一种干吸附式尾气处理设备

技术领域

本发明涉及干吸附式尾气处理相关技术领域，具体涉及一种干吸附式尾气处理设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等；在半导体工艺制程如芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中，需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生含有酸性或是碱性物质的废气；对于含有酸性或是碱性物质的废气，大多首先采用的是通过喷淋塔对废气进行初步的清洁处理，再通过干吸附式尾气处理装置中的吸附件对废气中的水汽及大颗粒杂质进行去除，进而方便后续的催化燃烧脱附处理，但喷淋清洁后的含水废气在持续的经过如棉质滤网等吸附件完成清洁及除湿的同时其中含有的大颗粒杂质也将附着在吸附件表面，长此以往，大颗粒杂质将会凝结成板，进而使吸附件出现堵塞的情况，同步的大量的颗粒杂质凝结成板后与含有水汽的废气相接，废气中的水汽将会附着在杂质板表面，使杂质板上相距较近的空隙处形成水膜，进一步地造成对于吸附件的堵塞，影响了废气的清洁过滤效果。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种干吸附式尾气处理设备。

本发明所述的一种干吸附式尾气处理设备，它包括干式吸附尾气处理箱，该干式吸附尾气处理箱内开设有处理空腔，该处理空腔内对称设置有用于对废气中的水汽及大颗粒杂质进行过滤处理的第一清洁组件；所述的干式吸附尾气处理箱一侧设置有与处理空腔贯通相接的用于通入喷淋清洁后的废气的进气管，该干式吸附尾气处理箱与进气管相对的一侧设置有与处理空腔贯通相接的用于导出处理后的废气的出气管；两个所述的第一清洁组件之间设置有用于对废气的流动进行扰流处理的第二清洁组件。

进一步地，所述的干式吸附尾气处理箱顶面处设置有驱动箱，该驱动箱内开设有传动空腔；所述的干式吸附尾气处理箱一端端面处对称开设有与处理空腔贯通相接的第一对接槽，两个所述的第一对接槽之间设置有开设在干式吸附尾气处理箱端面处的第一安置槽，该第一安置槽内一端设置有与处理空腔贯通相接的第一通入槽，该第一安置槽一侧设置有与其转动连接配合的用于对第一通入槽进行封闭处理的密封门板，该密封门板端面处设置有第一把手。

进一步地，所述的第一清洁组件包括两个呈上下对称布置的两个第一限位安置板，同侧的所述的四个第一限位安置板与第一对接槽位置对应；位于同侧的两个所述的第一限位安置板之间设置有与其滑动连接配合的第一安置框架，该第一安置框架与第一对接槽滑动连接配合；所述的第一安置框架内开设有贯通的第二安置槽，该第二安置槽内设置有吸附件；所述的第一安置框架端面处中部设置有第二把手；每组四个所述的第一限位安置板中与进气管相近一侧的两个所述的第一限位安置板之间对称设置有与其相接的齿条板，该齿条板与第一安置框架相对的一侧设置有用于对吸附件上吸附的杂质进行清洁避免堵塞的第三清洁组件。

进一步地，所述的第三清洁组件包括对称安置于处理空腔内且与其转动连接配合的第一往复丝杆，该第一往复丝杆上设置有与其螺纹旋接配合的驱动块，同侧的两个驱动块之间设置有与其转动连接配合的第一传动轴；所述的第一传动轴上设置有与其同心的清洁辊，该第一传动轴上对称设置有与其同心的齿轮，所述的清洁辊位于两个所述的齿轮之间，两个齿轮分别与两个齿条板啮合传动；所述的第一往复丝杆的一端向上延伸至传动空腔内安装有与其同心的第一带轮，四个所述的第一带轮之间通过传动带带传动配合，其中一个所述的第一往复丝杆的一端延伸出第一带轮安装有与其同心的第二带轮。

进一步地，所述的第一传动轴两端端面处对称设置有截面呈T形的转动凸环，该转动凸环与驱动块转动连接配合。

进一步地，所述的第二清洁组件包括安置于处理空腔内中部的且与其转动连接配合的第二传动轴，该第二传动轴上设置有与其同心的安置辊，该安置辊外圆面处设置有若干均匀排布的第二安置框架，该第二安置框架上开设有贯通的第三安置槽，该第三安置槽内设置有用于对废气进行过滤处理的吸附件；所述的第二传动轴的一端延伸至传动空腔内安装有与其同心的第三带轮，该第三带轮与第二带轮之间通过传动带带传动配合，该第二传动轴的一端向上延伸出驱动箱与安置于驱动箱顶面处的电机的动力输出轴轴向对接。

采用上述结构后，本发明有益效果为：它采用吸附件对废气中的大颗粒杂质及水汽进行清洁过滤的同时同步的通过清洁辊对吸附件表面形成的杂质进行往复式的滚动清洁，进而避免出现大颗粒杂质凝结成板与水汽结合堵塞吸附件的情况，保证了对于废气中杂质及水汽的过滤效果；同步的通过第二清洁组件对由靠近进气管位置的第一安置框架内的吸附件过滤出的废气进行扰流处理，同步的通过转动的第二安置框架内的吸附件对废气进行二次过滤处理，最终再由靠近出气管方位的第一安置框架内的吸附件进行三次过滤处理，保证了对于废气中大颗粒杂质及水汽的过滤效果。

附图说明

此处所说明的附图是用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，但并不构成对本发明的不当限定，在附图中：

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明中的干式吸附尾气处理箱结构示意图；

图3是本发明中的图2剖视结构示意图；

图4是本发明中的第一清洁组件、第二清洁组件及第三清洁组件连接结构示意图；

图5是本发明中的第三清洁组件结构示意图；

附图标记说明：

干式吸附尾气处理箱-1；处理空腔-2；进气管-3；出气管-4；第一对接槽-5；第一通入槽-6；第一安置槽-7；密封门板-8；第一把手-9；第一限位安置板-10；第一安置框架-11；第二安置槽-12；第二把手-13；驱动箱-14；传动空腔-15；齿条板-16；第一往复丝杆-17；驱动块-18；第一带轮-19；第二带轮-20；第一传动轴-21；清洁辊-22；齿轮-23；转动凸环-24；第二传动轴-25；电机-26；第三带轮-27；安置辊-28；第二安置框架-29；第三安置槽-30。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、 “左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1-图5所示，本发明所述的一种干吸附式尾气处理设备，它包括干式吸附尾气处理箱1，该干式吸附尾气处理箱1内开设有处理空腔2，该处理空腔2内对称设置有用于对废气中的水汽及大颗粒杂质进行过滤处理的第一清洁组件；所述的干式吸附尾气处理箱1一侧设置有与处理空腔2贯通相接的用于通入喷淋清洁后的废气的进气管3，该干式吸附尾气处理箱1与进气管3相对的一侧设置有与处理空腔2贯通相接的用于导出处理后的废气的出气管4；两个所述的第一清洁组件之间设置有用于对废气的流动进行扰流处理的第二清洁组件。

进一步地，所述的干式吸附尾气处理箱1顶面处设置有驱动箱14，该驱动箱14内开设有传动空腔15；所述的干式吸附尾气处理箱1一端端面处对称开设有与处理空腔2贯通相接的第一对接槽5，两个所述的第一对接槽5之间设置有开设在干式吸附尾气处理箱1端面处的第一安置槽7，该第一安置槽7内一端设置有与处理空腔2贯通相接的第一通入槽6，该第一安置槽7一侧设置有与其转动连接配合的用于对第一通入槽6进行封闭处理的密封门板8，该密封门板8端面处设置有第一把手9。

进一步地，所述的第一清洁组件包括两个呈上下对称布置的两个第一限位安置板10，同侧的所述的四个第一限位安置板10与第一对接槽5位置对应；位于同侧的两个所述的第一限位安置板10之间设置有与其滑动连接配合的第一安置框架11，该第一安置框架11与第一对接槽5滑动连接配合；所述的第一安置框架11内开设有贯通的第二安置槽12，该第二安置槽12内设置有吸附件；所述的第一安置框架11端面处中部设置有第二把手13；每组四个所述的第一限位安置板10中与进气管3相近一侧的两个所述的第一限位安置板10之间对称设置有与其相接的齿条板16，该齿条板16与第一安置框架11相对的一侧设置有用于对吸附件上吸附的杂质进行清洁避免堵塞的第三清洁组件。

进一步地，所述的第三清洁组件包括对称安置于处理空腔2内且与其转动连接配合的第一往复丝杆17，该第一往复丝杆17上设置有与其螺纹旋接配合的驱动块18，同侧的两个驱动块18之间设置有与其转动连接配合的第一传动轴21；所述的第一传动轴21上设置有与其同心的清洁辊22，该第一传动轴21上对称设置有与其同心的齿轮23，所述的清洁辊22位于两个所述的齿轮23之间，两个齿轮23分别与两个齿条板16啮合传动；所述的第一往复丝杆17的一端向上延伸至传动空腔15内安装有与其同心的第一带轮19，四个所述的第一带轮19之间通过传动带带传动配合，其中一个所述的第一往复丝杆17的一端延伸出第一带轮19安装有与其同心的第二带轮20。

进一步地，所述的第一传动轴21两端端面处对称设置有截面呈T形的转动凸环24，该转动凸环24与驱动块18转动连接配合。

进一步地，所述的第二清洁组件包括安置于处理空腔2内中部的且与其转动连接配合的第二传动轴25，该第二传动轴25上设置有与其同心的安置辊28，该安置辊28外圆面处设置有若干均匀排布的第二安置框架29，该第二安置框架29上开设有贯通的第三安置槽30，该第三安置槽30内设置有用于对废气进行过滤处理的吸附件；所述的第二传动轴25的一端延伸至传动空腔15内安装有与其同心的第三带轮27，该第三带轮27与第二带轮20之间通过传动带带传动配合，该第二传动轴25的一端向上延伸出驱动箱14与安置于驱动箱14顶面处的电机26的动力输出轴轴向对接。

下面结合附图对本具体实施方式中技术方案部分的使用方法及其原理作进一步地阐述：

当需要对废气进行清洁时，废气首先由进气管3进入处理空腔2内由与其相近的第一安置框架11内的吸附件过滤；同步的工作人员启动电机26，电机26动力输出轴转动带动与其轴向对接的第二传动轴25转动，第二传动轴25转动带动与其同心的第三带轮27转动，第三带轮27转动带动与其带传动配合的一个第二带轮20转动，第二带轮20转动带动与其同心的一个第一往复丝杆17及第一带轮19转动，进而四个所述的第一带轮19之间通过传动带同步转动；四个所述的第一往复丝杆17同步转动，同侧的两个第一往复丝杆17转动带动与其螺纹旋接配合的驱动块18同步的往复移动进而带动两个驱动块18之间的第一传动轴21往复移动，第一传动轴21上下往复移动的过程，由于齿轮23与齿条板16啮合，进而在第一传动轴21上下往复移动的过程齿轮23转动，齿轮23转动带动与其同心的第一传动轴21转动，同步的第一传动轴21带动与其同心的清洁辊22转动，其中清洁辊22的转动方向与其移动方向相反，进而可更好的对滞留在吸附件表面的杂质进行清洁处理；

同步的第二传动轴25转动带动与其同心的安置辊28转动，安置辊28转动带动其外圆面处设置的若干第二安置框架29以安置辊28为中心转动，进而通过第二安置框架29及其贯通开设的第三安置槽30内设置的吸附件形成的整体对废气的流动进行扰流处理，同步的在其转动的过程中第三安置槽30内设置的吸附件可对废气进行二次过滤处理；

最终废气可再次经由靠近出气管4方向的第一安置框架11内的吸附件进行过滤再由出气管4排出。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。