一种石英坩埚喷涂用运料设备

技术领域

本发明涉及坩埚搬运技术领域，具体为一种石英坩埚喷涂用运料设备。

背景技术

石英坩埚是一种生产单晶硅棒所需的设备，其中，在石英坩埚的生产过程中，需要使用运料装置来将具有较高温度的石英坩埚搬运到涂料工作台上，进而对石英坩埚的内表面喷涂涂料，从而阻止单晶硅在高温拉制过程中硅与石英坩埚反应。

现有的一些运料装置由安装座、调距机构、搬运臂与吸盘组成，在工作时，将安装座与叉车连接，之后，令搬运臂带动吸盘接触并吸附石英坩埚(方形)的外壁，然后，叉车带动安装座上移，进而使石英坩埚被抬起，最后，将石英坩埚放置在涂料工作台上，并使吸盘脱离石英坩埚，通过上述动作，进而实现石英坩埚的搬运，但是在上述过程中，由于上述结构只通过吸力带动石英坩埚脱离地面，进而使得在搬运过程中，当吸盘突然失效时，石英坩埚会发生掉落，而由于石英坩埚较为脆弱，一旦发生掉落，就会造成石英坩埚的破损，从而产生一定的经济损失。

发明内容

针对背景技术中提出的现有运料装置在使用过程中存在的不足，本发明提供了一种石英坩埚喷涂用运料设备，具备降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率的优点，解决了上述背景技术中提出的技术问题。

本发明提供如下技术方案：一种石英坩埚喷涂用运料设备，包括安装座，所述安装座安装在叉车上，所述安装座内部的两侧位置均滑动安装有搬运臂，两侧所述搬运臂之间的位置放置有石英坩埚，所述安装座内部的中间位置固定安装有调距机构，所述调距机构的输出杆与搬运臂形成固定连接，两侧位置所述搬运臂的相对侧面上均固定安装有施力件，所述施力件的内腔中滑动安装有升降台，所述升降台面向石英坩埚的侧面安装有吸盘，用以吸附石英坩埚的外壁，所述升降台的底面固定安装有一号弹性件，所述一号弹性件的下端与施力件内腔的底面连接，所述升降台的前后侧面均设置有传动机构，所述石英坩埚内设置有内支撑件，所述传动机构与内支撑件连接，所述施力件的前后内壁上均固定安装有偏移块，所述偏移块位于滑条背向石英坩埚的一侧位置，在工作时，所述传动机构与偏移块接触，进而使内支撑件接触石英坩埚的内壁。

优选的，所述施力件的前后内壁上均固定安装有滑条，所述升降台的前后侧面上均开设有滑槽，所述滑条与滑槽形成滑动连接。

优选的，所述升降台内部的上方位置开设有导气孔，所述导气孔的下侧与吸盘围成的空间连通，所述导气孔的上侧开设在升降台的上表面，所述升降台的上方位置设置有气管，所述气管与施力件形成滑动连接，所述气管的下端与导气孔的上侧连通，所述气管的上端与负压机构连通。

优选的，所述传动机构包括平移槽、平移件、二号弹性件、接触件、开口与一号连杆，所述升降台前后侧面上均开设有平移槽，所述平移槽中滑动卡接有平移件，所述平移件面向石英坩埚的侧面与平移槽靠近石英坩埚的内壁之间共同固定安装有二号弹性件，所述升降台的前后两侧均设置有接触件，所述接触件与平移件形成固定连接，在搬运石英坩埚时，所述接触件与偏移块接触，进而使接触件带动平移件向远离石英坩埚的方向移动，所述施力件内部位于升降台上方的位置纵向贯穿开设有开口，所述接触件的上侧面固定安装有一号连杆，所述一号连杆的另一端穿过开口，并伸入石英坩埚内，所述一号连杆的另一端与内支撑件形成固定连接。

优选的，所述内支撑件与吸盘处于同一水平高度，且相互对应。

优选的，所述升降台内部对应平移槽的位置开设有伸缩腔，所述伸缩腔与平移槽连通，所述伸缩腔的前后两侧均活动卡接有拨动件，所述拨动件的一端为弧形端，所述拨动件的弧形端头伸入对应方向的平移槽中，所述拨动件的另一端为锥形端，所述伸缩腔中位于前后位置拨动件之间的位置滑动安装有伸缩件，所述伸缩件的前后两侧分别与对应方向拨动件的锥形端接触，所述升降台内部位于伸缩腔面向石英坩埚的一侧位置密封活动安装有二号连杆，所述吸盘所围成的空间内部设置有外支撑件，所述二号连杆的一端与伸缩件形成固定连接，所述二号连杆的另一端与外支撑件形成固定连接，所述伸缩腔中位于二号连杆的外侧活动套接有三号弹性件。

优选的，所述外支撑件的内部横向贯穿开设有通孔，所述一号弹性件、二号弹性件与三号弹性件的弹力之和小于石英坩埚的重力。

本发明具备以下有益效果：

1、本发明通过接触件与内支撑件的设置，在吸盘与石英坩埚的外壁吸附后，搬运臂带动施力件与吸盘上移，由于此时，吸盘受到石英坩埚的重力作用，进而使得吸盘相对施力件下移，下移的吸盘带动接触件接触偏移块，使得接触件发生水平移动，并带动内支撑件接触石英坩埚的内壁，通过上述动作，使得内支撑件对石英坩埚施加向外的支撑力，进而提高对石英坩埚的固定效果，使得在吸盘失效后，两侧的内支撑件仍能阻止石英坩埚掉落，从而降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

2、本发明通过内支撑件与吸盘的设置，由于吸盘与内支撑件处于同一水平高度，且相互对应，进而使得吸盘吸附石英坩埚外壁时，会对该壁体施加一定的水平支撑力，通过该支撑力配合内支撑件对石英坩埚施加的向外支撑力，进而使得两者对石英坩埚起到一定的夹持作用，通过上述动作，使得在吸盘失效后，吸盘仍能对石英坩埚施加阻力，从而进一步降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

3、本发明通过外支撑件与内支撑件的设置，在上述接触件发生水平移动的过程中，平移件会挤压拨动件，使得伸缩件带动外支撑件接触石英坩埚的外壁，通过上述动作，进而令两侧的外支撑件对石英坩埚施加向内的挤压力，使得石英坩埚的固定效果提高，同时，通过向内挤压的外支撑件与向外挤压的内支撑件，进而进一步提高对石英坩埚的夹持力，降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

附图说明

图1为本发明施力件内部结构示意图；

图2为本发明滑条与偏移块相对位置示意图；

图3为本发明吸盘与外支撑件相对位置示意图；

图4为本发明导气孔连通状态示意图；

图5为本发明升降台内部结构示意图；

图6为现有技术结构示意图。

图中：1、安装座；2、搬运臂；3、调距机构；4、施力件；5、升降台；6、滑条；7、滑槽；8、吸盘；9、一号弹性件；10、平移槽；11、平移件；12、二号弹性件；13、接触件；14、偏移块；15、开口；16、一号连杆；17、内支撑件；18、导气孔；19、气管；20、伸缩腔；21、拨动件；22、伸缩件；23、二号连杆；24、外支撑件；25、三号弹性件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1、图2、图3、图5与图6，一种石英坩埚喷涂用运料设备，包括安装座1，安装座1安装在叉车上，安装座1内部的两侧位置均滑动安装有搬运臂2，石英坩埚位于两个搬运臂2之间的位置，安装座1内部的中间位置固定安装有调距机构3(如现有技术中的液压缸与输出杆的组合)，调距机构3的输出杆与搬运臂2形成焊接固定，两侧位置搬运臂2的相对侧面上均焊接有施力件4，施力件4的内腔中设置有升降台5，施力件4的前后内壁上均焊接有滑条6，升降台5的前后侧面上均开设有滑槽7，滑条6与滑槽7形成滑动连接，升降台5面向石英坩埚的侧面安装有吸盘8，用以吸附石英坩埚的外壁，升降台5的底面固定安装有一号弹性件9，一号弹性件9的下端与施力件4内腔的底面连接，升降台5前后侧面上均开设有平移槽10，平移槽10中滑动卡接有平移件11，平移件11面向石英坩埚的侧面固定安装有二号弹性件12，二号弹性件12的另一端与平移槽10靠近石英坩埚的内壁连接，升降台5的前后两侧均设置有接触件13，接触件13与平移件11形成焊接固定，施力件4的前后内壁上均焊接有偏移块14，偏移块14位于滑条6背向石英坩埚的一侧位置，在搬运石英坩埚时，接触件13与偏移块14接触，进而使接触件13带动平移件11向远离石英坩埚的方向移动，施力件4内部位于升降台5上方的位置纵向贯穿开设有开口15，接触件13的上侧面焊接有一号连杆16，一号连杆16的另一端穿过开口15，并伸入石英坩埚内，一号连杆16的另一端焊接有内支撑件17，升降台5内部的上方位置开设有导气孔18，导气孔18的下侧与吸盘8围成的空间连通，导气孔18的上侧开设在升降台5的上表面，升降台5的上方位置设置有气管19，气管19与施力件4形成滑动连接，气管19的下端与导气孔18的上侧连通，气管19的上端与负压机构(现有技术)连通，在吸盘8与石英坩埚的外壁吸附后，利用搬运臂2带动施力件4与升降台5上移，由于此时，吸盘8受到石英坩埚的重力作用，进而使得升降台5相对施力件4下移，下移的升降台5带动接触件13接触偏移块14，使得接触件13发生水平移动，并通过一号连杆16带动内支撑件17接触石英坩埚的内壁，进而对石英坩埚施加向外的支撑力，使得在吸盘8失效后，两侧的内支撑件17仍能对石英坩埚施加下移阻力，从而降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

请参阅图1，内支撑件17与吸盘8处于同一水平高度，且相互对应，由于吸盘8吸附石英坩埚外壁时，会对该壁体施加一定的水平向内支撑力，通过该支撑力配合内支撑件17对石英坩埚施加的向外支撑力，进而使得两者对石英坩埚起到一定的夹持作用，导致在吸盘8失效后，吸盘8仍能对石英坩埚施加阻力，从而进一步降低石英坩埚在搬运过程中发生掉落的概率。

请参阅图1、图4与图5，升降台5内部对应平移槽10的位置开设有伸缩腔20，伸缩腔20与平移槽10连通，伸缩腔20的前后两侧均滑动卡接有拨动件21，拨动件21的一端为弧形端，拨动件21的弧形端头伸入对应方向的平移槽10中，拨动件21的另一端为锥形端，伸缩腔20中位于前后位置拨动件21之间的位置滑动安装有伸缩件22，伸缩件22的前后两侧分别与对应方向拨动件21的锥形端接触，升降台5内部位于伸缩腔20面向石英坩埚的一侧位置密封滑动安装有二号连杆23(上述连接关系类似现有技术中油缸与活塞之间的连接关系)，吸盘8所围成的空间内部设置有外支撑件24，二号连杆23的一端与伸缩件22形成焊接固定，二号连杆23的另一端与外支撑件24形成焊接固定，伸缩腔20中位于二号连杆23的外侧活动套接有三号弹性件25，在上述接触件13水平移动时，会带动平移件11同步移动，并拉伸二号弹性件12，移动的平移件11接触拨动件21的弧形端头，进而推动拨动件21伸入伸缩腔20，使得拨动件21的锥形端推动伸缩件22向石英坩埚的方向移动，最终使得二号连杆23带动外支撑件24接触石英坩埚的外壁，进而令两侧的外支撑件24对石英坩埚施加向内的挤压力，使得石英坩埚的固定效果提高，同时，通过向内挤压的外支撑件24与向外挤压的内支撑件17，进而进一步提高对石英坩埚的夹持力。

外支撑件24的内部横向贯穿开设有通孔，一号弹性件9、二号弹性件12与三号弹性件25的弹力之和小于石英坩埚的重力，通过上述通孔的设置，进而避免吸盘8工作时的负压影响上述功能的实现。

本发明的使用方法(工作原理)如下：

工作时，首先将安装座1安装在叉车上，之后，通过调距机构3调整两侧搬运臂2之间的距离，之后，将搬运臂2移动到石英坩埚的两侧，并带动安装座1下移，使得吸盘8处于石英坩埚的外侧位置，而内支撑件17处于石英坩埚的内侧位置，然后，令吸盘8接触石英坩埚的外壁，同时，令负压机构通过气管19与导气孔18，进而抽取吸盘8所围空间内部的空气，使得吸盘8吸附石英坩埚的外壁，然后，叉车带动安装座1上移，使得施力件4上移，而升降台5受到石英坩埚的重力作用，进而相对施力件4下移，并挤压一号弹性件9，在这个过程中，升降台5带动接触件13接触偏移块14，使得接触件13向远离石英坩埚的方向水平移动，移动的接触件13通过一号连杆16带动内支撑件17同步移动，使得内支撑件17接触石英坩埚的内壁，并对石英坩埚施加向外的支撑力，同时，移动的接触件13会带动平移件11同步移动，使得平移件11拉伸二号弹性件12，并挤压拨动件21的弧形端，使得拨动件21的锥形端挤压伸缩件22，进而令伸缩件22压缩三号弹性件25，并通过二号连杆23带动外支撑件24接触石英坩埚的外壁，使得外支撑件24对石英坩埚施加向内的支撑力，之后，随着安装座1的继续上移，使得石英坩埚被抬起，然后，将石英坩埚放置在涂料工作台上，并使安装座1下移，同时，令吸盘8不再吸附石英坩埚，由于此时，外支撑件24与内支撑件17共同夹持石英坩埚，进而使得搬运臂2带动施力件4下移，而升降台5相对施力件4上移，使得接触件13脱离偏移块14，进而令二号弹性件12与三号弹性件25释放弹力，并带动上述结构复位，之后，令安装座1上移，使得本装置脱离石英坩埚，此为一个工作循环。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。