测温装置的调节装置

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种测温装置的调节装置。

背景技术

碳化硅(SiC)单晶具有高导热率、高击穿电压、载流子迁移率极高和化学稳定性很高等优良的半导体物理性质，其可以制作在高温和强辐射条件下工作的高频、高功率电子器件和光电子器件，在国防、工业生产、供电和变电领域具有巨大的应用价值。在碳化硅晶体的生长过程中，需要使用测温装置对晶体的温度进行长时间的准确监测，并在晶体生长的不同阶段调节不同的监测范围，以便及时调节热场分布，保证晶体的生长过程均匀且稳定。

现有的测温装置38的调节装置通过使测温装置38朝不同方向倾斜，以使测温装置38发射的测温光束照射向不同的范围，从而在晶体生长的不同阶段调节不同的监测范围。如图10和图11所示，现有的一种调节装置包括底座31、调节板32、固定架33、四个调节螺柱34、四个调节螺母35、四个锁紧螺母36和四个弹簧37，测温装置38通过固定架33固定在调节板32上，各调节螺柱34的底端旋入底座31的螺纹孔中，顶端贯穿调节板32，四个调节螺柱34用于对调节板32和固定在调节板32上的测温装置38进行支撑。在需要对测温装置38的监测范围进行调节时，在选定测温装置38需要倾斜的方向后，可以首先松开该方向上的锁紧螺母36，同时拧紧对应的调节螺母35，使调节螺母35压迫调节板32位于该方向上的部分向下运动，从而通过改变调节板32在该方向上的倾斜角度，来改变测温装置38的俯仰角度随之改变，继而改变测温装置38的检测范围，在测温装置38的俯仰角度合适后，再拧紧锁紧螺母36，将调节板32在该方向上的倾斜角度固定，进而完成调节。

现有的调节装置在每次对测温装置38进行调节时，需要先使用工具松开锁紧螺母36，再使用工具对调节螺母35进行调节，在调节合适后，还要使用工具将锁紧螺母36锁紧，才能完成调节，导致调节操作不便，调节过程十分复杂，并且，当测温装置38需要调节的俯仰角度较大时，还需要将所有的锁紧螺母36松开，再对所有的调节螺母均进行调节，在调节合适后，再将所有的锁紧螺母36锁紧，才能完成调节，另外，在调节完成后，若未调节准确，还需要反复进行调节，反复进行拆装置，这就使得调节操作更加不便，且调节过程更加繁琐。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种测温装置的调节装置，其能够简便高效的对测温装置进行调节，使测温装置朝不同方向倾斜。

为实现本发明的目的而提供一种测温装置的调节装置，用于半导体工艺设备中，包括第一承载件、第二承载件和调节组件，其中，

所述第一承载件与所述测温装置连接，用于对所述测温装置进行承载；所述第二承载件位于所述第一承载件下方，并与所述第一承载件相对设置；

所述调节组件设置在所述第一承载件与所述第二承载件之间，且所述调节组件上设置有至少一个调节旋钮，所述调节组件用于通过旋转所述调节旋钮以调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向。

可选的，所述调节组件包括两个所述调节旋钮、支撑件和弹性连接件，其中，

所述弹性连接件的两端分别固定连接于所述第一承载件和所述第二承载件相对的表面，且用于在所述调节旋钮调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向时，产生弹性形变对所述第一承载件进行支撑；

所述调节旋钮面向所述第二承载件的一面固定在所述第二承载件上，面向所述第一承载件的一面与所述第一承载件滚动接触；

所述支撑件分别与所述第二承载件和所述第一承载件相对的两面滚动接触；

所述弹性连接件设置于所述第一承载件与所述第二承载件之间的中部区域，两个所述调节旋钮、所述支撑件间隔分布在所述弹性连接件的周围。

可选的，所述调节旋钮包括滚珠、滚轮和转轴；其中，

所述第二承载件上设置有供所述转轴插入的容纳孔，所述转轴的外周设置有外螺纹，所述容纳孔中设置有与所述外螺纹配合内螺纹；

所述滚轮设置在所述转轴上，且所述滚轮的边缘相对于所述第一承载件和所述第二承载件的边缘凸出，所述滚轮的旋转能够带动所述转轴在所述容纳孔中转动，使所述转轴伸入所述容纳孔或者从所述容纳孔中伸出；

所述滚珠设置在所述滚轮面向所述第一承载件的一面，所述滚珠用于与所述第一承载件的表面进行滚动接触。

可选的，所述第一承载件面向所述第二承载件的表面上与两个所述调节旋钮对应的区域设置有容纳结构，所述容纳结构用于为对应的所述调节旋钮提供旋转空间。

可选的，所述支撑件包括转动体和座体，其中，

所述座体设置在所述第二承载件上，且所述座体中设置有容纳所述转动体的第一容纳槽；所述第一承载件面向所述第二承载件的一面设置有容纳所述转动体的第二容纳槽；所述第二容纳槽与所述第一容纳槽对应设置；

所述转动体可旋转的设置在所述第一容纳槽和所述第二容纳槽中，以在所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向发生改变时，与所述第一承载件和所述第二承载件产生滚动接触。

可选的，所述弹性连接件包括弹簧板，所述弹簧板包括第一连接部、第二连接部和过渡部；其中，

所述第一连接部与所述第一承载件连接，所述第二连接部与所述第二承载件连接，所述过渡部分别与所述第一连接部和所述第二连接部连接；

所述第一连接部与所述第二连接部平行设置，所述过渡部相对于所述第一连接部和所述第二连接部倾斜设置。

可选的，所述弹簧板上开设有多个通孔。

可选的，所述过渡部相对于所述第一连接部和所述第二连接部的倾斜角度为3°-20°。

可选的，所述第一承载件和所述第二承载件均呈板状，所述测温装置承载于所述第一承载件背离所述第二承载件的一面上，所述第一承载件和所述第二承载件分别设置有第一透光结构和第二透光结构，所述第一透光结构和所述第二透光结构对应设置，用于供所述测温装置发射的测温光束透过。

可选的，所述过渡部上设置有第三透光结构，所述第三透光结构与所述第一透光结构和所述第二透光结构均对应设置，用于供所述测温装置发射的测温光束透过。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的测温装置的调节装置，通过旋转设置在第一承载件与第二承载件之间的调节旋钮，可以调节第一承载件相对于第二承载件的倾斜方向，由于第一承载件与测温装置连接，对测温装置进行承载，因此，通过调节第一承载件相对于第二承载件的倾斜方向，就可以调节测温装置的倾斜方向，使测温装置朝不同方向倾斜，由于调节组件设置在第一承载件与第二承载件之间，因此，在调节测温装置倾斜方向的过程中，调节组件仅会对第一承载件施加向上的支撑力，而不会对第一承载件施加向下的压力，并且，也不会借助向下的压力对第一承载件进行固定，因此，在调节第一承载件相对于第二承载件的倾斜方向的过程中，调节组件不会对第一承载件的倾斜造成干涉，从而无需对调节组件进行拆装，就可以调节第一承载件相对于第二承载件的倾斜方向，进而能够简便高效的对测温装置进行调节，使测温装置朝不同方向倾斜。

附图说明

图1为本发明实施例提供的测温装置的调节装置承载测温装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的第二承载件以及设置在第二承载件上的第一调节件、第二调节件、支撑件和弹性连接件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的第一调节件和第二调节件的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的第二承载件的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的第一承载件的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的第一容纳槽和第二容纳槽容纳转动体的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的弹性连接件的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的测温装置的调节装置的弹性连接件及其上开孔的结构示意图；

图10为现有技术中的一种测温装置的调节装置的结构示意图；

图11为现有技术中的一种测温装置的调节装置的局部结构示意图；

附图标记说明：

11-第一承载件；111-第一透光结构；112-第一连接孔；113-第二容纳槽；114-容纳结构；12-第二承载件；121-容纳孔；122-第二透光结构；13-支撑件；131-座体；132-转动体；133-第一容纳槽；14-弹性连接件；141-第一连接部；142-第二连接部；143-过渡部；144-通孔；145-第三透光结构；146-第一安装孔；147-第二安装孔；17-调节旋钮；171-滚轮；172-转轴；173-滚珠；18-夹持部件；19-销轴；21-测温装置；31-底座；32-调节板；33-固定架；34-调节螺柱；35-调节螺母；36-锁紧螺母；37-弹簧；38-测温装置。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的测温装置的调节装置进行详细描述。

如图1所示，本实施例提供一种测温装置21的调节装置，用于半导体工艺设备中，包括第一承载件11、第二承载件12和调节组件，其中，第一承载件11与测温装置21连接，用于对测温装置21进行承载；第二承载件12位于第一承载件11下方，并与第一承载件11相对设置；调节组件设置在第一承载件11与第二承载件12之间，且调节组件上设置有至少一个调节旋钮17，调节组件用于通过旋转调节旋钮17以调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向。

本发明实施例提供的测温装置21的调节装置，通过旋转设置在第一承载件11与第二承载件12之间的调节旋钮17，可以调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向，由于第一承载件11与测温装置21连接，对测温装置21进行承载，因此，通过调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向，就可以调节测温装置21的倾斜方向，使测温装置21朝不同方向倾斜，由于调节组件设置在第一承载件11与第二承载件12之间，因此，在调节测温装置21倾斜方向的过程中，调节组件仅会对第一承载件11施加向上的支撑力，而不会对第一承载件11施加向下的压力，并且，也不会借助向下的压力对第一承载件11进行固定，因此，在第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向的过程中，调节组件不会对第一承载件11的倾斜造成干涉，从而无需对调节组件进行拆装，就可以调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向，进而能够简便高效的对测温装置21进行调节，使测温装置21朝不同方向倾斜。

如图2和图3所示，在本发明一优选实施例中，调节组件可以包括两个调节旋钮17、支撑件13和弹性连接件14，其中，弹性连接件14的两端分别固定连接于第一承载件11和第二承载件12相对的表面，且用于在调节旋钮17调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向时，产生弹性形变对第一承载件11进行支撑；调节旋钮17面向第二承载件12的一面固定在第二承载件12上，面向第一承载件11的一面与第一承载件11滚动接触；支撑件13分别与第二承载件12和第一承载件11相对的两面滚动接触；弹性连接件14设置于第一承载件11与第二承载件12之间的中部区域，两个调节旋钮17、支撑件13间隔分布在弹性连接件14的周围。

具体来说，以如图2所示的调节装置的前、后、左、右，如图3所示的支撑件13和两个调节旋钮17分别位于前、左和右，弹性连接件14位于第一承载件11与第二承载件12之间的中部区域为例来对本发明实施例提供的测温装置21的调节装置进行说明。弹性连接件14位于第一承载件11与第二承载件12之间的中部区域，一端与第一承载件11相对第二承载件12的一面固定连接，另一端与第二承载件12相对第一承载件11的一面固定连接，以将第一承载件11与第二承载件12连接，即，第一承载件11与第二承载件12通过弹性连接件14连接，由于弹性连接件14具有弹性，因此，弹性连接件14可以对第一承载件11进行支撑，并且，当旋转调节旋钮17调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向时，弹性连接件14可以产生弹性形变，使第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向能够改变，并同时对第一承载件11进行支撑。支撑件13位于弹性连接件14的前侧，两个调节旋钮17分别位于弹性连接件14的左侧和右侧，且支撑件13和两个调节旋钮17间隔设置，即，弹性连接件14设置于第一承载件11与第二承载件12之间的中部区域，两个调节旋钮17、支撑件13间隔分布在弹性连接件14的周围。

调节旋钮17面向第二承载件12的一面固定在第二承载件12上，面向第一承载件11的一面与第一承载件11滚动接触，这样在旋转调节旋钮17调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向时，可以使调节旋钮17与第一承载件11之间形成滚动摩擦，从而降低调节旋钮17与第一承载件11之间的摩擦力，继而减小调节旋钮17与第一承载件11的磨损，进而提高调节装置的使用寿命。支撑件13分别与第二承载件12和第一承载件11相对的两面滚动接触，这样在旋转调节旋钮17调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向时，可以使支撑件13分别与第一承载件11和第二承载件12之间形成滚动摩擦，从而降低支撑件13分别与第一承载件11和第二承载件12之间的摩擦力，继而减小支撑件13分别与第一承载件11和第二承载件12的磨损，进而提高调节装置的使用寿命。

但是，支撑件13、弹性连接件14和两个调节旋钮17各自的位置，以及相互的相对位置均并不以此为限。

如图2所示的调节装置的状态为第一承载件11相对于第二承载件12处于平行的状态，即，第一承载件11未相对于第二承载件12倾斜的状态。在借助本发明实施例提供的测温装置21的调节装置对测温装置21进行调节的过程中，当需要对测温装置21进行调节，使测温装置21朝右侧倾斜时，则可以调节左侧的调节旋钮17，使调节旋钮17的高度高于右侧的调节旋钮17，以使调节旋钮17对第一承载件11的与其对应的左侧的高度升高，或者可以调节右侧的调节旋钮17，使调节旋钮17的高度低于左侧的调节旋钮17的高度，以使调节旋钮17对第一承载件11的与其对应的右侧的高度降低，从而使第一承载件11相对于第二承载件12朝右侧倾斜，继而就能够使测温装置21朝右侧倾斜，此时，第一承载件11可以由两个调节旋钮17、支撑件13和弹性连接件14共同支撑。

当需要对测温装置21进行调节，使测温装置21朝左侧倾斜时，则可以调节右侧的调节旋钮17，使调节旋钮17的高度高于左侧的调节旋钮17的高度，以使调节旋钮17对第一承载件11的与其对应的右侧的高度升高，或者可以调节左侧的调节旋钮17，使调节旋钮17的高度低于右侧的调节旋钮17的高度，以使调节旋钮17对第一承载件11的与其对应的左侧的高度降低，从而使第一承载件11相对于第二承载件12朝左侧倾斜，继而就能够使测温装置21朝左侧倾斜，此时，第一承载件11可以由两个调节旋钮17、支撑件13和弹性连接件14共同支撑。

当需要对测温装置21进行调节，使测温装置21朝后侧倾斜时，则可以同时调节左侧的调节旋钮17和右侧的调节旋钮17，使两个调节旋钮17的高度均低于前侧的支撑件13的高度，以使两个调节旋钮17分别对第一承载件11的与各自对应的左侧和右侧的高度降低，此时，由于支撑件13对第一承载件11的前侧进行支撑，而弹性连接件14会受到第一承载件11以及测温装置21的重力，因此，第一承载件11的后侧的高度会降低，从而带动前侧的高度升高，使第一承载件11相对于第二承载件12朝后侧倾斜，继而就能够使测温装置21朝后侧倾斜，此时，第一承载件11可以由两个调节旋钮17和弹性连接件14共同支撑。

当需要对测温装置21进行调节，使测温装置21朝前侧倾斜时，则可以同时调节左侧的调节旋钮17和右侧的调节旋钮17，使两个调节旋钮17的高度均高于前侧的支撑件13的高度，以使两个调节旋钮17分别对第一承载件11的与各自对应的左侧和右侧的高度升高，此时，由于弹性连接件14的弹力可以对第一承载件11进行支撑，而支撑件13对第一承载件11的前侧的支撑高度不变，因此，第一承载件11的前侧的高度不会发生变化，而后侧的高度会升高，从而使第一承载件11相对于第二承载件12朝前侧倾斜，继而就能够使测温装置21朝前侧倾斜，此时，第一承载件11可以由两个调节旋钮17、支撑件13和弹性连接件14共同支撑。

如图3-图5所示，在本发明一优选实施例中，调节旋钮17可以均包括滚珠173、滚轮171和转轴172；其中，第二承载件12上设置有供转轴172插入的容纳孔121，转轴172的外周设置有外螺纹(图中未示出)，容纳孔121中设置有与外螺纹配合内螺纹(图中未示出)，滚轮171设置在转轴172上，且滚轮171的边缘相对于第一承载件11和第二承载件12的边缘凸出，滚轮171的旋转能够带动转轴172在容纳孔121中转动，使转轴172伸入容纳孔121或者从容纳孔121中伸出；滚珠173设置在滚轮171面向第一承载件11的一面，滚珠173用于与第一承载件11的表面进行滚动接触。

由于滚轮171的边缘相对于第一承载件11和第二承载件12的边缘凸出，因此，在对测温装置21进行调节的过程中，可以直接通过旋转滚轮171带动转轴172在容纳孔121中转动，由于转轴172的外周设置有外螺纹，容纳孔121中设置有与外螺纹配合内螺纹，因此，当转轴172在容纳孔121中转动时，转轴172会伸入容纳孔121或者从容纳孔121中伸出，使转轴172会相对于容纳孔121下降或者上升，从而带动滚轮171下降或者上升，继而通过滚轮171带动第一承载件11下降或者上升，继而使第一承载件11与滚轮171对应的位置的高度降低或者升高，进而调节第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向。

并且，如图3和图4所示，滚轮171面向第一承载件11的一面设置有，用于与第一承载件11的表面进行滚动接触的滚珠173，因此，当滚轮171带动第一承载件11下降或者上升时，是由滚珠173与第一承载件11面向滚轮171的一面滚动接触，而不是由滚轮171与第一承载件11面向滚轮171的一面直接接触，这样就可以使调节旋钮17与第一承载件11之间形成滚动摩擦，从而降低调节旋钮17与第一承载件11之间的摩擦力，继而减小调节旋钮17与第一承载件11的磨损，进而提高调节装置的使用寿命。

如图6所示，在本发明一优选实施例中，第一承载件11面向第二承载件12的表面上可以与两个调节旋钮17对应的区域设置有容纳结构114，容纳结构114用于为对应的调节旋钮17提供旋转空间。

借助容纳结构114将调节旋钮17容纳于其中，并使调节旋钮17可以在其中旋转，可以减小第一承载件11和第二承载件12之间的距离，从而提高调节装置的使用稳定性。

如图6所示，容纳结构114可以包括设置在第一承载件11面向第二承载件12的表面上与两个调节旋钮17对应的区域的沉孔，且沉孔的内径大于滚轮171的外径。

如图3、图5-图7所示，在本发明一优选实施例中，支撑件13可以包括转动体132和座体131，其中，座体131设置在第二承载件12上，且座体131中设置有容纳转动体132的第一容纳槽133，第一承载件11面向第二承载件12的一面设置有容纳转动体132的第二容纳槽113；第二容纳槽113与第一容纳槽133对应设置；转动体132可旋转的设置在第一容纳槽133和第二容纳槽113中，以在第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向发生改变时，与第一承载件11和第二承载件12产生滚动接触。

当第一承载件11相对于第二承载件12的倾斜方向发生改变时，第一承载件11会对与其面向第二承载件12的一面接触的转动体132产生作用力，由于转动体132可旋转的设置在第一容纳槽133和第二容纳槽113中，因此，转动体132在受到第一承载件11对其产生的作用力时，转动体132会在第一容纳槽133和第二容纳槽113发生旋转，从而与第一承载件11和第二承载件12产生滚动接触，继而降低支撑件13与第一承载件11和第二承载件12之间的摩擦力，进而减小支撑件13、第一承载件11和第二承载件12的磨损，提高调节装置的使用寿命。

并且，由于转动体132可旋转的设置在第一容纳槽133和第二容纳槽113中，且第一容纳槽133和第二容纳槽113对应设置，因此，这样可以借助对应设置的第一容纳槽133和第二容纳槽113将转动体132容纳在二者之间，避免转动体132在旋转的过程中，从第一容纳槽133或第二容纳槽113中脱离出，从而提高调节装置的使用稳定性。

可选的，转动体132可以为滚珠。

如图3和图8所示，在本发明一优选实施例中，弹性连接件14可以包括弹簧板，弹簧板包括第一连接部141、第二连接部142和过渡部143，其中，第一连接部141与第一承载件11连接，第二连接部142与第二承载件12连接，过渡部143分别与第一连接部141和第二连接部142连接；第一连接部141与第二连接部142平行设置，过渡部143相对于第一连接部141和第二连接部142倾斜设置。

通过使第一连接部141与第二连接部142平行设置，并使过渡部143分别与第一连接部141和第二连接部142连接，且使过渡部143相对于第一连接部141和第二连接部142倾斜设置，可以在第一承载件11相对于第二承载件12处于平行的状态，使弹簧板处于拉伸状态，即，弹簧板已经产生弹性形变的状态，此时弹簧板具有回弹力，这样的设计可以在需要对测温装置21进行调节，使测温装置21朝后侧倾斜时，在同时调节左侧和右侧的两个调节旋钮17，使两个调节旋钮17的高度均低于前侧的支撑件13的高度的过程中，借助弹簧板的回弹力，可以使第一承载件11相对于第二承载件12更容易的朝后侧倾斜，继而就能够更容易的使测温装置21朝后侧倾斜。

如图6和图9所示，第一连接部141与第一承载件11面向第二承载件12的一面连接，第一连接部141上可以开设有第一安装孔146，第一承载件11上可以开设有第一连接孔112，通过销轴(图中未示出)穿过第一连接孔112，并插入至第一安装孔146中，可以将第一连接部141与第一承载件11连接。

如图5和图9所示，第二连接部142与第二承载件12面向第一承载件11的一面连接，第二连接部142上可以开设有第二安装孔147，第二承载件12上可以开设有第二连接孔，通过销轴19穿过第二连接孔，并插入至第二安装孔147中，可以将第二连接部142与第二承载件12连接。

如图9所示，在本发明一优选实施例中，弹簧板上可以开设有多个通孔144。这样可以降低弹簧板产生弹性弹性形变时的应力，提高弹簧板的弹性，使弹簧板能够更容易的产生弹性形变，并使第一承载件11能够更容易的相对于第二承载件12产生倾斜。

如图9所示，第一连接部141与过渡部143的连接处开设有通孔144，第二连接部142与过渡部143的连接处开设有通孔144，过渡部143上开设有通孔144。

在本发明一优选实施例中，过渡部143相对于第一连接部141和第二连接部142的倾斜角度可以为3°-20°。

如图2、图3、图5和图6所示，在本发明一优选实施例中，第一承载件11和第二承载件12可以均呈板状，测温装置21承载于第一承载件11背离第二承载件12的一面上，第一承载件11和第二承载件12分别设置有第一透光结构111和第二透光结构122，第一透光结构111和第二透光结构122对应设置，用于供测温装置21发射的测温光束透过。

测温装置21通过向待检测物体(例如，SiC晶体)发射测温光束，来对待检测物体的温度进行检测，由于测温装置21承载于呈板状的第一承载件11背离第二承载件12的一面上，为了避免呈板状的第一承载件11对测温装置21发射的测温光束造成遮挡，因此，可以在第一承载件11和第二承载件12分别设置第一透光结构111和第二透光结构122，并使第一透光结构111和第二透光结构122对应设置，以使测温装置21的测温光束能够透过第一透光结构111和第二透光结构122发射向待检测物体。

可选的，第一透光结构111可以包括第一透光孔。

可选的，第二透光结构122可以包括第二透光孔。

可选的，测温装置21可以包括红外测温仪。

如图1所示，在本发明一优选实施例中，本发明实施例提供的测温装置21的调节装置可以还包括夹持部件18，夹持部件18设置在第一承载件11上，用于对测温装置21进行夹持。

如图3和图9所示，在本发明一优选实施例中，过渡部143上可以设置有第三透光结构145，第三透光结构145与第一透光结构111和第二透光结构122均对应设置，用于供测温装置21发射的测温光束透过。这样可以避免例如弹簧板等弹性连接件14对测温装置21发射的测温光束造成遮挡，使测温装置21的测温光束能够透过第一透光结构111、第三透光结构145和第二透光结构122发射向待检测物体。

如图3所示，弹簧板设置在第一承载件11和第二承载件12之间的中部区域，弹簧板的第一连接部141与第一承载件11面向第二承载件12的一面连接，弹簧板的第二连接部142与第二承载件12面向第一承载件11的一面连接，弹簧板的过渡部143位于第一透光结构111和第二透光结构122之间，第三透光结构145设置在过渡部143上，并与第一透光结构111和第二透光结构122对应，测温装置21的测温光束会依次透过第一透光结构111、第三透光结构145和第二透光结构122发射向待检测物体。

可选的，第三透光结构145可以包括第三透光孔。

综上所述，本发明实施例提供的测温装置21的调节装置，能够简便高效的对测温装置21进行调节，使测温装置21朝不同方向倾斜。

可以解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。