一种网板清洁装置及方法

技术领域

本发明涉及锡球植球技术领域，尤其涉及一种网板清洁装置及方法。

背景技术

随着科技的不断进步，对芯片的要求不断提升，锡球植球随之出现。因为锡球的纯度高，稳定性好，球高球径可控,被广泛引用。

在锡球植球前，通过刮刀在网板上印刷助焊剂等膏状物质，将物质转印在晶圆或基板上。在助焊剂等膏状物质进行印刷时，从印刷孔洞露出的物质可能会附着在网板上、未完全转印到晶圆、基板上的物质可能会残留在孔中发生污损。这种残留造成污损妨碍了后续晶圆、基板的正常印刷。所以必须清除网板上残余的物质。

现有技术仅通过无尘纸擦拭网板，进而清洁网板上残余的物质。该清洁方法仅适用于简单清洁，无法适用于难以擦拭的网板。此外，面对网孔规格小、网孔间距小的网板，清洁方法无法保证网板清洁的洁净度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种网板清洁装置及方法，实现对网板进行有效清洁，提高植球工艺的良率以及产品的稳定性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一方面，提供了一种网板清洁装置，包括固定机架和沿所述固定机架前后移动的活动机架，所述固定机架上置有网板，所述活动机架位于所述网板的下方；

所述固定机架上设有喷淋工位，且所述喷淋工位位于活动机架的上方；所述活动机架的顶部沿其前进方向依次横向设置有第一擦拭工位、第二擦拭工位和风干工位；

所述第一擦拭工位设有第一擦拭杆和用于所述第一擦拭杆升降的第一升降气缸，所述第一擦拭杆的上方设有无尘布且所述无尘布通过所述第一擦拭杆进行支撑擦拭，所述第一擦拭杆的顶部沿其长度方向开设有用于真空吸附的抽真空槽，所述抽真空槽与抽真空设备连接。

作为发明进一步的方案：所述第一擦拭杆上设有与所述抽真空槽可拆卸连接的支撑杆，所述支撑杆的顶部突出于所述第一擦拭杆的顶部。

作为发明进一步的方案：所述第一升降气缸的升降端通过第一固定块与所述第一擦拭杆的底端连接，且所述第一固定块与所述第一擦拭杆之间设有若干第一缓冲弹簧。

作为发明进一步的方案：所述第一擦拭工位上还设有放卷轴和收卷轴，所述放卷轴、所述收卷轴和所述第一擦拭杆沿所述活动机架的前进方向自上而下依次分布，其中：

所述放卷轴的一端可转动地安装在所述活动机架上且装配有用于向所述放卷轴施加放卷阻力的阻尼器，其另一端通过轴承与第一装卸气缸伸缩端可拆卸的转动连接，所述阻尼器与所述第一装卸气缸均固定在所述活动机架上；

所述收卷轴的一端可转动地安装在所述活动机架上且装配有用于驱动所述收卷轴转动的驱动电机，其另一端通过轴承与第二装卸气缸伸缩端可拆卸的转动连接，所述驱动电机与所述第二装卸气缸均固定在所述活动机架上。

作为发明进一步的方案：所述第二擦拭工位包括第二擦拭杆和用于所述第二擦拭杆升降的第二升降气缸，所述第二擦拭杆的顶部沿其长度方向嵌设有橡胶条，所述橡胶条的顶部突出于所述第二擦拭杆的顶部。

作为发明进一步的方案：所述第二升降气缸的升降端通过第二固定块与所述第二擦拭杆的底端连接，且所述第二固定块与所述第二擦拭杆之间设有若干第二缓冲弹簧。

作为发明进一步的方案：所述活动机架的底部设有马达，所述固定机架的底部设有轨道，所述活动机架通过所述马达的驱动在所述轨道上前后移动。

作为发明进一步的方案：所述活动机架分为上部和下部，所述上部设置在所述下部的顶部且沿所述下部前后移动；所述下部的顶部固定有驱动气缸，所述驱动气缸的伸缩端与所述上部相连接，所述下部的底部设有所述马达；所述上部通过所述驱动气缸的驱动在所述下部的顶部进行前后移动。

另一方面，提供了一种网板清洁装置的网板清洁方法，包括以下步骤：

S1.所述活动机架沿所述固定机架移动至所述喷淋工位的正下方，所述喷淋工位对设置在所述第一擦拭杆上方的无尘布进行喷淋；

S2.待喷淋结束后，所述喷淋工位停止运转，所述活动机架进行复位；

S3.所述活动机架沿所述固定机架进行前后往复移动，同时所述第一擦拭工位支撑所述无尘布对所述网板的底部进行湿擦；

S4.待湿擦结束后，所述第一擦拭工位和所述活动机架依次进行复位；

S5.所述活动机架沿所述固定机架进行前后往复移动，同时所述风干工位对所述网板的底部进行吹风，且所述第二擦拭工位对所述网板的底部进行干擦；

S6.待干擦结束后，所述风干工位停止运转，所述第一擦拭工位和所述活动机架依次进行复位。

作为发明进一步的方案：所述S3中，所述第一擦拭工位支撑所述无尘布对所述网板的底部同时进行湿擦和真空吸附。

本发明的有益效果，通过喷淋工位、第一擦拭工位、风干工位和第二擦拭工位之间的配合，以实现网板的干湿分离擦拭，有效清洁网板，提高植球工艺的良率以及产品的稳定性；通过喷淋工位与无尘布之间的配合，实现第一擦拭工位的湿擦；通过抽真空槽与无尘布之间的配合，实现第一擦拭工位的真空擦拭。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明：

图1是本发明的示意图；

图2是本发明中活动机架上部的局部结构示意图(一)；

图3是本发明中活动机架上部的局部结构示意图(二)；

图4是本发明中第一擦拭工位的局部示意图(一)；

图5是本发明中第一擦拭工位的局部示意图(一)；

图6是本发明中第一擦拭杆的示意图；

图7是本发明中风干工位的示意图；

图8是本发明中第二擦拭工位的示意图(一)；

图9是本发明中第二擦拭工位的示意图(二)；

其中的附图标记为：

10、固定机架；11、喷淋工位；

20、活动机架；21、第一擦拭工位；211、第一擦拭杆；212、抽真空槽；213、第一升降气缸；214、支撑杆；215、第一固定块；216、第一缓冲弹簧；217、放卷轴；2171、阻尼器；2172、第一装卸气缸；218、收卷轴；2181、驱动电机；2182、第二装卸气缸；219、第一限位螺栓；22、第二擦拭工位；221、第二擦拭杆；222、第二升降气缸；223、橡胶条；224、第二固定块；225、第二缓冲弹簧；226、第二限位螺栓；23、风干工位；231、气管；24、马达；25、驱动气缸；

30、网板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～图3所示，本发明的网板清洁装置，包括固定机架10和沿固定机架10前后移动的活动机架20。固定机架10上置有网板30，活动机架20位于网板30的下方。固定机架10上设有喷淋工位11，且喷淋工位11位于活动机架20的上方；活动机架20的顶部沿其前进方向依次横向设置有第一擦拭工位21、第二擦拭工位22和风干工位23。

请参阅图1所示，活动机架20的底部设有马达24，固定机架10的底部设有轨道，活动机架20通过马达24的驱动在轨道上前后移动。

具体的，活动机架20分为上部和下部，上部设置在下部的顶部且沿下部前后移动。下部的顶部固定有驱动气缸25，驱动气缸25的伸缩端与上部相连接。下部的底部设有马达24，上部通过驱动气缸25的驱动在下部的顶部进行前后移动。其中，马达24用于驱动活动机架20移动至网板30的正下方，驱动气缸25用于驱动活动机架20的上部进行前后往复移动的擦拭动作。

请参阅图1所示，喷淋工位11用于对第一擦拭工位21进行喷淋。喷淋工位11设有喷淋设备，其喷淋方向向下，进而对第一擦拭工位21进行喷淋。喷淋工位11位于在网板30的后方，且设置在固定机架10的起始端。其中，喷淋设备喷淋出的液体为清洗液，用于溶解网板30上残留的助焊材料，清洗液包括但不限于酒精、异丙醇。

请参阅图2～图6所示，第一擦拭工位21用于对网板30进行湿擦、真空吸附。第一擦拭工位21设有第一擦拭杆211和用于第一擦拭杆211升降的第一升降气缸213，第一擦拭杆211的上方设有无尘布且无尘布通过第一擦拭杆211进行支撑擦拭。第一擦拭杆211的顶部沿其长度方向开设有用于真空吸附的抽真空槽212，抽真空槽212与抽真空设备连接。具体的，抽真空槽212的出气口开设第一擦拭杆211的底部，抽真空槽212的出气口通过气管接头与抽真空设备连接。当网板30上残留有不易溶解的助焊材料和/或网板30网孔规格小、网孔间距小时，抽真空槽212通过真空吸附辅助无尘布擦拭网板30。

进一步的，第一擦拭杆211上设有与抽真空槽212可拆卸连接的支撑杆214，支撑杆214的顶部突出于所述第一擦拭杆211的顶部。

当第一擦拭工位21用于网板30湿擦时，将支撑杆214设置在抽真空槽212内；喷淋工位11对支撑杆214顶部支撑的无尘布进行喷淋；第一擦拭杆211通过第一升降气缸213进行升降，以使设置在支撑杆214顶部的无尘布紧贴网板30底部进行湿擦。

当第一擦拭工位21用于湿擦和真空吸附时，将支撑杆214从抽真空槽212内拆卸下来；喷淋工位11对第一擦拭杆211顶部支撑的无尘布进行喷淋；第一擦拭杆211通过第一升降气缸213进行升降，以使设置在第一擦拭杆211顶部的无尘布紧贴网板30底部进行湿擦，同时抽真空设备对抽真空槽212进行抽真空，即在湿擦过程中抽真空槽212透过无尘布2对附着在无尘布和网板30上的异物、脏污进行真空吸附。

进一步的，第一擦拭工位21上还设有放卷轴217和收卷轴218，放卷轴217、收卷轴218和第一擦拭杆211沿活动机架20的前进方向自上而下依次分布。其中，未使用的无尘布料卷套设在放卷轴217上进行放卷，被放卷的无尘布经由第一擦拭杆211的顶部支撑，第一擦拭杆211顶部支撑的无尘布在使用后被收卷在收卷轴218上。

具体的，放卷轴217的一端可转动地安装在活动机架20上且装配有用于向放卷轴217施加放卷阻力的阻尼器2171，其另一端通过轴承与第一装卸气缸2172伸缩端可拆卸的转动连接，阻尼器2171与第一装卸气缸2172均固定在活动机架20上。收卷轴218的一端可转动地安装在活动机架20上且装配有用于驱动收卷轴218转动的驱动电机2181，其另一端通过轴承与第二装卸气缸2182伸缩端可拆卸的转动连接，驱动电机2181与第二装卸气缸2182均固定在活动机架20上。

当第一擦拭工位21完成擦拭后，驱动电机2181带动收卷轴218进行转动，通过收卷轴218收卷使用后的无尘布间接带动放卷轴217放卷未使用的无尘布，直至未使用的无尘布完全流转至第一擦拭杆211的上方。在放卷轴217进行转动放卷的过程中，通过阻尼器2171调节放卷轴217的转度，进而使第一擦拭杆211顶部支撑的无尘布处于紧绷状态，便于进行擦拭。

当第一擦拭工位21需更换无尘布料卷时，通过第一装卸气缸2172、第二装卸气缸2182的伸缩，实现了无尘布料卷的快速拆卸和安装。具体的，第一装卸气缸2172的伸缩端进行收缩，即放卷轴217与第一装卸气缸2172分离；工作人员更换放卷轴217上的无尘布料卷，将新的无尘布料卷套设在放卷轴217上；待更换完毕后，第一装卸气缸2172的伸缩端进行伸出，以使放卷轴217的两端通过活动机架20和第一装卸气缸2172进行固定。其中，放卷轴217的端部内腔通过轴承转动连接于第一装卸气缸2172的伸缩端，以使放卷轴217被第一装卸气缸2172固定后可正常转动。更换收卷轴218上的无尘布料卷，其原理同上。

请参阅图5所示，在第一擦拭工位21擦拭网板的过程中，为了有效保护网板，第一升降气缸213的升降端通过第一固定块215与第一擦拭杆211的底端连接，且所述第一固定块215与第一擦拭杆211之间设有若干第一缓冲弹簧216。在第一擦拭杆211支撑无尘布紧贴网板30底部的过程中，第一缓冲弹簧216为第一擦拭杆211与网板在之间提供了弹性缓冲。

具体的，第一缓冲弹簧216的两端分别与第一固定块215、第一擦拭杆211的固定底座相连接。第一固定块215与第一擦拭杆211之间还设置有若干第一限位螺栓219。第一限位螺栓219的头部设置在第一固定块215的下方，其杆部穿过第一固定块215且与第一擦拭杆211的固定底座螺纹连接。当第一升降气缸213驱动第一固定块215向上运动时，第一固定块215沿第一限位螺栓219的杆部向上运动，期间第一缓冲弹簧216进行弹性伸缩。

请参阅图7所示，风干工位23用于风干被湿擦后的网板30。风干工位23设有气管231，气管231的顶部沿其长度方向等间距开设有若干出气孔。

具体的，气管231的两端通过气管接头与吹风机构连接。吹风机构向气管231内吹风，进而使气管231顶部的出气孔向上对网板吹风，进而将附着在网板30上的清洗液吹干，以便第二擦拭工位22进行后续干擦。

在其中的一些实施例中，吹风机构为氮气供给，外置气源。

请参阅图8～图9所示，第二擦拭工位22用于干擦网板30。第二擦拭工位22包括第二擦拭杆221和用于第二擦拭杆221升降的第二升降气缸222，第二擦拭杆221的顶部沿其长度方向嵌设有橡胶条223，橡胶条223的顶部突出于第二擦拭杆221的顶部。其中，第二擦拭杆221通过第二升降气缸222进行升降，以使橡胶条223的顶部紧贴网板30底部进行干擦。

请参阅图8所示，为了有效保护网板，第二升降气缸222的升降端通过第二固定块224与第二擦拭杆221的底端连接，且第二固定块224与第二擦拭杆221之间设有若干第二缓冲弹簧225。

具体的，第二缓冲弹簧225的两端分别与第二固定块224、第二擦拭杆221相连接。第二固定块224与第二擦拭杆221之间还设置有若干第二限位螺栓226。第二限位螺栓226的头部设置在第二固定块224的下方，其杆部穿过第二固定块224且与第二擦拭杆221螺纹连接。

网板清洁装置通过喷淋工位11、第一擦拭工位21、风干工位23和第二擦拭工位22之间的配合，以实现网板30的干湿分离擦拭，有效清洁网板30，提高植球工艺的良率以及产品的稳定性；通过喷淋工位11、第一擦拭杆211与无尘布之间的配合实现对网板30的湿擦；通过抽真空槽212与无尘布之间的配合实现对网板30上残留材料的真空吸附。

关于网板清洁装置的网板清洁方法包括以下步骤：

S1.活动机架20沿固定机架10移动至喷淋工位11的正下方，喷淋工位11对设置在第一擦拭杆211上方的无尘布进行喷淋；

S2.待喷淋结束后，喷淋工位11停止运转，活动机架20进行复位；

S3.活动机架20沿所述固定机架10进行前后往复移动，同时第一擦拭工位21支撑无尘布对网板30的底部进行湿擦；

S4.待湿擦结束后，第一擦拭工位21和活动机架20依次进行复位；

S5.活动机架20沿固定机架10进行前后往复移动，同时风干工位23对网板30的底部进行吹风，且第二擦拭工位22对网板30的底部进行干擦；

S6.待干擦结束后，风干工位23停止运转，第一擦拭工位21和活动机架20依次进行复位。

在S3中，活动机架20的上部通过驱动气缸25向前移动至网板30的正下方；第一擦拭杆211通过第一升降气缸213向上运动直至无尘布紧贴网板30底部；活动机架20通过驱动马达24的驱动沿固定机架10进行前后往复移动，同时第一擦拭工位21支撑无尘布对网板30的底部进行湿擦。

在S5中，活动机架20的上部通过驱动气缸25向前移动至网板30的正下方；第二擦拭杆221通过第二升降气缸222向上运动直至橡胶条223紧贴网板30底部，同时风干工位23对网板30进行吹风；活动机架20通过驱动马达24的驱动沿固定机架10进行前后往复移动，以使风干工位23对网板30进行风干，且第二擦拭工位22支撑橡胶条223对网板30的底部进行干擦。

进一步的，当网板30上残留有不易溶解的助焊材料、不易清洁时，第一擦拭工位21需同时对网板30进行湿擦和真空擦拭。即在S3中，第一擦拭工位21支撑无尘布对网板30的底部同时进行湿擦和真空吸附。

具体的，第一擦拭杆211通过第一升降气缸213进行升降，以使设置在第一擦拭杆211顶部的无尘布紧贴网板30底部进行湿擦，同时抽真空设备对抽真空槽212进行抽真空，即在湿擦过程中抽真空槽212透过无尘布2对附着在无尘布和网板30上的异物、脏污进行真空吸附。

在其中的一些实施例中，抽真空设备为真空发生器。

以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。