一种PLC分光器的半自动化生产设备

技术领域

本发明涉及分光器生产的技术领域，特别是涉及一种PLC分光器的半自动化生产设备。

背景技术

分光器是一种无源器件,又称光分路器，它们不需要外部能量，只要有输入光即可。分光器由入射和出射狭缝、反射镜和色散元件组成，其作用是将所需要的共振吸收线分离出来。分光器的关键部件是色散元件，现在商品仪器都是使用光栅。

平面波导型光分路器芯片上均安装有晶圆，而晶圆较薄，需要使用分光器加工设备将玻璃片粘接晶圆上，但是现有的分光器生产设备结构比较简单，如申请号为CN202021415352.0的已授权专利，较难对晶圆与玻璃之间的气泡进行清理，而且透光板容易影响光照效果，导致粘接效果较差，并且工作人员需要观察粘接过程和固化效果，而晶圆与玻璃之间的气泡较小，光源亮度较强，长时间如此观察，对工作人员的眼睛伤害较高，容易患上严重的职业病，导致实用性较差，因此需要对现有的设备进行改善。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种将多组晶圆放于旋转装置上，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过密封装置对晶圆的周围抽真空，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆伸展，使多组透明套管的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组电动推杆对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时工作人员通过检查设备对多组晶圆与多组玻璃片之间进行检查，从而提高晶圆与玻璃片的粘接效果和设备的实用性的一种PLC分光器的半自动化生产设备。

本发明的一种PLC分光器的半自动化生产设备，包括支撑机构、密封装置、固化装置和检查装置，密封装置安装于支撑机构上，固化装置和检查装置均安装于密封装置中，所述密封装置对晶圆的周围抽真空，固化装置对UV胶水进行干燥，检查装置对晶圆中的气泡进行检查；

所述固化装置包括多组电动推杆、升降板、多组透明套管、多组第一UV光源和旋转装置，多组电动推杆的顶端均安装于密封装置的内部，多组电动推杆的底端均与升降板的顶端相连接，多组透明套管的顶端均与升降板的底端相连接，多组第一UV光源分别安装于多组透明套管内的顶端，旋转装置安装于密封装置上；

将多组晶圆放于旋转装置上，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过密封装置对晶圆的周围抽真空，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆伸展，使多组透明套管的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组电动推杆对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时工作人员通过检查设备对多组晶圆与多组玻璃片之间进行检查，从而提高晶圆与玻璃片的粘接效果和设备的实用性。

优选的，所述支撑机构包括工作台、两组支撑柱和横梁，横梁通过两组支撑柱与工作台的顶端相连接；通过工作台和横梁对密封装置进行支撑，从而提高设备的稳定性。

优选的，所述密封装置包括液压缸、密封罩、真空泵、底座和导向装置，液压缸的顶端与横梁的底端相连接，液压缸的底端与密封罩的顶端相连接，并且密封罩的后端设置有泄压电磁阀，底座的底端与工作台的顶端相连接，并且底座的顶端设置有密封条，真空泵安装于密封罩的顶端，并且真空泵左端设置有吸气口，真空泵的右端设置有排气口，真空泵的吸气口与密封罩的内部相通，导向装置安装于密封罩的左端和右端；通过液压缸伸展，同时通过导向装置导向，使密封罩的低端下压在底座的顶端，使密封条对密封罩与底座的接缝处进行密封，之后通过打开真空泵，将密封罩的内部抽真空至合适气压，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，从而提高设备的除气泡效果。

优选的，所述检查装置包括多组摄像头和显示屏，多组摄像头的顶端均与密封罩内的顶端固定连接，显示屏的后端与工作台的前端转动连接；通过多组摄像头对多组晶圆进行摄像，同时将摄像画面传输至显示屏中，使显示屏对摄像画面进行显示，工作人员通过观察显示屏，检查多组晶圆，从而提高设备的便捷性，减少强光对工作人员眼睛的伤害。

优选的，所述旋转装置包括传动箱、驱动电机和支撑台，传动箱的底端与底座的顶端相连接，并且传动箱的侧端设置有输入端，传动箱的顶端设置有输出端，驱动电机安装于传动箱的侧端，并且驱动电机的左端与传动箱的输入端相连接，支撑台的底端与传动箱的输出端相连接，并且支撑台的顶端设置与多组凹槽；通过打开驱动电机，经传动箱传动，使支撑台旋转，方便工作人员将多组晶圆放入至支撑台顶端的多组凹槽中，之后晶圆与玻璃片黏在一起后，再通过支撑台旋转，方便工作人员对晶圆进行检查，从而提高设备的便捷性。

优选的，所述导向装置包括两组连接板和两组滑套，两组滑套分别套装于两组支撑柱上，两组连接板的一端分别与两组滑套的侧端相连接，两组连接板的另一端分别与密封罩的左端和右端相连接；通过两组滑套分别在两组支撑柱上滑动，对伸展或收缩的液压缸进行导向，从而提高设备的稳定性。

优选的，还包括多组第二UV光源，多组第二UV光源的底端分别安装于支撑台顶端的多组凹槽中；通过多组第二UV光源分别对多组晶圆的底部进行照射，从而加快晶圆上UV较的固化速度。

优选的，还包括过滤箱和多组滤网，过滤箱的底端与密封罩的顶端相连接，并且过滤箱的底端设置有进气口与密封罩的内部相通，多组过滤箱均安装于过滤箱的内部，所述真空泵的吸气口与过滤箱的内部相通；真空泵将密封罩内的空气吸入至过滤箱的内部，经多组滤网过滤后，再通过真空泵将空气排出，对密封罩的内部进行除尘，从而提高设备的实用性。

与现有技术相比本发明的有益效果为：将多组晶圆放于旋转装置上，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过密封装置对晶圆的周围抽真空，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆伸展，使多组透明套管的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组电动推杆对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时工作人员通过检查设备对多组晶圆与多组玻璃片之间进行检查，从而提高晶圆与玻璃片的粘接效果和设备的实用性。

附图说明

图1是本发明的轴测结构示意图；

图2是本发明的正视剖面结构示意图；

图3是本发明的正视结构示意图；

图4是本发明密封罩的轴测剖面放大结构示意图；

图5是本发明支撑台的正视剖面放大结构示意图；

图6是本发明支撑台的轴测放大结构示意图；

图7是本发明透明套管的正视剖面放大结构示意图；

图8是本发明过滤箱的正视剖面放大结构示意图；

附图中标记：1、电动推杆；2、升降板；3、透明套管；4、第一UV光源；5、工作台；6、支撑柱；7、横梁；8、液压缸；9、密封罩；10、真空泵；11、底座；12、密封条；13、摄像头；14、显示屏；15、传动箱；16、驱动电机；17、支撑台；18、连接板；19、滑套；20、第二UV光源；21、过滤箱；22、滤网。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。

实施例1

如图1、图2、图3和图4所示，密封装置安装于支撑机构上，固化装置和检查装置均安装于密封装置中，所述密封装置对晶圆的周围抽真空，固化装置对UV胶水进行干燥，检查装置对晶圆中的气泡进行检查；

所述固化装置包括多组电动推杆1、升降板2、多组透明套管3、多组第一UV光源4和旋转装置，多组电动推杆1的顶端均安装于密封装置的内部，多组电动推杆1的底端均与升降板2的顶端相连接，多组透明套管3的顶端均与升降板2的底端相连接，多组第一UV光源4分别安装于多组透明套管3内的顶端，旋转装置安装于密封装置上；

所述支撑机构包括工作台5、两组支撑柱6和横梁7，横梁7通过两组支撑柱6与工作台5的顶端相连接；

所述密封装置包括液压缸8、密封罩9、真空泵10、底座11和导向装置，液压缸8的顶端与横梁7的底端相连接，液压缸8的底端与密封罩9的顶端相连接，并且密封罩9的后端设置有泄压电磁阀，底座11的底端与工作台5的顶端相连接，并且底座11的顶端设置有密封条12，真空泵10安装于密封罩9的顶端，并且真空泵10左端设置有吸气口，真空泵10的右端设置有排气口，真空泵10的吸气口与密封罩9的内部相通，导向装置安装于密封罩9的左端和右端；

将多组晶圆放于旋转装置上，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过液压缸8伸展，同时通过导向装置导向，使密封罩9的低端下压在底座11的顶端，使密封条12对密封罩9与底座11的接缝处进行密封，之后通过打开真空泵10，将密封罩9的内部抽真空至合适气压，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆1伸展，使多组透明套管3的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组第一UV光源4对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时工作人员通过检查设备对多组晶圆与多组玻璃片之间进行检查，从而提高晶圆与玻璃片的粘接效果和设备的实用性。

实施例2

如图1和图2所示，密封装置安装于支撑机构上，固化装置和检查装置均安装于密封装置中，所述密封装置对晶圆的周围抽真空，固化装置对UV胶水进行干燥，检查装置对晶圆中的气泡进行检查；

所述固化装置包括多组电动推杆1、升降板2、多组透明套管3、多组第一UV光源4和旋转装置，多组电动推杆1的顶端均安装于密封装置的内部，多组电动推杆1的底端均与升降板2的顶端相连接，多组透明套管3的顶端均与升降板2的底端相连接，多组第一UV光源4分别安装于多组透明套管3内的顶端，旋转装置安装于密封装置上；

所述支撑机构包括工作台5、两组支撑柱6和横梁7，横梁7通过两组支撑柱6与工作台5的顶端相连接；

所述检查装置包括多组摄像头13和显示屏14，多组摄像头13的顶端均与密封罩9内的顶端固定连接，显示屏14的后端与工作台5的前端转动连接；

将多组晶圆放于旋转装置上，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过密封装置对晶圆的周围抽真空，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆1伸展，使多组透明套管3的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组第一UV光源4对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时通过多组摄像头13对多组晶圆进行摄像，同时将摄像画面传输至显示屏14中，使显示屏14对摄像画面进行显示，工作人员通过观察显示屏14，检查多组晶圆，从而提高晶圆与玻璃片的粘接效果和设备的实用性。

如图1至图8所示，本发明的一种PLC分光器的半自动化生产设备，其在工作时，首先通过打开驱动电机16，经传动箱15传动，使支撑台17旋转，方便工作人员将多组晶圆放入至支撑台17顶端的多组凹槽中，并在多组晶圆的顶端涂抹UV胶水后，将多组玻璃片放于多组晶圆的顶端，之后通过液压缸8伸展，同时通过导向装置导向，使密封罩9的低端下压在底座11的顶端，使密封条12对密封罩9与底座11的接缝处进行密封，之后通过打开真空泵10，将密封罩9内的空气吸入至过滤箱21的内部，经多组滤网22过滤后，再通过真空泵10将空气排出，将密封罩9的内部抽真空至合适气压，将晶圆与玻璃片之间的气泡抽出，再通过多组电动推杆1伸展，使多组透明套管3的底端分别下压在多组玻璃片的顶端，通过打开多组第一UV光源4和多组第二UV光源20对多组晶圆上的UV胶水进行照射，使UV胶水固化，将晶圆与玻璃片粘在一起，同时通过多组摄像头13对多组晶圆进行摄像，同时将摄像画面传输至显示屏14中，使显示屏14对摄像画面进行显示，工作人员通过观察显示屏14，检查多组晶圆即可。

本发明所实现的主要功能为：通过对密封罩9的内部抽真空，将晶圆与玻璃片中间的气泡抽出，通过透明套管底端较小的接触点下压玻璃片，提高晶圆与玻璃片的粘接效果，并且通过摄像头13对晶圆进行摄像，使工作人员通过显示屏14对晶圆进行间接的检查。

本发明的一种PLC分光器的半自动化生产设备，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本发明的一种PLC分光器的半自动化生产设备的电动推杆1、第一UV光源4、液压缸8、真空泵10、摄像头13、显示屏14、驱动电机16和第二UV光源20为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可，而无需本领域的技术人员付出创造性劳动。

本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。