一种可自动更换抛光盘的抛光机

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种可自动更换抛光盘的抛光机。

背景技术

半导体材料是现代半导体工业及微电子工业的基石。从物理角度来讲，它指的是导电性能介于导体和绝缘体之间的一类材料。

半导体材料种类繁多，大致可分为无机半导体晶体、有机半导体材料和非晶态半导体三种。当前，非晶态半导体材料在太阳能电池方面有很大的应用前景。但从整体看来，无机半导体晶体仍在半导体材料中占主导地位；

在对晶片或者晶体棒进行抛光时，一般通过抛光机对晶体进行抛光作业，在抛光过程中，需要更换抛光度不同的抛光片，对抛光片进行更换时，需要人工拆卸安装，校对，大大的影响抛光效率，降低工作效率。

发明内容

本发明解决的问题在于提供一种可自动更换抛光盘的抛光机，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种可自动更换抛光盘的抛光机，包括支架、固定架、气缸、抛光电机、滑块、滑轨、更换结构、滴流结构和定位夹持结构，所述支架的顶侧排布有滑轨，所述滑轨上配合扣装有滑块，所述滑块的顶侧配合安装有抛光电机，所述固定架焊装在滑轨的端部，所述气缸通过螺栓配合安装在固定架上，所述气缸的作用杆端部焊装在抛光电机上，所述更换结构配合安装在抛光电机的转轴上，所述定位夹持结构安装在支架的顶侧，所述滴流结构配合安装在定位夹持结构的顶侧。

优选的，所述更换结构包括限位螺杆、摆动马达、摆动齿轮、配合齿轮、配合轴、安装架、打磨片和安装框，所述安装框的内部通过轴承配合穿设有配合轴，所述配合轴的中部外侧套装有安装架，所述安装架为正方形结构，所述安装架的四个平行侧面上均安装有打磨片，所述配合轴的端部配合安装有配合齿轮，所述摆动马达通过螺栓配合安装在安装框上，所述摆动马达的转轴上配合安装有摆动齿轮。

优选的，所述打磨片的中心轴线与抛光电机的中心轴线在同一直线上。

优选的，所述摆动齿轮和配合齿轮互为啮合结构，所述滑块的内部开设有螺孔，所述限位螺杆配合安装在螺孔内。

优选的，所述滴流结构包括支撑板、固定板、储液罐、导流囊、阀门、滑扣、导轨、限位杆、防护罩、喷头和收缩弹簧，所述支撑板的底侧排布有导轨，所述导轨上配合扣装有滑扣，所述固定板焊装在导轨的一端，所述限位杆焊装在固定板的一侧，所述限位杆的一端穿设在滑扣的内部，所述防护罩焊装在滑扣的底侧，所述喷头排布在防护罩的内壁顶侧，所述储液罐固定在支撑板的顶侧，所述储液罐和喷头之间通过导管连接，导管上串联有导流囊，导管上配合安装有阀门。

优选的，所述收缩弹簧套装在限位杆的另一端外部，所述收缩弹簧设置在固定板和滑扣之间。

优选的，所述定位夹持结构包括限位盘、夹持板、挤压弹簧、活动杆、定位螺杆和橡胶垫，所述限位盘的端面内部开设有限位槽，所述夹持板设置在限位槽内，所述夹持板的底侧粘贴有橡胶垫，所述定位螺杆焊装在夹持板的顶侧，所述定位螺杆穿设在限位盘的槽壁内，所述活动杆内部开设有螺孔，所述活动杆通过螺纹配合套装在定位螺杆的顶侧，所述挤压弹簧套装在活动杆的外部。

优选的，所述支架的顶侧焊装有固定架，所述限位盘配合焊装有固定架，所述支撑板焊装在固定架上。

优选的，所述限位盘的上下两侧分别设置有夹持板和橡胶垫，所述限位盘的中心轴线与抛光电机的中心轴线在同一直线上。

本发明的有益效果是：

本发明中，通过摆动马达作业，带动摆动齿轮旋转，在配合齿轮的配合下，能够带动配合轴旋转，安装架配合旋转，能够实现多个打磨片配合更换，在更换后，抛光电机带动安装框旋转，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确；

通过设置滴流结构，旋转阀门，通过导流囊直观的调整抛光剂的滴落速度，在抛光过程中，滑扣沿导轨滑动，在收缩弹簧的配合下，能够稳定的实现滑扣沿限位杆滑动，能够在抛光时，抛光剂通过喷头滴落，在滴落后，能够更好的实现对晶体的抛光，保证喷头持续设置在晶体抛光面上，能够达到更好的冷却，润滑效果。

附图说明

图1为本发明中可自动更换抛光盘的抛光机整体正视立体结构图；

图2为本发明中可自动更换抛光盘的抛光机整体俯视立体结构图；

图3为本发明中可自动更换抛光盘的抛光机整体侧视立体结构图；

图4为本发明中可自动更换抛光盘的抛光机整体主视结构图；

图5为本发明中可自动更换抛光盘的抛光机中图4中A区域结构图；

图例说明：

1、支架；2、固定架；3、气缸；4、抛光电机；5、滑块；6、滑轨；7、更换结构；8、滴流结构；9、定位夹持结构；71、限位螺杆；72、摆动马达；73、摆动齿轮；74、配合齿轮；75、配合轴；76、安装架；77、打磨片；78、安装框；81、支撑板；82、固定板；83、储液罐；84、导流囊；85、阀门；86、滑扣；87、导轨；88、限位杆；89、防护罩；810、喷头；811、收缩弹簧；91、限位盘；92、夹持板；93、挤压弹簧；94、活动杆；95、定位螺杆；96、橡胶垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面给出具体实施例。

参见图1～图5，一种可自动更换抛光盘的抛光机，包括支架1、固定架2、气缸3、抛光电机4、滑块5、滑轨6、更换结构7、滴流结构8和定位夹持结构9，所述支架1的顶侧排布有滑轨6，所述滑轨6上配合扣装有滑块5，所述滑块5的顶侧配合安装有抛光电机4，所述固定架2焊装在滑轨6的端部，所述气缸3通过螺栓配合安装在固定架2上，所述气缸3的作用杆端部焊装在抛光电机4上，所述更换结构7配合安装在抛光电机4的转轴上，所述定位夹持结构9安装在支架1的顶侧，所述滴流结构8配合安装在定位夹持结构9的顶侧。

作为本发明的一种实施方式，所述更换结构7包括限位螺杆71、摆动马达72、摆动齿轮73、配合齿轮74、配合轴75、安装架76、打磨片77和安装框78，所述安装框78的内部通过轴承配合穿设有配合轴75，所述配合轴75的中部外侧套装有安装架76，所述安装架76为正方形结构，所述安装架76的四个平行侧面上均安装有打磨片77，所述配合轴75的端部配合安装有配合齿轮74，所述摆动马达72通过螺栓配合安装在安装框78上，所述摆动马达72的转轴上配合安装有摆动齿轮73，所述打磨片77的中心轴线与抛光电机4的中心轴线在同一直线上，所述摆动齿轮73和配合齿轮74互为啮合结构，所述滑块5的内部开设有螺孔，所述限位螺杆71配合安装在螺孔内，工作时，摆动马达72作业，带动摆动齿轮73旋转，在配合齿轮74的配合下，能够带动配合轴75旋转，安装架76配合旋转，能够实现多个打磨片77配合更换，在更换后，抛光电机4带动安装框78旋转，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片77，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确。

作为本发明的一种实施方式，所述滴流结构8包括支撑板81、固定板82、储液罐83、导流囊84、阀门85、滑扣86、导轨87、限位杆88、防护罩89、喷头810和收缩弹簧811，所述支撑板81的底侧排布有导轨87，所述导轨87上配合扣装有滑扣86，所述固定板82焊装在导轨87的一端，所述限位杆88焊装在固定板82的一侧，所述限位杆88的一端穿设在滑扣86的内部，所述防护罩89焊装在滑扣86的底侧，所述喷头810排布在防护罩89的内壁顶侧，所述储液罐83固定在支撑板81的顶侧，所述储液罐83和喷头810之间通过导管连接，导管上串联有导流囊84，导管上配合安装有阀门85，所述收缩弹簧811套装在限位杆88的另一端外部，所述收缩弹簧811设置在固定板82和滑扣86之间，工作时，旋转阀门85，通过导流囊84直观的调整抛光剂的滴落速度，在抛光过程中，滑扣86沿导轨87滑动，在收缩弹簧811的配合下，能够稳定的实现滑扣86沿限位杆88滑动，能够在抛光时，抛光剂通过喷头810滴落，在滴落后，能够更好的实现对晶体的抛光，保证喷头810持续设置在晶体抛光面上，能够达到更好的冷却，润滑效果。

作为本发明的一种实施方式，所述定位夹持结构9包括限位盘91、夹持板92、挤压弹簧93、活动杆94、定位螺杆95和橡胶垫96，所述限位盘91的端面内部开设有限位槽，所述夹持板92设置在限位槽内，所述夹持板92的底侧粘贴有橡胶垫96，所述定位螺杆95焊装在夹持板92的顶侧，所述定位螺杆95穿设在限位盘91的槽壁内，所述活动杆94内部开设有螺孔，所述活动杆94通过螺纹配合套装在定位螺杆95的顶侧，所述挤压弹簧93套装在活动杆94的外部。

作为本发明的一种实施方式，所述支架1的顶侧焊装有固定架，所述限位盘91配合焊装有固定架，所述支撑板81焊装在固定架上，所述限位盘91的上下两侧分别设置有夹持板92和橡胶垫96，所述限位盘91的中心轴线与抛光电机4的中心轴线在同一直线上，工作时，通过旋转活动杆94，能够实现活动杆94与定位螺杆95的相对运动，能够改变挤压弹簧93的膨胀强度，在固定时，通过挤压弹簧93配合下，能够对夹持板92作业，通过橡胶垫96实现对晶体夹持固定，保证晶体固定稳定。

工作原理：在进行抛光时，气缸3作业，推动抛光电机4，抛光电机4在滑块5沿滑轨6的配合下滑动，在抛光电机4作业实现，实现对晶体的抛光，在抛光后，摆动马达72作业，带动摆动齿轮73旋转，在配合齿轮74的配合下，能够带动配合轴75旋转，安装架76配合旋转，能够实现多个打磨片77配合更换，在更换后，抛光电机4带动安装框78旋转，实现对晶体的抛光打磨，能够实现循环周期更换打磨片77，能够大大提高抛光效率，而且能够保证抛光面的准确，在对晶体夹持固定时，通过旋转活动杆94，能够实现活动杆94与定位螺杆95的相对运动，能够改变挤压弹簧93的膨胀强度，在固定时，通过挤压弹簧93配合下，能够对夹持板92作业，通过橡胶垫96实现对晶体夹持固定，保证晶体固定稳定，保证晶体的轴心与抛光电机4的轴心线在同一直线上，能够更好的保证抛光面平整，在抛光时，通过旋转限位螺杆71，将限位螺杆71的端面与防护罩89的侧面贴合，旋转阀门85，通过导流囊84直观的调整抛光剂的滴落速度，在抛光过程中，滑扣86沿导轨87滑动，在收缩弹簧811的配合下，能够稳定的实现滑扣86沿限位杆88滑动，能够在抛光时，抛光剂通过喷头810滴落，在滴落后，能够更好的实现对晶体的抛光，保证喷头810持续设置在晶体抛光面上，能够达到更好的冷却，润滑效果。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。