支撑组件及其拆除方法、镀膜设备

技术领域

本发明涉及光伏生产设备技术领域，特别是涉及一种支撑组件及其拆除方法、镀膜设备。

背景技术

相关技术中，镀膜设备的炉管内所用的支撑杆采用陶瓷杆，并通过两端固定的方式固定在炉管内。电极组件则需事先在支撑杆上安装好，然后通过支撑杆安装到炉管内。

因此，每次装拆电极组件都需将炉管后炉尾的封板打开，再将许多相关组件进行重新拆装，才能将电极组件通过与支撑杆一并拆下的方式从炉管内拆除。如此，不但操作复杂、费工时且容易在拆装过程中引起炉管内石英、陶瓷等易碎件损坏。

发明内容

基于此，有必要针对上述电极组件拆装复杂的问题，提供一种便于电极组件拆装的支撑组件及其拆除方法、镀膜设备。

一种支撑组件，用于镀膜设备的炉管内，所述支撑组件包括：

支撑杆；及

支撑套杆，可拆卸地套设于所述支撑杆，并用于连接所述镀膜设备的电极组件。

上述支撑组件，其通过支撑套杆与电极组件连接，且支撑套杆能够相对支撑杆完成单独拆离。因此，当需要拆装电极组件的时候，只需要将支撑套杆单独拆下，并相应地将电极组件相对支撑套杆完成拆装，再将支撑套杆套回支撑杆即可。如此，在拆装电极组件的过程中，用户只需将支撑套杆单独自炉管内抽出，而并不需要将支撑杆整个从炉管内拆除，降低了用户的操作难度，便于电极组件的拆装。同时，由于拆装动作范围更小，不需要自炉管内拆离支撑杆，炉管内石英、陶瓷等易碎件的损坏概率也因此而得到降低。

在其中一个实施例中，所述支撑组件还包括支撑块，所述支撑块用于在所述炉管内承载所述支撑杆。

在其中一个实施例中，所述支撑块构造有用于承载所述支撑杆的支撑面，所述支撑面为朝向圆心的柱面，且所述支撑面的弧度不大于π。

在其中一个实施例中，所述支撑组件包括四个所述支撑块，全部所述支撑块间隔设置。

在其中一个实施例中，四个所述支撑块包括两个第一支撑块及两个第二支撑块，所述第一支撑块及所述第二支撑块分别用于承载所述支撑杆轴向上的两端。

在其中一个实施例中，所述第一支撑块及所述第二支撑块均构造有限位结构，所述第一支撑块及所述第二支撑块的所述限位结构被配置为分别限位于所述支撑杆轴向上的两端。

在其中一个实施例中，所述第一支撑块包括相连的第一支撑部分及第二支撑部分，所述第一支撑部分用于承载所述支撑杆，所述第二支撑部分用于承载所述支撑套杆。

在其中一个实施例中，所述第二支撑块可拆卸地连接所述炉管的后炉门。

在其中一个实施例中，所述支撑套杆的长度不大于所述支撑杆的长度的三分之二，且套设于所述支撑杆的一端。

在其中一个实施例中，所述支撑组件还包括前承舟块，所述前承舟块设于所述支撑套杆上，并用于与所述电极组件连接。

一种镀膜设备，包括上述的支撑组件。

一种支撑组件的拆除方法，所述支撑组件为上述的支撑组件，所述拆除方法包括：

抬起所述支撑杆位于所述炉管的炉口的一端使其脱离支撑块；

驱动所述支撑套杆沿所述支撑杆滑动，使所述支撑套杆及与其连接的电极组件自所述炉口抽出。

在其中一个实施例中，在所述驱动所述支撑套杆沿所述支撑杆滑动，使所述支撑套杆及与其连接的电极组件自所述炉口抽出之后还包括：

拆除第二支撑块；

将所述支撑杆自所述炉管的后炉门抽出。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本申请一实施例中支撑组件与镀膜设备的炉口法兰及后炉门配合的结构示意图。

图2为图1所示的支撑组件的部分放大示意图。

图3为图1所示的支撑组件与炉口法兰配合的结构示意图。

图4为图1所示的支撑组件与后炉门配合的结构示意图。

图5为本申请一实施例中支撑组件的拆除方法的流程示意图。

附图标记说明：100、支撑组件；10、支撑杆；30、支撑套杆；51、前承舟块；53、后承舟块；70、卡箍；90、支撑块；91、第一支撑块；911、第一支撑部分；913、第二支撑部分；93、第二支撑块；95、限位结构；201、炉口法兰；203、后炉门；205、前电极组；S、支撑面。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1，本申请一实施例提供了一种支撑组件100，用于镀膜设备的炉管内。支撑组件100包括支撑杆10及支撑套杆30。支撑套杆30可拆卸地套设于支撑杆10，并用于连接镀膜设备的电极组件(电极组件包括下述的前电极组205)。

在一实施例中，镀膜设备可具体为管式PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积)镀膜设备。

为实现其正常功能，镀膜设备还包括常规的炉管、电极组件等，在此不再赘述。其中，支撑组件100用于在炉管内支撑石墨舟，并通过电极组件对石墨舟实现电极馈入。炉管在其长度方向上的两端分别为设有炉口法兰201的炉口及后炉门203，电极组件具体可包括前电极组205和后电极组(图未示)，前电极组205靠近炉口设置，后电极组靠近后炉门203设置。电极组件需要与支撑组件100连接，以通过支撑组件100实现对支撑组件100上石墨舟的电极馈入。

支撑套杆30可拆卸地套设于支撑杆10指的是，支撑套杆30能够自支撑杆10的一端相对支撑杆10滑动而套设在支撑杆10上，也可以相对支撑杆10滑动而自支撑杆10的一端拿出。

可以理解地，为满足支撑套杆30能够套设在支撑杆10上的要求，支撑套杆30的内径大于支撑杆10的外径，且支撑套杆30的内径与支撑杆10的外径之间的差值可以为但不限于为1mm-2mm。

上述支撑组件100，其通过支撑套杆30与电极组件连接，且支撑套杆30能够相对支撑杆10完成单独拆离。因此，当需要拆装电极组件的时候，只需要将支撑套杆30单独拆下，并相应地将电极组件相对支撑套杆30完成拆装，再将支撑套杆30套入支撑杆10即可。如此，在拆装电极组件的过程中，用户只需将支撑套杆30单独自炉管的炉口端抽出，而并不需要将支撑杆10从炉管内拆除，降低了用户的操作难度，便于电极组件的拆装。同时，由于拆装动作范围更小，不需要自炉管内拆离支撑杆10，炉管内石英、陶瓷等易碎件的损坏概率也因此而得到降低。

进一步地，支撑套杆30的长度不大于支撑杆10的长度的三分之二，且套设于支撑杆10的一端。具体地，支撑套杆30的长度为支撑杆10的长度的二分之一±100mm。

电极组件中前电极组205需要连接支撑组件100，后电极组则不需要连接电极组件，因此，支撑套杆30并不需要完全覆盖整个支撑杆10，而仅需靠近炉口套设在支撑杆10上，便于前电极组205的拆装即可。

请一并参阅图2，进一步地，支撑组件100还包括前承舟块51，前承舟块51设于支撑套杆30上，并用于与电极组件连接。

前承舟块51需要与电极组件连接，并具体用于连接前电极组205。前电极组205经由前承舟块51传导至石墨舟的舟脚，馈入石墨舟。

前承舟块51设于支撑套杆30上，因此，前承舟块51能够随支撑套杆30一并拆除，以跟随支撑套杆30自炉管的炉口抽离。如此，对前承舟块51进行打磨等维护或更换等操作时，更加方便。

具体来讲，支撑组件100还包括后承舟块53，支撑组件100共包括四个前承舟块51及四个后承舟块53，四个前承舟块51为一组能够承载一组石墨舟，四个后承舟块53为一组能够承载另一组石墨舟。如此，支撑组件100能够用于承载两组石墨舟，且两组石墨舟沿支撑杆10的长度方向布置。

其中，前承舟块51设于支撑杆10外的支撑套杆30上，后承舟块53设于支撑杆10未套设有支撑套杆30的部分上。相应地，前承舟块51需由导电材料(如金属)制成，后承舟块53既可以用导电材料制成，还可采用陶瓷等绝缘材料制成。

前承舟块51在其导电工作过程中，可能会发生放电打火之类的异常，会导致其表面导电性能发生变化。因此，前承舟块51需要打磨表面物质以维持其良好的导电性。换言之，前承舟块51需要经常维护保养或定期更换，后承舟块53则不需要或很少需要维护保养或定期更换。

更进一步地，前承舟块51及后承舟块53均可为管状结构，并分别套设在支撑套杆30及支撑杆10上。支撑组件100还包括多个卡箍70，全部卡箍70均套设于支撑套杆30上，且分别位于前承舟块51及后承舟块53的两端。

卡箍70用于对前承舟块51及后承舟块53进行定位，以将前承舟块51及后承舟块53分别固定在支撑杆10及支撑套杆30上的指定位置，同时能够降低前承舟块51及后承舟块53在使用时发生窜动的概率。

请一并参阅图3及图4，在一些实施例中，支撑组件100还包括支撑块90，支撑块90用于在炉管内承载支撑杆10。

可以理解地，支撑块90在下方承载支撑杆10，以使支撑杆10能够稳定安置于炉管内。支撑块90形状与支撑杆10相适应，并对支撑杆10产生半开放式的固定。支撑块90对支撑杆10产生半开放式的固定表现为：一方面，支撑块90除对支撑杆10支撑外，还可对支撑杆10产生一定的限位效果。另一方面，支撑块90的上方呈开放状态，支撑杆10向上移动即可脱离支撑块90。

在需要拆除支撑套杆30时，只需要将支撑杆10抬起，便可方便地将支撑套杆30抽出，进而可以拆装电极组件。

进一步地，支撑块90构造有用于承载支撑杆10的支撑面S，支撑面S为朝向圆心的柱面，且支撑面S的弧度不大于π。

支撑杆10呈柱状，支撑面S具体承载支撑杆10的周侧面，因此，支撑面S为柱面可以更靠地与支撑杆10进行配合。同时，为实现良好的支撑与贴合关系，支撑面S的半径与其承载的支撑杆10的外径大体一致。支撑面S的弧度不大于π，也就是支撑面S的截面为弧度小于半圆的圆弧线，并具体可为半圆弧线、四分之一圆弧线等。此类结构的支撑面S存在一个开口，而非完全闭合，支撑杆10能够从支撑面S的开口自由出入。

具体地，支撑面S的弧度为π，其截面为半圆弧线，且半圆弧线的开口朝上。

在其它一些实施例中，支撑面S还可以为其它连续或非连续的曲面、多个平面的组合或平面与曲面的组合等，只需能够实现承载支撑杆10，并对支撑杆10产生处向上外径向上其它方向的定位即可，在此不作具体限定。

在一些实施例中，支撑组件100包括至少四个支撑块90，全部支撑块90间隔设置。

可以理解地，用于支撑同一个支撑杆10的全部支撑块90沿炉管的长度方向布置，同时沿支撑杆10位于炉管内时的轴向布置，所有支撑块90的支撑面S以间断的形式对支撑杆10的不同位置进行支撑。

多个支撑块90能够对支撑杆10产生更平衡的支撑效果，使支撑杆10更加稳定，也降低应力集中而使支撑杆10损坏的可能。

进一步地，四个支撑块90包括两个第一支撑块91及两个第二支撑块93，第一支撑块91及第二支撑块93分别用于承载支撑杆10轴向上的两端。

换言之，第一支撑块91及第二支撑块93在使用时，分别安装于靠近炉口及后炉门203的位置。一方面，对支撑杆10的两端进行支撑，便能够稳定地形成对整个支撑杆10的支撑，使其不会向一端倾倒。另一方面，第一支撑块91及第二支撑块93靠近炉口及后炉门203，便于用于将其与支撑杆10进行对准，也便于第一支撑块91及第二支撑块93的拆装。

在支撑杆10放置在第一支撑块91及第二支撑块93上后，想要拆装支撑套杆30，只需将支撑杆10承载于第一支撑块91的一端抬起，即可使其脱离第一支撑块91。此时，支撑套杆30能够从炉口抽出，拆装过程更加简单、方便。

更进一步地，第一支撑块91及第二支撑块93均构造有限位结构95，第一支撑块91及第二支撑块93的限位结构95被配置为限位支撑杆10轴向上的两端。

可以理解地，第一支撑块91及第二支撑块93的限位结构95在支撑杆10被两者承载时对支撑杆10产生轴向上的限位。

限位结构95相对支撑面S凸起，并能够抵持支撑杆10在轴向上两端的端面。优选地，限位结构95相对支撑面S凸起的高度不大于支撑杆10的半径，以便于支撑杆10脱离其限位。

如此，限位结构95能够防止支撑杆10沿自身轴向窜动，增强了支撑杆10使用时的稳定性。在拆装支撑套杆30或支撑杆10时，只需将支撑杆10抬高的高度超过限位结构95即可。

在一些实施例中，第一支撑块91包括相连的第一支撑部分911及第二支撑部分913，第一支撑部分911用于承载支撑杆10，第二支撑部分913用于承载支撑套杆30。

可以理解地，支撑套杆30套设于支撑杆10靠近炉管的炉口的一端，且支撑套杆30的端面与支撑杆10的端面间隔，以便支撑杆10的端部能够直接承载于第一支撑块91上，具体来讲，支撑杆10的端部直接承载于第一支撑块91的第一支撑部分911上。

第一支撑块91的第一支撑部分911用于形成支撑面S，其半径与支撑杆10匹配。第二支撑部分913用于形成承载支撑套杆30的柱面，且其柱面半径大体与支撑套杆30的外径一致。

第一支撑块91分别通过其第一支撑部分911和第二支撑部分913对支撑杆10和支撑套杆30形成直接承载，能够同时对两者形成稳定的支撑。

在一些实施例中，第二支撑块93可拆卸地连接炉管的后炉门203。

后炉门203上构造有用于安装第二支撑块93的安装口，第二支撑块93可通过连接件连接炉管的后炉门203，连接件可以是但不限于螺钉等。其中，连接件可穿过支撑面S连接后炉门203，且连接件保留部分暴露于支撑面S上，以充当限位结构95。

在需要从炉管内抽离支撑杆10时，先将支撑套杆30及其它配件则可从炉口抽出，再拆除第二支撑块93。由于后炉门203用于安装第二支撑块93的安装口的口径明显大于支撑杆10，故支撑杆10可连同其上的后承舟块53一并从后炉门203抽出。

上述支撑组件100，第一支撑块91和第二支撑块93分别设置在炉管内靠近炉口及后炉门203的位置，且两者均形成有柱面状的支撑面S。支撑杆10上套设有支撑套杆30，其轴向上的两端分别承载于第一支撑块91和第二支撑块93上，并限位于两者之间。支撑杆10靠近炉口的一端直接承载于第一支撑块91的第一支撑部分911上，支撑套杆30靠近炉口的一端直接承载于第一支撑块91的第二支撑部分913上。支撑套杆30能够相对支撑杆10拆装，并用于连接电极组件。在需要对电极组件进行拆装时，只需抬起支撑杆10靠近炉口的一端，便可将支撑套杆30单独进行拆装，并利用其与电极组件进行拆装。在需要对支撑组件100进行拆装时，先将支撑套杆30及其它配件则可从炉口抽出，再拆除第二支撑块93的连接件，取下第二支撑块93，再将支撑杆10连通后承舟块53一并从后炉门203抽出。相应地，单独安装支撑套杆30或整体安装支撑组件100时，只需按相反的步骤操作即可。可以理解地，为适于实际需要，支撑套杆30、支撑组件100的拆装过程可作出适应性调整，在此不作具体限定。

请参阅图5，本申请还提供了一种支撑组件100的拆除方法，用于拆除上述的支撑组件100。拆除方法包括：

S20、抬起支撑杆10的一端使其脱离支撑块90。

具体来讲，抬起的是支撑杆10位于炉管的炉口的一端，并使其靠近炉口的一端脱离第一支撑块91，并抬高至高于第一支撑块91的限位结构95。

S40、驱动支撑套杆30沿支撑杆10滑动，使支撑套杆30及与其连接的电极组件自炉口抽出。

设于支撑套杆30上的前承舟块51与支撑套杆30被一并拆离，此时，可以不需要拆除其它零部件，便能够拆装电极或维护、更换前承舟块51。

进一步地，拆除方法在驱动支撑套杆30沿支撑杆10滑动，使支撑套杆30及与其连接的电极组件自炉口抽出之后还包括：

S60、拆除第二支撑块93。

具体来讲，需要通过拆卸下连接第二支撑块93的连接件，如螺钉，才可以取下第二支撑块93。

S80、将支撑杆10自炉管的后炉门203抽出。

在第二支撑块93被拆离后，后炉门203上安装口的口径便能够允许支撑杆10连同其上的后承舟块53一并从后炉门203抽出。

如此，便能够方便地完成对于整个电极组件的拆除。

本申请还提供了一种支撑组件100的安装方法，用于安装上述的支撑组件100，拆除方法包括：

将支撑杆10自炉管的后炉门203装入；

安装第二支撑块93，使支撑杆10靠近后炉门203的一端承载于第二支撑块93上；

将支撑套杆30自支撑杆10靠近炉口的一端套设于支撑杆10上，并使支撑杆10靠近炉口的一端承载于第一支撑块91上。

本申请还提供了一种镀膜设备，包括上述的支撑组件100。

可以理解地，镀膜设备应当具有上述支撑组件100的全部有益效果，在此不再赘述。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。