检查装置

技术领域

本发明涉及检查装置。

背景技术

已知一种从液晶面板的里侧照射检查用背光源，以检查液晶面板是否产生缺陷的检查装置。这种检查装置具备：检查用背光源，其配置在成为检查对象的液晶面板的一面侧；拍摄装置，其配置在液晶面板的另一面侧；偏振板，其分别配置在检查用背光源和液晶面板之间，以及拍摄装置和液晶面板之间。例如，在有异物混入液晶面板等缺陷的情况下，将该缺陷作为黑色画面中的亮点缺陷而被检测出(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2008-299021号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

在上述的这种检查装置中，作为液晶面板的搬运单元，存在具备辊式输送机的情况。辊式输送机具备沿着一方向并排设置的多根搬运辊，并且通过驱动单元使该辊驱动，以能够将载置在其上的液晶面板搬运。

该情况下，由于搬运辊和液晶面板之间的摩擦而液晶面板有可能会带电。当因为带电而扰乱液晶的取向状态而产生漏光时，有可能降低亮点缺陷的检测精确度。

发明内容

本发明基于上述情况而完成，其目的在于，能够抑制由搬运辊和液晶面板之间的摩擦而引起的漏光，从而避免亮点缺陷的检测精确度降低。

解决问题的方案

(1)本发明的一实施例的检查装置具备：检查室，其用于将液晶面板收容在内部并检查室该液晶面板；搬运装置，其具备可旋转的多个搬运辊，并将所述液晶面板搬运至所述检查室的内部；照明装置，其配置在所述检查室的内部的所述液晶面板的一面侧，并将光照射至所述液晶面板；拍摄装置，其配置在所述检查室的内部的所述液晶面板的另一面侧，并拍摄被所述照明装置照射光的所述液晶面板；加湿装置，其对所述检查室的内部进行加湿。

(2)另外，本发明的某个实施例的检查装置除了上述(1)的构成外，还具备湿度传感器，所述湿度传感器配置在所述检查室的内部并检测所述检查室室内的湿度。

(3)另外，本发明的某个实施例中，除了上述(1)或(2)的构成外，所述液晶面板具有与所述搬运辊接触的搬运面，所述加湿装置具有将被加湿的空气喷出的喷出口，并且将所述喷出口朝向所述搬运面而配置。

有益效果

根据本发明，能够抑制由搬运辊和液晶面板之间的摩擦而引起的漏光，从而避免亮点缺陷的检测精确度降低。

附图说明

图1是实施例的检查装置的整体概要图。

具体实施方式

通过图1说明本发明的实施例。

首先，针对本实施例的检查装置20的检查对象即液晶面板10进行说明。大体上而言，液晶面板10整体形成为矩形状，具备一对透明(具有透光性)的玻璃制基板和液晶层，所述液晶层包含液晶分子，所述液晶分子介于两基板之间并随着电场施加而改变光学特性的物质。两个基板相对并以通过间隔物来在它们之间隔着规定间隔(间隙)的状态下贴合，夹持在其间的液晶层被密封剂包围而保持液密状态。在对各配线未赋予信号，且对液晶层未施加电场的状态下，该液晶面板10的光透过率变得最小而黑显示，成为所谓的常黑模式。

检查装置20是用于检查是否发生异物混入液晶面板等缺陷的装置，具备有检查室21、辊式输送机24(相当于搬运装置)、两个检查用背光源31A、31B(相当于照明装置)、主相机23(相当于拍摄装置)和评测相机35(相当于拍摄装置)、四张偏振板32A、32B、32C、32D、加湿装置41和湿度传感器43。

检查室21是用于将液晶面板10收容在内部并检查该液晶面板10的空间，整体形成为大致箱形，用于搬运液晶面板10至内部的搬入口22和用于搬运液晶面板10至外部的搬出口23分别在相对的一对侧壁的一方(图1的右侧的侧壁)和另一方的侧壁(图1的左侧侧壁)开口。

辊式输送机24是将液晶面板10搬运至检查室21的内外的装置，具备有沿着一方向(图1的从右向左的方向)并排设置的多根搬运辊25，设置成从搬入口22进入并通过检查室21室内，并且从搬出口23向外部延伸。液晶面板10以下表面(搬运面11)接触搬运辊25并以水平的姿势载置在搬运辊25上，通过驱动机构驱动搬运辊25，从而从搬入口22搬入且通过检查室21，并从搬出口23向外部搬出。

两个检查用背光源31A、31B是被配置在检查室21的内部，并将光照射在被辊式输送机24搬运的液晶面板10上的装置。各检查用背光源31A、31B构成为：例如，在上表面侧开口的、形成为大致箱形的盒子内收容多根线状光源(例如冷阴极管)，并且在盒子的上表面侧层叠设置多张光学片，可照射整体上面状的光。

这些检查用背光源31A、31B被配置在液晶面板10的搬运面11侧(图1的下表面侧)，从搬运面11侧向液晶面板10照射光。两个检查用背光源31A、31B中的一方是配置在辊式输送机24的液晶面板10的搬运方向的上游侧(图1的右侧)的第一检查用背光源31A，另一方是被配置在辊式输送机24的液晶面板10的搬运方向的下游侧(图1的左侧)的第二检查用背光源31B。在第一检查用背光源31A和液晶面板10之间配置有偏振板(第一偏振板32A)。同样地，在第二检查用背光源31B和液晶面板10之间配置有偏振板(第三偏振板32C)。

主相机33是被配置在检查室21的内部，并用于确认液晶面板10有无缺陷的装置，其以与第一检查用背光源31A相对的方式配置在液晶面板10的搬运面11的相反侧(图1的上表面侧)，以能够拍摄被第一检查用背光源31A照射光的液晶面板10。该主相机33是具备用于拍摄液晶面板10的受光元件并排成一列的线传感器34(相当于拍摄部)、透镜的相机，以能够以时间序列拍摄通过辊式输送机24相对于主相机33相对移动的液晶面板10。主相机33和液晶面板10之间配置有偏振板(第二偏振板32B)。

评测相机35是被配置在检查室21的内部，用于确认被主相机33检测的液晶面板10的缺陷的装置。该评测相机35以与第二检查用背光源31B相互面对的方式被配置在液晶面板10的搬运面11的相反侧(图1的上表面侧)，以能够拍摄被第二检查用背光源31B照射光的液晶面板10。该评测相机35例如是在光学显微镜中组合CCD相机的装置，并具备有成像部36和拍摄部37，所述成像部36具备物镜，所述拍摄部37具备投影透镜及与其连接的CCD相机。评测相机35被配置为成像部36所具备的物镜朝向液晶面板10，以能够在成像部36和拍摄部37之间插入偏振板(第四偏振板32D)。

第一偏振板32A和第二偏振板32B被设为相互的偏振方向形成为90°的角度的，所谓的正交尼科尔配置。第三偏振板32C和第四偏振板32D也同样被设为正交尼科尔配置。

加湿装置41是被配置在检查室21的内部，用于加湿检查室21室内的装置。作为加湿装置，例如能够使用超声波式、蒸汽式、汽化式、或者加热汽化式等公知的装置。该加湿装置41具有将被加湿的空气喷出的喷出口42，在被辊式输送机24搬运的液晶面板10的下方，将喷出口42朝向搬运面11而配置。

湿度传感器43是测量检查室21室内的湿度的传感器，以用于避免过度加湿检查室21室内而产生冷凝。作为湿度传感器43，例如能够使用电阻式、静电电容式等公知的传感器。

接着，说明使用上述构成的检查装置20来检查液晶面板10的流程。

将液晶面板10以搬运面11朝向搬运辊25的方式载置在辊式输送机24上，将辊式输送机24驱动，从而将液晶面板10搬运至检查室21的内部。另外，使加湿装置41工作，从而加湿检查室21的内部。

当液晶面板10进入检查室21的内部，并被搬运至主相机33的位置时，被第一检查用背光源31A照射光的液晶面板10被主相机33从搬运方向的前侧(图1的左侧)依次拍摄。将通过拍摄而获得的图像传送至图像处理装置进行处理，从大体上判断液晶面板10有无缺陷、缺陷的位置。

当液晶面板10被搬送至评测相机35的位置时，通过评测相机35拍摄被第二检查用背光源31B照射光的液晶面板10的、被主相机33检测的缺陷。通过拍摄获得的图像被传送至图像处理装置进行处理，从而具体判断液晶面板10的缺陷。

在此，针对通过该检查的缺陷检测进行说明。缺陷检测中，由于通过评测相机35的情况与通过主相机33的情况基本相同，在此针对通过主相机33的情况进行说明。

从第一检查用背光源31A发出的光作为散射光到达第一偏振板32A，并且只有具有特定的振动方向的直线偏振通过第一偏振板32A。该直线偏振通过液晶面板10，并到达第二偏振板32B。由于第一偏振板32A和第二偏振板32B成为正交尼科尔配置，到达第二偏振板32B的直线偏振被第二偏振板32B遮断。因此，被主相机33拍摄的图像变成黑图像。

但是，例如，异物混入液晶面板10的液晶层等引起的，在液晶产生取向被扰乱的情况下，在该不良的位置处通过第一偏振板32A的光被散射，已改变偏振方向的光通过第二偏振板32B，并被主相机33检测为黑图像中的亮点(亮点缺陷)。

在此，通过辊式输送机24搬运液晶面板10时，由于液晶面板10和辊式输送机24之间的摩擦，有可能会在搬运面11上产生静电。当由于该静电而在液晶中产生取向被扰乱时，通过第一偏振板32A的光被散射，已改变偏振方向的光通过第二偏振板32B，并被检测为沿着搬运辊25的线状的光(漏光)。由于这种漏光会变成噪声，所以亮点缺陷的检测精确度会降低。

在本实施例中，在检查室21的内部配置有加湿装置41，对检查室21室内进行加湿。由此，由于能够抑制静电的产生以及漏光的产生，从而能够避免亮点缺陷的检测精确度降低。

另外，通过湿度传感器43测量检查室21室内的湿度，基于该测量结果，调整为检查室21室内的湿度高达能够抑制由液晶面板10和搬运辊25之间的摩擦而引起的静电产生的程度，但是不会过高至使检查室21室内产生冷凝而对设备造成不良影响。

根据以上的本实施例，检查装置20具备：检查室21，其用于将液晶面板10收容在内部并检查该液晶面板10；辊式输送机24，其具备可旋转的多个搬运辊25，并将液晶面板10搬运至检查室21的内部；检查用背光源31A、31B，其配置在检查室21的内部的液晶面板10的一面侧，并将光照射至液晶面板10；主相机33，其配置在检查室21的内部的液晶面板10的另一面侧，并拍摄被检查用背光源31A，31B照射光的液晶面板10；评测相机35，其具备拍摄部37；加湿装置41，其对检查室21的内部进行加湿。

根据上述构成，通过加湿装置41加湿检查室21室内，抑制由搬运辊25和液晶面板10之间的摩擦引起的静电产生，从而抑制由该静电引起的漏光的产生。由此，能够避免亮点缺陷的检测精确度的降低。

另外，检查装置20具备湿度传感器43，所述湿度传感器43配置在检查室21的内部并检测检查室21室内的湿度。根据该构成，测量检查室21室内的湿度，基于该测量结果，调整为检查室21内的湿度高达能够抑制由液晶面板10和搬运辊25之间的摩擦而引起的静电产生的程度，但是不会过高至使检查室21室内产生冷凝而对设备造成不良影响。

进一步地，液晶面板10具有与所述搬运辊25接触的搬运面11，加湿装置41具有将被加湿的空气喷出的喷出口42，并且将所述喷出口42朝向搬运面11而配置。根据该构成，由于被加湿的空气朝向液晶面板10的搬运面11，即由于与搬运辊25的接触而容易产生静电的面喷出，能够有效的抑制静电的产生。

<其他实施方式>

本发明不限于通过上述描述及附图所说明的实施例，例如，以下的实施例也包含在本发明的技术范围内。

(1)拍摄装置例如也可以是具备作为拍摄部的区域传感器的装置。

(2)检查装置也可以不具备评测相机35而仅具备主相机33。

(3)液晶面板也可以是所谓的常白模式，即在未对液晶施加电场的状态下光的透过率变成最大而白显示。

(4)例如，液晶面板以两面贴合有偏振板的状态被检查的情况下，检查装置也可以不具备偏振板。

附图标记说明

10：液晶面板

11：搬运面

20：检查装置

21：检查室

22：搬入口

23：搬出口

24：辊式输送机(搬运装置)

25：搬运辊

31A：第一检查用背光源(照明装置)

31B：第二检查用背光源(照明装置)

32A：第一偏振板

32B：第二偏振板

32C：第三偏振板

32D：第四偏振板

33：主相机(拍摄装置)

34：线传感器(摄像部)

35：评测相机(拍摄装置)

36：成像部

37：拍摄部

41：加湿装置1

42：喷出口

43：湿度传感器