键合设备空气净化模块

技术领域

本发明涉及半导体设备，尤其涉及用于键合设备的改善气流场均匀性的空气净化模块。

背景技术

半导体设备，尤其是键合设备，对测量精密度有极高的要求。现有的键合设备常用FFU(风机过滤单元)等均流装置产生气流向下流动以净化键合设备内的空气。由于键合设备内部的结构特点，会产生风速不均匀和局部涡流现象，从而会对机台精密测量造成干扰。

因此，亟需一种键合设备空气净化方案，以改善键合设备内部气流场均匀性。

发明内容

为了提高机台测量精度，本发明提出了一种键合设备空气净化模块。

该键合设备空气净化模块内部具有两个对称分布于左下侧和右下侧的倒L型折板，以将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室。

所述左下腔室和所述右下腔室用于容纳电柜，所述主腔室用于容纳键合设备。

所述倒L型折板包括水平多孔板以及垂直侧板。

所述键合设备的侧面与所述垂直侧板之间具有间隙。

所述键合设备空气净化模块内部还设有第一导流板和第二导流装置。

所述第一导流板的一侧固定在所述水平多孔板的边缘，另一侧靠在所述键合设备的侧壁上；所述第一导流板与所述水平多孔板之间呈一角度，倾斜地覆盖在所述间隙上方。

所述第二导流装置固定在所述水平多孔板上，以将净化气体导流至所述左下腔室或所述右下腔室，所述第二导流装置的侧面与所述键合设备空气净化模块的侧壁贴合。

在一个实施例中，所述第二导流装置包括侧板以及竖着排列的多片导流片，所述多片导流片形状相同，且延纵向等间隔排列，所述导流片之间的间隔使得净化气体能通过所述水平多孔板上的孔洞通入到电柜。

在一个实施例中，所述第二导流装置的纵截面形状与所述导流片的形状相同，所述导流片的形状类似直角三角形，其两条直角边中的一条固定在所述水平多孔板上，另一条固定在所述侧板上，所述导流片的形状与直角三角形的差别在于直角处由夹角为钝角的两条边取代。

在一个实施例中，所述左下腔室由所述键合设备空气净化框模块的左侧壁和位于左下侧的所述倒L型折板围成；所述右下腔室由所述键合设备空气净化框模块的右侧壁和位于右下侧的所述倒L型折板围成。

在一个实施例中，所述键合设备空气净化模块的顶部设有进气口，所述进气口的上方设有风机过滤单元，用于产生所述净化气体。

在一个实施例中，所述键合设备空气净化框模块的底部设有出气口，所述出气口的下方设有排气设备，以产生负压。

在一个实施例中，所述出气口设置在所述左下腔室和所述右下腔室的底部。

在一个实施例中，所述角度的范围为大于零度并小于九十度。

在一个实施例中，当所述净化气体吹入所述键合设备空气净化框模块内后，所述净化气体无法进入所述间隙中。

在一个实施例中，所述电柜具有多个为所述键合设备提供功能性需求的电气元器件。

本发明通过在间隙上方倾斜设置第一导流板以及在多孔板上方对接第二导流装置，解决了键合设备与框架之间缝隙速度梯度变化大的问题，减少了键合设备与气流方向垂直平面处气流涡流状况的发生，且在键合设备下端出口处增加负压以有效改善多孔板下方气流场均匀性。

附图说明

本发明的以上发明内容以及下面的具体实施方式在结合附图阅读时会得到更好的理解。需要说明的是，附图仅作为所请求保护的发明的示例。在附图中，相同的附图标记代表相同或类似的元素。

图1示出根据本发明一实施例的键合设备空气净化模块；

图2示出根据本发明一实施例的键合设备空气净化模块的部分区域放大图；

图3示出根据本发明一实施例的第二导流装置的结构示意图。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。虽然本发明的描述将结合优选实施例一起介绍，但这并不代表此发明的特征仅限于该实施方式。恰恰相反，结合实施方式作发明介绍的目的是为了覆盖基于本发明的权利要求而有可能延伸出的其它选择或改造。为了提供对本发明的深度了解，以下描述中将包含许多具体的细节。本发明也可以不使用这些细节实施。此外，为了避免混乱或模糊本发明的重点，有些具体细节将在描述中被省略。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，在以下的说明中所使用的“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“水平”、“垂直”应被理解为该段以及相关附图中所绘示的方位。此相对性的用语仅是为了方便说明之用，其并不代表其所叙述的装置需以特定方位来制造或运作，因此不应理解为对本发明的限制。

能理解的是，虽然在此可使用用语“第一”、“第二”、“第三”等来叙述各种管道、通道、组件、区域、层和/或部分，这些组件、区域、层和/或部分不应被这些用语限定，且这些用语仅是用来区别不同的管道、通道、组件、区域、层和/或部分。

以下在具体实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域技术人员了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的说明书、权利要求及附图，本领域技术人员可轻易地理解本发明相关的目的及优点。

现有的空气净模块的多孔板与键合设备之间存在间隙，使得流场风速变化梯度较大且有涡流存在，气流场风速分布不均。此外，现有键合设备下端出口处多为正常环境压力，当多孔板下方空间元器件较多时，气流场会紊乱。本发明旨在解决键合设备与框架之间缝隙速度梯度变化大的问题，减少键合设备与气流方向垂直平面处气流涡流状况的发生，并通过在框架下端出口处增加负压可以有效改善多孔板下方气流场均匀性。

图1示出根据本发明一实施例的键合设备空气净化模块。

该空气净化模块的顶部具有进气口101。该进气口101的上方为风机过滤单元(FFU)(未示出)，用于产生净化气体。

该键合设备空气净化框模块的内部的下方部位具有左右两个倒L型折板，将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室。

左下腔室由键合设备空气净化框模块的左侧壁和左下侧的倒L型折板围成。右下腔室由键合设备空气净化框模块的右侧壁和右下侧的倒L型折板围成。左下腔室和右下腔室用于容纳电柜103。主腔室用于容纳键合设备102。

该倒L型折板包括水平多孔板104以及垂直侧板105。

键合设备102的侧面与垂直侧板之间具有间隙106。现有技术中，由于间隙106的存在，流场风速变化梯度较大且有涡流存在，气流场风速分布不均。

该键合设备空气净化模块内部设有左右两个第一导流板107。该第一导流板107的一侧固定在水平多孔板104的边缘，另一侧靠在该键合设备102的侧壁上。该第一导流板107与水平多孔板104之间呈一角度，倾斜地覆盖在该间隙106上方。当净化气体吹入键合设备空气净化框模块时净化气体无法进入该间隙106中。在一个实施例中，该角度的范围为大于零度且小于九十度。

该空气净化框内部还设有左右两个第二导流装置108，该第二导流装置108设置在水平多孔板104上，以将净化气体导流至左下腔室或右下腔室。该第二导流装置108的侧面与该键合设备空气净化模块的侧壁贴合。

该键合设备空气净化框模块的底部设有出气口109。在一个实施例中，出气口109设置在左下腔室和右下腔室的底部。

该键合设备空气净化框模块的出气口109下方设有排气设备(未示出)，以产生负压。现有设备下端出口处多为正常环境压力，当多孔板下方空间元器件较多时，气流场会紊乱，在设备下端出口处增加负压可以有效改善多孔板下方气流场均匀性。

图2示出根据本发明一实施例的键合设备空气净化模块的部分区域放大图。

第二导流装置108的纵截面如图2所示，该纵截面类似直角三角形，但直角处由夹角为钝角的两条边111和112取代，这样做的目的是为了解决直角区域出现气流涡流的问题。

电柜具有多个为键合设备102提供功能性需求的电气元器件110。这些电气元器件110包括但不限于电源适配器、电源、电机驱动器、阀岛等器件。

图3示出根据本发明一实施例的第二导流装置的结构示意图。第二导流装置采用纵横结合的方式，纵向多层导流板确保纵向风速均匀，横向采用两段倾斜面过度容易出现涡流状况的直角区域。具体地，该第二导流装置108包括侧板以及竖着排列的多片导流片301，这些导流片301形状相同，且延纵向等间隔排列。导流片之间的间隔使得净化气体能通过多孔板的孔洞通入到电柜。

结合图2和图3所示，该第二导流装置108的纵截面形状与每个导流片的形状相同。每个导流片301的形状类似直角三角形，两条直角边中的一条固定在水平多孔板上，另一条固定在侧板上。导流片301的形状与三角形的差别在于直角处由夹角为钝角的两条边取代。

本发明提出了一种键合设备空气净化模块。该键合设备空气净化模块内部具有两个对称分布于左下侧和右下侧的倒L型折板，以将整个模块内部分隔为主腔体、左下腔室以及右下腔室。

所述左下腔室和所述右下腔室用于容纳电柜，所述主腔室用于容纳键合设备。

所述倒L型折板包括水平多孔板以及垂直侧板。

所述键合设备的侧面与所述垂直侧板之间具有间隙。

所述键合设备空气净化模块内部还设有第一导流板和第二导流装置。

所述第一导流板的一侧固定在所述水平多孔板的边缘，另一侧靠在所述键合设备的侧壁上；所述第一导流板与所述水平多孔板之间呈一角度，倾斜地覆盖在所述间隙上方。

所述第二导流装置固定在所述水平多孔板上，以将净化气体导流至所述左下腔室或所述右下腔室，所述第二导流装置的侧面与所述键合设备空气净化模块的侧壁贴合。

在一个实施例中，所述第二导流装置包括侧板以及竖着排列的多片导流片，所述多片导流片形状相同，且延纵向等间隔排列，所述导流片之间的间隔使得净化气体能通过所述水平多孔板上的孔洞通入到电柜。

在一个实施例中，所述第二导流装置的纵截面形状与所述导流片的形状相同，所述导流片的形状类似直角三角形，其两条直角边中的一条固定在所述水平多孔板上，另一条固定在所述侧板上，所述导流片的形状与直角三角形的差别在于直角处由夹角为钝角的两条边取代。

在一个实施例中，所述左下腔室由所述键合设备空气净化框模块的左侧壁和位于左下侧的所述倒L型折板围成；所述右下腔室由所述键合设备空气净化框模块的右侧壁和位于右下侧的所述倒L型折板围成。

在一个实施例中，所述键合设备空气净化模块的顶部设有进气口，所述进气口的上方设有风机过滤单元，用于产生所述净化气体。

在一个实施例中，所述键合设备空气净化框模块的底部设有出气口，所述出气口的下方设有排气设备，以产生负压。

在一个实施例中，所述出气口设置在所述左下腔室和所述右下腔室的底部。

在一个实施例中，所述角度的范围为大于零度并小于九十度。

在一个实施例中，当所述净化气体吹入所述键合设备空气净化框模块内后，所述净化气体无法进入所述间隙中。

在一个实施例中，所述电柜具有多个为所述键合设备提供功能性需求的电气元器件。

本发明通过在间隙上方倾斜设置第一导流板以及在多孔板上方对接第二导流装置，解决了键合设备与框架之间缝隙速度梯度变化大的问题，减少了键合设备与气流方向垂直平面处气流涡流状况的发生。且在键合设备下端出口处增加负压以有效改善多孔板下方气流场均匀性。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述发明披露仅仅作为示例，而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

同时，本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

这里采用的术语和表述方式只是用于描述，本发明并不应局限于这些术语和表述。使用这些术语和表述并不意味着排除任何示意和描述(或其中部分)的等效特征，应认识到可能存在的各种修改也应包含在权利要求范围内。其他修改、变化和替换也可能存在。相应的，权利要求应视为覆盖所有这些等效物。

同样，需要指出的是，虽然本发明已参照当前的具体实施例来描述，但是本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，在没有脱离本发明精神的情况下还可做出各种等效的变化或替换，因此，只要在本发明的实质精神范围内对上述实施例的变化、变型都将落在本申请的权利要求书的范围内。