一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构

技术领域

本发明属于半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构相关技术领域，具体涉及一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光，电子束，离子束，X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，光刻胶喷淋机构是一种用于物理学、电子与通信技术领域的工艺试验仪器。

经检索，申请号为CN202210578943.7的专利文件公开了一种光刻胶喷涂设备，涉及半导体生产领域，该喷涂设备包括喷涂机架、托盘和喷涂组件；所述喷涂组件包括喷涂头组件、料箱、料泵和承托驱动机构，所述喷涂头组件包括外壳体、旋转雾化件和导液细管，所述承托驱动机构包括支托架、支托滑轨、六棱柱和驱动件，所述支托架固定在喷涂机架上且六棱柱转动设在支托架上，六棱柱的外壁上设置有多组齿条且每组齿条的齿间距不同，所述支托滑轨设在支托架侧部且支托滑轨上设有在其上滑动的承托件，所述旋转雾化件的外壁上具有与其中一组齿条相啮合的外齿轮。本发明结构简单，能够雾化光刻胶喷涂并调节光刻胶的雾化及喷涂速度，喷涂均匀且便于操作；

以上专利在使用时，喷涂的材料只能放置在喷涂机内部位置处进行存储，且在喷涂时会弄脏拉门。

本发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构，以解决上述背景技术中提出的喷涂的材料只能放置在喷涂机内部位置处进行存储，且在喷涂时会弄脏拉门问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构，包括喷涂机和固定边框，所述喷涂机的前端在位于中间位置处设置有固定边框，所述固定边框的内部位置处设置有套接柱，所述套接柱的右端位置处设置有吸铁石，所述固定边框的内侧在位于右方位置处设置有可抽拉板，所述喷涂机的前端位置处设置有拉门，所述拉门的内侧位置处设置有，所述固定板的下端在位于四角位置处设置有膨胀胶塞，所述固定板的上端位置处设置有稀释海绵。

优选的，所述喷涂机的前端在位于左侧位置处设置有控制按钮，所述喷涂机的前端在位于左侧下方位置处设置有铭牌，所述喷涂机的前端在位于右侧上方位置处设置有液晶显示屏，所述喷涂机的前端在位于右侧中间上方位置处设置有操控面板，所述喷涂机的前端在位于下方位置处设置有箱门，所述喷涂机的上端在位于右侧位置处设置有报警灯，所述喷涂机的下端在位于四角位置处设置有移动万向轮。

优选的，所述喷涂机的内壁位置处设置有通风孔，所述喷涂机的内侧位置处设置有喷头，所述喷涂机的内侧在位于上方位置处设置有工作平台。

优选的，所述拉门的前端位置处设置有显示窗，所述拉门的前端在位于下方位置处设置有固定把手，所述拉门通过液压杆与喷涂机固定连接。

优选的，所述控制按钮设置有多个，所述控制按钮可操控喷涂机和喷头进行工作，所述控制按钮的控制方式设置为按压式和旋转式。

优选的，所述移动万向轮设置有四个，所述移动万向轮可进行任意角度转动，所述移动万向轮通过固定螺栓与喷涂机固定连接。

优选的，所述固定板的形状结构设置为长方体结构，所述固定板通过膨胀胶塞与拉门套接在一起。

优选的，所述可抽拉板套接在固定边框的内部位置处，所述固定边框与喷涂机焊接在一起，所述套接柱和吸铁石套接在可抽拉板的内部位置处。

与现有技术相比，本发明提供了一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构，具备以下有益效果：

1、在喷涂机的前端位置处焊接有固定边框，当需要放置物品时，可以将可抽拉板拉出，使得吸铁石吸附在可抽拉板的内侧位置处，然后可将物体放置在可抽拉板的上端位置处，使用完成之后在将可抽拉板推进内部位置处即可。

2、在拉门的内侧位置处设置有稀释海绵，稀释海绵通过膨胀胶塞与拉门套接在一起，当在喷淋时稀释海绵可以稀释胶，防止其弄脏拉门。

附图说明

图1为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构结构示意图。

图2为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构拉门打开结构示意图。

图3为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构稀释海绵结构示意图。

图4为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构可抽拉板结构示意图。

图5为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构可抽拉板工作原理结构示意图。

图6为本发明的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构可抽拉板内部解刨结构示意图。

图中：1、喷涂机；2、控制按钮；3、固定把手；4、铭牌；5、移动万向轮；6、箱门；7、可抽拉板；8、操控面板；9、液晶显示屏；10、报警灯；11、显示窗；12、拉门；13、液压杆；14、稀释海绵；15、通风孔；16、喷头；17、工作平台；18、固定板；19、膨胀胶塞；20、固定边框；21、套接柱；22、吸铁石。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-6所示的一种半导体涂胶设备的光刻胶喷淋机构，包括喷涂机1和固定边框20，喷涂机1的前端在位于中间位置处设置有固定边框20，固定边框20的内部位置处设置有套接柱21，套接柱21的右端位置处设置有吸铁石22，固定边框20的内侧在位于右方位置处设置有可抽拉板7，喷涂机1的前端位置处设置有拉门12，拉门12的内侧位置处设置有28，固定板18的下端在位于四角位置处设置有膨胀胶塞19，固定板18的上端位置处设置有稀释海绵14。

如图1和图2所示，为了对半导体进行喷涂，喷涂机1的前端在位于左侧位置处设置有控制按钮2，喷涂机1的前端在位于左侧下方位置处设置有铭牌4，喷涂机1的前端在位于右侧上方位置处设置有液晶显示屏9，喷涂机1的前端在位于右侧中间上方位置处设置有操控面板8，喷涂机1的前端在位于下方位置处设置有箱门6，喷涂机1的上端在位于右侧位置处设置有报警灯10，喷涂机1的下端在位于四角位置处设置有移动万向轮5，喷涂机1的内壁位置处设置有通风孔15，喷涂机1的内侧位置处设置有喷头16，喷涂机1的内侧在位于上方位置处设置有工作平台17，拉门12的前端位置处设置有显示窗11，拉门12的前端在位于下方位置处设置有固定把手3，拉门12通过液压杆13与喷涂机1固定连接，控制按钮2设置有多个，控制按钮2可操控喷涂机1和喷头16进行工作， 控制按钮2的控制方式设置为按压式和旋转式，移动万向轮5设置有四个，移动万向轮5可进行任意角度转动，移动万向轮5通过固定螺栓与喷涂机1固定连接，将半导体放置在喷涂机1的内部位置处，通过喷头16进行喷涂。

如图2和图3所示，为了防止胶弄脏拉门12，固定板18的形状结构设置为长方体结构，固定板18通过膨胀胶塞19与拉门12套接在一起，通过稀释海绵14可以防止弄脏拉门12。

如图4和图5所示，为了方便放置材料，可抽拉板7套接在固定边框20的内部位置处，固定边框20与喷涂机1焊接在一起，套接柱21和吸铁石22套接在可抽拉板7的内部位置处，通过可抽拉板7往外侧拉出，放置在可抽拉板7的上端位置处即可。

本发明工作原理：工作人员将装置移动到指定的位置处，然后将装置的内部电源线与外部电源进行接通，打开拉门12将需要喷涂的半导体放置在工作平台17的上端位置处，通过控制按钮2来启动喷涂机1，通过操控面板8来控制喷涂机1进行工作，设定好工作程序之后关上拉门12，通过喷头16对半导体进行喷涂，工作完成之后打开拉门12将半导体拿出即可，且为了方便放置材料，在喷涂机1的前端位置处焊接有固定边框20，当需要放置物品时，可以将可抽拉板7拉出，使得吸铁石22吸附在可抽拉板7的内侧位置处，然后可将物体放置在可抽拉板7的上端位置处，使用完成之后在将可抽拉板7推进内部位置处即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。