一种光阻物料的使用方法和检测系统

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种光阻物料的使用方法和检测系统。

背景技术

光刻工艺是半导体制程工艺中的常见工艺，光阻(photoresist，PR)，也称光刻胶或光阻剂，是指通过各种光照或辐射，使其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和显示面板中。

目前，光阻物料从冷冻室移动到机台的过程主要还是靠人工进行判断和指挥搬送设备搬运到机台上，例如：工作人员将光阻物料从冷冻室内取出，然后使用推车等运输工具将光阻物料运输到解冻室，将解冻好的光阻物料运输到机台，在未变质的情况下可以多次冷冻解冻重复使用，但是多次重复之后，光阻物料可能产生变质，使用变质的光阻物料会使得机台制程不良，需要人为进行把控次数，而且通过人为控制容易出错。

发明内容

本申请的目的是提供一种光阻物料的使用方法和检测系统，实现光阻物料的系统化管控。

本申请公开了一种光阻物料的使用方法，包括：

步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；

步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，

并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；

步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及

步骤E：当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室。

可选的，所述步骤A中：

当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

所述步骤B中：

步骤B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；

步骤B2：当所述光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。

可选的，所述步骤B中：

当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；

所述步骤C中：

当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格。

可选的，所述步骤B中：

当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；

所述步骤D中：

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。

可选的，所述步骤B2中：

当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。

可选的，当发生紧急情况时，检测处于解冻状态的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并送回冷冻室；

若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。

可选的，所述预设情况包括停机操作和机台换料操作；所述紧急情况包括停机操作。

可选的，所述物料信息包括物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。

本申请还公开了一种光阻物料的使用方法，所述使用方法是根据设定表进行自动化控制，所述使用方法包括：

冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；

当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的解冻送出时间并将光阻物料送往机台；

当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及

当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；

其中，若是检测到光阻物料符合重置超时间使用表的重置调节，则立即关闭后续流程，并根据重置方法重置所述光阻材料的状态；

其中，所述设定表包括：光阻物料状态管控表、设定超时间使用时间表、重置超时间使用表和卡次数设定表；

所述光阻物料状态管控表设定有光阻物料所有的状态以及不同状态之间的转换关系，所述预设状态包括：冷冻状态、冷冻完成时间、解冻状态、解冻完成状态和上机状态；

所述设定超时间使用时间表设定有第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间；所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时；

所述重置超时间使用表设定有所有的重置条件和对应的重置方法；

所述卡次数设定表设定有预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数，预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。

本申请还公开了一种光阻物料的检测系统，使用上述的光阻物料的使用方法，所述检测系统包括：冷冻室、解冻室、机台、搬送设备和监控设备；所述冷冻室将所述光阻物料冷冻；所述解冻室将冷冻后的光阻物料进行解冻；所述机台使用光阻物料进行制程；所述搬送设备将光阻物料从冷冻室、解冻室和机台之间搬运；所述监控设备对光阻物料进行识别。

本申请中，在光阻物料进入制程之前，会检测光阻物料是否合格，避免在不合格的光阻物料被送上机台；当预设情况(例如停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作)发生时，对机台上的光阻物料的物料信息进行检测，若根据物料信息判断物料可以冷冻后再次使用时，则送回冷冻室进行冷藏，可以使得暂时不使用的光阻物料进行回收以便下次使用，而不造成浪费；相反，若根据物料信息判断无法冷冻后再次使用时，则送去处理室处理，避免将不适合再次使用的光阻物料等送回冷冻室，造成后续制程的问题；本申请通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请的一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；

图2是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤的示意图；

图3是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；

图4是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；

图5是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；

图6是本申请的一实施例的一种光阻物料的检测系统的示意图。

其中，1、检测系统；10、冷冻室；20、解冻室；30、机台；40、搬运设备；50、监控设备。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。

如图1所示，本申请公开了一种光阻物料的使用方法，包括步骤：

A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；

B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；

D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；

E：当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室。

本申请的预设信息可以为光阻物料是否符合上机规则的预设信息(例如解冻信息，冷冻信息等)比对，通过对解冻信息和冷冻信息的监控，在不合格的情况下不送上机台；当预设情况(例如停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作)发生时，对机台上的光阻物料的物料信息进行检测，若根据物料信息判断物料可以冷冻后再次使用时，则送回冷冻室进行冷藏，可以使得暂时不使用的光阻物料进行回收以便下次使用，而不造成浪费；相反，若根据物理信息判断无法冷冻后再次使用时，则送去处理室处理，避免将不适合再次使用的光阻物料等送回冷冻室，造成后续制程的问题；本申请通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。

所述物料信息包括物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室，解冻完成次数在以下实施例中还有详细分析，本申请的预设情况包括停机操作和机台换料操作等，光阻材料又分为制作色阻或者是光刻胶等不同类型的材料，在不同制程时，需要使用到不同的光阻材料，因此在机台换料时，或是停机时，都需要将在机台上的光阻物料换下，如果检测到光阻物料的存量不为零，也就是光阻物料还有剩余的情况时，一般需要送回冷冻室保存以便下次使用，但若是该光阻物料已经多次重复使用了，则不需要再送回冷冻室保护，而需要送到处理室处理即可。

需要说明的是，本申请的以光阻物料为例，其它物料如同异方性导电胶膜(Anisotropic Conductive Film，ACF)也有光阻物料相同的特性，也可以适用于本申请，本申请的光阻材料主要有以下几点特性：首先，光阻物料需要冷冻，而且需要一定时长的冷冻，冷冻状态下才能防止变质，解冻光阻物料需要一定的时间，但是解冻完成后不能长时间不使用，也会变质，光阻物料虽然可以在解冻后重新冷冻后解冻使用，但是重复解冻的次数有限制，多次解冻容易造成光阻物料变质，不合适上机生产；因此本申请对光阻材料的冷冻、解冻时间和次数的控制包括如图2所示：

在A的步骤中：

A’：当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

在B的步骤中：

B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；

B2：当所述光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

在D的步骤中：

D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。

其中A步骤中，通过对冷冻时间记录，在冷冻时间不合格的情况下，不会对该光阻物料进行到下一状态的转换，可以防止系统将未冷冻完成的光阻物料送到下一步骤，使得未合格的光阻材料转换为下一状态，当系统检测到光阻物料需要解冻操作时，且光阻物料处于冷冻完成状态，则将光阻物料从冷冻室送出，并将光阻物料状态从冷冻完成状态转换为解冻状态；B步骤中本申请中解冻时间也是很重要的合格参数，通过系统对解冻时间计时，当计时达到第二预设时间时，则代表光阻物料已经完成解冻，从解冻状态转换到解冻完成状态，使得未完成解冻的光阻物料不会被送出，而处于解冻完成状态的光阻物料才会被送出，系统在检测到光阻物料上机操作时，将对应处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，使得对应的光阻物料状态从解冻完成状态转换到上机状态；D步骤中，本申请的光阻物料的重复解冻次数有一定限制，超出次数的光阻物料再次解冻后很可能质量达不到要求，因此需要对这一类型的光阻物料进行筛选，检测解冻完成次数，可以防止不良的光阻物料使用生产出不良的显示面板。

当系统迟迟未有上机操作时，而对应光阻物料已经处于解冻完成状态时，还包括：

在B2的步骤中：

B2’：当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。

本申请中的光阻物料解冻时间也是有限制的，在长时间解冻不使用该光阻物料时，长时间处于解冻完成状态的光阻物料容易发生变质的问题，因此还需设定第三预设时间，在光阻物料处于解冻完成状态的，进行一段时间的等待上机操作，若是没有等到上机操作，则需要将该光阻物料送回冷冻室保存，但若是该光阻物料的解冻次数已经等于预设解冻次数，则应该将该光阻物料送回处理室，防止该光阻物料再次回到冷冻室进行制程。

如图3所示，与上一实施方式不同的是，本申请通过对冷冻送出次数进行限定，从而防止光阻物料多次冷冻解冻，在所述步骤B中：

B’：当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；

所述步骤D中：

D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。

物料重复使用的次数既可以在解冻完成次数进行限定，也可以在冷冻送出次数进行限定，将多次冷冻的光阻物料进行筛选，不让改光阻物料再一次进入到机台上使用。

如图4所示：在另一实施例中，还对送出冷冻室、送出解冻室到上机的时间进行监控，如以下，所述步骤B中：

B’：当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；

所述步骤C中：

C’：当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；

所述步骤D中：

D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格；若不符合，则判定检测不合格，送往处理室处理掉，避免不合格的光阻物料被用于制程而产出不良品。

光阻材料送出冷冻室后以及送出解冻室后需要在一定时间内上到机台，解冻太久的光阻物料不合适用于机台使用，因此需要对从解冻室送出到送上机台的时间进行检测，而实际生产中，可能因为搬运设备不够，搬运路程遥远或者是其它原因导致搬送路上耽误的光阻物料也不能用于机台生产，当光阻物料送上机台且时间合格，则是光阻物料状态由解冻完成状态进入上机状态。

当突发紧急情况，例如机台停机操作，机台异常，当发生这些紧急情况时，检测处于解冻状态的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并回到冷冻室；若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。使得未解冻完成的光阻物料可以回收到冷冻室继续保存，而解冻完成的光阻物料送回冷冻室保护，并记录一次解冻完成次数，还可以在送回冷冻室之前对解冻完成次数进行检测，当超出解冻次数时，不送回冷冻室保存，送到处理室处理，减少冷冻室的无效冷冻；所述紧急情况包括停机操作；预设情况包括停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作。当出现这类情况时，都会影响机台制程，因此会造成光阻物料的状态无法转换到下一状态，而且会出现光阻物料的解冻时间，上机时间等超时，因此需要设定以上措施将不使用的光阻物料保存起来。

如图5所示，作为本申请的另一实施例，本申请还公开了一种光阻物料的使用方法，所述使用方法是根据设定表进行自动化控制，所述使用方法包括：

S1：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；

S2：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；

S3：当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；

S4：当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；

S5：当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的解冻送出时间并将光阻物料送往机台；

S6：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及

S7：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；

其中，若是检测到光阻物料符合重置超时间使用表的重置调节，则立即关闭后续流程，并根据重置方法重置所述光阻材料的状态；

其中，所述设定表包括：光阻物料状态管控表、设定超时间使用时间表、重置超时间使用表和卡次数设定表；所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时；预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。

所述光阻物料状态管控表设定有光阻物料所有的状态以及不同状态之间的转换关系，所述预设状态包括：冷冻状态、冷冻完成状态、解冻状态、解冻完成状态和上机状态；所述物料状态管控表如下：

物料状态管控表

所述设定超时间使用时间表设定有第一预设时间、第二预设时间、第三预设时间、冷冻送出时间和解冻送出时间；所述设定超时间使用时间表如下：

设定超时间使用时间表

所述重置超时间使用表设定有所有的重置条件和对应的重置方法；

重置超时间使用表

本申请中的重置条件如上述紧急情况发生时进行的重置步骤；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并回到冷冻室；若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室；

所述卡次数设定表记录有：预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数。

卡次数设定表

如图6所示，作为本申请的另一实施例，公开了一种光阻物料的检测系统，使用上述的光阻物料的使用方法，所述检测系统1包括冷冻室10、解冻室20、机台30、搬送设备40和监控设备50；所述冷冻室10将所述光阻物料冷冻；所述解冻室20将冷冻后的光阻物料进行解冻；所述机台30使用光阻物料进行制程；所述搬送设备40将光阻物料从冷冻室10、解冻室20和机台30之间搬运；所述监控设备50对光阻物料进行识别，并收集并记录以上提及的光阻物料的状态信息、时间信息和次数信息。

需要说明的是，以上设定表里面的时间和次数，根据实际情况是可调的；本方案中涉及到的各步骤的限定，在不影响具体方案实施的前提下，并不认定为对步骤先后顺序做出限定，写在前面的步骤可以是在先执行的，也可以是在后执行的，甚至也可以是同时执行的，只要能实施本方案，都应当视为属于本申请的保护范围。

本申请的技术方案可以广泛用于各种显示面板，如TN(Twisted Nematic，扭曲向列型)显示面板、IPS(In-Plane Switching，平面转换型)显示面板、VA(VerticalAlignment，垂直配向型)显示面板、MVA(Multi-Domain Vertical Alignment，多象限垂直配向型)显示面板，当然，也可以是其他类型的显示面板，如OLED(Organic Light-EmittingDiode，有机发光二极管)显示面板，均可适用上述方案。

以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。