一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备。

背景技术

传统的镀制疏水疏油膜层的方法主要是喷涂法和真空蒸发镀膜法，喷涂法一般是在大气环境下完成，但是液态药液结晶的机率大，喷涂不均匀，液态原料浪费大，而原料比较昂贵，导致生产成本高居不下；真空蒸发镀膜法主要是采用阻蒸(蒸发舟)或者电子束间接加热的方式，将事先已经制备好的疏水疏油药丸中的有效成分，通过升华，蒸发到基材表面，但这种方法无法实现连续镀膜生产，产量低，成本高。

现有的液态原料真空蒸发的连续镀膜设备，主要是针对片状基材的连续镀膜生产线，并且这些设备几乎都需要从国外进口，进口设备价格高，产品成本昂贵，无法满足国内大批量生产，并且国外设备的基材幅宽比较窄，无法适用大幅宽基材，尤其是卷对卷的柔性基材的连续镀膜生产。

发明内容

针对现有技术中存在的技术问题，本发明的目的是：提供一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，能够连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产产品的需求。

为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷机构、镀膜机构、收卷机构，放卷机构包括放卷辊，收卷机构包括收卷辊，镀膜机构包括液态原料蒸发装置，在基材运行的路径上还设置有离子清洗装置、加热器和多个引导辊，从放卷辊出来的基材依次经过多个引导辊、收卷辊，离子清洗装置用于对基材进行离子清洗，加热器用于对基材进行加热，液态原料蒸发装置的喷射方向朝向基材。

进一步的，镀膜机构还包括第一镀膜辊，液态原料蒸发装置位于第一镀膜辊处。

进一步的，第一镀膜辊处还设有镀膜源。

进一步的，镀膜机构还包括第二镀膜辊，第二镀膜辊位于放卷辊与液态原料蒸发装置之间，第二镀膜辊处设有镀膜源。

进一步的，真空室包括依次设置的放卷室、镀膜室、收卷室，放卷辊、离子清洗装置和加热器均位于放卷室中，镀膜机构位于镀膜室中，收卷辊位于收卷室中，放卷室与镀膜室的相接处设有第一隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有第二隔膜阀。

进一步的，真空室包括收放卷室和镀膜室，放卷辊、离子清洗装置、加热器和收卷辊均位于收放卷室中，镀膜机构位于镀膜室中，收放卷室与镀膜室的相接处设有第一隔膜阀和第二隔膜阀。

进一步的，真空室包括镀膜室，放卷辊、离子清洗装置、加热器、镀膜机构和收卷辊均位于镀膜室中。

进一步的，真空室内设有隔板，液态原料蒸发装置包括滴定管、传送机构和加热件，滴定管位于隔板的一侧，加热件位于隔板的另一侧，传送机构贯穿隔板，传送机构的一端与滴定管相连通，传送机构的另一端位于加热件内，滴定管的入口位于真空室外，加热件上设有多个喷射孔。

进一步的，传送机构的数量为两个，两个传送机构的一端相连接，两个传送机构的另一端分别向两侧倾斜。

进一步的，加热件与基材之间还设置有膜厚测量仪。

总的说来，本发明具有如下优点：

一、本发明能够在大幅宽基材上连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产产品的需求，并且工艺重复性优，产量大，效率高，产品质量稳定。

二、本发明不仅能够在原膜上镀制疏水疏油膜层，也能够在已镀制有其他膜层的基材上镀制疏水疏油膜层，还能够在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜，适用范围广。

三、本发明的液态原料是在大气下添加，不影响液态原料蒸发装置的正常使用，维护方便，设备稳定性高。

附图说明

图1是本发明实施例一的结构示意图。

图2是本发明实施例二的结构示意图。

图3是本发明实施例三的结构示意图。

图4是本发明实施例四的结构示意图。

图5是本发明实施例五的结构示意图。

图6是本发明实施例六的结构示意图。

图7是本发明的液态原料蒸发装置(传送机构的数量为一个)的主视图。

图8是本发明的液态原料蒸发装置(传送机构的数量为一个)的侧视图。

图9是本发明的液态原料蒸发装置(传送机构的数量为两个)的主视图。

图10是本发明的液态原料蒸发装置(传送机构的数量为两个)的侧视图。

其中：1为放卷辊，2为离子清洗装置，3为加热器，4为第一镀膜辊，5为收卷辊，6为液态原料蒸发装置，6-1为滴定管，6-2为传送机构，6-3为加热件，7为引导辊，8为真空室，8-1为放卷室，8-2为镀膜室，8-3为收卷室，8-4为收放卷室，8-5为隔板，8-6为抽真空口，9为第一隔膜阀，10为第二隔膜阀，11为第二镀膜辊，12为镀膜源，13为基材，14为膜厚测量仪。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施方式来对本发明做进一步详细的说明。

实施例一

如图1所示，一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷机构、镀膜机构、收卷机构，放卷机构包括放卷辊，收卷机构包括收卷辊，镀膜机构包括液态原料蒸发装置，在基材运行的路径上还设置有离子清洗装置、加热器和多个引导辊，从放卷辊出来的基材依次经过多个引导辊、收卷辊，离子清洗装置用于对基材进行离子清洗，加热器用于对基材进行加热，液态原料蒸发装置的喷射方向朝向基材。

如图1所示，真空室包括依次设置的放卷室、镀膜室、收卷室，放卷辊、离子清洗装置和加热器均位于放卷室中，镀膜机构位于镀膜室中，收卷辊位于收卷室中，放卷室与镀膜室的相接处设有第一隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有第二隔膜阀。从放卷辊出来的基材依次经过第一隔膜阀、第二隔膜阀、收卷辊，在基材运行的过程中，基材还经过多个引导辊的引导。液态原料蒸发装置对两个引导辊之间的基材进行镀膜，即悬浮镀膜。

设置第一隔膜阀和第二隔膜阀能够使得放卷室、镀膜室、收卷室长期保持真空状态，三个室之间不会互相影响，更换基材时，也不会破坏镀膜室的真空状态。

本发明的基材主要是BOPP/PET/PEN/PI/PC/PE等有机薄膜或柔性玻璃、金属箔材等柔性材料。

离子清洗装置采用线性离子源/阳极层离子源进行清洗，或者采用辉光放电进行清洗。

加热器为两个板状加热器，两个板状加热器对称设置在基材的两侧，可同时对基材的两面进行加热。板状加热器可为红外加热器。

如图7至图10所示，真空室内设有隔板，液态原料蒸发装置包括滴定管、传送机构和加热件，滴定管位于隔板的一侧，加热件位于隔板的另一侧，传送机构贯穿隔板，传送机构的一端与滴定管相连通，传送机构的另一端位于加热件内，滴定管的入口位于真空室外，加热件上设有多个喷射孔，真空室上设有抽真空口。

如图7至图10所示，加热件与基材之间还设置有膜厚测量仪。膜厚测量仪为石英晶体测厚仪，通过石英晶体测厚仪的晶振片来测量膜层的厚度。

如图7至图10所示，传送机构的数量为一个或者两个，若传送机构的数量为一个，则传送机构竖直贯穿隔板，传送机构与基材垂直；若传送机构的数量为两个，两个传送机构的一端相连接，两个传送机构的另一端分别向两侧倾斜，即两个传送机构之间呈一定角度设置。

液态原料蒸发装置主要用于镀制疏水疏油膜层，在镀膜时，液态原料从滴定管入口进入，并流入到传送机构上，液态原料会在传送机构上固化，传送机构将固化的原料传送到加热件中，通过加热件的加热，原料进行蒸发形成蒸汽，并从加热件的喷射孔喷射到基材上，形成膜层，完成镀膜。在镀膜过程中，可以调整传送机构的角度，进而调整蒸发点位置，提高蒸汽分布的均匀性，实现高的沉积均匀性，提升产品品质。

实施例二

如图2所示，本实施例与实施例一的不同之处在于，在本实施例中，镀膜机构还包括第一镀膜辊，液态原料蒸发装置位于第一镀膜辊处。从放卷辊出来的基材依次经过第一隔膜阀、第一镀膜辊、第二隔膜阀、收卷辊，在基材运行的过程中，基材还经过多个引导辊的引导，液态原料蒸发装置对第一镀膜辊上的基材进行镀膜。

实施例三

如图3所示，本实施例与实施例二的不同之处在于，在本实施例中，第一镀膜辊处还设有镀膜源。镀膜源为磁控溅射阴极、蒸发源、电弧源或者PECVD源。通过镀膜源可以镀制金属膜、介质膜等其他膜层，可实现在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜。

实施例四

如图4所示，本实施例与实施例三的不同之处在于，在本实施例中，真空室不包括放卷室、收卷室，真空室包括镀膜室，放卷辊、离子清洗装置、加热器、镀膜机构和收卷辊均位于镀膜室中。所有的结构均位于镀膜室中，可以节省空间。

实施例五

如图5所示，本实施例与实施例一的不同之处在于，在本实施例中，镀膜机构还包括第二镀膜辊，第二镀膜辊位于放卷辊与液态原料蒸发装置之间，第二镀膜辊处设有镀膜源；真空室不包括放卷室和收卷室，真空室包括收放卷室和镀膜室，放卷辊、离子清洗装置、加热器和收卷辊均位于收放卷室中，镀膜机构位于镀膜室中，收放卷室与镀膜室的相接处设有第一隔膜阀和第二隔膜阀。

从放卷辊出来的基材依次经过第一隔膜阀、第二镀膜辊、第二隔膜阀、收卷辊，在基材运行的过程中，基材还经过多个引导辊的引导。

镀膜源为磁控溅射阴极、蒸发源、电弧源或者PECVD源。通过镀膜源可以镀制金属膜、介质膜等其他膜层，可实现在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜。

放卷辊和收卷辊均位于收放卷室中，能够节省空间。

设置第一隔膜阀和第二隔膜阀能够使得收放卷室和镀膜室长期保持真空状态，两个室之间不会互相影响，更换基材时，也不会破坏镀膜室的真空状态。

实施例六

如图6所示，本实施例与实施例五的不同之处在于，在本实施例中，镀膜机构还包括第一镀膜辊，液态原料蒸发装置位于第一镀膜辊处。从放卷辊出来的基材依次经过第一隔膜阀、第二镀膜辊、第一镀膜辊、第二隔膜阀、收卷辊，在基材运行的过程中，基材还经过多个引导辊的引导，液态原料蒸发装置对第一镀膜辊上的基材进行镀膜。

总的说来，本发明能够在大幅宽基材上连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产产品的需求，并且工艺重复性优，产量大，效率高，产品质量稳定。本发明不仅能够在原膜上镀制疏水疏油膜层，也能够在已镀制有其他膜层的基材上镀制疏水疏油膜层，还能够在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜，适用范围广。本发明的液态原料是在大气下添加，不影响液态原料蒸发装置的正常使用，维护方便，设备稳定性高。

上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。