掌桥专利:专业的专利平台
掌桥专利
首页

刻蚀腔室与设计及制造刻蚀腔室的上电极的方法

文献发布时间:2023-06-19 11:06:50


刻蚀腔室与设计及制造刻蚀腔室的上电极的方法
相关技术
  • 刻蚀腔室与设计及制造刻蚀腔室的上电极的方法
  • 硅片刻蚀设备及控制腔室上盖升降的方法
技术分类

06120112807647