除毒系统、除毒装置和系统控制装置

技术领域

本发明涉及除毒（detoxify）系统、除毒装置和系统控制装置。

背景技术

某系统具备2个除毒装置和控制器，控制器在成膜时使半导体制造装置的废气流入到一个除毒装置，在清洁时使清洁气体流入到另一个除毒装置（参照例如专利文献1）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-312968号公报。

发明内容

发明要解决的课题

另一方面，考虑在除毒系统中设置多个除毒装置和1个系统控制装置，在通常运行时使用该多个除毒装置的一部分，将其余的一部分用作备用用的除毒装置，1个系统控制装置对这些除毒装置的运行状态进行集中管理。

然而，在1个系统控制装置对系统内的全部除毒装置进行集中管理的情况下，当该系统控制装置由于故障或电源切断而停止或者发生了系统控制装置和除毒装置之间的通信障碍时，系统整体的运行停止，即使各个除毒装置能够工作，也难以通过除毒装置继续除毒处理。

本发明鉴于上述的问题而完成，其目的在于得到即使由特定的系统控制装置进行的系统的集中管理变得困难也继续利用除毒装置的除毒处理的除毒系统、以及能够在该除毒系统中使用的除毒装置和系统控制装置。

用于解决课题的方案

本发明的除毒系统具备多个除毒装置、以及多个系统控制装置，所述多个系统控制装置与多个除毒装置分别对应设置，向多个除毒装置之中的对应的除毒装置供给工作指令。多个系统控制装置分别具备用于经由网络彼此通信的网络接口。多个系统控制装置之中的任一个作为主系统控制装置发挥作用，多个系统控制装置之中的其余的系统控制装置作为从系统控制装置发挥作用。主系统控制装置通过网络接口向从系统控制装置发送控制指令，从系统控制装置通过网络接口接收控制指令，依照所接收的控制指令向对应的除毒装置供给工作指令。然后，从系统控制装置在不可进行与主系统控制装置的通信的情况下，作为新的主系统控制装置发挥作用或者转移到独立运行。在独立运行中，依照规定设定将工作指令供给到对应的除毒装置。

本发明的除毒装置具备除毒装置主体、以及系统控制装置，所述系统控制装置对除毒装置主体供给工作指令。系统控制装置具备用于经由网络与其他除毒装置的系统控制装置进行通信的网络接口，作为从系统控制装置发挥作用。上述其他除毒装置的系统控制装置作为主系统控制装置发挥作用。主系统控制装置通过网络接口向作为从系统控制装置发挥作用的其他系统控制装置发送控制指令。从系统控制装置通过网络接口从主系统控制装置接收控制指令，依照所接收的控制指令向除毒装置主体供给工作指令。然后，从系统控制装置在不可进行与主系统控制装置的通信的情况下，作为新的主系统控制装置发挥作用或者转移到独立运行。新的主系统控制装置通过网络接口向作为其他从系统控制装置发挥作用的其他系统控制装置发送控制指令。在独立运行中，依照规定设定将工作指令供给到除毒装置主体。

本发明的系统控制装置具备用于经由网络与其他除毒装置的系统控制装置进行通信的网络接口。该系统控制装置作为从系统控制装置发挥作用，上述其他除毒装置的系统控制装置作为主系统控制装置发挥作用。主系统控制装置通过网络接口向作为从系统控制装置发挥作用的其他系统控制装置发送控制指令。从系统控制装置通过网络接口从主系统控制装置接收控制指令，依照所接收的控制指令向除毒装置供给工作指令。然后，从系统控制装置在不可进行与主系统控制装置的通信的情况下，作为主系统控制装置发挥作用或者转移到独立运行。新的主系统控制装置通过网络接口向作为其他从系统控制装置发挥作用的其他系统控制装置发送控制指令。在独立运行中，依照规定设定将工作指令供给到除毒装置。

发明效果

根据本发明，得到了即使由特定的系统控制装置进行的系统的集中管理变得困难也继续利用除毒装置的除毒处理的除毒系统、以及能够在该除毒系统中使用的除毒装置和系统控制装置。

本发明的上述或其他目的、特征和优越性根据所附附图以及以下详细说明变得显而易见。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式1的除毒系统的结构的框图。

图2是示出图1中的系统控制装置22m、22s的结构的框图。

图3是说明图1中的系统控制装置22m、22s的工作的流程图（1/2）。

图4是说明图1中的系统控制装置22m、22s的工作的流程图（2/2）。

图5是示出本发明的实施方式2的除毒系统的结构的框图。

具体实施方式

以下，基于附图来说明本发明的实施方式。

实施方式1.

图1是示出本发明的实施方式1的除毒系统的结构的框图。图1所示的除毒系统通过多个除毒装置1-1、1-2、2对从多个处理工具101-1、101-2排出的处理对象气体进行除毒处理。

处理工具101-1、101-2是进行半导体制造等中的特定的处理工序的装置或设备，在处理工序中排出气体（处理对象气体），所述气体（处理对象气体）包括在向环境排放之前需要除毒处理的物质。

除毒装置1-1、1-2、2通过对于从处理工具101-1、101-2排出的处理对象气体的除毒适合的除毒处理方式（燃烧方式、电加热方式、等离子体方式、触媒分解方式、吸附方式、洗涤方式等）执行除毒处理。在该实施方式中，除毒装置1-1、1-2、2是燃烧方式的除毒装置。

图1所示的除毒系统具备多个除毒装置1-1、1-2、2和紧急除毒装置3。在该实施方式中，除毒装置1-1、1-2是主要对来自处理工具101-1、101-2的处理对象气体分别进行除毒处理的主要除毒装置，除毒装置2是除毒装置1-1、1-2的备用用的备用除毒装置。在该实施方式中，针对多个除毒装置1-1、1-2设置了备用用的1个除毒装置2。再有，紧急除毒装置3在除毒装置1-1、1-2、2的异常发生时临时进行除毒处理。

然后，通过导管来形成处理对象气体从处理工具101-1向除毒装置1-1的主流路，在该主流路上设置旁通阀11-1。此外，通过配管来形成从旁通阀11-1向除毒装置2的备用用的流路。此外，在该备用用的流路上设置紧急排出用的旁通阀12-1，并设置从旁通阀12-1向紧急除毒装置3的紧急排出用的流路。在处理工具101-1的下级设置未图示的泵，通过该泵使处理对象气体沿着流路流动。同样，通过导管来形成处理对象气体从处理工具101-2向除毒装置1-2的主流路，在该主流路上设置旁通阀11-2。此外，通过配管来形成从旁通阀11-2向除毒装置3的备用用的流路。此外，在该备用用的流路上设置紧急排出用的旁通阀12-2，并设置从旁通阀12-2向紧急除毒装置3的紧急排出用的流路。在处理工具101-2的下级设置未图示的泵，通过该泵使处理对象气体沿着流路流动。此外，在备用用的除毒装置2的前级也设置旁通阀13，并设置从旁通阀13向紧急用除毒装置3的紧急排出用的流路。再有，这些旁通阀11-1、11-2、12-1、12-2、13是三通阀。

各除毒装置1-1、1-2、2具备除毒装置主体21和系统控制装置22s、22m。

除毒装置主体21是在除毒装置1-1、1-2、2中经由进口（inlet）导入处理对象气体并对该处理对象气体进行除毒处理的装置，并内置对该除毒装置主体21的内部装置进行电气控制的本地控制部31。

本地控制部31是执行控制IC（Integrated Circuit，集成电路）、控制程序的微处理器等，依照来自处理工具101-1、101-2的指令来控制除毒处理。例如，关于本地控制部31，各处理工具101-1、101-2向本地控制部31通知示出该处理工具101-1、101-2中的处理气体流量的指令，依照该指令来控制未图示的内部装置（反应器等）以使得以该处理气体流量适当进行除毒处理。

进而，在旁通阀11-1、11-2、13分别设置阀驱动部11-1d、11-2d、13d。阀驱动部11-1d、11-2d、13d驱动旁通阀11-1、11-2、13来切换流路。本地控制部31控制与该本地控制部31预先相关联的旁通阀（内置该本地控制部31的除毒装置1-1、1-2、2的前级的旁通阀等）的阀驱动部来切换该旁通阀的流路。例如，阀驱动部11-1d、11-2d、13d是油压式、气压式、电动式等的旋转致动器等。在旁通阀12-1、12-2中也分别设置未图示的阀驱动部，但是，省略说明。

此外，本地控制部31向对应的处理工具101-1、101-2通知内置该本地控制部31的除毒装置（除毒装置主体21）的状态信息、以及如后述那样由内置该本地控制部31的除毒装置的系统控制装置从其他系统控制装置取得的其他除毒装置的状态信息。也就是说，关于处理工具101-1，从除毒装置1-1的本地控制部31向处理工具101-1通知可能对来自处理工具101-1的处理对象气体进行除毒处理的除毒装置1-1、2的状态信息。关于处理工具101-2，从除毒装置1-2的本地控制部31向处理工具101-2通知可能对来自处理工具101-2的处理对象气体进行除毒处理的全部除毒装置1-2、2的状态信息。

此外，多个除毒装置1-1、1-2、2之中的除毒装置1-1、1-2作为主要对来自规定的处理工具101-1、101-2的处理对象气体进行除毒处理的主要除毒装置发挥作用，除毒装置2作为除毒装置1-1、1-2的备用用的备用除毒装置发挥作用，在除毒装置1-1、1-2中的任一个停止时，代替该停止的除毒装置而进行除毒处理。

因此，主要除毒装置（在此是除毒装置1-i，i=1、2）的系统控制装置22s从其他系统控制装置22m取得该其他系统控制装置22m的除毒装置2的状态信息，主要除毒装置的本地控制部31向处理工具通知该系统控制装置22s的除毒装置1-i的状态信息、以及由该系统控制装置22s取得的该其他系统控制装置22m的除毒装置2的状态信息。

再有，作为除毒装置的状态信息，根据需要而包括运行状态（工作中、休眠中、停止中等）、维护请求级别等。作为维护请求级别，例如使用起因于处理对象气体的升华而造成的固体堆积物的堆积程度、从前次的维护起的经过时间、来自前次的维护的处理气体总量等。

基于该状态信息，例如，处理工具101-1、101-2能够考虑除毒系统的状态来调节处理气体流量。

此外，多个系统控制装置22m、22s与多个除毒装置1-1、1-2、2分别对应设置，向多个除毒装置1-1、1-2、2之中的对应的除毒装置（在此，除毒装置主体21）供给工作指令（工作（除毒处理）开始、向休眠状态的转移、运行停止等）。

多个系统控制装置22m、22s之中的系统控制装置22m作为主系统控制装置而工作，其余的系统控制装置22s作为从系统控制装置而工作。在系统的通常运行时，主系统控制装置对系统的运行状态进行集中管理，对从系统控制装置发送控制指令，从系统控制装置依照该控制指令，向对应的除毒装置主体21输出工作指令。再有，多个系统控制装置22m、22s之中的作为主系统控制装置发挥作用的系统控制装置既可以是1个，也可以是多个。

在该实施方式中，备用除毒装置（也就是，除毒装置2）的系统控制装置22m被设定为主系统控制装置，主要除毒装置（也就是，除毒装置1-1、1-2）的系统控制装置22s被设定为从系统控制装置。

图2是示出图1中的系统控制装置22m、22s的结构的框图。图2所示的系统控制装置22m、22s具备网络接口51、接口52、存储装置53和运算处理装置54。

网络接口51是用于经由网络41彼此通信的通信装置。在该实施方式中，网络41是IP（Internet Protocol，网际协议）网络，在网络41中，能够使用TCP（TransmissionControl Protocol，传输控制协议）等作为其上位协议。

接口52是进行与除毒装置主体21的本地控制部31之间的信号的输入输出的电路。在该信号中，包括用于从系统控制装置22m、22s向除毒装置主体21供给工作指令的信号、用于从除毒装置主体21向系统控制装置22m、22s通知除毒装置主体21的状态信息的信号等。再有，这些信号可以实现为本地控制部31和接口52的I/O端口等的特定端子的电压电平（例如2值电平）。

存储装置53是闪速存储器等非易失性的存储装置，储存运算处理装置54中使用的程序或数据。在存储装置53中储存系统设定数据61。

虽然未图示，运算处理装置54是具备CPU（Central Processing Unit，中央处理单元）、ROM（Read Only Memory，只读存储器）、RAM（Random Access Memory，随机存取存储器）等的计算机，通过将储存在ROM或存储装置53中的程序加载到RAM来由CPU执行，从而作为各种处理部而工作。

在此，在主系统控制装置（系统控制装置22m）的情况下，运算处理装置54作为通信处理部71、系统控制部81、系统监视部82、指令输出部91和本地监视部92而工作。此外，在从系统控制装置（系统控制装置22s）的情况下，运算处理装置54作为通信处理部71、指令输出部91和本地监视部92而工作。

例如，系统设定数据61包括对主和从中的任一个进行指定的主/从设定，运算处理装置54参照主/从设定来判定该系统控制部22m、22s作为主系统控制部而工作还是作为从系统控制部而工作。

在主系统控制装置的情况下，通信处理部71使用网络接口51通过规定的通信协议在与从系统控制装置的通信处理部71之间进行通信。在从系统控制装置的情况下，通信处理部71使用网络接口51通过规定的通信协议在与主系统控制装置的通信处理部71之间进行通信。再有，在该实施方式中，例如，使用Modbus/TCP作为该通信协议。此外，例如，在系统设定数据61中预先记述成为该通信的通信对象的系统控制部22m、22s的网络识别子（IP地址、上位协议中的固有识别子等），通信处理部71参照系统设定数据61来确定通信对象。

此外，主系统控制装置的系统控制部81通过通信处理部71和网络接口51向从系统控制装置发送控制指令。进而，主系统控制装置的系统监视部82通过通信处理部71和网络接口51从从系统控制装置的本地监视部92接收从系统控制装置的状态信息。

指令输出部91通过接口52向除毒装置主体21的本地控制部31输出工作指令。在从系统控制装置的情况下，指令输出部91依照由通信处理部71从主系统控制装置接收的控制指令，输出上述的工作指令。在主系统控制装置的情况下，指令输出部91依照从系统控制部81供给的控制指令，输出上述的工作指令。

本地监视部92通过接口52从除毒装置主体21的本地控制部31取得状态信息。在从系统控制装置的情况下，本地监视部92通过通信处理部71和网络接口51向主系统控制装置的系统监视部82发送所取得的状态信息。在主系统控制装置的情况下，本地监视部92向该主系统控制装置的系统监视部82供给所取得的状态信息。

像这样，从系统控制装置（系统控制装置22s）通过网络接口51接收控制指令，依照所接收的控制指令向除毒装置主体21供给工作指令。

此外，主系统控制装置（系统控制装置22m）的通信处理部71针对从系统控制装置的通信处理部71定期地重复进行轮询。例如，此时，一起进行上述的状态信息的收发。

然后，在从系统控制装置（系统控制装置22s）中，通信处理部71在规定时间内未接收到轮询的请求的情况下，判定为不可进行与主系统控制装置的通信。在主系统控制装置（系统控制装置22m）中，通信处理部71在规定时间内未从某个从系统控制装置接收到针对轮询的请求的响应的情况下，判定为不可进行与该从系统控制装置的通信。

在从系统控制装置（系统控制装置22s）中，在由通信处理部71判定为不可进行与主系统控制装置的通信的情况下，在该实施方式中，指令输出部91转移到独立运行。在此，在独立运行中，代替从主系统控制装置接收的控制指令，依照系统设定数据61中的规定的本地设定，向除毒装置主体21供给工作指令。也就是说，即使没有供给来自主系统控制装置的控制指令，从系统控制装置也通过独立运行继续除毒处理。

此时，在独立运行中，本地控制部31认为具备不可通信的其他系统控制装置的除毒装置不可工作，向对应的处理工具101-1、101-2通知状态信息。

再有，在判定为不可进行与主系统控制装置的通信的情况下存在可通信的其他从系统控制装置时，可以使该从系统控制装置开始作为针对可通信的其他从系统控制装置的主系统控制装置而工作。

再有，在该实施方式中，通过多个除毒装置针对从多个处理工具101-1、101-2排出的处理对象气体执行除毒处理，但是，也可以通过多个除毒装置（主要除毒装置和备用除毒装置）针对从1个处理工具排出的处理对象气体执行除毒处理。

此外，在该实施方式中，系统控制装置22m、22s内置于除毒装置1-1、1-2、2，但是，代替其，也可以作为与除毒装置1-1、1-2、2不同的装置，连接到除毒装置1-1、1-2、2，与除毒装置1-1、1-2、2一起设置。

接着，对上述除毒系统的工作进行说明。

在通常运行中，主系统控制装置（系统控制装置22m）向从系统控制装置（系统控制装置22s）发送控制指令，使主要除毒装置（除毒装置1-1、1-2）变为工作状态，使备用除毒装置（除毒装置2）变为休眠状态。例如，在燃烧方式的除毒装置的情况下，除毒装置主体21在工作状态下，将可燃性燃料或可燃性气体供给到燃烧室并使其燃烧，进行处理对象气体的除毒处理，在休眠状态下，不进行可燃性燃料或可燃性气体的供给，通过长明灯维持种火，使得能够立即转移到工作状态。

在通常运行中，各主要除毒装置（除毒装置1-i，i=1、2）对处理工具101-i（i=1、2）通知该主要除毒装置（除毒装置1-i）和备用除毒装置（除毒装置2）的状态信息。例如，各处理工具101-i基于其状态信息来调节处理气体流量，向主要除毒装置（除毒装置1-i）供给与该处理气体流量对应的指令。然后，主要除毒装置（除毒装置1-i）依照来自处理工具101-i的指令来控制除毒处理。例如，在燃烧方式的除毒装置1-i的情况下，根据通过指令而通知的处理气体量，调节可燃性燃料或可燃性气体的流量等。

主系统控制装置（系统控制装置22m）经由系统控制装置22s来监视其他除毒装置1-1、1-2的状态，例如在主要除毒装置（除毒装置1-i）中需要维护而使主要除毒装置（除毒装置1-i）停止的情况下，使备用除毒装置（除毒装置2）转移到工作状态，使主要除毒装置（除毒装置1-i）控制旁通阀11-i来切换流路，之后，使主要除毒装置（除毒装置1-i）停止。

像这样，在通常运行时，主系统控制装置（系统控制装置22m）和从系统控制装置（系统控制装置22s）进行通信，主系统控制装置控制除毒系统整体。

另一方面，在起因于网络41的通信障碍、系统控制装置的电源切断等而不可进行主系统控制装置和从系统控制装置之间的通信的情况下，从系统控制装置（系统控制装置22s）转移到独立运行，在主要除毒装置（除毒装置1-i）在变为不可通信的时间点为工作状态的情况下，依照规定的本地设定，继续使主要除毒装置（除毒装置1-i）为工作状态。

另一方面，在主要除毒装置（除毒装置1-i）在变为不可通信的时间点为休眠状态或停止状态的情况下，从系统控制装置既可以依照规定的本地设定而继续其状态，也可以使主要除毒装置（除毒装置1-i）转移到工作状态（或休眠状态），只要可能的话。再有，在使主要除毒装置（除毒装置1-i）转移到工作状态的情况下，其本地控制部31驱动旁通阀11-i来切换流路以使得处理对象气体流入到该主要除毒装置（除毒装置1-i）。

在此，对各系统控制装置22m、22s的工作进行说明。图3和图4是说明图1中的系统控制装置22m、22s的工作的流程图。

各系统控制装置22m、22s当启动时读出系统设定数据61，判定自己是作为主系统控制装置而工作还是作为从系统控制装置而工作（步骤S1）。

在作为主系统控制装置而工作的情况下，系统控制装置22m如上所述进行备用用的除毒装置2的控制和监视、系统整体的控制和监视、以及与系统控制装置22s的通信状态的监视（步骤S2）。

然后，在与系统控制装置22s的通信状态的监视中，系统控制装置22m重复判定是否检测到不可通信的系统控制装置22s（步骤S3）。

在检测到不可通信的系统控制装置22s的情况下，系统控制装置22m判定在不可通信的系统控制装置22s以外的从系统控制装置之中是否存在可通信的系统控制装置22s（步骤S4），在存在可通信的系统控制装置22s的情况下，从系统断开不可通信的系统控制装置22s，与其余的系统控制装置22s一起继续系统运行（步骤S5）。

在检测到不可通信的系统控制装置22s的情况下，在没有可通信的系统控制装置22s时，系统控制装置22m通过独立运行继续工作（步骤S6）。

此外，在与系统控制装置22s的通信状态的监视中，系统控制装置22m重复判定在不可通信的系统控制装置22s之中是否检测到恢复通信的系统控制装置22s（步骤S7）。

在检测到恢复通信的系统控制装置22s的情况下，系统控制装置22m向系统追加恢复通信的系统控制装置22s，继续系统运行（步骤S8）。在该情况下，在恢复通信的系统控制装置22s独立运行时，该系统控制装置22s从独立运行回到主系统控制装置的控制下的运行。此外，在恢复通信的系统控制装置22s作为主系统控制装置而工作时，该系统控制装置22s切换为从系统控制装置，回到主系统控制装置的控制下的运行。

另一方面，在作为从系统控制装置而工作的情况下，系统控制装置22s如上所述进行主要的除毒装置1-1、1-2的控制和监视、以及与系统控制装置22m的通信状态的监视（步骤S11）。

然后，在与系统控制装置22m的通信状态的监视中，系统控制装置22s重复判定是否变为不可与系统控制装置22m通信（步骤S12）。

在检测到变为不可与系统控制装置22m通信的情况下，系统控制装置22s根据系统设定数据61或其他系统控制装置22s（和主要除毒装置）的状态来判定是否作为主系统控制装置继续工作（步骤S13），在不作为主系统控制装置继续工作的情况下，以独立运行继续工作（步骤S14）。

另一方面，在检测到变为不可与系统控制装置22m通信的情况下作为主系统控制装置继续工作时，系统控制装置22s执行步骤S2以后的处理。

如以上那样，上述实施方式1的除毒系统具备多个除毒装置1-1、1-2、2、以及多个系统控制装置22m、22s，所述多个系统控制装置22m、22s与多个除毒装置1-1、1-2、2分别对应设置，向多个除毒装置1-1、1-2、2之中的对应的除毒装置供给工作指令。多个系统控制装置22m、22s分别具备用于经由网络41彼此通信的网络接口51。多个系统控制装置22m、22s之中的任一个作为主系统控制装置发挥作用，多个系统控制装置22m、22s之中的其余的系统控制装置作为从系统控制装置发挥作用。再有，多个系统控制装置22m、22s之中的作为主系统控制装置发挥作用的系统控制装置既可以是1个，也可以是多个。主系统控制装置通过网络接口51向从系统控制装置发送控制指令。从系统控制装置通过网络接口51接收控制指令，依照所接收的控制指令，向除毒装置1-1、1-2供给工作指令。然后，从系统控制装置在变为不可与主系统控制装置通信的情况下，作为主系统控制装置发挥作用，或者转移到独立运行。在此，在独立运行中，依照规定设定，向除毒装置1-1、1-2供给工作指令。

由此，即使由特定的主系统控制装置进行的系统的集中管理变得困难，通过使从系统控制装置切换为独立运行或主系统控制装置，从而也能够在除毒系统中继续由除毒装置的除毒处理。

实施方式2.

图5是示出本发明的实施方式2的除毒系统的结构的框图。如上所述，在实施方式2中，也在从除毒装置1-1、1-2、2的流路（在此，备用用流路）向紧急除毒装置3的流路中设置旁通阀12-1、12-2。在实施方式2中，在旁通阀12-1、12-2中分别设置阀驱动部12-1d、12-2d。阀驱动部12-1d、12-2d驱动旁通阀11-1、11-2来切换流路。例如，阀驱动部12-1d、12-2d是油压式、气压式、电动式等的旋转致动器等。

在实施方式2中，除毒装置1-1、1-2的系统控制装置22s分别控制阀驱动部12-1d、12-2d来切换旁通阀12-1、12-2的流路。具体而言，在系统控制装置22m基于上述的状态信息等而检测到异常发生的情况下，系统控制装置22m向系统控制装置22s发送指令，系统控制装置22s依照该指令，切换旁通阀12-1、12-2的流路，经由备用用流路使处理对象气体流入到紧急除毒装置3。此外，在系统控制装置22s基于上述的状态信息等而检测到异常发生的情况下，该系统控制装置22s自律地切换旁通阀12-1、12-2的流路，经由备用用流路使处理对象气体流入到紧急除毒装置3。

此外，在实施方式2中，各处理工具101-1、101-2向主要除毒装置（在此，除毒装置1-i，i=1、2）的系统控制部22s通知示出该处理工具101-1、101-2中的处理气体流量的指令，在各除毒装置1-i中，其系统控制部22s基于该指令向本地控制部31供给工作指令，本地控制部31依照该工作指令，控制未图示的内部装置（反应器等）以使得以该处理气体流量适当进行除毒处理。在实施方式2中，除了与本地控制部31之间的信号的输入输出之外，系统控制部22s中的接口52还进行与处理工具101-1、101-2之间的信号（指令等）的输入输出。

此外，在实施方式2中，主要除毒装置（在此除毒装置1-i，i=1、2）的系统控制装置22s从其他系统控制装置22m取得该其他系统控制装置22m的除毒装置2的状态信息，向处理工具通知该系统控制装置22s的除毒装置1-i的状态信息、以及所取得的该其他系统控制装置22m的除毒装置2的状态信息。具体而言，关于处理工具101-1，从除毒装置1-1的系统控制装置22s向处理工具101-1通知可能对来自处理工具101-1的处理对象气体进行除毒处理的除毒装置1-1、2的状态信息。关于处理工具101-2，从除毒装置1-2的系统控制装置22s向处理工具101-2通知可能对来自处理工具101-2的处理对象气体进行除毒处理的全部除毒装置1-2、2的状态信息。

再有，关于实施方式2的除毒系统的其他结构和工作，与实施方式1是相同的，因此，省略其说明。

再有，针对上述实施方式的各种变更和修正对于本领域技术人员而言是显而易见的。这样的变更和修正可以在不脱离其主题的主旨和范围并且不使所意图的优点变弱的情况下进行。也就是说，意图在权利要求中包括这样的变更和修正。

例如，在上述实施方式1、2中，在通常运行时，可以使主要除毒装置的系统控制装置之一作为主系统控制装置，使备用除毒装置的系统控制装置作为从系统控制装置。

此外，在上述实施方式1、2中，在图1中为了说明，使从1个处理工具101-i至除毒装置1-i、2的配管的数量也就是除毒装置1-i的进口数量为1个，但是，当然可以使其为多个（例如3个）。

进而，在上述实施方式1、2，可以针对1个主要除毒装置而设置多个备用除毒装置。

进而，在上述实施方式1、2中，可以在处理工具101-1和旁通阀11-1之间另外设置旁通阀，并且在处理工具101-2和旁通阀11-2之间另外设置旁通阀，通过导管连接这些另外设置的旁通阀，在处理工具101-1、101-2中的一个未工作的期间内不能使用除毒装置2的情况下，使除毒装置1-1、1-2之中的一个作为主要除毒装置发挥作用，使另一个作为备用除毒装置发挥作用。

产业上的可利用性

本发明例如能够适用于具备多个除毒装置的除毒系统。

附图标记的说明

1-1、1-2、2 除毒装置（多个除毒装置的一例）

21 除毒装置主体

22m、22s 系统控制装置

31 本地控制部

51 网络接口。