基板处理装置及基板处理方法

技术领域

本发明涉及基板处理装置及基板处理方法。

背景技术

在处理基板的工艺中，需要有效地处理从基板飞散的药液。尤其是，根据基板旋转的程度，药液从基板飞散的程度会变化，因此需要考虑这种情况而主动地防止药液的飞散并进行对药液的引导和排出等。此外，在满足这种需要的同时，还需要避免结构复杂或安装成本增加。

现有技术文献

专利文献：第10-2015-0004074号韩国公开专利

发明内容

要解决的课题

本发明要解决的技术问题是提供在处理基板的工艺中能够有效地处理从基板飞散的药液的基板处理装置。

此外，提供设置有能够在防止药液飞散的过程中对应于基板的初始旋转状态、基板的加速状态、基板达到目标旋转速度的状态等各种状态而主动地进行应对的工具的基板处理装置。

此外，提供通过这种主动的应对，不仅能够防止药液的飞散，而且能够考虑药液的排出方向、药液的回收位置等的基板处理装置。

此外，提供能够根据药液的飞散程度、药液的类型等药液的特性以各种角度进行可变移动的基板处理装置。

此外，提供在执行可变移动时因具有折叠结构而能够同时考虑可变移动的速度和转动角度等，从而实现成以更多种方式应对药液的飞散的基板处理装置。

此外，提供能够在满足这些需要的同时，避免结构复杂或安装成本增加的基板处理装置。

本发明的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域的技术人员可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它技术问题。

解决方法

用于解决上述技术问题的根据本发明的一方面(aspect)的基板处理装置包括：基座部，用于提供周向的旋转力；放置模块，位于所述基座部上，并且用于放置基板；喷嘴模块，位于所述基座部的上方，并且用于向所述放置模块的所述基板喷出药液；以及防飞散模块，在所述基座部上位于所述放置模块的周边部分，并且用于当所述药液喷出到所述基板后飞散时，引导飞散的所述药液排出，其中，所述防飞散模块通过由于所述旋转力而实现的可变操作来引导飞散的所述药液。

此外，所述防飞散模块包括：支承部，设置在所述基座部上；主体部，以所述支承部为介质设置在所述放置模块的周边部分；以及移动部，设置在所述主体部的上部，并且用于执行所述可变操作。

此外，所述移动部执行基于在所述主体部的内侧与外侧之间的转动的所述可变操作。

此外，所述移动部基于离心力来执行所述可变操作以引导从所述基板飞散的所述药液。

此外，从所述基板飞散的所述药液的飞散程度与所述基座部的旋转速度对应地增加，以及所述移动部的所述可变操作的程度与所述基座部的旋转速度对应地增加。

此外，所述防飞散模块的所述移动部形成为朝向外侧圆化的形状。

此外，所述移动部包括：第一移动件，与所述基座部直接联动；以及第二移动件，可转动地设置在所述第一移动件的上部，并且基于所述离心力来执行所述可变操作。

此外，所述移动部还包括：第三移动件，可转动地设置在所述第二移动件的上部，并且基于所述离心力来执行所述可变操作。

此外，所述基板处理装置还包括：碗状件(bowl)，位于所述基座部的周边部分，并且用于容纳从所述基板飞散的所述药液，以及所述防飞散模块位于所述放置模块与所述碗状件之间。

此外，所述碗状件包括：第一碗状件、第二碗状件和第三碗状件，其中，所述第二碗状件定位成与所述第一碗状件形成第一间隔空间，所述第三碗状件定位成与所述第二碗状件形成第二间隔空间，以及所述防飞散模块使从所述基板飞散的所述药液流入到所述第一间隔空间和所述第二间隔空间中的任一个中，或者引导所述药液流入到所述碗状件之外的另外的位置。

此外，所述移动部设置为在所述主体部上彼此相邻的多个片状件。

此外，所述移动部布置成相邻的所述片状件彼此之间至少重叠一部分面积，以执行所述可变操作。

此外，所述支承部在所述主体部的下部设置为多个，以及由所述移动部引导的所述药液至少经由所述主体部和所述基座部排出。

用于解决上述技术问题的根据本发明的另一方面(aspect)的基板处理装置包括：基座部，可水平旋转；放置模块，位于所述基座部上，并且用于放置基板；喷嘴模块，位于所述基座部的上方，并且用于向所述放置模块的所述基板喷出药液；以及防飞散模块，在所述基座部上位于所述放置模块的周边部分，并且用于当所述药液喷出到所述基板后飞散时，引导飞散的所述药液排出，其中，所述防飞散模块通过由于所述水平旋转的离心力而实现的可变操作来引导飞散的所述药液，所述防飞散模块包括：支承部，支承在所述基座部上；主体部，以所述支承部为介质设置在所述放置模块的周边部分；以及移动部，设置在所述主体部的上部，并且用于执行所述可变操作，所述移动部基于在所述主体部的内侧与外侧之间的转动和所述离心力来执行所述可变操作，以引导从所述基板飞散的所述药液，且从所述基板飞散的所述药液的飞散程度与所述基座部的旋转速度对应地增加，所述移动部的所述可变操作的程度与所述基座部的旋转速度对应地增加，且所述移动部形成为朝向外侧圆化的形状，所述移动部包括：第一移动件，与所述基座部直接联动；以及第二移动件，可转动地设置在所述第一移动件的上部，并且基于所述离心力来执行所述可变操作，以及所述移动部还包括：第三移动件，可转动地设置在所述第二移动件的上部，并且基于所述离心力来执行所述可变操作。

用于解决上述技术问题的根据本发明的又一方面(aspect)的基板处理方法包括：在位于基座部上的放置模块上放置基板的步骤；位于所述基座部的上方的喷嘴模块向所述放置模块的所述基板喷出药液的步骤；以及位于所述基座部上的所述放置模块的周边部分的防飞散模块引导从所述基板飞散的所述药液排出的步骤，其中，所述防飞散模块通过由于所述基座部的旋转而产生的离心力，基于从内侧到外侧的可变操作来引导飞散的所述药液。

有益效果

本发明可以提供在处理基板的工艺中能够有效地处理从基板飞散的药液的基板处理装置。

此外，可以提供设置有能够在防止药液飞散的过程中对应于基板的初始旋转状态、基板的加速状态、基板达到目标旋转速度的状态等各种状态而主动地进行应对的基板处理装置。

此外，可以提供通过这种主动的应对，不仅能够防止药液的飞散，而且能够考虑药液的排出方向、药液的回收位置等的基板处理装置。

此外，可以提供能够根据药液的飞散程度、药液的类型等药液的特性以各种角度进行可变移动的基板处理装置。

此外，可以提供在执行可变移动时因具有折叠结构而能够同时考虑可变移动的速度和转动角度等，从而实现成以更多种方式应对药液的飞散的基板处理装置。

此外，可以提供能够在满足这些需要的同时，避免结构复杂或安装成本增加的基板处理装置。

附图说明

图1是示出根据本发明一实施例的基板处理装置的构成的图。

图2至图5是示出根据图1的构成的基板处理过程的图。

图6至图8是示出根据图1的构成中的防飞散模块的操作状态的图。

图9是示出根据本发明另一实施例的基板处理装置的构成的图。

图10是示出根据图9的防飞散模块的操作状态的示意图。

图11是示出根据本发明又一实施例的基板处理装置的操作的示意图。

图12是依次示出根据本发明一实施例的基板处理方法的流程图。

附图标记的说明

110：基座部

120：放置模块

130：喷嘴模块

140：防飞散模块

141：支承部

142：主体部

143：移动部

150：碗状件

151：第一碗状件

152：第二碗状件

153：第三碗状件

HP：转动模块

具体实施方式

下面，将参照附图详细描述本发明的优选的实施例。本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本发明并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本发明的公开完整，并向本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告知发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。

为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。

虽然术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。

本说明书中使用的术语是为了说明实施例，并不是为了限制本发明。在本说明书中，除非在句中特别提及，单数形式也包括复数形式。说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包括(comprising)”不排除除了所提及的构成要素、步骤、操作和/或元件之外存在或增加一个以上的其他构成要素、步骤、操作和/或元件。如果没有其它定义，则在本说明书中使用的所有术语(包括技术和科学术语)可以以本发明所属领域的普通技术人员能够共同理解的含义所使用。此外，在通常使用的词典中定义的术语，除非明确地特别定义，否则不被理想地或过度地解释。

以下，将参照附图详细说明本发明的实施例，在参照附图说明时，与附图标记无关地，相同或对应的构成要素被赋予相同的参照标号，并省略对其的重复说明。

图1是示出根据本发明一实施例的基板处理装置的构成的图。图2至图5是示出根据图1的构成的基板处理过程的图。

参照图1和图2，根据本发明一实施例的基板处理装置100包括基座部110、放置模块120、喷嘴模块130、防飞散模块140和碗状件150。

这里，上述防飞散模块140包括支承部141、主体部142和移动部143。上述碗状件150包括第一碗状件151、第二碗状件152和第三碗状件153。

上述基座部110进行周向旋转或提供周向旋转力。即，可以向基板W提供旋转力，或者可以以上述支承部141为介质向上述防飞散模块140提供旋转力。即，上述基座部110可以实现自身沿着轴向旋转的第一方式以及提供旋转力使得上述基板W和上述防飞散模块140沿着轴向旋转的第二方式。

此外，上述放置模块120位于上述基座部110上，并且用于放置基板W。上述这种放置模块120起到与上述基座部110一起使上述基板W沿着周向旋转的作用。

上述喷嘴模块130位于上述基座部110的上方，并且向上述放置模块120的上述基板W喷出药液。这里，关于针对上述基板W的药液的喷出，以设定的强度向设定的位置进行喷出。可以将上述这种喷嘴模块130的药液喷出与上述防飞散模块140一起考虑而改变彼此之间的设定条件。

这里，上述防飞散模块140在上述基座部110上位于上述放置模块120的周边部分。当上述药液喷出到上述基板W后飞散时，上述这种防飞散模块140引导飞散的上述药液排出。

参照图2和图3，上述防飞散模块140不是简单地以固定的停止状态、而是通过由于上述旋转力而产生的可变操作来引导飞散的上述药液。上述这种防飞散模块140的上述支承部141以棒(bar)的形状设置在上述基座部110上。

上述这种防飞散模块140的上述主体部142以上述支承部141为介质设置在上述放置模块120的周边部分上。上述主体部142可以连续或非连续地设置在上述周边部分上，但考虑到操作的稳定性和耐久性等，优选连续地设置。

另一方面，上述支承部141在上述主体部142的下部设置为多个。由上述移动部143引导的上述药液至少经由上述主体部142和上述基座部110排出。

上述防飞散模块140的上述移动部143设置在上述主体部142的上部。上述这种移动部143与上述主体部142联动地执行上述可变操作。

参照图3至图5，根据在上述基座部110的周向旋转中所设定的速度，可以以预设的较高的第一速度范围值和预设的小于上述第一速度范围值的较低的第二速度范围值进行旋转。

在以上述第一速度范围值进行操作的情况下，上述药液在喷出到上述基板W后飞散的过程中经由上述移动部143之间的空间排出到外部。即，经由后述的上述移动部143的片状体1431(参照图6)之间的空间排出。

此外，在以上述第二速度范围值进行操作的情况下，上述药液至少经由上述主体部142和上述基座部110排出。

图6至图8是示出根据图1的构成中的防飞散模块的操作状态的图。

参照图6至图8，上述移动部143执行基于在上述主体部142的内侧与外侧之间的转动的上述可变操作。上述移动部143的转动通过与上述主体部142的例如通过转动模块HP的铰接方式等而实现。

上述移动部143通过基于上述基座部110的旋转力而产生的离心力来执行上述可变操作，从而引导从上述基板W飞散的上述药液。

这里，从上述基板W飞散的药液的飞散程度与上述基座部110的旋转速度对应地增加。对应于此，上述移动部143的上述可变操作的程度与上述基座部110的旋转速度对应地增加。

上述防飞散模块140通过增加现有可变操作的程度来引导上述药液，从而抑制药液最终飞散至设定的范围以上。这里，上述可变操作包括上述防飞散模块140的上端区域的高度逐渐上升或急剧上升的操作。

在上述防飞散模块140中，执行上述可变操作的主体相当于上述防飞散模块140的上述移动部143。上述这种移动部143形成为朝向外侧圆化的形状。

这里，上述移动部143设置为在上述主体部142上彼此相邻的多个片状体1431。上述移动部143布置成相邻的上述片状体1431彼此之间至少重叠一部分面积，以执行上述可变操作。

这里，上述碗状件150的上述第一碗状件151位于最上端。上述碗状件150的上述第二碗状件150定位成与上述第一碗状件151形成第一间隔空间151H。上述碗状件150的上述第三碗状件153定位成与上述第二碗状件152形成第二间隔空间152H。

另一方面，上述防飞散模块140使从上述基板W飞散的上述药液流入上述第一间隔空间151H和上述第二间隔空间152H中的任一个。当然，不限于此，上述防飞散模块140显然也可以引导上述药液流入上述碗状件150之外的另外的位置。

此外，虽然未单独示出，但是上述防飞散模块140可以替代这种碗状件150而设置在上述碗状件150的位置。在这种情况下，上述基座部110可以设置成从现有的面积扩大到现有的碗状件150的位置。

以下，基于前述的内容，以具有技术特征的部分为中心来说明根据本发明又一实施例的基板处理装置。图9是示出根据本发明另一实施例的基板处理装置的构成的图。图10是示出根据图9的防飞散模块的操作状态的示意图。

参照图9和图10，移动部143包括第一移动件1431和第二移动件1432。这里，上述移动部143的上述第一移动件1431直接与上述基座部110联动。上述移动部143的上述第二移动件1432基于与上述第一移动件1431的铰接方式等来可转动地设置在上述第一移动件1431的上部。

上述这种第一移动件1431和上述这种第二移动件1432基于上述离心力以折叠的方式转动并执行上述可变操作。上述碗状件150位于上述基座部110的周边部分，并且容纳从上述基板W飞散的上述药液。上述防飞散模块140位于上述放置模块120与上述碗状件150之间。

同样地，以下基于前述内容，以具有技术特征的部分为中心来说明根据本发明又一实施例的基板处理装置。图11是示出根据本发明又一实施例的基板处理装置的操作的示意图。

参照图11，上述移动部143的上述第一移动件1431直接与上述基座部110联动。上述移动部143的上述第二移动件1432基于与上述第一移动件1431的铰接方式等来可转动地设置在上述第一移动件1431的上部。

上述这种第一移动件1431和上述这种第二移动件1432基于上述离心力以折叠的方式转动并执行上述可变操作。

上述移动部143的上述第三移动件1433可转动地设置在上述第二移动件1432的上部，并且以与前述方式类似的形态，基于上述离心力来执行上述可变操作。

图12是依次示出根据本发明一实施例的基板处理方法的流程图。

参照图12，根据本发明一实施例的基板处理方法(S100)包括：放置基板的步骤(S110)；喷出药液的步骤(S120)；以及引导药液的步骤(S130)。

首先，在上述步骤S110中，在位于基座部110上的放置模块120上放置基板W。接着，在上述步骤S120中，通过位于上述基座部110的上方的喷嘴模块130向上述放置模块120的上述基板W喷出药液。

接着，在上述步骤S130中，在上述基座部110上设置在上述放置模块120的周边部分的防飞散模块140引导从上述基板W飞散的上述药液。

这里，上述防飞散模块140通过由于上述基座部110的旋转而产生的离心力，基于从内侧到外侧的可变操作来引导飞散的上述药液。

以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员应该可以理解，本发明在不改变其技术思想或必要特征的情况下，能够以其他具体形态实施。因此，应该理解，以上描述的实施例在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。