一种电子级混合酸蚀刻液的制备方法

技术领域

本发明涉及一种电子级混合酸蚀刻液的制备方法，应用于液晶面板和玻璃基板的蚀刻减薄及太阳能电池板（片）的清洗制绒等，属于电子化学品应用技术领域。

背景技术

在液晶面板和玻璃基板减薄之初，主要通过单一氢氟酸兑纯水进行稀释后与玻璃反应，随着减薄厚度不断增加，以及玻璃材质的多样化等薄化要求提升，在行业实际操作中发现，仅靠原有的单一氢氟酸已经不能满足现在对液晶面板和玻璃基板的化学蚀刻要求。其主要问题反映在以下几个方面：

1、氢氟酸受温度变化影响大，导致蚀刻效率不稳定性地的变化，不易控制蚀刻过程。

2、容易与SiO

3、难溶杂质粘附蚀刻产品表面易导致表面和边缘产生不良凸点等，严重影响蚀刻产品的表面品质。

4、容易导致蚀刻产品表面凹点和划伤等缺陷放大。

5、蚀刻过程速率不稳定，氢氟酸的利用率不高，导致后期中和废酸处理成本增加。以及高温下氢氟酸较容易挥发，增加安全隐患。

发明内容

本发明的目的在于克服上述已有技术的不足而提供一种电子级混合酸蚀刻液的制备方法。

本发明提供的技术方案如下：一种电子级混合酸蚀刻液的制备方法，其特征在于其具体步骤如下：

（1）将内衬聚四氟乙烯涂层的混合酸配制罐用纯水洗净；将电子级氢氟酸输送至氢氟酸计量罐，计量备用；将电子级浓硝酸输送至硝酸计量罐，计量备用；将无机酸输送至无机酸计量罐，计量备用；将有机酸输送至有机酸计量罐，计量备用；所述的无机酸为浓硫酸或磷酸中的至少一种，所述的有机酸为乙酸、过氧乙酸、甲酸、丙酸中的一种；各组份的质量配比为：电子级氢氟酸 : 电子级浓硝酸: 无机酸: 有机酸=1 : 1~4.5 : 0~5.0 : 0~1.5；

（2）首先，向混合酸配制罐中，用耐腐蚀泵打入电子级氢氟酸，同时打开搅拌机；

（3）再向混合酸配制罐中，用另一耐腐蚀泵打入电子级浓硝酸，搅拌均匀，制成混合酸；

（4）在上述混合酸的基础上，再有选择地加入无机酸以及有机酸，混合搅拌均匀，取样化验，将合格的混合酸放入混合酸储罐中待售。

进一步地，所述的电子级氢氟酸的质量浓度为48.5%~49.5%，所述的电子级浓硝酸的质量浓度为68.5%~70.5%。

进一步地，所述的磷酸与电子级氢氟酸的质量配比为0~4.0:1。

进一步地，所述的浓硫酸与电子级氢氟酸的质量配比为0~1.0:1。

进一步地，所述的浓硫酸、磷酸、乙酸、过氧乙酸、甲酸、丙酸均为化学试剂分析纯以上级别。

本发明的有益效果是：本发明克服了单一组分氢氟酸蚀刻液在使用后造成的不良后果，本发明为了抑制单一氢氟酸与二氧化硅的不稳定化学反应，提高蚀刻效率和改善蚀刻品质，通过在氢氟酸中添加无机酸或有机酸的方法，配制形成了一种由多种组分构成的混合酸蚀刻液，并通过大量实验，研究探索了各组分之间合理、恰当、有效的配比，这些组份之间相互配合，扬长补短，充分发挥了各自的优势和特点，进一步改善液晶面板/玻璃基板及太阳能电池板（片）的化学蚀刻过程，不仅使整个蚀刻过程平稳、有效、可控，而且能有效抑制整个蚀刻过程中玻璃表面不良凸点的产生，和凹点及划伤的进一步扩散，进而使产品的优等品率大幅度提高。

具体实施方式

下面对本发明的具体实施方式做详细说明：

实施例1：一种电子级混合酸（HF、HNO

实施例2：一种电子级混合酸（HF 、HNO

实施例3：一种电子级混合酸（HF 、HNO

实施例4：一种电子级混合酸（HF、HNO

应当理解的是，本说明书未详细阐述的部分都属于现有技术。以上的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。