一种探针台针痕检测方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种探针台针痕检测方法。

背景技术

传统针痕检测方式为先运动到第一幅待检测图像位置，对当前图像中的所有芯片焊点(pad)进行图像数据处理并给出结果，然后进行下一次运动后继续对图像数据进行处理。采用这种运动与图像处理交替进行的方式时，当需要检查的pad数量很大时，检测非常耗时，且效率低，会占用大量的测试时间。

发明内容

针对上述问题，本发明提出了一种探针台针痕检测方法，采用双线程模式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。

本发明提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动、图像处理、数据保存同时进行。

优选地，针痕检测步骤包括：

S1：根据die尺寸和相机视场尺寸计算检测区域数n；

S2：根据当前die的坐标和区域数n计算出每个检测区域的坐标(X

S3：启动运动线程和图像线程同时工作。

优选地，运动线程通过移动承载晶圆的平台使待测晶圆到指定位置。

优选地，运动线程检测到(X

当i

当i>n时，运动线程结束工作。

优选地，运动线程将待测区域移动到相机下，每一次的运动时间为t

优选地，图像线程通过相机检测图像，获取待测晶圆上芯片焊点的针痕检测数据并保存。

优选地，图像线程每一次的处理时间为：t

优选地，运动线程和图像线程同时工作的时间为：max(∑t

本发明能够得到以下有益效果：

(1)本文提出的探针台多线程针痕检测方法，采用运动和图像处理并行的方式，提高了检测效率，尤其当待检查的pad个数非常多时，能够极大缩短针痕检测时间，提高测试效率。

(2)该方法也可以应用于探针台其它功能，缩短探针台测试时间，提高探针台测试效率。

附图说明

图1是本发明的一种探针台针痕检测方法的检测程序图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。

下面将结合实施例对本发明提供的一种探针台针痕检测方法进行详细说明。

本发明提供一种探针台针痕检测方法，通过建立运动线程和图像线程并行工作，使探针台的晶圆移动和图像处理以及数据保存同时进行。

本发明的一个实施例中，在进行探针台针痕检测时，建立两个线程，第一个线程负责移动承载平台，第二个线程负责图像处理，两个线程同时启动，当运动线程捕捉到第一次图像时，图像线程同时进行采集图像的处理工作；在图像线程处理的同时，运动线程进行第二次图像捕捉，并以此类推实行两个线程的并行工作。

图1是本发明的一种探针台针痕检测方法的程序图。

如图1所示，针痕检测步骤包括：

S1：根据die尺寸和相机视场尺寸计算检测区域数n；

S2：根据当前die的坐标和区域数n计算出每个检测区域的坐标(X

S3：启动两个线程同时工作。

在启动线程前，根据die的尺寸和相机视场尺寸计算出检测区域数n；然后根据当前die的坐标和区域数n计算出每个检测区域的坐标，然后启动运动线程和图像处理线程。

本发明的一个实施例中，根据die的尺寸和相机视场尺寸计算出检测区域数n，计算方法如下：假设相机视场尺寸大小为0.6mm×0.6mm，为了避免需要识别的pad运动到视场边缘而影响识别，所以将有效视场尺寸定位为0.5mm×0.5mm；一个die的尺寸为4mm×4mm，那么识别die中所有pad所需要的检测区域数为64；如果该区域中没有需要检测的pad，便将该区域删掉。

本发明中提到的die指芯片，pad指芯片上的一个焊点。

运动线程根据计算出的每个检测区域的坐标依次的移动，图像线程也依照运动线程捕捉到的图像依次进行图像处理。

本发明的一个实施例中，运动线程只负责移动承载晶圆的平台，将每个检测区域运动到相机下。当运动线程检测到(X

当i

当i>n时，运动线程结束工作。每一次运动的时间记为t

本发明提供的探针台针痕检测方法能够在晶圆测试过程中监测测试精度稳定性，保证测试良率，还能够监测针卡的使用情况，是否有针出现异常等。且采用双线程模式，同时进行运动和图像数据处理，极大地提高了检测效率。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。