电镀装置

技术领域

本发明涉及一种电镀装置。

背景技术

以往，已知如下的旋转式电镀装置(例如，参见专利文献1、专利文献2)，在该电镀装置中，使上表面侧开口、在内部收容有作为电镀对象物的工件和成为阳极的金属筒并且被供给了电镀液的阴极容器旋转来进行电镀处理。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-22399号公报

专利文献2：日本特开2006-274412号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，存在对工件实施多种电镀的情况。在该情况下，针对每个电镀的种类准备电镀单元。此时，为了避免设备的大型化，要求适当地设定使阴极容器移动的动线。在专利文献1、专利文献2中，没有设想进行多种电镀，对于阴极容器的动线没有做出任何考虑，也没有考虑进行多种电镀时对空间的节省。

于是，本发明的课题在于实现进行多种镀覆时的空间节省。

用于解决课题的手段

为了解决所述课题，本发明的电镀装置具有：电镀作业部，在该电镀作业部中，包含旋转台部的至少一对电镀单元相邻配置；搬运起重机部，其将阴极容器以能够移动的方式配置于所述旋转台部；架台，其使所述搬运起重机部移动；以及投入部和/或回收部，该投入部和/或回收部以能够载置所述阴极容器的方式配置于所述电镀作业部的周围的至少一方，在将所述旋转台部相邻的方向设为第1方向且将与该第1方向交叉的方向设为第2方向时，所述架台在所述电镀作业部的所述第2方向的一侧沿着所述第1方向延伸。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部和所述回收部隔着所述电镀作业部在所述第1方向上对置地配置。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部和所述回收部相邻，并且设置在所述电镀作业部的所述第1方向或第2方向的一侧。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述架台以比至少所述一对电镀单元分别具有的旋转台部间的距离长的距离设置。

上述结构的电镀装置还可以构成为，在所述电镀作业部的所述第2方向的另一侧设置有配管设置部，该配管设置部配置有与电镀液供给管连接的配管。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述电镀液供给管是挠性管。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器的上表面侧开口。

上述结构的电镀装置还可以构成为，在所述电镀作业部的所述第2方向的另一侧设置有电镀液槽，该电镀液槽与电镀液供给管连接。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述投入部在所述第2方向的一侧具备待机位置。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述回收部在所述第2方向的一侧具备取出位置。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元包括进行镀镍的单元和进行镀锡的单元。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元包括进行镀镍的单元和进行镀锡的单元，所述进行镀锡的单元配置在比进行镀镍的单元靠近所述回收部的一侧。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器在外形尺寸最大的外周面部具备电极。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述阴极容器以至少能够从底部到侧壁部通电的方式设置。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元所具备的旋转台部之间的距离小于所述阴极容器的外径的3倍。

上述结构的电镀装置还可以构成为，所述一对电镀单元中的、之后进行电镀作业的单元所具备的旋转台部与所述取出位置之间的距离小于所述阴极容器的外径的6倍。

发明效果

根据本说明书公开的发明，能够实现进行多种电镀时的空间节省。

附图说明

图1(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图，图1(B)是表示阴极容器的直径与电镀装置所具备的旋转台部之间的距离和旋转台部至取出位置的距离的关系的说明图。

图2是示出图1所示的电镀装置中包含的各部分的配置的示意图。

图3(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的主视图，图3(B)是阴极容器的侧视图。

图4(A)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的右侧视图，图4(B)是表示第1实施方式的电镀装置的概要结构的左侧视图。

图5是旋转台部的说明图。

图6(A)是表示上升状态的阳极头的说明图，图6(B)是表示下降状态的阳极头的说明图，图6(C)是表示上升状态的水洗头的说明图，图6(D)是表示下降状态的水洗头的说明图。

图7(A)是水平方向伸缩部伸长且升降部伸长的状态的搬运起重机部的说明图，图7(B)是水平方向伸缩部伸长且升降部收缩的状态的搬运起重机部的说明图，图7(C)是水平方向伸缩部收缩且升降部伸长的状态的搬运起重机部的说明图，图7(D)是表示搬运起重机部的主体部旋转的情况的说明图。

图8是表示在设置于投入部的待机位置处设置的定位台周边的情况的说明图。

图9是表示电镀装置的控制系统的图。

图10是表示投入到投入部的阴极容器的移动情况的说明图。

图11(A)是表示在旋转台部搭载有阳极头的状态的说明图，图11(B)是表示一边向阴极容器内供给电镀液一边使旋转台部旋转的情况的说明图。

图12(A)是表示在旋转台部搭载有水洗头的状态的说明图，图12(B)是表示一边向阴极容器内供给清洗水一边使旋转台部旋转的情况的说明图。

图13是表示排出到回收部的阴极容器的移动情况的说明图。

图14是表示第2实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图15是表示第3实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图16是表示第4实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图17是表示第5实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图18是表示第6实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图19是表示第7实施方式的电镀装置的概要结构的俯视图。

图20是表示变形例的阴极容器的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。其中，在附图中，各部分的尺寸、比率等有时未表示为与实际情况完全一致。另外，为了便于绘图，有时根据附图而省略细节部分，或者省略构成要素本身。

第1实施方式

首先，参见图1(A)至图4(B)，对第1实施方式的电镀装置1的概要结构进行说明。图1(A)是表示电镀装置1的概要结构的俯视图，图1(B)是表示阴极容器3的直径与电镀装置1所具备的旋转台部11之间的距离、以及与从旋转台部11至取出位置P3的距离的关系的说明图。图2是表示电镀装置中包含的各部分的配置的示意图。图3(A)是表示电镀装置1的概要结构的主视图，图3(B)是阴极容器的侧视图。图4(A)是表示电镀装置1的概要结构的右侧视图，图4(B)是表示电镀装置1的概要结构的左侧视图。

电镀装置

在对电镀装置1的详细结构进行说明之前，对本实施方式的电镀装置1的用途进行简单说明。本实施方式的电镀装置1对工件W(参见图3(B))进行2种电镀处理。在本实施方式中，利用电镀装置1进行镀镍(Ni)和镀锡(Sn)。另外，2种电镀的组合并不限定于此，可适当选定。例如，除了上述的镀镍、镀锡以外，也可以从镀铬(Cr)、镀锌(Zn)、镀铜(Cu)、镀银(Ag)、镀金(Au)、镀铑(Ro)、电镀焊料等中选择2种电镀进行组合。

本实施方式中的工件W是电子部件，例如是叠层陶瓷电容器(MLCC)。在本实施方式中，设想的是比较小的工件W，例如设想的是长度尺寸为0.6mm、宽度尺寸和高度尺寸分别为0.3mm，比被称为0603规格的尺寸小的叠层陶瓷电容器。本实施方式的电镀装置1实施用于形成这样的叠层陶瓷电容器的外部电极的电镀处理。

如图3(B)所示，工件W在收纳于在上表面侧具备开口部3a的阴极容器3内的状态下被进行电镀处理。阴极容器3以能够从底部3d到侧壁部3c通电的方式由导电性的材料形成。并且，在阴极容器3的上缘部，以由后面说明的搬运起重机部50悬吊的方式设置有凸缘部3b。另外，在底部3d设置有定位孔3e，在侧壁部3c设置有定位标记3f。后文会对这些内容进行说明。

工件W的尺寸仅为一例，并不限定于此，本实施方式的电镀装置能够适用于工件W的尺寸比较小的情况。以往，已知如下的电镀装置，通过使在内部投入有成为阳极的金属、工件以及导电性球的笼状的筒浸渍于贮存有电镀液的电镀浴槽中并使其旋转来进行电镀。在使用这样的筒型的电镀装置的情况下，若工件的尺寸变小，则存在工件被夹在形成于筒的间隙部分、或者在想要进行电镀处理的部位未适当地析出电镀的情况。另外，在使用筒型的电镀装置进行多种电镀的情况下，必须准备多个电镀浴槽和水洗浴槽，使筒在这些浴槽间移动。其结果是，装置容易大型化，难以实现空间的节省。根据本实施方式的电镀装置1，通过使用阴极容器3，能够对尺寸比较小的工件W实施电镀，另外，能够实现进行多种电镀时的空间节省。以下，对电镀装置1进行具体说明。

电镀装置1具有电镀作业部10、搬运起重机部50、液槽配置部60、投入部70、回收部80。这些部件被组装在框体2内。参见图2，在电镀作业部10中，沿着第1方向相邻的第1电镀单元U1和第2电镀单元U2相邻设置。搬运起重机部50沿着第1方向D1设置。液槽配置部60隔着电镀作业部10设置于搬运起重机部50的相反侧。投入部70以沿着与第1方向D1交叉的第2方向D2延伸的方式设置。回收部80以沿着第2方向D2延伸的方式设置。

电镀作业部

电镀作业部10是对工件W实施两种电镀的部分，在该电镀作业部10中，一对电镀单元、具体而言是第1电镀单元U1和第2电镀单元U2相邻配置。第1电镀单元U1和第2电镀单元U2沿着第1方向D1相邻。第1电镀单元U1进行镀镍。第2电镀单元U2进行镀锡。以下，对第1电镀单元U1和第2电镀单元U2进行说明。第1电镀单元U1和第2电镀单元U2在构成要素的配置方面略有不同，基本结构是共通的。因此，在以下的说明中，以第1电镀单元U1为中心进行说明，对于第2电镀单元U2，在附图中标注与第1电镀单元U1共同的参照编号，并省略对其的详细说明。

旋转台部

第1电镀单元U1具有旋转台部11。参见图5，旋转台部11具有载置部12、包围部13、旋转轴14、驱动马达18。

载置部12是载置阴极容器3的部分，设置有插入到阴极容器3所具备的定位孔3e(参见图3(B))中的定位销12a。通过在定位孔3e中插入定位销12a，从而即使在旋转台部11旋转的情况下，阴极容器3也能够维持稳定的状态。载置部12由导电性的材料形成。旋转台部11在成为停止状态时，定位销12a必定在规定的位置停止。

包围部13具有位于载置部12的周围的周壁13a、以及与该周壁13a连续且位于载置部12的下侧的底板13b。在底板13b的内侧面设置有径向内侧高而径向外侧低的倾斜面。另外，在底板13b的径向外侧连接有循环管20。通过在底板13b设置倾斜面，能够排出第1电镀液PL1和清洗水WL。

旋转轴14从载置部12的下表面沿铅垂方向向下延伸，在其下端侧设置有从动带轮14a。由此，载置部12在水平面内旋转，阴极容器3绕沿铅垂方向延伸的旋转轴旋转。在旋转轴14上设置有制动盘15。制动盘15固定于未图示的固定部，通过设置有制动块16a的制动钳16而停止旋转。在旋转轴14上设置有供电刷17。旋转轴14由导电性的材料形成，从供电刷17供给的电经由旋转轴14、载置部12而流向阴极容器3。

阳极头

第1电镀单元U1具有阳极头30。参见图6(A)和图6(B)，阳极头30设置成能够沿着导轨31移动。导轨31相对于旋转台部11被配置在液槽配置部60侧的上方的空间。导轨31与框体2连接(参见图1(A))。在不进行电镀的时间段，阳极头30在比旋转台部11靠液槽配置部60侧的上方的空间待机(参见图1(A))。通过对阳极头30及其导轨31采用这样的配置，能够在不限制搬运起重机部50的必要的可动区域的情况下成为节省空间的电镀装置。另外，从液槽配置部60到阳极头30的配管容易变短，有助于节省空间。

阳极头30具有伞状部32、沿着导轨31行进的滑动部33、伸缩部34、金属筒35、电镀液供给管36。伞状部32设置为能够借助组合直径不同的多个筒状的部件而形成的伸缩部34进行升降。伞状部32如图6(B)所示成为下降的状态，从而与旋转台部11所具备的包围部13的周壁13a组合起来(参见图11(A)等)。金属筒35形成阳极，由根据电镀的种类而选定的可溶性的金属形成，在第1电镀单元U1中，金属筒35由镍形成。此外，在第2电镀单元U2中，金属筒35由锡形成。阴极容器3的上表面侧开口，从该开口部3a供给各种的电镀液。金属筒35形成为中空，其内部成为供给电镀液的电镀液通路35a。代替根据电镀的种类来选定金属筒35的材质的情况，也可以根据电镀的种类，例如将镍或锡形成为粒状的材料分别配置于金属筒35的中空部分。电镀液供给管36是与电镀液通路35a连接的挠性管。通过使用挠性管，能够追随阳极头30的移动。并且，用于使阳极头30移动或升降的机构仅为一例，并不限定于此，可以适当采用以往公知的结构。

水洗头

第1电镀单元U1具有水洗头37。参见图6(C)和图6(D)，水洗头37设置成能够沿着导轨38移动。导轨38相对于旋转台部11被配置在液槽配置部60侧的上方的空间。导轨38与框体2连接(参见图1(A))。在不进行水洗的时间段，水洗头37在比旋转台部11靠液槽配置部60侧的上方的空间待机(参见图1(A))。通过对水洗头37及其导轨采用这样的配置，能够在不限制搬运起重机部50的必要的可动区域的情况下成为节省空间的电镀装置。另外，通过采用这种配置，从液槽配置部60到水洗头37的配管容易变短，有助于节省空间。

水洗头37具有伞状部39、沿着导轨38行进的滑动部40、伸缩部41、放水部42、清洗水供给管43。伞状部39设置为能够借助组合直径不同的多个筒状的部件而形成的伸缩部41进行升降。伞状部39如图6(D)所示成为下降的状态，从而与旋转台部11所具备的包围部13的周壁13a组合起来(参见图12(A)等)。阴极容器3的上表面侧开口，从该开口部3a供给清洗水WL。放水部42放出清洗水WL。清洗水供给管43是与放水部42连接的挠性管。通过使用挠性管，能够追随水洗头30的移动。并且，用于使水洗头37移动或升降的机构仅为一例，并不限定于此，可以适当采用以往公知的结构。如图1(A)所示，阳极头的导轨31和水洗头的导轨38在交叉的方向上伸长。通过这样的导轨的结构，阳极头和水洗头能够分别相对于旋转台部11从不同的方向到达阴极容器3，不会干涉彼此的位置，有助于节省空间。另外，阳极头30的导轨31由沿框体2的第1方向D1的方向延伸的构件支承，水洗头37的导轨38由沿框体2的第2方向D2的方向延伸的构件支承。多个阳极头30或水洗头37的导轨31、38分别由在框体2的不同方向上延伸的构件支承，由此能够分散施加于框体2的负荷，能够对其强度放宽要求地进行设计。

搬运起重机部

下面，参照图1(A)、图7(A)～图7(D)等对搬运起重机部50进行说明。搬运起重机部50将收纳有电镀处理前的工件W的阴极容器3从后面详细说明的待机位置P2搬运至第1电镀单元U1所具备的旋转台部11。另外，搬运起重机部50将阴极容器3从第1电镀单元U1所具备的旋转台部11搬运至第2电镀单元U2所具备的旋转台部11。而且，搬运起重机部50将收纳有电镀处理完成后的工件W的阴极容器3从第2电镀单元U2所具备的旋转台部11搬运至后面详细说明的取出位置P3。

搬运起重机部50具有架台51、行进部52、主体部53、水平方向伸缩部54、升降部55和手部56。如图1(A)所示，架台51位于电镀作业部10的第2方向D2的一侧，沿着第1方向D1延伸。搬运起重机部50能够沿着第1方向D1搬运作为搬运对象的阴极容器3。行进部52能够沿着架台51行进。

主体部53设置为能够相对于行进部52在水平面内旋转。水平方向伸缩部54设置于主体部53。水平方向伸缩部54由直径不同的多个筒状的部件组合而形成。搬运起重机部50借助水平方向伸缩部54而能够沿着第2方向D2搬运作为搬运对象的阴极容器3。如图4(A)、图4(B)所示，在第2方向D2的一侧具有搬运起重机的架台51。搬运起重机部50能够在第2方向D2的一侧自由动作。另一方面，在第2方向的另一侧配置有阳极头30、水洗头37和各自的导轨31、38、电镀液供给管36以及清洗水供给管43。

升降部55设置于水平方向伸缩部54的前端部。升降部55由直径不同的多个筒状的部件组合而形成。手部56设置于升降部55的下端部。手部56具备以能够开闭的方式设置的一对爪状部件。

搬运起重机部50的结构仅为一例，只要能够使手部56沿三维的期望方向移动，则可以适当地采用。另外，根据架台51的长度、以及与后面详细说明的待机位置P2、取出位置P3的位置关系而言，也可以是省略了水平方向伸缩部54的方式。

投入部

下面，参照图1(A)、图1(B)、图8等对投入部70进行说明。投入部70将收纳有电镀处理前的工件W的阴极容器3从投入位置P1搬运至待机位置P2。投入位置P1是为了将在其他部位进行了收纳电镀处理前的工件W的作业的阴极容器3提供给电镀装置1而进行投入的位置。阴极容器3在投入位置P1的投入可以由作业者进行，也可以由自动化的机器人等进行。待机位置P2是通过搬运起重机部50把持并悬挂阴极容器3的位置。待机位置P2设置于电镀作业部10的设置有架台51的一侧。该位置关系虽然起因于搬运起重机部50无法沿着第2方向D2到达液槽配置部60侧，但在将阴极容器3从待机位置P2迅速地搬运至第1电镀单元U1的方面来看搬运距离也变短，因此优选。

投入部70具有沿着第2方向D2延伸的投入输送机71。投入输送机71由驱动部71a驱动。在投入输送机71的起点侧设定有投入位置P1，在终点侧设定有待机位置P2。

参见图8，在待机位置P2设置有阴极容器3的定位部72。阴极容器3以在定位孔3e(参见图3(B))中插入有设置于载置部12的定位销12a的状态被设置于载置部12上。因此，定位销12a与定位孔3e的位置必须一致。定位部72进行该定位。定位部72具有以能够旋转的方式设置的定位台73、使该定位台73旋转的旋转驱动部73a(参见图9)、定位传感器74以及止动件75。定位台73在载置有在投入输送机71上移动来的阴极容器3的状态下旋转。然后，定位台73在由定位传感器74检测到设置于阴极容器3的侧表面的定位标记3f的位置停止。由此，阴极容器3的朝向一致。另外，止动件75使在投入输送机71上移动来的阴极容器3停止在定位台73上。并且，在待机位置P2进行这样的阴极容器3的定位动作会缩短作业时间，是优选的，但不必一定在待机位置P2进行，也可以在阴极容器3载置于旋转台11之前在其他场所进行。

回收部

下面，参照图1(A)等对回收部80进行说明。投入部80将收纳有完成了2种电镀处理后的工件W的阴极容器3从取出位置P3回收至排出位置P4。取出位置P3是阴极容器3被搬运起重机部50从第2电镀单元U2取出的位置。取出位置P3设置于电镀作业部10的设置有架台51的一侧。该位置关系虽然起因于搬运起重机部50无法沿着第2方向D2到达液槽配置部60侧，但在将阴极容器3从第2电镀单元U2迅速地搬运至取出位置P3的方面来看搬运距离也变短，因此优选。排出位置P4是阴极容器3从电镀装置1被排出的位置。阴极容器3从排出位置P4的排出可以由作业者进行，也可以由自动化的机器人等进行。

并且，第1电镀单元U1和第2电镀单元U2中的、之后进行电镀的单元、即进行镀锡的单元配置于靠近回收部80的一侧。由此，在电镀结束后，回收阴极容器3所需的移动距离变短，能够以更短的时间回收电镀处理后的工件W，能够抑制电镀膜的表面氧化。

回收部80具有沿着第2方向D2延伸的回收输送机81。回收输送机81由驱动部81a驱动。在回收输送机81的起点侧设定有取出位置P3，在终点侧设定有排出位置P4。

液槽配置部

下面，参照图1(A)、图2等对液槽配置部60进行说明。液槽配置部60包括第1电镀液槽61、第2电镀液槽63和清洗水槽65。

在第1电镀液槽61中贮存有用于在第1电镀单元U1中进行镀镍的第1电镀液PL1。在第1电镀液槽61设置有第1配管62。在第1配管62上配设有汲取第1电镀液槽61内的第1电镀液PL1的第1泵62a。第1配管62与第1电镀单元U1所具备的电镀液供给管36连接。

在第1电镀液槽61连接有循环管20，该循环管20与第1电镀单元U1所具备的包围部13的底板13b(参见图5)连接。此外，如图3(A)等所示，循环管20与排水管21分支，在该分支点设置有在循环管20与排水管21之间切换流路的切换阀22。在进行使用第1电镀液PL1的电镀时，切换阀22选择循环管20作为流路，在进行使用清洗水WL的水洗时，切换阀22选择排水管21作为流路。

在第2电镀液槽63中贮存有用于在第2电镀单元U2中进行镀锡的第2电镀液PL2。在第2电镀液槽63设置有第2配管64。在第2配管64上配设有汲取第2电镀液槽63内的第2电镀液PL2的第2泵64a。第2配管64与第2电镀单元U2所具备的电镀液供给管36连接。

在第2电镀液槽63连接有循环管20，该循环管20与第2电镀单元U2所具备的包围部13的底板13b(参见图5)连接。该循环管20与第1电镀单元U1的情况相同，与排水管21分支，在该分支点设置有在循环管20与排水管21之间切换流路的切换阀22。在进行使用第2电镀液PL2的电镀时，切换阀22选择循环管20作为流路，在进行使用清洗水WL的水洗时，切换阀22选择排水管21作为流路。

在清洗水槽65中贮存有用于由第1电镀单元U1和第2电镀单元U2清洗工件W的清洗水WL。在清洗水槽65设置有第3配管66。在第3配管66上配设有汲取清洗水槽65内的清洗水WL的第3泵66a。第3配管66和第3泵66a各设置有2个。一个第3配管66与第1电镀单元U1所具备的清洗水供给管43连接，另一个第3配管66与第2电镀单元U2所具备的清洗水供给管43连接。

在第3配管66设置有切换阀66b。在切换阀66b连接有分支管66c的一端。分支管66c的另一端在第1电镀单元U1中与第1配管62连接，在第2电镀单元U2中与第2配管64连接。由此，也能够向第1电镀单元U1和第2电镀单元U2各自的阳极头30侧供给清洗水。

这样的液槽配置部60隔着电镀作业部10设置于搬运起重机部50的相反侧。由此，避免搬运起重机部50与液槽配置部60的交错，搬运起重机部50的动作不会被液槽配置部60限制。另外，在电镀作业部10内，若在液槽配置部60侧配置阳极头30以及水洗头37，则电镀液供给管36和清洗水供给管43的配置变短，能够实现更节省空间的配置。通过这样的配置，在电镀作业部10内配置于第2方向D2的一方的架台51侧，能够使搬运起重机部50高效地动作。

在本实施例中，液槽配置部60配置于框体2。因此，与第1电镀液槽61连接的第1配管62、与第2电镀液槽63连接的第2配管64以及与清洗水槽65连接的第3配管66均位于液槽配置部60内。

配管设置部

这里，第1电镀液槽61、第2电镀液槽63和清洗水槽65也可以与框体2分离设置。在该情况下，如图2所示，在框体2设置配管设置部90来代替液槽配置部60，将从第1电镀液槽61、第2电镀液槽63和清洗水槽65延伸的配管类汇集于配管设置部90。由此，避免搬运起重机部50与配管设置部90的交错，搬运起重机部50的动作不会被配管设置部90限制。此外，在该情况下，第1电镀液槽61、第2电镀液槽63和清洗水槽65优选设置于电镀作业部10的第2方向D2的与设置有搬运起重机部50的一侧相反的一侧。这是因为，从节省空间的观点出发，将第1电镀液槽61、第2电镀液槽63和清洗水槽65相对于电镀作业部10配置在与配管设置部90相同的一侧是合理的。

控制部

下面，参照图9对电镀装置1的控制部1000进行说明。电镀装置1的主要部分的动作由具有微型计算机、各种驱动器和接口等的控制部1000进行控制。控制部1000具有键盘等输入部、液晶显示器等显示部、用于存储各种数据的存储部。在存储部中存储有动作控制用程序。电镀装置1具备用于使各部工作的各种驱动部和传感器类，它们如图9所示与控制部1000电连接。控制部1000按照动作控制用程序，使电镀装置1的各部动作，以对工件W实施两种电镀。

尺寸关系

下面，参照图1(B)对电镀装置1所包含的构成要素间的尺寸关系进行说明。在电镀装置1中，第1电镀单元U1和第2电镀单元U2分别具有包括载置部12的旋转台部11。在将本实施方式中的这些旋转台部11间的距离设为S1，将阴极容器3的外径设为R时，距离S1被设定为小于外径R的3倍。若进行第1电镀单元U1中的电镀处理，则阴极容器3旋转，从而工件W成为贴附于阴极容器3的侧壁部3c的状态。为了抑制在第1电镀单元U1中施加的镀镍膜的表面氧化，优选尽可能维持工件W贴附于阴极容器3的侧壁部3c的状态。因此，通过设为上述的尺寸关系，能够减少移动时的加减速的负荷，以使粘贴于侧壁部3c的工件W的状态尽可能不变化，并且，能够迅速地使阴极容器3从第1电镀单元U1向第2电镀单元U2移动。

另外，将在后进行电镀作业的第2电镀单元U2的旋转台部11与取出位置P3之间的距离设为S2时，距离S2被设定为小于外径R的6倍。在第2电镀单元U2中也同样，阴极容器3旋转，从而工件W成为贴附于阴极容器3的侧壁部3c的状态。通过将距离S2设定得较短，能够减少移动时的加减速的负荷，以使粘贴于侧壁部3c的工件W的状态尽可能不变化，并且，能够迅速地使阴极容器3移动至取出位置P3，以抑制电镀膜的表面氧化。在利用第1电镀单元U1进行镀镍、利用第2电镀单元U2进行镀锡的情况下，镀锡情况下的表面氧化的速度比镀镍情况下的表面氧化的速度慢。因此，与镀镍后相比，镀锡后相对于表面氧化在时间上有富余，因此能够使距离S2比距离S1长。

特别是，在如阴极容器3那样能够从底部3d到侧壁部3c通电的情况下，会成为在阴极容器3的内周面的较大的范围内贴附有更多的工件W的状态。即，由于考虑到各工件W处于容易氧化的状态，因此将距离S1或距离S2设为可在短时间内使阴极容器3移动的尺寸关系是有效的。

电镀方法

下面，参照图10至图13对使用电镀装置1的电镀方法进行说明。

投入工序

首先，准备收纳有成为实施电镀的对象的多个工件W的阴极容器3。然后，将该阴极容器3供给至对投入部70所具备的投入输送机71设定的投入位置P1。然后，使投入输送机71运转，使阴极容器3移动至待机位置P2。在待机位置P2，通过接收到控制部1000的指令的定位部72调节阴极容器3相对于定位传感器74的角度，以使阴极容器3所具备的定位孔3e来到规定的位置。具体而言，以定位传感器74能够读取定位标记3f的方式使载置有阴极容器3的定位台73旋转。由此，定位孔3e的位置被调整为与设置于旋转台部11的载置部12的定位销12a对应的位置。并且，可以预先向投入输送机71中投入多个阴极容器3。这些阴极容器3被依次供给至待机位置P2。因为能够缩短搬运距离，因此优选将待机位置P2设置于投入部70的搬运起重机部50侧。另外，从搬运起重机部50的可动区域的观点出发，待机位置P2也优选设置于投入部70的搬运起重机部50侧。

第1电镀工序

在通过定位部72完成阴极容器3的定位后，阴极容器3被搬运起重机部50把持并悬吊。被搬运起重机部50悬吊的阴极容器3载置于第1电镀单元U1所具备的旋转台部11的载置部12。此时，阴极容器3的定位孔3e中插入有定位销12a，从而将阴极容器3固定于载置部12。

在第1电镀工序中，控制部1000首先使阳极头30移动到包围部13上，将阳极头30安装于包围部13。然后，在金属筒35位于阴极容器3内的状态下使旋转台部11旋转。此时，控制部1000先将切换阀66b切换为使清洗水WL向分支管66c侧流动，然后驱动第3泵66a。然后，停止第3泵66a，驱动第1泵62a，通过阳极头30的电镀液通路35a向阴极容器3内供给第1电镀液PL1。此时，阴极容器3旋转，从而阴极容器3内的工件W成为贴附于阴极容器3的侧壁部3c侧的状态(参见图11(B))。

控制部1000在维持旋转台部11的旋转的状态下经由供电刷17向阳极头30与阴极容器3之间通电。之后，停止第1泵62a而停止第1电镀液PL1的注入，并且使旋转台部11的旋转停止。在停止旋转台部11的旋转时，使制动块16a工作。旋转台部11的旋转停止，使得离心力不再作用于工件W，各个工件W在阴极容器3内改变位置，贴附于侧壁部3c而成为固块的多个工件W被释放。

控制部1000在使旋转台部11停止规定时间之后，再次使旋转台部11旋转，注入第1电镀液PL1，进行规定时间的通电。之后，控制部1000再次停止第1电镀液PL1的注入，停止旋转台部11的旋转。

控制部1000按规定次数反复进行这样的旋转台部11的旋转、第1电镀液PL1的注入、通电、第1电镀液PL1的注入停止、旋转台部11的旋转停止。第1电镀液PL1的注入以及注入的停止通过第1泵62a的运转以及停止来进行。旋转台部11的旋转通过使驱动马达18运转来进行。

然后，反复进行了规定次数的这些动作的控制部1000将切换阀66b切换为使清洗水WL向分支管66c侧流动并驱动第3泵66a，从阳极头30注入清洗水WL。在清洗水WL的注入完成后，控制部1000使旋转台部11旋转来进行脱水。

脱水完成后，控制部1000使阳极头30退避，将水洗头37安装于包围部13，使切换阀66b成为清洗水WL被直接供给到第3配管66侧的状态。之后，控制部1000使旋转台部11旋转，使第3泵66a运转而从水洗头37向阴极容器3内供给清洗水WL。控制部1000在使旋转台部11的旋转和清洗水WL的供给持续了规定时间之后，停止清洗水WL的供给，使旋转台部11的旋转停止。控制部1000按规定次数反复进行旋转台部11的旋转、清洗水WL的供给、清洗水WL的供给停止、旋转台部11的旋转停止。这里，也可以最后使旋转台部11旋转来进行脱水处理。

以上就是第1电镀工序。在第1电镀工序完成后，控制部1000使第1电镀单元U1的水洗头37退避。

第2电镀工序

在第1电镀工序完成后，阴极容器3被搬运起重机部50把持并悬吊。被搬运起重机部50悬吊的阴极容器3载置于第2电镀单元U2所具备的旋转台部11的载置部12。此时，阴极容器3的定位孔3e中插入有定位销12a，从而将阴极容器3固定于载置部12。此时，旋转台部11间的距离R1被设定为小于阴极容器3的外径R的3倍，因此能够缩短阴极容器3的移动时间，能够抑制第1电镀膜的表面氧化。

在第2电镀工序中，控制部1000首先使阳极头30移动到包围部13上，将阳极头30安装于包围部13。然后，在金属筒35位于阴极容器3内的状态下使旋转台部11旋转。然后，驱动第2泵64a，通过阳极头30的电镀液通路35a向阴极容器3内供给第2电镀液PL2。此时，阴极容器3旋转，从而阴极容器3内的工件W成为贴附于阴极容器3的侧壁部3c侧的状态(参见图11(B))。

控制部1000在维持旋转台部11的旋转的状态下经由供电刷17向阳极头30与阴极容器3之间通电。之后，停止第2泵64a而停止第2电镀液PL2的注入，并且使旋转台部11的旋转停止。在停止旋转台部11的旋转时，使制动块16a工作。旋转台部11的旋转停止，使得离心力不再作用于工件W，各个工件W在阴极容器3内改变位置，贴附于侧壁部3c而成为固块的多个工件W被释放。

控制部1000在使旋转台部11停止规定时间之后，再次使旋转台部11旋转，注入第2电镀液PL2，进行规定时间的通电。之后，控制部1000再次停止第2电镀液PL2的注入，停止旋转台部11的旋转。

控制部1000按规定次数反复进行这样的旋转台部11的旋转、第2电镀液PL2的注入、通电、第2电镀液PL2的注入停止、旋转台部11的旋转停止。第2电镀液PL2的注入以及注入的停止通过第2泵64a的运转以及停止来进行。旋转台部11的旋转通过使驱动马达18运转来进行。并且，在第1电镀工序中，作为安装了阳极头30后的最初的工序，进行清洗水的供给，但在第2电镀工序中，不采用该工序。

在按规定次数反复进行这些动作后，控制部1000使阳极头30退避，将水洗头37安装于包围部13。此时，将切换阀66b设置为将清洗水WL直接供给至第3配管66侧的状态。之后，控制部1000使旋转台部11旋转，使第3泵66a运转而从水洗头37向阴极容器3内供给清洗水WL。控制部1000在使旋转台部11的旋转和清洗水WL的供给持续了规定时间之后，停止清洗水WL的供给，使旋转台部11的旋转停止。控制部1000按规定次数反复进行旋转台部11的旋转、清洗水WL的供给、清洗水WL的供给停止、旋转台部11的旋转停止。这里，也可以最后使旋转台部11旋转来进行脱水处理。另外，此后也可以转到干燥工序。并且，清洗水WL的温度可以根据电镀的种类适当设定。

以上就是第2电镀工序。在第2电镀工序完成后，控制部1000使第2电镀单元U2的水洗头37退避。

搬出工序

在第2电镀工序完成后，阴极容器3从第2电镀单元U2所具备的旋转台部11的载置部12被搬运起重机部50把持并悬吊，并被搬运到取出位置P3。这里，第2电镀单元U2的旋转台部11与取出位置P3之间的距离S2被设定为小于外径R的6倍，因此能够缩短阴极容器3的移动时间，能够抑制第2电镀膜的表面氧化。基于抑制表面氧化的观点，优选将取出位置P3设置于搬运距离更短的回收部80的搬运起重机部50侧。另外，从搬运起重机部50的可动区域的观点出发，取出位置P3也优选设置于回收部80的搬运起重机部50侧。

回收工序

通过使回收输送机81运转，从而将已被搬运至取出位置P3的阴极容器3移动至排出位置P4并回收。

效果

本实施方式的电镀装置1包括搬运起重机部50，该搬运起重机部50具有沿着第1方向D1延伸的架台51，以使阴极容器3在第1电镀单元U1与第2电镀单元U2之间移动。并且，电镀装置1还具有沿着第2方向D2延伸的投入部70和回收部80。因此，能够实现进行多种电镀时的空间节省。

第2实施方式

下面，参照图14对第2实施方式进行说明。在以下的说明中，以第1实施方式与第2实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

第1实施方式的电镀装置1中的投入部70和回收部80隔着电镀作业部10对置配置，且分别设置于电镀作业部10的第1方向D1的两侧。

与此相对，第2实施方式的电镀装置101中的投入部70和回收部80在电镀作业部10的沿着第1方向D1的一侧集中地相邻设置。通过对投入部70和回收部80采用这种配置，也能够实现进行多种电镀时的空间节省。并且，在该情况下，优选将回收部80配置在比投入部70更靠近电镀作业部10的一侧。其理由在于，这样配置能够迅速回收进行了电镀处理后的阴极容器3，能够抑制电镀膜的表面氧化。此外的结构和效果都与第1实施方式的电镀装置相同。

第3实施方式

下面，参照图15对第3实施方式进行说明。在以下的说明中，以第1实施方式与第3实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

在第3实施方式的电镀装置102中，代替第1实施方式的电镀装置1所具备的投入部70和回收部80而具备投入回收部103。投入回收部103综合了投入部70和回收部80的功能，能够使阴极容器3向第2方向D2的任一方向移动。投入回收部103沿着第2方向D2延伸，被配置于电镀作业部10的第1方向D1的一侧。利用这样的电镀装置102也能够实现进行多种电镀时的空间节省。此外的结构和效果都与第1实施方式的电镀装置相同。

第4实施方式

下面，参照图16对第4实施方式进行说明。在以下的说明中，以第2实施方式与第4实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

第2实施方式的电镀装置101中的投入部70和回收部80沿着第2方向D2延伸，并且在电镀作业部10的沿着第1方向D1的一侧集中地相邻设置。与此相对，第4实施方式的投入部70和回收部80沿着第1方向D1延伸，被设置为与搬运起重机部50相邻。利用这样的电镀装置104也能够实现进行多种电镀时的空间节省。此外的结构和效果都与第2实施方式的电镀装置相同。

第5实施方式

下面，参照图17对第5实施方式进行说明。在以下的说明中，以第4实施方式与第5实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

在第5实施方式的电镀装置105中，代替第4实施方式的电镀装置104所具备的投入部70和回收部80而具备投入回收部103，该投入回收部103能够使阴极容器3向第1方向D1的任一方向移动。投入回收部103与第3实施方式中说明的情况相同，是将投入部70和回收部80的功能综合而成的。利用这样的电镀装置105也能够实现进行多种电镀时的空间节省。此外的结构和效果都与第4实施方式的电镀装置相同。

第6实施方式

下面，参照图18对第6实施方式进行说明。在以下的说明中，以第1实施方式与第6实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

在第6实施方式的电镀装置106中，在第1实施方式中沿着第2方向D2延伸的投入部70沿着第1方向D1延伸，被设置为与搬运起重机部50相邻。回收部80与第1实施方式同样地沿着第2方向D2延伸，被配置于电镀作业部10的第1方向D1的一侧。利用这样的电镀装置106也能够实现进行多种电镀时的空间节省。此外的结构和效果都与第1实施方式的电镀装置相同。

第7实施方式

下面，参照图19对第7实施方式进行说明。在以下的说明中，以第1实施方式与第7实施方式的不同之处为中心进行说明，对于两个实施方式中共通的构成要素，在附图中标注相同的参照编号，并省略对其的详细说明。

在第7实施方式的电镀装置107中，在第1实施方式中沿着第2方向D2延伸的回收部80沿着第1方向D1延伸，被设置为与搬运起重机部50相邻。投入部70与第1实施方式同样地沿着第2方向D2延伸，被配置于电镀作业部10的第1方向D1的一侧。利用这样的电镀装置也能够实现进行多种电镀时的空间节省。此外的结构和效果都与第1实施方式的电镀装置相同。

如上，也可以构成为，投入部70和回收部80中的一方沿着第1方向D1延伸，被设置为与搬运起重机部50相邻，投入部70和回收部80中的另一方沿着第2方向D2延伸，被配置于电镀作业部10的第1方向D1的一侧。利用这样的电镀装置也能够实现进行多种电镀时的空间节省。并且，可以考虑与搬运起重机部50的位置关系来适当设定待机位置P2和取出位置P3。

第8实施方式

下面，参照图20对第8实施方式进行说明。第8实施方式表示阴极容器的变形例。第8实施方式的阴极容器108在外形尺寸最大的外周面部具备电极109。将这样的阴极容器108代替阴极容器3而用于第1实施方式的电镀装置1等，向阴极容器108内注入规定的电镀液，对电极109通电，由此能够进行期望的电镀处理。并且，可以从以往公知的形状、形态的电镀容器(阴极容器)中适当选择阴极容器。

上述实施方式只不过是用于实施本发明的示例，本发明并不限定于此，对这些实施例进行各种变形的情况属于本发明的范围内，而且在本发明的范围内还能够实现其他各种实施例，这根据上述记载是显而易见的。

标号说明

1、101、102、104、105、106、107：电镀装置；3、108：阴极容器；10：电镀作业部；30：阳极头；37：水洗头；50：搬运起重机部；60：液槽配置部；62：第1配管；64：第2配管；66：第3配管；70：投入部；71：投入输送机；80：回收部；81：回收输送机；90：配管设置部；103：投入回收部；106：电极；W：工件(电子部件)；PL1：第1电镀液；PL2：第2电镀液；WL：清洗水；D1：第1方向；D2：第2方向；P1：投入位置；P2：待机位置；P3：取出位置；P4：排出位置。