，操纵区208的许多不同的结构配置是可能的。

应当注意，术语“包括”不排除其他元件或步骤，并且单数形式不排除多个。同样，结合不同实施方式描述的元件可以被组合。

还应注意，权利要求中的附图标记不应解释为限制权利要求的范围。

本发明的实施方式不限于附图中所示和上面描述的优选实施方式。相反，即使在根本不同的实施方式的情况下，使用示出的解决方案和根据本发明的原理的多种变型是可能的。