电气集尘装置

技术领域

本发明涉及电气集尘装置。

背景技术

专利文献1记载了“提供一种电气集尘装置，包括：对带电粒子进行捕集的捕集部；微波产生部，微波产生部产生导入集尘部的微波，通过微波使被集尘部捕集到的带电粒子而燃烧”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2020/084934号

发明内容

在通过微波使废气中包含的颗粒物质燃烧的情况下，最好能提高微波的能效。发明内容

本发明的第一方式提供电气集尘装置。电气集尘装置包括：捕集部，该捕集部具有供废气中包含的颗粒物质堆积的底板，底板设有多个第一切口；以及传播部，该传播部具有微波传播的内部空间。在俯视下，多个第一切口配置在与内部空间重叠的位置。微波从内部空间通过多个第一切口而传播到捕集部。

电气集尘装置还可以包括：带电部，该带电部使颗粒物质带电；以及集尘部，该集尘部对带电的颗粒物质进行集尘。捕集部可以配置在集尘部的下方。底板上可以堆积有由集尘部集尘到的颗粒物质。

传播部具有在第一方向上与多个第一切口隔开预定距离而设置的第一微波导入口，上述第一方向是底板的平面内方向且与多个第一切口的长边交叉的方向。微波可以通过第一微波导入口导入内部空间中。在第一方向上从第一微波导入口到多个第一切口中的一个第一切口的距离越大，第一方向上的多个第一切口各自的宽度可以越大。

传播部可以具有在第一方向上与多个第一切口隔开预定距离而设置的第一微波导入口，上述第一方向是底板的平面内方向且与多个第一切口的长边交叉的方向。微波可以通过第一微波导入口导入内部空间中。在第一方向上从第一微波导入口到多个第一切口中的一个第一切口的距离越大，多个第一切口中在第一方向上相邻的一个第一切口和另一个第一切口之间的间隔可以越小。

捕集部还可以具有第一侧板，该第一侧板与底板交叉，面向所内部空间，在俯视下最远离第一微波导入口而配置。第一侧板可以设有第二切口。

在与第一方向交叉的方向上的传播部的宽度从第一微波导入口扩展到多个第一切口。

在与第一方向交叉的方向上的传播部的宽度从第一微波导入口呈锥形地扩展到多个第一切口。

与第一方向交叉的第二方向上的传播部的宽度、和与第一方向交叉且与第二方向不同的第三方向上的传播部的宽度可以从第一微波导入口扩展到多个第一切口。

与第一方向交叉的第二方向上的传播部的宽度、和与第一方向交叉且与第二方向不同的第三方向上的传播部的宽度可以从第一微波导入口呈锥状地扩展到多个第一切口。

传播部还可以具有面向内部空间并在俯视下沿第一方向延伸的外侧板、以及设在外侧板的第二微波导入口。

传播部还可以具有面向内部空间且设在底板的下方的外底板、以及设在外底板的第三微波导入口。

第一微波导入口可以连接有从传播部的外部导入内部空间的微波所通过的微波导入管。微波导入管可以具有第一凹部，该第一凹部在与微波的行进方向交叉的方向上凹陷。第一凹部的深度可以是微波的波长的1/4。

集尘部可以具有集尘电极。集尘电极可以具有第二凹部，该第二凹部在与从捕集部到集尘部的方向交叉的方向上凹陷。第二凹部的深度可以是微波的波长的1/4。

集尘电极可以设有废气通过的开口。第二凹部可以在从捕集部到集尘部的方向上配置在捕集部与开口之间。

带电部和集尘部可以设在废气通过的配管。捕集部可以配置在配管的下方。

捕集部还可以具有第二侧板，该第二侧板与底板交叉并面向内部空间。多个第一切口可以从底板延伸到第二侧板而设置。

电气集尘装置还可以包括覆盖材料，该覆盖材料设在底板的上表面，覆盖多个第一切口中的至少一个第一切口。

覆盖材料可以设在至少一个第一切口的内部。

覆盖材料可以具有凸部，该凸部从底板的上表面向下表面的方向突出。凸部可以设在第一切口的内部。

覆盖材料可以设在设置于第二侧板的第一切口的内部。

覆盖材料可以设在第二切口的内部。

覆盖材料的上表面可以设有与第一切口对应的凹陷。

覆盖材料可以相对于底板的上表面进行拆装。

另外，上述发明的概要并没有列举出本发明的全部特征。此外，这些特征组的子组合也可以构成发明。

附图说明

图1是表示本发明一个实施方式所涉及的电气集尘装置100的一例的图。

图2是表示本发明一实施方式所涉及的电气集尘装置100及电气集尘系统200的框图的一例的图。

图3是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的一例的图。

图4是表示图3所示的a-a'线处的剖面的一例的图。

图5是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。

图6是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。

图7是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。

图8是表示图7所示的底板11的附近在侧视时的一例的图。

图9是表示图1所示的电气集尘装置100的另一例的图。

图10是表示图1所示的电气集尘装置100的另一例的图。

图11是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。

图12是表示图1所示的电气集尘装置100在仰视时的一例的图。

图13是表示图1所示的电气集尘装置100在仰视时的另一例的图。

图14是表示图13所示的a-a'线处的剖面的一例的图。

图15是图3中的第一微波导入口22附近的放大图。

图16是图4中的第一微波导入口22附近的放大图。

图17是图1所示的电气集尘装置100中的集尘部40的内部的放大图。

图18是图17中的集尘电极41的放大图。

图19是图17中的集尘电极41的其他放大图。

图20是表示电气集尘装置100的配置的一例的图。

具体实施方式

以下通过发明的实施方式对本发明进行说明，但以下的实施方式并不用于对权利要求所涉及的发明进行限定。此外，实施方式中说明的特征的组合并不全是发明的解决手段所必需的。

图1是表示本发明一个实施方式所涉及的电气集尘装置100的一例的图。电气集尘装置100包括捕集部10和传播部20。电气集尘装置100可以包括集尘部40。捕集部10具有底板11。传播部20具有用于传播微波的内部空间21。在本例中，传播部20具有第一微波导入口22。

在本说明书中，有时利用X轴、Y轴以及Z轴的正交坐标轴来说明技术事项。在本说明书中，将平行于底板11的板面的面设为XY面，将垂直于底板11的板面的方向设为Z轴方向。XY面可以是水平面，Z轴方向可以平行于重力方向。本说明书中，将XY面内的规定方向设为X轴方向，将XY面内与X轴正交的方向设为Y轴方向。

本说明书中，将Z轴方向上集尘部40所在一侧称为“上”，将传播部20所在一侧称为“下”。本例中，将Z轴方向设为重力方向，但“上”、“下”的方向并不限于重力方向。本说明书中，俯视是指沿着Z轴方向从集尘部40朝传播部20的方向来观察电气集尘装置100的情况。在本例中，捕集部10配置在集尘部40下方。本说明书中，仰视是指沿着Z轴方向从传播部20朝集尘部40的方向来观察电气集尘装置100的情况。在本说明书中，侧视是指在XY平面内方向观察电气集尘装置100的情况。

图2是表示本发明一实施方式所涉及的电气集尘装置100及电气集尘系统200的框图的一例的图。在本例中，电气集尘系统200包括微波产生部91、动力装置92和电气集尘装置100。动力装置92通过燃烧燃料而产生废气30。动力装置92例如是发动机。废气30包含颗粒物质(PM：Particle Matter)32。颗粒物质32也称为黑碳。颗粒物质32是由化石燃料的不完全燃烧产生的。颗粒物质32是以碳为主要成分的微粒子。

电气集尘装置100可以包括带电部90。带电部90使颗粒物质32带电。带电部90可以通过负电晕放电产生负离子。带电部90可以通过该负离子使颗粒物质32带电。

集尘部40对带电的颗粒物质32进行集尘。捕集部10捕集颗粒物质32。由集尘部40集尘的颗粒物质32堆积在捕集部10的底板11(参照图1)上。如图1所示，在本例中，捕集部10配置在集尘部40下方。在本例中，从集尘部40落到捕集部10的颗粒物质32堆积在底板11上。

微波产生部91产生微波93。由捕集部10捕集的颗粒物质32通过微波93燃烧。微波93是具有300MHz到300GHz频率的电磁波。

图3是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的一例的图。在图3中，省略了集尘部40。微波导入管94可以连接到第一微波导入口22。在本例中，从传播部20的外部导入内部空间21的微波93通过微波导入管94。

底板11具有上表面96和下表面98。颗粒物质32堆积在上表面96上。底板11设置有多个第一切口80。在本例中，底板11设置有九个第一切口80。第一切口80从上表面96到下表面98而贯穿底板11。本例的第一切口80是具有长边81和短边82的矩形形状。

将第一方向dr1设为底板11的平面内方向且与第一切口80的长边81交叉的方向。在本例中，第一方向dr1是与长边81正交的方向，并且是与短边82平行的方向。在本例中，第一方向dr1平行于Y轴方向。将第二方向dr2设为底板11的平面内方向且与第一切口80的短边82交叉的方向。在本例中，第二方向dr2是与短边82正交的方向，并且是与长边81平行的方向。在本例中，第二方向dr2平行于X轴方向。

在本例中，捕集部10具有第一侧板15、第二侧板12和第三侧板18。在本例中，捕集部10具有两个第二侧板12(第二侧板12-1和第二侧板12-2)。第二侧板12-1和第二侧板12-2在第二方向dr2上夹着捕集空间97(后述)而相对。

本例的第一侧板15和第三侧板18在俯视图中沿第二方向dr2延伸。本例的第二侧板12在俯视图中沿第一方向dr1延伸。在第一侧板15、第二侧板12和第三侧板18中，第一侧板15在第一方向dr1上最远离第一微波导入口22而配置。

在本例中，第一侧板15包含外侧面16和内侧面17，第二侧板12包含外侧面13和内侧面14，第三侧板18包含外侧面19和内侧面99。在本例中，捕集部10具有捕集空间97。捕集空间97是底板11的上表面96上方的空间，并且是被内侧面17、内侧面14和内侧面99包围的空间。

第一侧板15、第二侧板12和第三侧板18可面向内部空间21。在本例中，第一侧板15的外侧面16、第二侧板12的外侧面13和第三侧板18的外侧面19面向内部空间21。

第一侧板15、第二侧板12和第三侧板18可以与底板11相交叉。在本例中，第一侧板15、第二侧板12和第三侧板18可以与底板11相正交。

在本例中，传播部20具有顶板24、外底板25、外侧板23和外侧板33。外底板25在Z轴方向上配置在顶板24下方，并且远离顶板24而配置。顶板24、外底板25、外侧板23和外侧板33面向内部空间21。

在本例中，顶板24和外底板25的板面平行于XY面而配置。在本例中，传播部20具有两个外侧板23(外侧板23-1和外侧板23-2)。在本例中，传播部20具有两个外侧板33(外侧板33-1和外侧板33-2)。本例的外侧板23在俯视下沿第一方向dr1延伸。本例的外侧板33在俯视下沿第二方向dr2延伸。

外侧板23包含内侧面26。外侧板33包含内侧面36。内部空间21是在Z轴方向上夹在顶板24与外底板25之间并且在XY平面内被内侧面26和内侧面36包围的空间。

底板11和第一切口80在俯视下配置在与传播部20的内部空间21重叠的位置处。在本例中，底板11的下表面98与内部空间21相接。在本例中，捕集部10的捕集空间97和传播部20的内部空间21经由第一切口80连通。

内部空间21的第一方向dr1和第二方向dr2上的宽度分别设为宽度Wp1和宽度Wp2。宽度Wp1可以不同于宽度Wp2，也可以等于宽度Wp2。宽度Wp1可以为1000mm以上且1300mm以下。宽度Wp2可以为50mm以上且500mm以下。

捕集空间97的第一方向dr1和第二方向dr2上的宽度分别设为宽度Wc1和宽度Wc2。宽度Wc1可以不同于宽度Wc2，也可以等于宽度Wc2。宽度Wc1可以为800mm以上且1000mm以下。宽度Wc2可以为50mm以上且450mm以下。

宽度Wc1可以小于宽度Wp1，也可以等于宽度Wp1。宽度Wc2可以小于宽度Wp2，也可以等于宽度Wp2。

在本例中，微波93通过第一微波导入口22而导入内部空间21。微波93可以在第一方向dr1上的第一微波导入口22的位置处沿第一方向dr1导入。第一微波导入口22可以设置为在第一方向dr1上与多个第一切口80隔开预定的距离。将该预定的距离设为距离ds1。

沿第一方向dr1导入的微波93在俯视下容易在内部空间21向XY面内呈辐射状传播。因此，通过将第一微波导入口22设置为与第一切口80隔开距离ds1，微波93容易在XY面内的第一切口80的位置处变得一样。微波93一样是指微波93的行进方向在XY面内和Z轴方向上不偏向于特定行进方向的状态。距离ds1可以是微波93的波长的0.2倍以上且400倍以下，也可以是0.4倍以上且200倍以下。

微波93通过多个第一切口80从内部空间21传播到捕集部10的捕集空间97。由于微波93在XY面内的第一切口80的位置处一样，因此微波93容易通过第一切口80均匀地传播到捕集空间97。因此，无论颗粒物质32在上表面96处的位置如何，微波93都容易均匀地被照射到堆积在底板11上的颗粒物质32。因此，颗粒物质32容易被微波93有效燃烧。

第一切口80的长边81可以配置在与将微波93导入内部空间21中的方向(在本例中为第一方向dr1)相交叉的方向上。因此，与在与导入有微波93的方向平行的方向上配置长边81的情况相比，颗粒物质32更容易被微波93有效地燃烧。

在本例中，导入内部空间21的微波93在内部空间21中呈放射状传播，并且呈放射状传播的微波93通过多个第一切口80传播到捕集空间97。因此，在本例中，微波93可以从第一微波导入口22导入至内部空间21。因此，由微波产生部91产生的微波93所通过的微波导入管94可以是一个。微波导入管94有时比较昂贵。在本例中，由于只需一个微波导入管94，因此，与配置多个微波导入管94的情况相比，电气集尘系统200(参见图2)的成本容易降低。

第一切口80的第一方向dr1上的宽度设为宽度W1。宽度W1是短边82的宽度。宽度W1可以是微波93的波长的0.1倍以上且40倍以下。宽度W1可以为15mm以上且40mm以下。

在第一方向dr1上相邻的一个第一切口80和另一个第一切口80之间的间隔宽度设为宽度W2。在本例中，在所有多个第一切口80中，在第一方向dr1上相邻的一个第一切口80和另一个第一切口80之间的间隔宽度W2相等。宽度W2可以是宽度W1的2.0倍以上且10.0倍以下。宽度W2可以为50mm以上且200mm以下。

第一切口80的第二方向dr2上的宽度设为宽度W3。宽度W3是长边81的宽度。在本例中，在所有多个第一切口80中，长边81的宽度W3相等。宽度W3可以是微波93的波长的1/2以上。在微波93的频率为2.45GHz的情况下，宽度W3可以为61.3mm以上。

图4是表示图3所示的a-a'线处的剖面的一例的图。a-a'线是通过微波导入管94、外侧板33-2、第一微波导入口22、顶板24、外底板25、内部空间21、第三侧板18、集尘部40、捕集空间97、第一侧板15和外侧板33-1的YZ剖面。在图4中，用阴影线示出了集尘部40。其中，在图4中，省略了集尘部40中的集尘电极。在本例中，在集尘部40中集尘而得的颗粒物质32落在底板11的上表面96上。

捕集部10的上端设为上端Eh。在图4中，Z轴方向上的上端Eh的位置由粗虚线示出。在Z轴方向上，上端Eh的位置可以与传播部20中的顶板24的上表面的位置一致。捕集部10可以配置在传播部20的内部。底板11的下表面98与内部空间21相接。

将外底板25的上表面设为上表面27。将与第一方向dr1和第二方向dr2正交的方向设为第三方向dr3。在本例中，第三方向dr3与Z轴方向相同。

底板11的下表面98可以在第三方向dr3上与上表面27隔开预定的距离而配置。将该预定的距离设为距离ds2。如上所述，沿第一方向dr1导入的微波93在俯视下容易在内部空间21向XY面内呈辐射状传播。因此，由于下表面98与上表面27远离距离ds2而配置，导入至内部空间21的微波93在第三方向dr3上容易沿从内部空间21向捕集空间97的方向前进。在图4中，虚线箭头示出了从内部空间21向捕集空间97的方向前进的微波93。

距离ds2可以是微波93的波长的200倍以下，也可以是100倍以下。距离ds可以为250mm以下，也可以是200mm以下。

集尘部40的至少一部分可以配置成在Z轴方向上与捕集部10重叠。在本例中，配置成在Z轴方向上从底板11的上表面96到捕集部10的上端Eh之间，集尘部40的一部分与捕集部10重叠。

图5是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。在第一方向dr1上，将最接近第一微波导入口22而配置的第一切口80设为第一切口80-1，将最远离第一微波导入口22而配置的第一切口80设为第一切口80-9。第一切口80-1至第一切口80-9的宽度W1分别设为宽度W1-1至宽度W1-9。

在本例中，在第一方向dr1上从第一微波导入口22到多个第一切口80中的一个第一切口80的距离越大，第一方向dr1上的多个第一切口80各自的宽度就越大。即越从第一切口80-1到第一切口80-9，宽度W1越大。9个宽度W1中，宽度W1-1最小，宽度W1-9最大。因此，与所有九个宽度W1相等的情况(即，图3所示的情况)相比，微波93的损耗更容易被抑制。

图6是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。在本例中，底板11设置有十个第一切口80。在第一方向dr1上，将最接近第一微波导入口22而配置的第一切口80设为第一切口80-1，将最远离第一微波导入口22而配置的第一切口80设为第一切口80-10。在本例中，一个第一切口80的宽度W1(参见图3)在所有十个第一切口80中相等。

在第一方向dr1上相邻的第一切口80-k和第一切口80-(k+1)之间的间隔宽度设为宽度W2-k。这里，k是1以上9以下的整数。在本例中，在第一方向dr1上从第一微波导入口22到多个第一切口80中的一个第一切口80的距离越大，多个第一切口80中在第一方向dr1上相邻的一个第一切口80和另一个第一切口80之间的间隔就越小。即，在本例中，k越大，宽度W2-k越小。因此，与八个宽度W2全部相等的情况(即，图3所示的情况)相比，微波93的损耗更容易被抑制。

图7是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。本例的电气集尘装置100与图3所示的电气集尘装置100的不同点在于还包括覆盖材料83。在图7中，用阴影线示出了覆盖材料83。

在本例中，覆盖材料83设在底板11的上表面96(参见图4)上。即，在本例中，覆盖材料83配置在捕集空间97中。覆盖材料83可以覆盖多个第一切口80中的至少一个第一切口80。在本例中，覆盖材料83覆盖所有(九个)第一切口80。

颗粒物质32(见图4)不通过覆盖材料83。微波93透射覆盖材料83。微波93在覆盖材料83中的透射率和吸收率可以分别为90％以上和小于10％。覆盖材料83是诸如玻璃棉等隔热材料、陶瓷纤维和石英玻璃中的至少一种。

从动力装置92(参见图2)排出的废气30(参见图2)的温度有时在300℃至400℃。因此，颗粒物质32的温度也有时在300℃至400℃。当颗粒物质32通过微波93燃烧时，温度有时由于燃烧而进一步上升。因此，覆盖材料83的耐热温度优选为800℃以上。

图8是表示图7所示的底板11的附近在侧视时的一例的图。图8是在X轴方向上观察电气集尘装置100的图。图8是放大一个第一切口80附近的图。

覆盖材料83的上表面和下表面分别设为上表面87和下表面86。在本例中，覆盖材料83的下表面86设置为与底板11的上表面96相接。

覆盖材料83可以设在至少一个第一切口80的内部。覆盖材料83可以具有从底板11的上表面96向下表面98的方向突出的凸部84。凸部84可以设在第一切口80的内部。凸部84设在第一切口80的内部是指凸部84在第三方向dr3上配置在上表面96和下表面98之间的状态。通过将覆盖材料83设在第一切口80的内部，从而覆盖材料83容易固定到底板11的上表面96。

对应于第一切口80的凹陷85可以设在覆盖材料83的上表面87上。凹陷85是设在覆盖材料83的上表面87上的凹陷，并且是在从覆盖材料83的上表面87向下表面86的方向凹陷的覆盖材料83的凹陷。凹陷85对应于第一切口80是指凹陷85在第一方向dr1上的至少一部分和第一切口80在第一方向dr1上的至少一部分配置在相同位置的状态。在本例中，凹陷85在第一方向dr1上的整体和第一切口80在第一方向dr1上的整体配置在相同位置。

在凹陷85设在覆盖材料83的上表面87的情况下，落在覆盖材料83的上表面87上的颗粒物质32容易堆积在凹陷85中。由于凹陷85对应于第一切口80，因此堆积在凹陷85中的颗粒物质32容易通过微波93燃烧，该微波93在第一切口80中从内部空间21向捕集空间97的方向行进。因此，与在上表面87中未设有凹陷85的情况相比，更容易提高电气集尘装置100中的颗粒物质32的燃烧效率。

虽然在图8中示出了一个第一切口80的附近，但是凸部84可以设在图7所示的多个第一切口80中的至少一个第一切口80的内部。凸部84可以设在所有多个第一切口80的内部。对应于多个第一切口80中的至少一个第一切口80的凹陷85可以设在覆盖材料83的上表面87上。分别对应于多个第一切口80的多个凹陷85可以设在覆盖材料83的上表面87上。

覆盖材料83可以相对于底板11的上表面96进行拆装。如上所述，覆盖材料83是诸如玻璃棉等隔热材料、陶瓷纤维和石英玻璃中的至少一种。当覆盖材料83例如是玻璃棉等隔热材料时，当从上表面96向下表面98的方向对配置在底板11的上表面96上的覆盖材料83施加按压压力时，作为覆盖材料83的一部分且配置在第一切口80上方的覆盖材料83的该一部分容易侵入第一切口80的内部。因此，在覆盖材料83中容易产生凸部84，并且在覆盖材料83的上表面87中容易产生与第一切口80对应的凹陷85。

图9是表示图1所示的电气集尘装置100的另一例的图。图9是在从第二侧板12-1到第二侧板12-2的方向(参见图3)上观察图1所示的电气集尘装置100的情况的一例。其中，在图9中省略了传播部20的外侧板23(参见图3)。在图9中，省略了图4所示的集尘部40的阴影线。

在本例中，第一切口80也设在第二侧板12中。本例的电气集尘装置100与图3所示的电气集尘装置的不同点在于上述所涉及的点上。设在第二侧板12上的第一切口80从第二侧板12的外侧面13到内侧面14(参见图3)而贯穿第二侧板12。

多个第一切口80可以从底板11延伸到第二侧板12而设置。多个第一切口可以从底板11延伸至第二侧板12-1而设置，也可以从底板11延伸至第二侧板12-2(参见图3)而设置。

由于多个第一切口80也设在第二侧板12上，在内部空间21上沿第二方向dr2(参见图3)传播的微波93(参见图3和图4)容易通过设在第二侧板12上的第一切口80传播到捕集空间97。因此，与多个第一切口80仅设在底板11的情况相比(即，图3的示例的情况)，颗粒物质32更容易通过微波93而燃烧。

在覆盖材料83设在底板11的上表面96上的情况下(即，在图7的示例的情况)，该覆盖材料83也可以设在第二侧板12的内侧面14(参见图3)。当覆盖材料83设在第二侧板12的内侧面14时，与图8所示的示例同样地，该覆盖材料83可以设在设置于第二侧板12的第一切口80的内部。

图10是表示图1所示的电气集尘装置100的另一例的图。图10是在从第一侧板15到第三侧板18的方向(参见图3)上观察图1所示的电气集尘装置100的情况的一例。其中，在图10中省略了传播部20的外侧板33(参见图3)。在图10中，省略了图4所示的集尘部40的阴影线。

在本例中，第二切口88设在第一侧板15中。本例的电气集尘装置100与图3所示的电气集尘装置的不同点在于上述所涉及的点上。第二切口88从第一侧板15的外侧面16到内侧面17(参见图3)而贯穿第一侧板15。

多个第二切口88可以设在第一侧板15中。第二切口88的长边可以平行于第二方向dr2而设置，也可以平行于第三方向dr3而设置。在本例中，第二切口88的长边平行于第二方向dr2而设置。

由于第二切口88设在第一侧板15中，在传播部20的内侧面36-1(参见图3)中反射的微波93容易通过第二切口88传播到捕集空间97。因此，与多个第一切口80仅设在底板11的情况相比(即，图3的示例的情况)，颗粒物质32更容易通过微波93而燃烧。

在覆盖材料83设在底板11的上表面96上的情况下(即，在图7的示例的情况)，覆盖材料83也可以设在第一侧板15的内侧面17(参见图3)。当覆盖材料83设在第一侧板15的内侧面17时，与图8所示的示例同样地，该覆盖材料83可以设在第二切口80的内部。

图11是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。在本例的电气集尘装置100中，传播部20还具有设在外侧板23上的第二微波导入口61。本例的电气集尘装置100与图3所示的电气集尘装置的不同点在于上述所涉及的点上。

传播部20可以具有多个第二微波导入口61。本例的传播部20具有两个第二微波导入口61(第二微波导入口61-1和第二微波导入口61-2)。在本例中，第二微波导入口61-1设在外侧板23-1，第二微波导入口61-2设在外侧板23-2。

微波导入管60可以连接到第二微波导入口61。在本例中，微波导入管60-1连接到第二微波导入口61-1，微波导入管60-2连接到第二微波导入口61-2。在本例中，从传播部20的外部导入内部空间21的微波93通过微波导入管94和微波导入管60。

通过第一微波导入口22导入内部空间21的微波93的方向和通过第二微波导入口61导入内部空间21的微波93的方向可以不同。在本例中，通过第一微波导入口22导入内部空间21的微波93的方向是第一方向dr1。在本例中，通过第二微波导入口61-1导入内部空间21的微波93的方向是第二方向dr2，并且通过第二微波导入口61-2导入内部空间21的微波93的方向是平行于第二方向dr2并且与第二方向dr2相反的方向。通过第一微波导入口22导入内部空间21的微波93的方向和通过第二微波导入口61导入内部空间21的微波93的方向不同，从而使得微波93更加容易在内部空间21中变得一样。

在本例中，优选在捕集部10的第二侧板12设有第一切口80(参照图9)。通过第二微波导入口61将微波93导入内部空间21，并且在第二侧板12设有第一切口80，从而使得在捕集空间97中捕集到的颗粒物质32更容易有效地燃烧。

图12是表示图1所示的电气集尘装置100在仰视时的一例的图。在本例的电气集尘装置100中，传播部20还具有设在外底板25上的第三微波导入口63。本例的电气集尘装置100与图11所示的电气集尘装置的不同点在于上述所涉及的点上。

微波导入管62可以连接到第三微波导入口63。在本例中，从传播部20的外部导入内部空间21的微波93通过微波导入管94、微波导入管60以及微波导入管62。

通过第三微波导入口63导入内部空间21的微波93的方向可以与通过第一微波导入口22导入内部空间21的微波93的方向和通过第二微波导入口61导入内部空间21的微波93的方向不同。由此使得内部空间21中微波93比图11中所示的示例更容易变得一样。在本例中，通过第三微波导入口63导入内部空间21的微波93的方向是第三方向dr3(参见图4)。

第三微波导入口63在仰视下可以配置在与捕集部10的底板11重叠的位置处。因此，通过第三微波导入口63导入内部空间21的微波93容易导入捕集空间97。因此，在捕集空间97中捕集的颗粒物质32更容易有效地燃烧。

图13是表示图1所示的电气集尘装置100在俯视时的另一例的图。在本例中，传播部20在与第一方向dr1交叉的方向上的宽度从第一微波导入口22扩展到多个第一切口80。本例的电气集尘装置100与图11所示的电气集尘装置的不同点在于上述所涉及的点上。与第一方向dr1交叉的方向可以是与第一切口80的长边81平行的方向。在本例中，传播部20在第二方向dr2上的宽度从第一微波导入口22呈锥形地扩展到多个第一切口80。

图14是表示图13所示的a-a'线处的剖面的一例的图。在本例中，传播部20在第三方向dr3上的宽度也从第一微波导入口22扩展到多个第一切口80。即，在本例中，从第一微波导入口22到多个第一切口80的内部空间21的形状是喇叭形状。因此，与图3和图4所示的示例相比，微波93的增益更容易增大。

图15是图3中的第一微波导入口22附近的放大图。微波导入管94可以具有第一凹部50。第一凹部50在与微波93的行进方向(本例中Y轴方向)交叉的方向(本例中从集尘部40到捕集部10的方向)上凹陷。

图16是图4中的第一微波导入口22附近的放大图。本例的第一凹部50在从集尘部40到捕集部10的方向(参照图4)上凹陷。将第一凹部50的深度设为深度dp1。

深度dp1可以是微波93(参见图3等)的波长的1/4。因此，在微波93的前进方向上比第一凹部50更靠内部空间21的一侧，在从微波导入管94到内部空间21的方向上行进的微波93、和在从内部空间21到微波导入管94的方向上行进的微波93相互抵消。由于深度dp1是微波93的波长的1/4，从而容易提高从第一凹部50向内部空间21的方向反射的微波93的反射率。因此，捕集部10中的颗粒物质32容易有效燃烧。第一凹部50可以是所谓的扼流圈结构，其抵消微波93的行波和反射波。

图17是图1所示的电气集尘装置100中的集尘部40的内部的放大图。其中，在图17中，省略了图1中的表示集尘部40的实线、捕集部10和传播部20。集尘部40可以具有集尘电极41。集尘部40可以具有多个集尘电极41。本例的集尘部40具有7个集尘电极41(集尘电极41-1～集尘电极41-7)。

集尘电极41可以是板状。在本例中，板状的集尘电极41的板面平行于XZ面而配置。集尘电极41可以设有废气30通过的多个开口42。开口42沿板状的集尘电极41的厚度方向(Y轴方向)贯穿板面。在本例中，废气30沿与集尘电极41的板面交叉的方向通过集尘部40的内部。在本例中，废气30沿从集尘电极41-1到集尘电极41-7的方向通过集尘部的内部。

相邻的集尘电极41中的一个可以连接到电源43，另一个可以接地。在本例中，集尘电极41-1、集尘电极41-3、集尘电极41-5和集尘电极41-7连接到电源43，并且集尘电极41-2、集尘电极41-4和集尘电极41-6接地。带电的颗粒物质32(参见图4)因在相邻的集尘电极41之间产生的电位差被接地一方的集尘电极41集尘。在本例中，集尘到的颗粒物质32落在捕集部10。

集尘电极41可以具有第二凹部44。在本例中，第二凹部44沿板状的集尘电极41板面的厚度方向凹陷而设置。第二凹部44在与从捕集部10向集尘部40的方向(本例中为Z轴方向)交叉的方向(本例中为Y轴方向)上凹陷。

图18是图17中的集尘电极41的放大图。图18是沿板面的厚度方向观察一个集尘电极41的图。在沿板面的厚度方向观察集尘电极41的情况下，第二凹部44可以是具有长边45和短边46的矩形形状。第2凹部44的长边45可以与从捕集部10到集尘部40的方向(本例中为Z轴方向)交叉。在本例中，长边45与从捕集部10到集尘部40的方向正交。第二凹部44可以在从捕集部10到集尘部40的方向上配置在捕集部10和开口42之间。

图19是图17中的集尘电极41的其他放大图。图19是沿平行于板面的方向观察一个集尘电极41的图。在沿平行于板面的方向上观察集尘电极41的情况下，本例的第二凹部44在板面的厚度方向上凹陷。将第二凹部44距板面的深度设为深度dp2。

深度dp2可以是微波93(参见图3等)的波长的1/4。因此，在第二凹部44的上方，在从捕集部10到集尘部40的方向上行进的微波93和在从集尘部40到捕集部10的方向上行进的微波93相互抵消。由于深度dp2是微波93的波长的1/4，从而容易提高向从第二凹部44到捕集部10的方向反射的微波93的反射率。因此，捕集部10中的颗粒物质32容易有效燃烧。

如上所述，第二凹部44可以在从捕集部10到集尘部40的方向上配置在捕集部10和开口42之间。因此，微波93不易在比第二凹部44更靠开口42的一侧行进。第二凹部44可以是所谓的扼流圈结构，其抵消微波93的行波和反射波。

图20是表示电气集尘装置100的配置的一例的图。由动力装置92排出的废气30通过配管110。带电部90和集尘部40可以设在废气30通过的配管110中。带电部90和集尘部40可以设在配管110的内部的废气30的流动路径中。在图20中，电气集尘装置100的范围以单点划线的框示出。与集尘部40相比，带电部90可以设在配管110中的废气30的流动路径的上游。因此，由带电部90带电的颗粒物质32由集尘部40集尘。

捕集部10可以配置在配管110的下方。传播部20可以配置在配管110的下方。颗粒物质32可在配管110的外部通过微波93(参见图3)而燃烧。

以上，使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的技术范围并不限于上述实施方式所记载的范围。能够在上述实施方式的基础上进行各种变更或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。根据权利要求书的记载可知，进行了上述各种变更或改进的方式也包含在本发明的技术范围内。

请注意，对于权利要求书、说明书以及附图中所示的装置、系统、程序、以及方法中的动作、工序、步骤以及阶段等各处理的执行顺序，只要没有特别明示之前摂、先前摂等，此外只要未在后续的处理中使用之前处理的输出，则能以任意的顺序实现。权利要求书、说明书和附图中的动作流程中，为了方便说明，使用了首先摂、然后摂等来进行了说明，但并不意味着一定要按照这样的顺序来实施。

标号说明

10 捕集部

11 底板

12 侧板

13 外侧面

14 内侧面

15 侧板

16 外侧面

17 内侧面

18 侧板

19 外侧面

20 传播部

21 内部空间

22 第一微波导入口

23 外侧板

24 顶板

25 外底板

26 内侧面

27 上表面

30 废气

32 颗粒物质

33 外侧板

36 内侧面

40 集尘部

41 集尘电极

42 开口

43 电源

44 第二凹部

45 长边

46 短边

50 第一凹部

60 微波导入管

61 第二微波导入口

62 微波导入管

63 第三微波导入口

80 第一切口

81 长边

82 短边

83 覆盖材料

84 凸部

86 下表面

87 上表面

88 第二切口

90 带电部

91 微波产生部

92 动力装置

93 微波

94 微波导入管

96 上表面

97 捕集空间

98 下表面

99 内侧面

100 电气集尘装置

110 配管

200 电气集尘系统。